專利名稱：一種精密定位測試接觸電阻的方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及精密定位測試技術(shù)，特別涉及一種精密定位測試接觸電阻的 方法及裝置。
背景技術(shù)：
在通信、計算機、測量、控制及各類電子系統(tǒng)中存在大量的電子連接器， 它們起著各種電子元件之間、電路之間、設(shè)備之間以及系統(tǒng)之間的維系作用。 當(dāng)這些電子連接器接觸不良時，會引起相應(yīng)的通信系統(tǒng)中斷、計算機誤碼、 控制系統(tǒng)失靈、傳輸圖像及數(shù)據(jù)失真等一系列系統(tǒng)故障，因此，系統(tǒng)運行的 可靠性與電子連接處的接觸電阻有著密切的聯(lián)系。接觸電阻與電子連接處的 接觸斑點大小、形狀、數(shù)目和分布等有關(guān)，其中，接觸斑點又與接觸組件的 材料、表面粗糙度、接觸形式、表面膜狀況、接觸壓力、電流大小、通電時 間等因素相關(guān)， 一般地，對于弱電類的電子系統(tǒng)，實際接觸斑點或接觸區(qū)域 在微米級甚至更小的范圍內(nèi)，如何使接觸電阻測試結(jié)果真實反映接觸斑點處 的接觸電阻，也就是說，如何使測試條件與實際電子連接處的運行條件相吻 合，并使得測試接觸電阻的區(qū)域接近或落入接觸斑點范圍，是接觸電阻測量 的關(guān)鍵。尤其在對電子連接器進行電接觸污染失效機理研究時，觸點表面的 污染對接觸電阻影響尤為明顯，而這些污染物(腐蝕物、塵土顆粒等)成分 復(fù)雜、形態(tài)各異、顆粒尺寸分布從幾微米到上百微米，為弄清這些污染物對 接觸電阻的影響，找出它們與電接觸可靠性之間的關(guān)系，需要在含有污染物 的特定微小區(qū)域內(nèi)，理想狀態(tài)下，即在'.污染物點上進行接觸電阻測試。
圖1為現(xiàn)有接觸電阻測試裝置結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，包括測試接觸
對單元ll、恒流源單元12、電壓計單元13及接觸壓力調(diào)節(jié)單元14。其中，測試接觸對單元11包括測試觸頭101及測試樣片102，恒流源單元12 —端
與測試觸頭101相連，另一端與測試樣片102相連；電壓計單元13—端與 恒流源單元12相連的測試觸頭101對側(cè)相連，另一端與恒流源單元12相連 的測試樣片102對側(cè)相連；接觸壓力調(diào)節(jié)單元14調(diào)節(jié)作用在測試觸頭101 上的接觸壓力大小。測試采用經(jīng)典的歐姆定理和四點法，調(diào)節(jié)恒流源單元 12的輸出電流為常值Ie，通過讀取電壓計單元13的電壓降Ut，則可以通過 歐姆定理計算出一定接觸壓力F下測試觸頭IOI與測試樣片102接觸處的接 觸電阻Rc:Ut/Ic，調(diào)節(jié)接觸壓力F的大小，可以得到不同接觸壓力F下各接 觸電阻阻^直。
但這種接觸電阻測試裝置需要手工將測試觸頭移到測試樣片上含有污 染物的特定微小區(qū)域內(nèi)(即接觸區(qū)域)，因此測試的接觸區(qū)域可能偏離實際 接觸的污染區(qū)域，不能對電子連接器觸點接觸的接觸位置進行精確控制，導(dǎo) 致測試的接觸電阻阻值偏低，不能真實反映接觸區(qū)的狀態(tài)。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的一個主要目的在于提供一種精密定位測試接觸電阻 的方法，實現(xiàn)接觸區(qū)域的精密定位和接觸電阻測試。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種精密定位測試接觸電阻的裝置，實現(xiàn)接 觸區(qū)i或內(nèi)4矣觸電阻測試。
為達到上述目的的第 一個方面，本發(fā)明提供了 一種精密定位測試接觸電 阻的方法，該方法包4舌
為達到上述目的的另一個方面，本發(fā)明提供了一種精密定位測試接觸電阻 的裝置，該裝置包含精密定位單元、運動控制單元、接觸電阻測試單元、計 算機控制平臺單元及反饋單元，其中，
由上述的技術(shù)方案可見，本發(fā)明提供的精密定位測試接觸電阻的方法及系統(tǒng)，預(yù)先測量出標(biāo)準樣塊上表面交點至測試樣片上接觸斑點的平面距離參 數(shù)，通過計算機控制平臺單元發(fā)送定位指令到運動控制單元，運動控制單元 將定位指令轉(zhuǎn)化為控制電壓指令后輸出，精密定位單元根據(jù)控制電壓指令進 行精密定位，反饋單元將精密定位單元的距離信息反饋到運動控制單元，運 動控制單元根據(jù)定位指令與反饋的距離信息調(diào)節(jié)輸出控制電壓，控制精密定 位單元進行精密定位調(diào)節(jié)，然后，計算機控制平臺單元發(fā)送接觸壓力指令和 測試指令，接觸電阻測試單元開始進行接觸電阻測試，從而實現(xiàn)接觸區(qū)域內(nèi) 接觸斑點的微米級精密定位、重定位，具有測試數(shù)據(jù)自動采集、處理和保存 的功能，較好的人機界面操作控制功能"及參數(shù)調(diào)節(jié)控制接觸壓力功能，可 進行多點、多接觸壓力下接觸電阻的自動連續(xù)測試。


圖1是現(xiàn)有接觸電阻測試裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明基于圖2的一個較佳實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本發(fā)明精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)的X、 Y軸運動控制流程示意圖；圖5是本發(fā)明精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)的Z軸運動控制方法流程示意圖；圖6是本發(fā)明基于圖3的精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)的方法流程示意國。
具體實施方式
