專利名稱：光柵衍射效率的測量裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光柵衍射效率，特別是一種光柵衍射效率的測量裝置和方法，本發(fā) 明的測量裝置實(shí)現(xiàn)了在一定入射波長范圍或者入射角度范圍內(nèi)對光柵衍射效率的自 動掃描測量。
背景技術(shù)：
光柵的非零級衍射角會隨入射光波長的變化而改變。當(dāng)光柵周期較大時(shí)(大于 入射中心波長3倍以上)，針對某一級次的衍射角隨波長變化不是很明顯。針對這樣 的光柵，可以采用探測面較大的探測器在固定位置完成對某一衍射級次在一定波長 范圍的衍射效率的測量。但是當(dāng)光柵周期為亞波長量級時(shí)， 一般只存在一l級和0 級兩個(gè)衍射級次。當(dāng)入射角不變時(shí)，一l級衍射角因隨入射波長的不同而發(fā)生很大 的改變，所以，采用固定探測器方法，不能完成亞波長光柵一l級衍射在較寬光譜 入射的衍射效率的測量。
另外，在光柵衍射角譜特性的測量中，中心波長在一定的入射角范圍內(nèi)變化， 對應(yīng)的光柵一l級衍射角度會也在大角度范圍內(nèi)發(fā)生了變化。這就要求接受衍射能 量的探頭能在大角度范圍內(nèi)改變。
在測量亞波長光柵一l級效率衍射效率，當(dāng)入射角對應(yīng)入射波長是近自準(zhǔn)直角 時(shí)，此時(shí)衍射角與入射角接近。在探測衍射光能量時(shí)，探測器有可能出現(xiàn)擋光現(xiàn)象， 從而存在了測量盲區(qū)。對于一些閃耀角設(shè)計(jì)在自準(zhǔn)直角附近的光柵，這一入射角的 光柵衍射特性是關(guān)注的重點(diǎn)，提出測量盲區(qū)需要盡量減小。這個(gè)問題在測量接近垂 直入射的反射效率時(shí)也同樣存在。這樣的測量需要一套裝置，能盡量減小測量盲區(qū)， 使得測量盲區(qū)的最終的數(shù)據(jù)擬合誤差降到最小。
目前光柵衍射效率的測試平臺很少，基本上采用選擇幾個(gè)波長或者幾個(gè)入射角
度，手動調(diào)整接受衍射光的探測器的位置。這樣的測量方法存在很多缺陷
1) 測量效率很低，每調(diào)整一個(gè)輸入波長的參量，需要計(jì)算角度，手動改變探測 器位置；
2) 測量誤差大，手動調(diào)節(jié)探測器位置時(shí)，會因探測器和光柵的距離或者探測角度偏差，引入測量誤差；
3)測量數(shù)據(jù)不完整，對于光柵衍射譜中導(dǎo)模共振異常的測量時(shí)，由于導(dǎo)模共振 異常對入射光波長和角度非常敏感， 一般小于O.lnm或者0.1度，手動調(diào)整探測器 位置難以探測到導(dǎo)模共振信息。
如上述分析，要求一種能在大角度范圍內(nèi)接受衍射光、測量盲區(qū)盡量小、在一 定入射波長或者入射角度變化時(shí)能自動掃描測量光柵衍射效率的測量方法和裝置。 本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了上述光柵衍射效率的測量需求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是要克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種光柵衍射效率的測量裝 置和方法，實(shí)現(xiàn)在一定入射波長范圍或者入射角度范圍內(nèi)對光柵衍射效率的自動掃 描測量，而且可以直接探測接近全角度范圍內(nèi)的衍射光束。
為了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，本發(fā)明技術(shù)解決方案如下
一種光柵衍射效率的測量裝置，其特點(diǎn)是該裝置包括
單色光源，沿該單色光源的單色光束輸出方向有一分束器，該分束器將單色光 束分為第一光束和第二光束，在第一光束方向設(shè)置第一探測器，在第二光束的輸出 方向是位于光柵旋轉(zhuǎn)臺上的待測光柵；
