專利名稱：液體輸送設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于輸送液體的液體輸送設(shè)備，尤其是關(guān)于分析用或反應(yīng)用液 體輸送設(shè)備。
背景技術(shù)：
作為定量分析溶液內(nèi)成分的裝置廣泛使用以下這樣的吸光分光分析裝置， 將來自光源的光向溶液照射，用衍射光柵對通過的透過光進行分光，按照波長 成分進行吸光度測定。在這樣的分析裝置中，近年，為了削減試劑成本、減少 對環(huán)境的壓力，而要求反應(yīng)液的微量化。但是，在使反應(yīng)液微量化時，以往的 反應(yīng)容器使用底面和側(cè)面共計5面被塑料或玻璃等的壁包圍的容器，在分注、 混合時產(chǎn)生氣泡，正確的測定變得困難。由此，要求能夠不產(chǎn)生氣泡而可靠地 操作微量液體的技術(shù)。
操作微量液體的技術(shù)之一是使用靜電力輸送液體的技術(shù)。該技術(shù)是利用在 將直流或交流的電壓施加到多個電極間而產(chǎn)生的電場中，電場中的物質(zhì)分極， 通過靜電力向電場集中的方向移動的現(xiàn)象(Dielectrophoresis)。具體地，在一 張基板上或兩張基板間夾入液體，向設(shè)置在基板上的多個電極間施加電壓，由 此發(fā)生電場并使液體移動。例如，在專利文獻l中，在基板上并列多個電極， 在該電極上承載要輸送的液體，向液體附近的多個電極依次施加電壓，而輸送 液體。另外，在專利文獻2中，作為液體輸送試料和試劑，使試料和試劑在基 板間混合來作為反應(yīng)液，并報告計測系統(tǒng)。在本說明書中，將利用這些 Dielectrophoresis的設(shè)備總稱為液體輸送設(shè)備。由于液體輸送設(shè)備只在底面或 底面和上表面的兩面存在壁，所以與以往那樣的5面被壁包圍的反應(yīng)容器相比，操作液體時氣泡難擤，對反應(yīng)溶液的微量化有利。
專利文獻1:日本特開平10 - 267801號公報 專利文獻2:美國專利公報第4390403號
上述液體輸送設(shè)備表面必須配置大量用于輸送液體而施加電壓的電極。以 往，存在這些大量電極的控制復(fù)雜的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是，除了在液體輸送設(shè)備的表面設(shè)置凹凸部并電氣地輸送以 外，通過利用液體因表面張力而自發(fā)地向球體恢復(fù)的力進行輸送，由此減少電 極的數(shù)量，使控制變得容易。
本發(fā)明的其他目的可以通過特征及優(yōu)點從與附圖相關(guān)的以下本發(fā)明的實 施例的記載中明確。


圖1是本發(fā)明中的液體輸送設(shè)備的結(jié)構(gòu)圖。
圖2是本發(fā)明中的液體輸送設(shè)備的透視圖。
圖3A是本發(fā)明中的液體輸送設(shè)備內(nèi)的液體的剖^L圖。
圖3B是本發(fā)明中的液體輸送設(shè)備內(nèi)的液體的剖視圖。
圖4是以往的液體輸送設(shè)備內(nèi)的結(jié)構(gòu)圖。
圖5是本發(fā)明的實施方式1中的分析系統(tǒng)的略圖。
圖6是本發(fā)明的實施方式1中的液體輸送設(shè)備內(nèi)各部的配置圖。
圖7A是本發(fā)明的實施方式1中的液體輸送路的剖視圖。
圖7B是本發(fā)明的實施方式1中的液體輸送路的剖視圖。
圖7C是本發(fā)明的實施方式1中的液體輸送路的剖視圖。
圖7D是本發(fā)明的實施方式1中的液體輸送路的剖視圖。
圖7E是本發(fā)明的實施方式1中的液體輸送路的剖視圖。
圖8是本發(fā)明的控制系統(tǒng)的略圖。
圖9是本發(fā)明的實施方式1中的試料導(dǎo)入口的剖視圖。
圖IO是本發(fā)明的實施方式1中的試劑導(dǎo)入口的剖視圖。
5圖IIA是本發(fā)明的實施方式1中的混合部的略圖。 圖IIB是本發(fā)明的實施方式1中的混合部的略圖。 圖12是本發(fā)明的實施方式1中的4企測部的略圖。 圖13是本發(fā)明的實施方式1中的排出口的剖視圖。