本發(fā)明的核心思想是預(yù)先確定標(biāo)準樣塊上表面交點至測試樣片上接觸 斑點的平面距離參數(shù)，計算機控制平臺'羊元發(fā)送定位指令到運動控制單元， 運動控制單元將指令轉(zhuǎn)化為控制電壓指令后輸出，精密定位單元根據(jù)控制電 壓指令進行精密定位，反饋單元將精密定位單元的距離信息反饋到運動控制單元，運動控制單元根據(jù)定位指令與反饋的距離信息調(diào)節(jié)輸出控制電壓，控 制精密定位單元進行精密定位調(diào)節(jié)，然后，計算機控制平臺單元發(fā)送接觸壓 力指令和測試指令，接觸電阻測試單元開始進行接觸電阻測試，乂人而實現(xiàn)精 密移動定位、重定位、多點、多接觸壓力下自動連續(xù)測試接觸電阻。為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體 實施例對本發(fā)明作進一 步地詳細描述。圖2是本發(fā)明精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示，該精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)包含精密定位單元21、運動控制單元22、接 觸電阻測試單元23、計算機控制平臺單元24及反饋單元25,各單元介紹如 下精密定位單元21,接收運動控制單元22輸出的控制電壓指令，進行精密 定位及定位調(diào)整；對測試觸頭234施加接觸壓力；以及，驅(qū)動接觸電阻測試單 元23進4亍纟妄觸電阻測試。運動控制單元22，將計算機控制平臺單元24發(fā)出的定位參數(shù)指令、接觸 壓力參數(shù)指令、測試參數(shù)指令及反饋單元25反饋的距離信息指令轉(zhuǎn)化為控制電 壓指令，輸出到精密定位單元21;本實施例中，控制電壓指令包含控制定位電壓指令、控制接觸壓力電壓 指令、控制測試電壓指令及控制反饋電壓指令，分別對應(yīng)定位參數(shù)指令、接觸 壓力參數(shù)指令、測試參數(shù)指令及反饋單元25反饋的距離信息指令的相應(yīng)轉(zhuǎn)化。接觸電阻測試單元23，根據(jù)精密定位單元21的控制接觸壓力電壓指令及 控制測試電壓指令，進行預(yù)定接觸壓力下的接觸電阻測試，包含樣塊固定臺 231、標(biāo)準樣塊232、測試樣片233、測試觸頭234、推壓簧片235、恒流計236 及電壓計237,其中，樣塊固定臺231,在空間形成三個定'位基準面，標(biāo)準樣塊232靠緊三個定 位基準面后，由推壓簧片235壓緊標(biāo)準樣塊232使標(biāo)準樣塊232固定，預(yù)先調(diào) 節(jié)測試觸頭234,使標(biāo)準樣塊232上表面交點為計算機控制平臺單元24定位參 數(shù)指令的零點，測試樣片233固定在標(biāo)準樣塊232上；測試觸頭234,與精密定位單元21形成可拆卸的固定連接；恒流計236，用于提供精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)的恒定電流；電壓計237,用于測試接觸區(qū)域兩端的測試觸頭與測試樣片之間電壓差信計算機控制平臺單元24,用于發(fā)送定位參數(shù)指令、接觸壓力參數(shù)指令及測 試參數(shù)指令，管理和控制精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)。反饋單元25，用于將精密定位單元2'1的距離信息反饋到運動控制單元22。 圖2所示系統(tǒng)的工作原理為預(yù)先將測試樣片233固定在標(biāo)準樣塊232上，測量出標(biāo)準樣塊232上表面 交點至測試樣片233上接觸斑點的平面距離信息，在本實施例中，利用掃描電 子顯微鏡確定出測試樣片233上接觸斑點與標(biāo)準樣塊232上表面交點的平面距 離信息，即交點在平面上的坐標(biāo)信息，然后取出標(biāo)準樣塊232,靠緊樣塊固定 臺231定位基準面后固定，通過計算機控制平臺單元24發(fā)送Z軸定位參數(shù)指 令，調(diào)節(jié)測試觸頭234與標(biāo)準樣塊232處于臨界接觸狀態(tài)，即當(dāng)測試觸頭234 上接觸壓力或定位參數(shù)指令位移值稍降械時，測試觸頭234與標(biāo)準樣塊232處 于斷開狀態(tài)，獲取測試觸頭234與標(biāo)準樣塊232在Z軸方向上的臨界值，將此 時計算機控制平臺單元24的Z軸定位參數(shù)指令清零，然后調(diào)節(jié)Z軸定位參數(shù) 指令使測試觸頭234抬起，再通過計算機控制平臺單元24發(fā)送X軸和Y軸定 位參數(shù)指令，控制測試觸頭234運動，調(diào)節(jié)Z軸定位參數(shù)指令為零以及X軸和 Y軸定位參數(shù)指令值，當(dāng)測試觸頭與標(biāo)準樣塊232上表面交點重合時，即計算 機控制平臺單元24發(fā)送的X軸和Y軸定位參數(shù)指令分別沿標(biāo)準樣塊232上平 面有微小位移時，測試觸頭234與標(biāo)準樣塊232都處于斷開狀態(tài)，將重合時的 計算機控制平臺單元24定位參數(shù)指令清零，然后再次調(diào)節(jié)Z軸定位參數(shù)指令 使測試觸頭234抬起，輸入標(biāo)準樣塊232上表面交點至測試樣片233上接觸斑 點的平面距離信息定位指令，運動控制單元22將平面距離信息定位指令轉(zhuǎn)化為 控制電壓指令，控制精密定位單元21定位，并根據(jù)反饋單元25的反饋距離信 息指令調(diào)節(jié)精密定位單元21進行精密定位，完成精密定位單元21位移的初始化，初始化后的測試觸頭在每次操作完成后都會抬起一定距離，用以保護所述 測試觸頭；計算機控制平臺單元24發(fā)出接觸壓力參數(shù)指令，經(jīng)運動控制單元22轉(zhuǎn)換 后控制施加在測試觸頭234上的接觸壓力，然后計算機控制平臺單元24發(fā)出測 試參數(shù)指令，接觸電阻測試單元23開始進行接觸電阻測試。