所述的光柵旋轉(zhuǎn)臺由三維平移臺、第一電動轉(zhuǎn)臺、第二電動轉(zhuǎn)臺、鋼板、平衡 重物、圓柱形支柱和第二探測器構(gòu)成，所述的第二電動轉(zhuǎn)臺和鋼板的中心具有圓形 的軸孔，所述的圓柱形支柱穿過所述的第二電動轉(zhuǎn)臺和鋼板的中心具有圓形的軸孔 并固定在光學(xué)平臺上，所述的鋼板同軸地安裝在第二電動轉(zhuǎn)臺上，形成被驅(qū)動和驅(qū) 動的關(guān)系，所述的圓柱形支柱的頂端支撐所述的第一電動轉(zhuǎn)臺，所述的三維平移臺 安裝在所述的第一電動轉(zhuǎn)臺上，所述的待測光柵安置在所述的三維平移臺上，所述 鋼板的一端安裝所述的第二探測器，所述鋼板的另一端置放所述的平衡重物；所述 的待測光柵的測試點(diǎn)位于所述的第一電動轉(zhuǎn)臺、第二電動轉(zhuǎn)臺、鋼板和圓柱形支柱 同一旋轉(zhuǎn)軸的軸線上；
一個(gè)二維平移臺用于固定第三探測器并帶動該第三探測器在大圓弧上移動，該 大圓弧的圓心亦位于所述的第一電動轉(zhuǎn)臺、第二電動轉(zhuǎn)臺、鋼板和圓柱形支柱同一 旋轉(zhuǎn)軸的軸線上；
一臺計(jì)算機(jī)，該計(jì)算機(jī)通過信號線分別與所述的單色光源、第一探測器、第二探測器、第三探測器、第一電動轉(zhuǎn)臺、第二電動轉(zhuǎn)臺相連。
所述單色光源由寬帶光源和單色儀構(gòu)成，在一定波長范圍掃描輸出單色光。 一種測量待測光柵的衍射效率的方法，包括以下步驟
① 用待測定入射波長帶寬范圍內(nèi)或者角度帶寬范圍內(nèi)已知反射效率的反射鏡置 于所述的三維平移臺上，通過第一探測器、第二探測器、第三探測器標(biāo)定所述的光 束L3從反射鏡傳輸?shù)叫A弧第二探測器和大圓弧上的第三探測器的能量損耗；
② 用待測光柵置于所述的三維平移臺上，通過第一探測器、第二探測器和第三 探測器分別探測第一光束和衍射光束的能量，計(jì)算機(jī)計(jì)算出光柵的衍射效率。
當(dāng)入射待測光柵的光束與光柵衍射光束的交角9>15°時(shí)，用第二探測器探測 衍射光束的能量。
當(dāng)入射待測光柵的光束與光柵衍射光束的交角9<15°時(shí)，用在大圓弧移動上 的第三探測器接受衍射光束的能量。 本發(fā)明的技術(shù)效果
1、 本發(fā)明采用了兩個(gè)探測器在兩個(gè)半徑不同的圓弧上分段測量光柵衍射光能 量，實(shí)現(xiàn)了接近全角度范圍內(nèi)接受光柵的衍射光束。具體來說，當(dāng)衍射光束與入射 光束的夾角較大時(shí)(>15° )，探測器在小半徑圓弧上移動接受衍射光束能量；當(dāng)衍 射光束與入射光束夾角較小(<15° )時(shí)，探測器在大半徑圓弧上移動接受衍射光束 能量。兩個(gè)探測器移動角度范圍和移動圓弧的半徑大小可以根據(jù)具體側(cè)量光柵樣品 的大小適當(dāng)調(diào)整。這樣的設(shè)計(jì)，對于衍射光束與入射光束夾角較大時(shí)，探測器在半 徑較小的圓弧上移動而不會擋住入射光束，這樣就能夠在較小光學(xué)平臺上實(shí)現(xiàn)大角 度范圍內(nèi)接受衍射光束；對于衍射光束與入射光束夾角較小時(shí)，如果探測器繼續(xù)在 小半徑圓弧上移動，則探測器會擋住入射光。在這樣的夾角范圍測量時(shí)，采用另一 安置能在大圓弧上移動的探測器接受衍射光束能量。在相同入射光束和衍射光束夾 角時(shí)，探測器與入射光束的距離增大了，可以探測與入射光夾角更小的衍射光束的 能量，實(shí)現(xiàn)減小測量盲區(qū)的目的。
2、 兩個(gè)探測器都在圓弧上運(yùn)動，確保了同一個(gè)探測器接收的衍射光在空氣中傳 播路程是相等的，從而避免了不同傳播長度光束在空氣中能量損耗不同而附加的測 量誤差。