具體實施例方式
圖1是表示設(shè)有凹凸部的液體輸送設(shè)備的結(jié)構(gòu)圖。液體輸送設(shè)備10由下 側(cè)基板27、上側(cè)基板28構(gòu)成。在下側(cè)基板27上設(shè)置多個電極30 (30a、 30b、 30c),在上側(cè)基板28上設(shè)置1個共通電極32。用疏水性的絕緣膜31、 31，覆 蓋其表面，上側(cè)基板28的至少一部分上的絕緣膜31，的表面上設(shè)置成凹凸形 狀?；彘g填滿油2，并夾入試料l。所謂凹部是相對于基板表面凹陷的部分， 其他基板表面為凸部。另外，所謂凹部是基板表面本身，所謂凸部是相對于基 板表面具有突出部的部分。將電壓施加到電極30和共通電極32之間時，液體 以位于該兩個電極的正中的方式移動，位于電極30正上方即凸部。切斷電壓 時，液體恢復(fù)成球狀，并向凹部移動。由此，通過設(shè)置凹凸部，能夠使液體移 動。圖2是使移動更容易的例子，是表示從上部觀察液體輸送設(shè)備時的凹部凸 部的配置的透視圖。簡單起見，用虛線表示凹部34 (34a 34d)，用實線表示 下側(cè)基板上設(shè)置的電極30 (30a 30c)。凹部34是相對于垂直于輸送方向的 面實質(zhì)上非對稱的，成為寬度朝向行進方向側(cè)的一方向逐漸變小的形狀。這是 因為位于電極上的液體的曲率半徑有差異。用圖3A、圖3B表示液體位于電 才及30正上方的剖;f見圖。圖3A表示與圖1中A-A，的紙面垂直的面中的液體 的剖視圖，圖3B表示與圖1中B-B，的紙面垂直的面中的液體的剖視圖。液 體的A-A，側(cè)的界面的曲率半徑在圖3A中用Ral、 Ra2表示，液體的B-B， 側(cè)的界面的曲率半徑在圖3B中用Rbl、 Rb2表示時，B-B'側(cè)的凹部的寬度 變小，具有Rbl〈Ral、 Rb2〈Ra2的關(guān)系。
這里，將液體上的一個點中的液體內(nèi)部的壓力作為AP時，液體的界面張 力為y、該點上的相互垂直的兩個平面內(nèi)的液體的曲率半徑為Rl、 R2，則AP 如下式表示。
△ P"(1/R1+1/R2)
6因此，行進方向側(cè)的液體的壓力APa和APb由下式表示。
△ Pa" (1 /Ral + 1/Ra2)
△ Pb" ( 1 /Rbl + 1 /Rb2)
由于具有Rbl〈Ral、 Rb2〈Ra2的關(guān)系，所以成為APb〉A(chǔ)Pa，從而液 體在紙面上^v左向右側(cè)移動。即，與垂直于液體的l命送方向的面中的截面積之 差相應(yīng)地決定輸送力和方向。凹部是至少在其一部分上，與垂直于液體輸送方 向的面中的截面積具有差。該截面積的差是相對于垂直于凹部的中心的輸送方 向的面，由凹部的形狀為非對稱即形狀產(chǎn)生的。
圖4表示以往的液體輸送設(shè)備的結(jié)構(gòu)圖。以往的液體輸送設(shè)備沒有在與圖 1的本發(fā)明的凹部的位置對應(yīng)的位置設(shè)置電極，而不能使液體順暢地輸送，所 以與圖1的本發(fā)明的方式相比，電極的數(shù)量是本發(fā)明的幾倍。在本發(fā)明中，由 于凹部設(shè)置在所控制的電極間，所以所控制的電極的數(shù)量與以往的液體輸送設(shè) 備相比能夠減半。另外，在本說明書中，設(shè)置多個凹部，但多個凹部中，即使 一部分相連，若凹部相對于垂直于輸送方向的面實質(zhì)上也為非對稱，實質(zhì)上通 過凹凸使液體變形，從而能夠利用恢復(fù)成球狀的力使液體移動，并能夠得到相 同的效果。
以上，通過利用自發(fā)地恢復(fù)成球狀的力使液體移動，能夠使液體輸送設(shè)備 中的應(yīng)控制的電極的數(shù)量減半，并使控制變得容易。 實施例1
在本實施例中，表示了使用以下的液體輸送設(shè)備的分析系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)，將試 料和試劑導(dǎo)入液體輸送設(shè)備內(nèi)，并分別輸送后，進行混合作為反應(yīng)液，將反應(yīng) 液輸送到檢測部之后，通過吸光度測定檢測試料成分之后，從液體輸送設(shè)備排 出。