圖3是基于圖2的一個較佳實施例妁結(jié)構(gòu)示意圖，如圖3所示，該精密 定位測試接觸電阻系統(tǒng)包含精密定位單元21、運動控制單元22、接觸電阻 測試單元23、計算機控制平臺單元24及反饋單元25,其中，計算機控制平臺單元24，包含通信控制模塊341,用戶操作模塊342, 及數(shù)據(jù)存儲和處理模塊343，其中，通信控制模塊341,采用串行通信，進行通信協(xié)議的初始化，保證與運 動控制單元22進行可靠的數(shù)據(jù)互相流動，通信協(xié)議包括通信方式、波特率、 握手協(xié)議、命令碼的約定等。用戶操作模塊342,用于用戶設(shè)置和調(diào)節(jié)精密定位參數(shù)、接觸壓力參數(shù) 及測試參數(shù)；本實施例中，測試參數(shù)包含X軸測試范圍參數(shù)、Y軸測試范圍參數(shù)、 X軸步進距離參數(shù)、Y軸步進距離參數(shù)、采樣頻率參數(shù)及平均點數(shù)，測試范 圍參數(shù)決定對多大范圍內(nèi)的接觸區(qū)域進行接觸電阻測試；X軸步進距離參數(shù) 為每次沿X軸測量的相鄰兩點間距，Y軸步進距離參數(shù)為每次沿Y軸測量 相鄰兩點間距，步進距離參數(shù)與測試范圍參數(shù)決定了測試點的多少；采樣頻 率參數(shù)決定了以多快的頻率對電壓差信號進行采樣；平均點數(shù)即對一個測試 點采集多少次后按照一定的算法對電莊差信號取樣平均，輸出電壓差信號 值。數(shù)據(jù)存儲和處理模塊343,以軟件控制方式讀取電壓計237存儲的測試 數(shù)據(jù)，并以EXCEL表格格式將電壓差信號數(shù)據(jù)顯示在計算機控制平臺單元 24的顯示屏上。運動控制單元22，將計算機控制平臺單元24發(fā)出的定位參數(shù)指令、接觸壓力參數(shù)指令、測試參數(shù)指令及反饋單元25反饋的距離信息指令轉(zhuǎn)化為控制電壓指令，輸出到精密定位單元21;本實施例中，運動控制單元22為 美國PARKER公司的運動控制器6K4,采用增量式PID控制算法，其具體 PID控制參數(shù)可根據(jù)現(xiàn)場分析調(diào)試確定。精密定位單元21,包含X軸精密'移動工作臺301、 Y軸精密移動工作 臺302、 Z軸精密移動工作臺303、驅(qū)動電機304及音圈電機305，其中，X軸精密移動工作臺301,用于調(diào)節(jié)和控制精密定位測試接觸電阻系統(tǒng) X軸方向精密定位。Y軸精密移動工作臺302,用于調(diào)節(jié)和控制精密定位測試接觸電阻系統(tǒng) Y軸方向精密定位。Z軸精密移動工作臺303,用于調(diào)節(jié)和控制精密定位測試接觸電阻系統(tǒng) Z軸方向精密定位。驅(qū)動電機304，接收運動控制單元:22的控制定位電壓指令及控制反饋 電壓指令，驅(qū)動X軸精密移動工作臺301及Y軸精密移動工作臺302進行 精密定位，驅(qū)動電機304、 X軸精密移動工作臺301及反饋單元25組成X 軸閉環(huán)伺服控制回路，對精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)X軸方向位移進行精 密定位；驅(qū)動電機304、 Y軸精密移動工作臺302及反々貴單元25組成Y軸 閉環(huán)伺服控制回路，對精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)Y軸方向位移進行精密 定位。音圈電機305接收運動控制單元22輸出的指令，驅(qū)動Z軸精密移動工 作臺303運行當(dāng)音圏電機305接收的'運動控制單元22輸出指令為定位電 壓指令及控制反饋電壓指令時，調(diào)節(jié)測試觸頭234與測試樣片233之間的工 作距離，此時，音圈電沖幾305、 Z軸4青密移動工作臺303及反々赍單元25構(gòu)成 Z軸半閉環(huán)控制回路；當(dāng)音圈電機305接收的運動控制單元22輸出指令為 控制接觸壓力電壓指令時，在測試觸頭234上施加接觸壓力，此時，音圈電 機305與Z軸精密移動工作臺303間為開環(huán)控制；當(dāng)然，也可以在測試觸頭 234上設(shè)置反饋單元，接收測試觸頭234上的接觸壓力信息，反饋給運動控制單元22，形成反饋控制接觸壓力指令，對測試觸頭234上的接觸壓力進 行精密調(diào)節(jié)，本實施例中，采用在測試觸頭234上設(shè)置反饋單元并集成于反 饋單元25中，進一步對接觸壓力進行精密調(diào)節(jié)。接觸電阻測試單元23，根據(jù)精密定粒單元21的控制接觸壓力電壓指令及 控制測試電壓指令，進行預(yù)定接觸壓力下的接觸電阻測試，包含樣塊固定臺 231、標(biāo)準樣塊232、測試樣片233、測試觸頭234、推壓簧片235、恒流計236 及電壓計237,其中，樣塊固定臺231，在空間形成三個定位基準面，標(biāo)準樣塊232靠緊三個定 位基準面后，由推壓簧片235壓緊標(biāo)準樣塊232使標(biāo)準樣塊232固定，預(yù)先調(diào) 節(jié)測試觸頭234,使標(biāo)準樣塊232上表面交點為計算機控制平臺單元24定位參 數(shù)指令的零點，測試樣片233固定在標(biāo)準樣塊232上；測試觸頭234,與精密定位單元21..形成可拆卸的固定連接； 恒流計236,用于提供精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)的恒定電流； 電壓計237，用于測試接觸區(qū)域兩端測試觸頭234與測試樣片233之間 的電壓差信號，與計算機控制平臺單元24直接通信，由測試觸頭234或測 試樣片233上的控制測試電壓指令觸發(fā)；本實施例中，電壓計237采用型號為HP34401A的軟件觸發(fā)方式的數(shù)字 萬用表，內(nèi)帶數(shù)據(jù)采集模塊，預(yù)先在數(shù)字萬用表上根據(jù)實際需要設(shè)置采集次 數(shù)，在數(shù)據(jù)采集過程中，數(shù)字萬用表首先判斷被測電壓數(shù)值的大小，而后選 取適當(dāng)?shù)牧砍踢M行數(shù)據(jù)采集及A/D轉(zhuǎn)換后，將數(shù)據(jù)寫入到內(nèi)部存儲器，數(shù) 據(jù)存儲和處理模塊343,以軟件控制方式查詢數(shù)字萬用表內(nèi)存中讀數(shù)的存儲 量，再從萬用表的內(nèi)存中讀取測試數(shù)據(jù)，保存并以EXCEL表格格式將電壓 差信號數(shù)據(jù)顯示在計算機控制平臺單元24的顯示屏上。