3、 在小半徑圓弧上移動的探測器安裝在一個(gè)長度略大于小圓弧直徑的鋼板的一 端。鋼板安裝在電動轉(zhuǎn)臺上，且鋼板的中心與電動轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)軸共線。旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)了探測器在圓弧上的移動。鋼板的另一端附加于探測器質(zhì)量相等的物體，以減輕 電動平臺的偏載。
4、 在大半徑圓弧上移動的第三探測器安裝在一個(gè)二維電控位移臺上。調(diào)整位移 臺在兩個(gè)方向上的位置，實(shí)現(xiàn)探測器在大圓弧上的移動。如果直接用小半徑圓弧上 移動探測器方案，鋼板質(zhì)量增大，增加了平移臺的負(fù)載，從而減少平移臺使用壽命， 降低重復(fù)定位精度。
5、 待測光柵安裝在一個(gè)三維平移臺上，以便于調(diào)整光柵位置和被測量的區(qū)域。
三維平移臺安轉(zhuǎn)載第一電動轉(zhuǎn)臺上。在測量光柵衍射頻譜時(shí)，調(diào)整旋轉(zhuǎn)臺以確定入
射角度；在測量光柵衍射角譜時(shí)，旋轉(zhuǎn)臺在設(shè)定角度范圍內(nèi)步進(jìn)旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)入射角 在一定角度范圍內(nèi)的掃描。
6、 本發(fā)明中引入分光鏡進(jìn)行分光和雙光路能量探測，消除不同時(shí)刻光源的輸出 能量的波動而引起的測量誤差。


圖1為本發(fā)明測量光柵衍射效率的裝置的平面圖。 圖2為本發(fā)明光柵旋轉(zhuǎn)臺的側(cè)視示意圖。 圖3為發(fā)明光柵旋轉(zhuǎn)臺部分組件的俯視示意圖之一。 圖4為發(fā)明光柵旋轉(zhuǎn)臺部分組件的俯視示意圖之二 圖5為第三探測器和二維平移臺的側(cè)視示意圖之一。 圖6為第三探測器和二維平移臺的側(cè)視示意圖之二 圖7為二維平臺實(shí)現(xiàn)探測器在圓弧上移動的示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，但不應(yīng)以此限制本發(fā)明的保護(hù) 范圍。
先請參閱圖1，圖1給出了本發(fā)明的光柵衍射效率測量裝置的示意圖，由圖可 見，本發(fā)明光柵衍射效率的測量裝置，包括
單色光源3，所述單色光源3由寬帶光源1和單色儀2構(gòu)成，在一定波長范圍 掃描輸出單色光。沿該單色光源3的單色光束L輸出方向有一分束器4，該分束器 4將單色光束L分為第一光束Ll和第二光束L2，在第一光束Ll方向設(shè)置第一探測器6，在第二光束L2的輸出方向是位于光柵旋轉(zhuǎn)臺上的待測光柵5;
所述的光柵旋轉(zhuǎn)臺由三維平移臺10、第一電動轉(zhuǎn)臺11、第二電動轉(zhuǎn)臺12、鋼
板13、平衡重物14、圓柱形支柱15和第二探測器7構(gòu)成，第一電動轉(zhuǎn)臺ll、所述
的第二電動轉(zhuǎn)臺12和鋼板13的中心具有圓形的軸 L，所述的圓柱形支柱15穿過所
述的第二電動轉(zhuǎn)臺12和鋼板13的中心具有圓形的軸孔并固定在光學(xué)平臺上，所述
的鋼板13同軸地安裝在第二電動轉(zhuǎn)臺12上，形成被驅(qū)動和驅(qū)動的關(guān)系，所述的圓
柱形支柱15的頂端支撐所述的第一電動轉(zhuǎn)臺11，所述的三維平移臺IO安裝在所述
的第一電動轉(zhuǎn)臺11上，所述的待測光柵5安置在所述的三維平移臺10上，所述鋼
板13的一端安裝所述的第二探測器7，所述鋼板13的另一端置放所述的平衡重物
14;所述的待觀恍柵5的測試點(diǎn)位于所述的第一電動轉(zhuǎn)臺11、第二電動轉(zhuǎn)臺12、鋼
板13和圓柱形支柱15的同一旋轉(zhuǎn)軸的軸線上；