反饋單元25，用于將精密定位單元21的距離信息形成反饋指令，反饋 到運動控制單元22;本實施例中，反饋單元25采用雷尼紹RENISHAW公 司的開放式非接觸反射光柵器RGH24Z,應(yīng)用莫爾條紋原理進行位移測量， 其光柵尺可根據(jù)使用要求非常方便地裁剪至任意長度，方便用戶不同測量長度的需求和庫存管理。圖3所示系統(tǒng)的接觸電阻測量過程為啟動精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)，通信控制模塊341初始化通信協(xié)議，預(yù) 先將測試樣片233固定在標(biāo)準樣塊232上，測量出標(biāo)準樣塊232上表面交點至 測試樣片233上接觸斑點的平面距離信息，在本實施例中，利用掃描電子顯樣吏 鏡確定出接觸斑點與標(biāo)準樣塊232上表面交點的平面距離信息，即交點在平面 上的坐標(biāo)信息，然后取出將標(biāo)準樣塊232，靠緊樣塊固定臺231三個定位基準 面后固定，通過計算機控制平臺單元24發(fā)送Z軸定位參數(shù)指令，調(diào)節(jié)測試觸 頭234與標(biāo)準樣塊232處于臨界接觸狀態(tài)，即當(dāng)測試觸頭234上接觸壓力或定 位參數(shù)指令位移值稍降低時，測試觸頭234與標(biāo)準樣塊232處于斷開狀態(tài)，獲 取測試觸頭234與標(biāo)準樣塊232在Z軸方向上的臨界值，將此時計算機控制平 臺單元24的Z軸定位參數(shù)指令清零，然后調(diào)節(jié)Z軸定位參數(shù)指令使測試觸頭 234抬起，再通過計算機控制平臺單元24發(fā)送X軸和Y軸定位參數(shù)指令，控 制測試觸頭234運動，調(diào)節(jié)Z軸定位參數(shù)指令為零以及X軸和Y軸定位參數(shù)指 令值，當(dāng)測試觸頭與標(biāo)準樣塊232上表面交點重合時，即計算機控制平臺單元 24發(fā)送的X軸和Y軸定位參數(shù)指令分別沿標(biāo)準樣塊232上平面有微小位移時， 測試觸頭234與標(biāo)準樣塊232都處于斷開狀態(tài)，將重合時的計算機控制平臺單 元24定位參數(shù)指令清零，然后再次調(diào)節(jié)Z軸定位參數(shù)指令使測試觸頭234抬 起，輸入標(biāo)準樣塊232上表面交點至測試樣片233上接觸斑點的平面距離定位 指令，運動控制單元22將平面距離定位指令轉(zhuǎn)化為控制電壓指令，控制精密定 位單元21定位，并根據(jù)反饋單元25的反饋指令調(diào)節(jié)精密定位單元21進行精密 定位，完成精密定位單元21位移的初始化，初始化后的測試觸頭234在每次操 作完成后都會抬起一定距離，用以保護測試觸頭234;設(shè)置用戶操作模塊342的平面定位參數(shù)，即上所述利用掃描電子顯微鏡測 量的平面距離信息參數(shù)，控制測試觸頭234移動到所述測試樣片233上接觸斑 點正上方，再次將用戶操作模塊342的Z軸定位參數(shù)設(shè)置為零或稍大于零的某 值，使測試觸頭234與測試樣片233處于臨界接觸狀態(tài)；調(diào)節(jié)恒流計236的輸出電流為IO毫安，轉(zhuǎn)換用戶操作模塊342的操作模式為力模式，設(shè)置接觸壓力參數(shù)，如50克力，通過運動控制單元22轉(zhuǎn)換后輸出，音圈電機305接收控制 接觸壓力電壓指令，在測試觸頭234上施加接觸壓力，反饋單元25測試測試觸 頭234上施加的接觸壓力，形成接觸壓力反^t責(zé)信號，輸出到運動控制單元22, 經(jīng)轉(zhuǎn)化后驅(qū)動音圏電機305進行接觸壓力的精密調(diào)整；然后設(shè)置用戶操作模塊342測試參數(shù)，包含X軸測試范圍參數(shù)、Y軸測 試范圍參數(shù)、X軸步進距離參數(shù)、Y軸步進距離參數(shù)、采樣頻率參數(shù)及平均點 數(shù)，用戶操作模塊342發(fā)送測試指令，經(jīng)運動控制單元22轉(zhuǎn)化后輸出，接觸電 阻測試單元23接收控制測試電壓指令，開始進行接觸電阻測試，并觸發(fā)電壓計 237,采集電壓參數(shù)并經(jīng)轉(zhuǎn)換后保存在內(nèi)存中，數(shù)據(jù)存儲和處理模塊343讀取測 試數(shù)據(jù)并以EXCEL表格格式將電壓數(shù)據(jù)顯示在計算機控制平臺單元24的顯示 屏上，測試的順序為測試觸頭先測量起始接觸位置點的接觸電阻值，每個位 置點讀取3次值以EXCEL表格格式將電壓數(shù)據(jù)顯示在計算機控制平臺單元24 的顯示屏上，然后測試觸頭234抬起，沿X軸方向步進設(shè)定的X軸步進距離， 系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)測試觸頭234Z軸定位參數(shù)為零，施加設(shè)定的4^觸壓力，進行測 試，測試完畢后再移向下一點，當(dāng)達到X軸測試范圍極限時，測試觸頭234返 回至起始接觸位置點，沿Y軸方向步進設(shè)定的Y軸步進距離，如此循環(huán)進行網(wǎng) 格狀的接觸電阻自動測試，從網(wǎng)格的最右下角的點即起始接觸位置點直到網(wǎng)格 的最左上角的點即X軸測試范圍極限與Y軸測試范圍極限的交點，完成一次完 整的接觸電阻自動測試，測試完成后，測試觸頭234返回至起始接觸位置點；然后，調(diào)節(jié)用戶操作模塊342的接觸壓力參數(shù)，如100克力，改變作用在 測試觸頭234上接觸壓力的大小，繼續(xù)進行接觸電阻的自動測試，實現(xiàn)對接觸 斑點內(nèi)不同接觸微區(qū)域內(nèi)不同接觸壓力下的接觸電阻測試。