一個(gè)二維平移臺16用于固定第三探測器8并帶動該第三探測器8在大圓弧上移 動，該大圓弧的圓心亦位于所述的第一電動轉(zhuǎn)臺11、第二電動轉(zhuǎn)臺12、鋼板13和 圓柱形支柱15同一旋轉(zhuǎn)軸的軸線上；
一個(gè)計(jì)算機(jī)Cl該計(jì)算機(jī)Cl通過信號線分別與所述的單色光源3、第一探測器 6、第二探測器7、第三探測器8、第一電動轉(zhuǎn)臺11、第二電動轉(zhuǎn)臺12、 二維平移臺 16相連。
第二光束L2入射到待測光柵5上衍射出衍射光束L3。衍射光束L3與入射光柵 的第二光束L2的夾角為9。當(dāng)夾角e比較大時(shí)(>15° )，衍射光束L3的能量由一 能在半徑比較小(<30cm)的圓弧上移動的第二探測器7接收；當(dāng)夾角0比較小時(shí) (<15° )，衍射光束L3的能量由一能在半徑比較大(>100cm)的圓弧上移動的第 三探測器8接收。
待測光柵5安置在三維平移臺10上。通過在三個(gè)方向的調(diào)整，可以完成對大的 光柵樣品不同區(qū)域衍射效率的測量。三維平移臺IO安裝在第一電動轉(zhuǎn)臺11上。當(dāng) 測量光柵樣品的衍射頻譜時(shí)，電動轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)向設(shè)定的入射角度；當(dāng)測量光柵樣品的衍 射角度時(shí)，電動轉(zhuǎn)臺自動在設(shè)定的入射角度范圍內(nèi)進(jìn)行步進(jìn)轉(zhuǎn)動。
在小半徑圓弧上移動的第二探測器7安裝在一個(gè)鋼板13—端，如圖2、圖4所 示。鋼板13同軸地安裝在第二電動轉(zhuǎn)臺12上。當(dāng)衍射光束L3角度反射變化時(shí)，由 計(jì)算機(jī)控制第二電動轉(zhuǎn)臺12轉(zhuǎn)動相應(yīng)的角度，第二電動轉(zhuǎn)臺12帶動鋼板13及第二 探測器7轉(zhuǎn)動，實(shí)現(xiàn)探測器在小半徑圓弧上的移動探測。第二電動轉(zhuǎn)臺12直接安裝在光學(xué)平臺上。
鋼板13的幾何模型如圖2和圖4所示，在鋼板的另一側(cè)附加一個(gè)質(zhì)量與第二探 測器7相當(dāng)?shù)钠胶庵匚?4，用于平衡電動轉(zhuǎn)臺偏載。在大半徑圓弧上移動的探測器 8安裝在一個(gè)二維平移臺16上。當(dāng)衍射光束L3角度反射變化時(shí)，由計(jì)算機(jī)Cl控制 二維平移臺在兩個(gè)方向上調(diào)整，如圖7所示，實(shí)現(xiàn)探測器在大半徑圓弧上的移動探
以下具體說明本發(fā)明用于測量光柵衍射效率的方法。
如上面所述的，調(diào)整該裝置各部件位置，使其滿足上述各部件旋轉(zhuǎn)的共軸要求。 用一個(gè)在需要測量波長帶寬或者入射角度帶寬內(nèi)反射效率已知的反射鏡代替光柵樣 品，這里為了說明方便，效率解釋說明中反射鏡的反射效率取100%。通過分束器出 射的第一光束Ll的和第二光束L2的能量分別為￡14和￡26 。第一光束Ll傳輸?shù)降?一探測器6處能量為《6，第二光束L2傳輸?shù)椒瓷溏R入射點(diǎn)處能量為五^，記
(1)
<formula>formula see original document page 9</formula>
第二光束L2入射反射鏡出射的光束L3的能量為￡3,。在小圓弧上第二探測器7探 測光束L3的能量為￡^ =￡3fc.(l-/7j，在大圓弧上第三探測器8探測光束L3的能 量為Aw =￡^(1-" ) ， ^和^分別對應(yīng)光束L3從反射鏡傳輸?shù)叫A弧和大圓弧的 能量損耗。
在小圓弧位置，反射鏡反射效率記為
<formula>formula see original document page 9</formula>
將(1)式代入(2)式因子￡26項(xiàng)，得
<formula>formula see original document page 9</formula> (3)