圖4是本發(fā)明精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)的X、 Y軸運動控制方法流程示 意圖，如圖4所示，該流程包括步驟401,運動控制單元接收平面定位參數(shù)指令，經(jīng)增量式PID控制算法， 轉(zhuǎn)換為控制電壓指令，輸出給驅(qū)動電機；本步驟中，平面定位參數(shù)包括X軸定位參數(shù)及Y軸定位參數(shù)，運動控制單元釆用增量式PID控制算法，即根據(jù)平面定位參數(shù)轉(zhuǎn)化的驅(qū)動電機轉(zhuǎn)速與反饋 的實際轉(zhuǎn)速，'進行比較，其差值經(jīng)過PID控制器調(diào)整后輸出電壓控制信號，電 壓控制信號經(jīng)過功率放大后輸出為控制電壓指令，改變驅(qū)動電機轉(zhuǎn)速。步驟402,驅(qū)動電機根據(jù)輸出的控制電壓指令轉(zhuǎn)動，驅(qū)動精密定位臺； 本步驟中，利用增量式光學(xué)編碼計量光柵檢測驅(qū)動電機的轉(zhuǎn)速，將驅(qū)動 電機轉(zhuǎn)速進行編碼后反饋給驅(qū)動電機內(nèi)的控制部分，對驅(qū)動電機轉(zhuǎn)速進行初 步調(diào)節(jié)。步驟403，反饋單元檢測精密定位臺位移，將距離信息參數(shù)反饋輸出至 運動控制單元。本步驟中，反饋單元根據(jù)測得的精密定位臺實際位移，進一步對精密定 位臺位移進行調(diào)節(jié)。圖5是本發(fā)明精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)的Z軸運動控制方法流程示意 圖，如圖5所示，該流程包括步驟501,運動控制單元接收Z軸定位參數(shù)指令，經(jīng)增量式PID控制算法， 轉(zhuǎn)換為控制電壓指令，輸出給音圈電機；步驟502，音圈電機根據(jù)輸出的控制電壓指令轉(zhuǎn)動，驅(qū)動Z軸精密定位臺.本步驟中，利用增量式光學(xué)編碼計量光柵;險測電^f茲感應(yīng)式線性音圈電機 的轉(zhuǎn)速，將音圈電機轉(zhuǎn)速編碼后反饋給責(zé)圈電機內(nèi)的控制部分，對音圈電機 轉(zhuǎn)速進行初步調(diào)節(jié)。步驟503，反饋單元檢測Z軸精密定位臺位移，將距離信息參數(shù)反饋輸 出至運動控制單元，調(diào)節(jié)完成后轉(zhuǎn)入力工作模式。本步驟中，反饋單元根據(jù)測得的Z軸精密定位臺實際位移，進一步對Z 軸精密定位臺位移進行調(diào)節(jié)后切換到力工作模式，進行后續(xù)的接觸電阻測 試。圖6是本發(fā)明基于圖3的精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)的方法流程示意圖，如圖6所示，該流程包括 步驟601 ，測試系統(tǒng)初始化；本步驟中，首先連接系統(tǒng)的各接線，啟動精密定位測試接觸電阻裝置， 初始化通信協(xié)議，固定測試樣片，確定標(biāo)準樣塊上表面交點至測試樣片上接 觸斑點的平面距離信息，通過用戶操作模塊分別設(shè)置X軸、Y軸及Z軸定 位參數(shù)，經(jīng)運動控制單元轉(zhuǎn)換為控制電壓指令驅(qū)動電機轉(zhuǎn)動，驅(qū)動電機再驅(qū) 動X軸精密移動工作臺、Y軸精密移動工作臺在X軸、Y軸上與標(biāo)準樣塊 靠攏；音圈電機亦根據(jù)經(jīng)運動控制單元的控制電壓指令轉(zhuǎn)動，驅(qū)動Z軸精密 移動工作臺在Z軸上與標(biāo)準樣塊靠攏；開放式非接觸反射光柵器讀出測試觸 頭的實際位移，反饋給運動控制單元，對精密定位單元的位移進行校正當(dāng) 測試觸頭與標(biāo)準樣塊處于臨界接觸狀態(tài)時，即當(dāng)用戶操作模塊設(shè)置的X軸、 Y軸及Z軸定位參數(shù)在允許的范圍內(nèi)變動時，測試觸頭與標(biāo)準樣塊在相應(yīng)方 向分別處于導(dǎo)通及斷開狀態(tài)，將此時用戶操作模塊設(shè)置的X軸、Y軸及Z 軸定位參數(shù)清零，完成測試系統(tǒng)的初始化，并設(shè)置測試觸頭每次操作后抬起 一定距離，用以保護測試觸頭。步驟602,設(shè)置定位參數(shù)及系統(tǒng)工作電流；本步驟中，首先設(shè)置平面定位參數(shù)，控制測試觸頭移動到測試樣片上接 觸斑點正上方，然后調(diào)節(jié)恒流計輸出電流為10毫安，也可以^f艮據(jù)實際需要 設(shè)置恒流計輸出電流大小。步驟603，設(shè)置單接觸壓力下測試參數(shù)；本步驟中，通過用戶操作模塊設(shè)置接觸壓力參數(shù)及測試參數(shù)，包含X 軸測試范圍參數(shù)、Y軸測試范圍參數(shù)、X軸步進距離參數(shù)、Y軸步進距離參 數(shù)、采樣頻率參數(shù)及平均點數(shù)，系統(tǒng)自動進行工作模式的轉(zhuǎn)換，開始進行接 觸電阻測試，以X軸測試范圍與Y軸測試范圍圍成的矩形為測試區(qū)域，以 X軸步進距離與Y軸步進距離為等分點，將矩形區(qū)域劃分為許多小網(wǎng)格，測 試以網(wǎng)格線交點為基準，進行逐行掃描式的自動接觸電阻測試，同時觸發(fā)電 壓計，采集電壓參數(shù)并經(jīng)轉(zhuǎn)換后保存在'內(nèi)存中，數(shù)據(jù)存儲和處理模塊讀取測試數(shù)據(jù)并以EXCEL表格格式將電壓數(shù)據(jù)顯示在計算機控制平臺單元的顯示屏上。步驟604，改變接觸壓力，進行多接觸壓力下的接觸電阻測試； 本步驟中，當(dāng)進行完單壓力下接觸區(qū)域的接觸電阻測試后，測試觸頭自 動返回到初始測試位置，根據(jù)實際需要改變接觸壓力參數(shù)，重復(fù)步驟603, 對同 一接觸區(qū)域進行不同接觸壓力下的接觸電阻自動測試，獲取接觸區(qū)域內(nèi) 各孩i接觸區(qū)的接觸電阻信息。以上舉較佳實施例，對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點進行了進一步詳 細說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以 限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、 改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種精密定位測試接觸電阻的方法，其特征在于，該方法包括A.初始化精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)；B.設(shè)置平面定位參數(shù)及系統(tǒng)工作電流；C.設(shè)置接觸壓力參數(shù)，轉(zhuǎn)換所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)工作模式，進行接觸電阻測試。