整理得到:
<formula>formula see original document page 9</formula> (4)
同樣，在大圓弧位置，有:
<formula>formula see original document page 9</formula>(5)^和仏,分別為本發(fā)明測量裝置在小圓弧和大圓弧i:探測器標(biāo)定因子，其中考慮了各 光束在空氣中傳輸?shù)哪芰繐p耗。
完成該測量裝置的標(biāo)定后，將待測光柵3代替反射鏡，并放置到相同位置上。 入射待測光柵5前的光路與用反射鏡標(biāo)定時(shí)是相同的，考慮到光源的波動，通過分 束器出射的第一光束Ll的和第二光束L2的能量分別記為《。和A。。第一光束Ll
傳輸?shù)降谝惶綔y器6處能量為五^ ，第二光束L2傳輸?shù)椒瓷溏R入射點(diǎn)處能量為《￡, 記
";=五^ (6) /Ac
對于相同的入射波長，7;-仏。
第二光束L2入射待測光柵5后，在待測衍射級次上衍射光束L3的能量為五3。。 在小圓弧上探測衍射光束L3的能量為￡3 =￡3。.(1-O，在大圓弧上探測衍射光束 L3的能量為￡"3。,=￡3。.(1-/7 )， ？7;,和&分別對應(yīng)光束L3從反射鏡傳輸?shù)叫A弧和 大圓弧的能量損耗。在測量系統(tǒng)標(biāo)定時(shí)間相隔幾個(gè)小時(shí)內(nèi)，< =^和7 =% 。所以， 在小圓弧位置，光柵的衍射效率:'
五3c ■— 五3cs —— 五3 _— 五3"
^五2c'(l一^)五n(1 —仏,)A,7s'(1 —仏,)
將(4)式代入(7)式得
(7)
77=-^
同樣，得到在大圓弧位置，光柵衍射效率的計(jì)算表達(dá)式:
=弄
(8)
(9)
/^和 聯(lián)合起來，完成了光柵樣品在大衍射角度范圍的衍射效率的測量。
光柵衍射效率的表達(dá)式(8、 9)中沒有與光源能量項(xiàng)，說明本發(fā)明采用分束器
雙光路同時(shí)檢測方法消除了不同時(shí)刻光源輸出能量的波動引入的測量誤差。
下面結(jié)合具體參數(shù)，討論采用兩個(gè)探測器接受衍射光束L3的優(yōu)點(diǎn)。第二探測器
7移動軌跡的小圓弧半徑取25cm，第三探測器8移動軌跡的大圓弧半徑取120cm，
探測器中心到邊緣取2.5cm。當(dāng)衍射光束L3和入射光柵的光束L2的夾角0小于5.7°時(shí)，在小圓弧上移動的第二探測器7會擋住入射光束L2。所以，在小圓弧上移動 的第二探測器7的測量盲區(qū)在夾角6在±5.7°范圍內(nèi)。對于在大圓弧上移動的第三 探測器8，其測量盲區(qū)在夾角6在±1.2°范圍內(nèi)?？梢钥闯?，本發(fā)明采用兩個(gè)探測 器接受衍射光束L3大大減小了測量盲區(qū)。
如果完全采用在大圓弧上移動的第三探測器8接受光柵衍射光束L3，需要一個(gè) 長度和寬度至少等于大圓弧直徑的光學(xué)平臺，這樣的成本很高。而且在大圓弧上大 角度移動，不能保證探測器的重復(fù)定位精度。所以，本發(fā)明的設(shè)計(jì)減小了對光學(xué)平 臺尺寸的要求。
權(quán)利要求
1、一種光柵衍射效率的測量裝置，其特征在于該裝置包括單色光源(3)，沿該單色光源(3)的單色光束(L)輸出方向有一分束器(4)，該分束器(4)將單色光束(L)分為第一光束(L1)和第二光束(L2)，在第一光束(L1)方向設(shè)置第一探測器(6)，在第二光束(L2)的輸出方向是位于光柵旋轉(zhuǎn)臺上的待測光柵(5)；所述的光柵旋轉(zhuǎn)臺由三維平移臺(10)、第一電動轉(zhuǎn)臺(11)、第二電動轉(zhuǎn)臺(12)、鋼板(13)、平衡重物(14)、圓柱形支柱(15)和第二探測器(7)構(gòu)成，第一電動轉(zhuǎn)臺(11)、所述的第二電動轉(zhuǎn)臺(12)和鋼板(13)的中心具有圓形的軸孔