2、 如權(quán)利要求l所述的方法，其特征在于，所述步驟A進一步包括Al.預(yù)先確定標(biāo)準樣塊上表面交點至測試樣片上接觸斑點的平面距離信息；A2.啟動所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)；A3.確定所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)坐標(biāo)系原點。
3、 如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述步驟A1為預(yù)先將測試 樣片固定在標(biāo)準樣塊上，利用掃描電子顯微鏡確定所述測試樣片上接觸斑點與 所述標(biāo)準樣塊上表面交點的平面距離信息。
4、 如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述平面距離信息包括平面上 X軸坐標(biāo)信息及Y軸坐標(biāo)信息。
5、 如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述步驟A2進一步包括啟 動所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)后，初始化通信協(xié)議；所述通信協(xié)議為通信 方式、波特率、握手協(xié)議、命令碼約定的一種或多種的組合。
6、 如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述步驟A3為調(diào)節(jié)所述精 密定位測試接觸電阻系統(tǒng)，使測試觸頭與所述標(biāo)準樣塊上表面交點重合，重合 點為所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)坐標(biāo)系原點。
7、 如權(quán)利要求2或6所述的方法，其特征在于，所述步驟A3進一步包括 每次對所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)進行操作后，將所述測試觸頭沿Z軸方 向抬升，操作中所述測試觸頭自動定位到Z軸原點。
8、 如權(quán)利要求l所述的方法，其特征在于，所述步驟B中，設(shè)置平面定位參數(shù)包括設(shè)置所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)X軸及Y軸定位參數(shù)。
9、 如權(quán)利要求l所述的方法，其特征在于，所述步驟B中，設(shè)置平面定位 參數(shù)為根據(jù)X軸坐標(biāo)信息及Y軸坐標(biāo)佶息設(shè)置所述精密定位測試接觸電阻系 統(tǒng)X軸及Y軸定位參數(shù)，使所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)定位到所述測試樣 片上接觸斑點，將所述X軸及Y軸定位參數(shù)清零。
10、 如權(quán)利要求l所述的方法，其特征在于，所述步驟C之前進一步包括 設(shè)置測試參數(shù)，所述測試參數(shù)包括X軸測試范圍參數(shù)、Y軸測試范圍參數(shù)、 X軸步進距離參數(shù)、Y軸步進距離參數(shù)、采樣頻率參數(shù)及平均點數(shù)。
11、 如權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，所述X軸測試范圍參數(shù)為 所述測試樣片上接觸斑點X軸取樣范圍；所述Y軸測試范圍參數(shù)為所述測試樣 片上接觸斑點Y軸取樣范圍；所述X軸步進距離參數(shù)為每次沿X軸測量的相 鄰兩點間距；所述Y軸步進距離參數(shù)為每次沿Y軸測量相鄰兩點間距；所述采 樣頻率參數(shù)為對電壓差信號的采樣頻率；所述平均點數(shù)為對一個測試點進行電 壓差信號采集后按照預(yù)定的算法對電壓差信號取樣平均的次數(shù)。
12、 如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，轉(zhuǎn)換所述精密定位測試接觸 電阻系統(tǒng)工作模式為將所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)工作模式由位移工作 模式轉(zhuǎn)換為力工作模式。
13、 如權(quán)利要求l所述的方法，其特征在于，所述步驟C進一步包括重 新設(shè)置接觸壓力參數(shù)，進行后續(xù)接觸電阻測試；或由力工作模式轉(zhuǎn)換為位移工 作模式，重回步驟B。
14、 一種精密定位測試接觸電阻的系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包含精密 定位單元、運動控制單元、接觸電阻測試單元、計算機控制平臺單元及反饋單 元，其中，精密定位單元，接收所述運動控制單元輸出的控制電壓指令，進行精密定 位及定位調(diào)整；對所述測試觸頭施加接觸壓力；以及，驅(qū)動所述接觸電阻測試 單元進行接觸電阻測試；運動控制單元，將所述計算機控制平臺單元發(fā)出的定位參數(shù)指令、接觸壓力參數(shù)指令、測試參數(shù)指令及反饋單元反饋的距離信息指令轉(zhuǎn)化為控制電壓指令，輸出到所述精密定位單元；接觸電阻測試單元，根據(jù)所述精密定位單元的控制接觸壓力電壓指令及控制測試電壓指令，進行預(yù)定接觸壓力下的接觸電阻測試；計算機控制平臺單元，用于發(fā)送定位參數(shù)指令、接觸壓力參數(shù)指令及測試 參數(shù)指令，管理和控制所述精密定位接觸電阻系統(tǒng)；反饋單元，用于將所述精密定位單元的距離信息反饋到所述運動控制單元。
15、 如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制電壓指令包括控 制定位電壓指令、控制接觸壓力電壓指令、控制測試電壓指令及控制反饋電壓 指令，分別對應(yīng)所述定位參數(shù)指令、所述接觸壓力參數(shù)指令、所述測試參數(shù)指 令及所述反饋單元反饋的距離信息指令的相應(yīng)轉(zhuǎn)化。
16、 如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述接觸電阻測試單元進一 步包括樣塊固定臺、標(biāo)準樣塊、測試樣片、測試觸頭、推壓簧片、恒流計及 電壓計，其中，樣塊固定臺，在空間形成三個定位基準面，所述標(biāo)準樣塊靠緊三個定位基 準面后，由推壓簧片壓緊所述標(biāo)準樣塊使所述標(biāo)準樣塊固定，預(yù)先調(diào)節(jié)所述測 試觸頭，使所述標(biāo)準樣塊上表面交點為所述計算機控制平臺單元定位指令的零 點，所述測試樣片固定在所述標(biāo)準樣塊上；測試觸頭，與所述精密定位單元形成可拆卸的固定連接； 恒流計，用于提供所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)的恒定電流； 電壓計，用于測試接觸區(qū)域兩端所述測試觸頭與所述測試樣片之間的電壓 差信號。
17、 如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述計算機控制平臺單 元進一步包括通信控制模塊、用戶操作模塊及數(shù)據(jù)存儲和處理模塊，其中，通信控制模塊，采用串行通信，進行通信協(xié)議的初始化，用于與所述運 動控制單元進行可靠的數(shù)據(jù)互相流動；用戶操作模塊，用于用戶設(shè)置和調(diào)節(jié)所述定位參數(shù)、所述接觸壓力參數(shù)及所述測試參數(shù)；數(shù)據(jù)存儲和處理模塊，讀取所述電壓計存儲的測試數(shù)據(jù)，保存并輸出至 所述計算機控制平臺單元的顯示屏上。
18、 如權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述測試參數(shù)包含X 軸測試范圍參數(shù)、Y軸測試范圍參數(shù)、X軸步進距離參數(shù)、Y軸步進距離參 數(shù)、采樣頻率參數(shù)及平均點數(shù)。
19、 如權(quán)利要求14或17所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述運動控制單元 為采用增量式PID控制算法的運動控制器6K4。
20、 如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述精密定位單元進一 步包括X軸精密移動工作臺、Y軸精密移動工作臺、Z軸精密移動工作臺、 驅(qū)動電機及音圈電機，其中，X軸精密移動工作臺，用于調(diào)節(jié)和控制所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng) X軸方向精密定位；Y軸精密移動工作臺，用于調(diào)節(jié)和控制所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng) Y軸方向精密定位；Z軸精密移動工作臺，用于調(diào)節(jié)和控制所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng) Z軸方向精密定位；驅(qū)動電機，接收所述運動控制單元的控制定位電壓指令及控制反饋電壓 指令，驅(qū)動所述X軸精密移動工作臺及所述Y軸精密移動工作臺進行精密 定位；所述驅(qū)動電機、所述X軸精密移動工作臺及所述反饋單元組成X軸閉 環(huán)伺服控制回路，對所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)X軸方向位移進行精 密定位；所述驅(qū)動電機、所述Y軸精密移動工作臺及所述反饋單元組成Y軸閉 環(huán)伺服控—制回路，對所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)Y軸方向位移進行精 密定位；音圈電機接收所述運動控制單元輸出的指令，驅(qū)動所述Z軸精密移動工作臺運行。
21、 如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其特征在于，驅(qū)動所述Z軸精密移動 工作臺運行為如果所述音圏電機接收的所述運動控制單元輸出指令為定位 電壓指令及控制反饋電壓指令，調(diào)節(jié)所述測試觸頭與所述測試樣片之間的工 作距離，此時，所述音圈電機、所述Z軸精密移動工作臺及所述反饋單元構(gòu) 成Z軸半閉環(huán)控制回路；如果所述音圈電機接收的所述運動控制單元輸出指令為控制接觸壓力 電壓指令，在所述測試觸頭上施加接觸壓力，此時，所述音圈電機與所述Z 軸精密移動工作臺間為開環(huán)控制。 '
22、 如權(quán)利要求14、 16或21所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述測試觸頭 進一步包括在所述測試觸頭上設(shè)置反饋單元，接收所述測試觸頭上的接觸 壓力信息，反饋給所述運動控制單元，形成反饋控制接觸壓力指令，對所述 測試觸頭上的接觸壓力進行精密調(diào)節(jié)。
23、 如權(quán)利要求16或17所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述電壓計為采 用軟件觸發(fā)方式的數(shù)字萬用表，內(nèi)帶數(shù)據(jù)采集模塊，預(yù)先在所述數(shù)字萬用表 上根據(jù)實際需要設(shè)置采集次數(shù)，在數(shù)據(jù).采集過程中，所述數(shù)字萬用表首先判 斷被測電壓數(shù)值的大小，而后選取適當(dāng)?shù)牧砍踢M行數(shù)據(jù)采集及A/D轉(zhuǎn)換后， 將數(shù)據(jù)寫入到內(nèi)部存儲器，所述數(shù)據(jù)存儲和處理模塊利用軟件控制方式查詢 所述數(shù)字萬用表內(nèi)存中讀數(shù)的存儲量，再從所述數(shù)字萬用表的內(nèi)存中讀取數(shù) 據(jù)。