，所述的圓柱形支柱(15)穿過所述的第二電動轉(zhuǎn)臺(12)和鋼板(13)的中心具有圓形的軸孔并固定在光學(xué)平臺上，所述的鋼板(13)同軸地安裝在第二電動轉(zhuǎn)臺(12)上，形成被驅(qū)動和驅(qū)動的關(guān)系，所述的圓柱形支柱(15)的頂端支撐所述的第一電動轉(zhuǎn)臺(11)，所述的三維平移臺(10)安裝在所述的第一電動轉(zhuǎn)臺(11)上，所述的待測光柵(5)安置在所述的三維平移臺(10)上，所述鋼板(13)的一端安裝所述的第二探測器(7)，所述鋼板(13)的另一端置放所述的平衡重物(14)；所述的待測光柵(5)的測試點(diǎn)位于所述的第一電動轉(zhuǎn)臺(11)、第二電動轉(zhuǎn)臺(12)、鋼板(13)和圓柱形支柱(15)同一旋轉(zhuǎn)軸的軸線上；一個(gè)二維平移臺(16)，用于固定第三探測器(8)并帶動該第三探測器(8)探測器在大圓弧上移動，該大圓弧的圓心亦位于所述的第一電動轉(zhuǎn)臺(11)、第二電動轉(zhuǎn)臺(12)、鋼板(13)和圓柱形支柱(15)同一旋轉(zhuǎn)軸的軸線上；一個(gè)計(jì)算機(jī)(C1)該計(jì)算機(jī)(C1)通過信號線分別與所述的單色光源(3)、第一探測器(6)、第二探測器(7)、第三探測器(8)、第一電動轉(zhuǎn)臺(11)、第二電動轉(zhuǎn)臺(12)相連。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光柵衍射效率的測量裝置，其特征在于所述單色光 源(3)由寬帶光源(1)和單色儀(2)構(gòu)成，在一定波長范圍掃描輸出單色光。
3、 一種用權(quán)利要求1所述的光柵衍射效率的測量裝置測量待測光柵的衍射效 率的方法，其特征在于包括以下步驟①用待測定入射波長帶寬范圍內(nèi)或者角度帶寬范圍內(nèi)已知反射效率的反射鏡置 于所述的三維平移臺(10)上，通過第一探測器(6)、第二探測器(7)、第三探測器(8)標(biāo)定所述的光束L3從反射鏡傳輸?shù)叫A弧第二探測器(7)和大圓弧上的第 三探測器(8)的能量損耗；②用待測光柵(5)置于所述的三維平移臺(10)上，通過第一探測器(6)、第 二探測器(7)和第三探測器(8)分別探測第一光束(Ll)和衍射光束(L3)的能 量，計(jì)算機(jī)(Cl)計(jì)算出光柵的衍射效率。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于當(dāng)入射待測光柵(5)的光束(L2) 與光柵衍射光束(L3)的交角6>15°時(shí)，用第二探測器(7)探測衍射光束(L3) 的能量。
5、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于當(dāng)入射待測光柵(5)的光束(L2) 與光柵衍射光束(L3)的交角0<15°時(shí)，用在大圓弧移動上的第三探測器(8)接 受衍射光束(L3)的能量。
全文摘要
一種光柵衍射效率的測量裝置和方法，該裝置包括單色光源、分束器、光柵旋轉(zhuǎn)臺、探測器、二維平移臺和計(jì)算機(jī)，特點(diǎn)是采用第二探測器和第三探測器分別在小圓弧和大圓弧上移動探測待測光柵衍射光束L3的能量，達(dá)到了減小測量盲區(qū)和降低光學(xué)平臺尺度要求的目的。采用雙光路同步測量消除光源的不穩(wěn)定引起的測量誤差。
文檔編號G01M11/02GK101545826SQ20091005031
公開日2009年9月30日 申請日期2009年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月30日
發(fā)明者劉光輝, 晉云霞, 汪劍鵬, 范正修, 邵建達(dá), 麻健勇 申請人:中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所