24、 如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述反饋單元為開放式 非接觸反射光柵器。
25、 如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其特征在于啟動所述精密定位測試接觸電阻系統(tǒng)，所述通信控制模塊初始化通信協(xié)議， 預(yù)先將所述測試樣片固定在所述標(biāo)準樣塊上，利用掃描電子顯微鏡確定所述標(biāo) 準樣塊上表面交點至所述測試樣片上接觸斑點的平面距離信息，然后取出所述 標(biāo)準樣塊，靠緊所述樣塊固定臺三個定位基準面后固定，通過所述計算機控制平臺單元發(fā)送所述Z軸定位參數(shù)指令，調(diào)節(jié)所述測試觸頭與所述標(biāo)準樣塊處于 臨界接觸狀態(tài)，獲取所述測試觸頭與所述標(biāo)準樣塊在Z軸方向上的臨界值，將 此時所述計算機控制平臺單元的Z軸定位指令清零，然后調(diào)節(jié)所述Z軸定位參數(shù)指令使所述測試觸頭抬起，再通過所述計算機控制平臺單元發(fā)送所述X軸和 Y軸定位參數(shù)指令，控制所述測試觸頭運動，調(diào)節(jié)所述Z軸定位參數(shù)指令為零 以及所述X軸和Y軸定位參數(shù)指令值，當(dāng)所述測試觸頭與所述標(biāo)準樣塊上表面 交點重合時，將重合時的所述計算機控制平臺單元定位參數(shù)指令清零，然后再 次調(diào)節(jié)所述Z軸定位參數(shù)指令使所述測試觸頭抬起，輸入所述標(biāo)準樣塊上表面 交點至所述測試樣片上接觸斑點的平面距離定位指令，所述運動控制單元將平 面距離定位指令轉(zhuǎn)化為控制電壓指令，控制精密定位單元定位，并根據(jù)所述反 饋單元的反饋指令調(diào)節(jié)所述精密定位單元進行精密定位，完成所述精密定位單 元位移的初始化，初始化后的所述測試觸頭在每次操作完成后都會抬起一定距 離，用以保護所述測試觸頭；設(shè)置所述用戶操作模塊的平面定位參數(shù)，控制所述測試觸頭移動到所述測 試樣片上接觸斑點正上方，再次將所述用戶操作模塊的Z軸定位參數(shù)設(shè)置為零 或稍大于零的某值，使所述測試觸頭與所述測試樣片處于臨界接觸狀態(tài)；調(diào)節(jié) 所述恒流計的輸出電流為IO毫安，轉(zhuǎn)換用戶操作模塊的操作模式為力模式，設(shè) 置所述接觸壓力參數(shù)，通過所述運動控制單元轉(zhuǎn)換后輸出，所述音圈電機接收 控制接觸壓力電壓指令，在所述測試觸頭上施加接觸壓力，所述反饋單元測試 所述測試觸頭上施加的接觸壓力，形成接觸壓力反饋信號，輸出到所述運動控 制單元，經(jīng)轉(zhuǎn)化后驅(qū)動所述音圏電機進行接觸壓力的精密調(diào)整；然后設(shè)置所述用戶操作模塊測試參數(shù)，包含X軸測試范圍參數(shù)、Y軸測 試范圍參數(shù)、X軸步進距離參數(shù)、Y軸步進距離參數(shù)、采樣頻率參數(shù)及平均點 數(shù)，所述用戶操作模塊發(fā)送測試指令，經(jīng)所述運動控制單元轉(zhuǎn)化后輸出，所述 接觸電阻測試單元接收控制測試電壓指令，開始進行接觸電阻測試，并觸發(fā)所 述電壓計，采集電壓參數(shù)并經(jīng)轉(zhuǎn)換后保存在內(nèi)存中，所述數(shù)據(jù)存儲和處理模塊， 以軟件控制方式讀取所述電壓計存儲的測試數(shù)據(jù)，并以EXCEL表格格式將電壓差信號數(shù)據(jù)顯示在所述計算機控制平臺單元的顯示屏上，測試的順序為所 述測試觸頭先測量起始接觸位置點的接觸電阻值，每個位置點讀取3次值以 EXCEL表格格式將電壓數(shù)據(jù)顯示在所述計算機控制平臺單元的顯示屏上，然后 所述測試觸頭抬起，沿X軸方向步進設(shè)定的X軸步進距離，所述精密定位測試 接觸電阻系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)所述測試觸頭Z軸定位參數(shù)為零，施加設(shè)定的接觸壓力， 進行測試，測試完畢后再移向下一點，當(dāng)達到所述X軸測試范圍極限時，所述 測試觸頭返回至起始接觸位置點，沿Y軸方向步進設(shè)定的Y軸步進距離，如此 循環(huán)進行網(wǎng)格狀的接觸電阻自動測試，從網(wǎng)格的最右下角的點即所述起始接觸 位置點直到網(wǎng)格的最左上角的點即所述X軸測試范圍極限與Y軸測試范圍極限 的交點，完成一次完整的接觸電阻自動測試，測試完成后，所述測試觸頭返回 至所述起始接觸位置點；然后，調(diào)節(jié)所述用戶操作模塊的接觸壓力參數(shù)，改變作用在所述測試觸頭 上接觸壓力的大小，繼續(xù)進行接觸電阻的自動測試。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種精密定位測試接觸電阻的方法及裝置，包含精密定位單元、運動控制單元、接觸電阻測試單元、計算機控制平臺單元及反饋單元，預(yù)先確定標(biāo)準樣塊上表面交點至測試樣片上接觸斑點的平面距離參數(shù)，計算機控制平臺單元發(fā)送定位指令，運動控制單元接收定位指令及反饋指令并轉(zhuǎn)化為控制電壓指令輸出，控制精密定位單元，反饋單元將精密定位單元的距離信息反饋到運動控制單元，然后，計算機控制平臺單元發(fā)送接觸壓力指令和測試指令，接觸電阻測試單元開始進行接觸電阻測試，從而實現(xiàn)接觸區(qū)域內(nèi)接觸斑點精密定位、重定位，可進行多點、多接觸壓力下接觸電阻的自動連續(xù)測試。
文檔編號G01R27/02GK101236221SQ20081000740
公開日2008年8月6日 申請日期2008年3月7日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月7日
發(fā)明者彭廷鐘, 娜 蘆, 許良軍, 勇 馬 申請人:北京郵電大學(xué)