圖5表示分析系統(tǒng)整體的結(jié)構(gòu)。分析系統(tǒng)由以下部件構(gòu)成液體輸送設(shè)備 10;用于將試料1及油2導(dǎo)入液體輸送設(shè)備10的試料導(dǎo)入單元11;用于將試 劑導(dǎo)入液體輸送設(shè)備10的試劑導(dǎo)入單元12;用于測定試料1的內(nèi)部成分的檢 測單元13;用于將試料1及油2從液體輸送設(shè)備IO排出的排出單元14。在試 料導(dǎo)入單元11中，試料1被收容在試料臺16上的試料容器15中，另外，油 2被收容在油容器17中，能夠分別通過可向上下、旋轉(zhuǎn)方向被驅(qū)動的試料探針4、油探針5將試料1和油2 /人試料導(dǎo)入口 6導(dǎo)入液體輸送"i殳備10內(nèi)。在 試劑導(dǎo)入單元12中，試劑3凈皮收容在試劑容器18中，能夠通過試劑探針8 將試劑3從試劑導(dǎo)入口 7導(dǎo)入液體輸送設(shè)備10內(nèi)。檢測單元13是被設(shè)置成與 試料被導(dǎo)入或排出液體輸送設(shè)備10期間所通過的液體輸送路的至少一部分上 設(shè)置的檢測部鄰接，并檢測被輸送的液體的內(nèi)部成分。在排出單元14中，配 置有轉(zhuǎn)移部19和廢液箱20,通過轉(zhuǎn)移部19將被輸送到排出口 9的液體從液 體輸送設(shè)備10內(nèi)向廢液箱20排出。
圖6表示進行液體輸送設(shè)備10內(nèi)中的導(dǎo)入、輸送、混合、測定、排出的 操作時的各部的配置圖。液體輸送設(shè)備IO由以下部件構(gòu)成試料導(dǎo)入部21; 試劑導(dǎo)入部22;用于混合試料和試劑的混合部23;用于測定試料成分的檢測 部24;排出部25;及連結(jié)各部的液體輸送路26。試并+導(dǎo)入部21、試劑導(dǎo)入部 22、混合部23、檢測部24、排出部25、液體輸送路26中的至少一個上設(shè)置 用于輸送液體的電極和凹凸部，通過對電極施加電壓的控制和液體從凹凸要恢 復(fù)成球狀的表面張力，來輸送液體。
圖7A表示液體輸送路26的輸送方向中的截面結(jié)構(gòu)圖。液體輸送設(shè)備10 由以下部件構(gòu)成下側(cè)基板27;具有與下側(cè)基板27相對的面的上側(cè)基板28。 在下側(cè)基板27上，在絕緣性的基礎(chǔ)基板29的上表面沿著試料1的輸送方向配 置多個電極30,而且其表面被絕緣膜31覆蓋。在上側(cè)基板28上，在絕緣性 的基礎(chǔ)基板29，的下表面配置1個共通電極32，而且其表面被絕緣膜31，覆蓋。 而且各絕緣膜31、 3r的表面中的至少一個上，涂布使試料1輸送變得容易且 賦予疏水性的疏7JC膜33、 33，。在這些上下基板間，配置所輸送的試料l,其 周圍填滿油2。在本實施例中，在上側(cè)基板28的表面的絕緣膜31，上設(shè)置凹凸， 由此在上側(cè)基板28表面上設(shè)置多個凹部(圖中34a-34d)和凸部。通過凹部 34并利用試料恢復(fù)成球狀的力來進行輸送時，由于必須使液體位于凸部，所 以凸部必須與電極30相對，并位于其上方。因此，凸部的一部分位于下側(cè)基 板27上的電極30的正上方，凹部34的中心位于電極30和相鄰的其他電極 30之間的區(qū)域的鉛直上方。在實施例中，絕緣性的基礎(chǔ)基^反29、 29，使用石英， 電極30及共通電極32使用ITO (Indium - Tin Oxide )，絕緣膜31 、 31 ，使用由 CVD (Chemical Vapor Deposition)成膜的SiO,作為疏水膜33、 33，使用旭化
8成社制CYTOP (注冊商標)。ITO的厚度為100nm,由CVD ( Chemical Vapor Deposition)成膜的絕緣膜31、 31的厚度為1.5,另外，下側(cè)基板27和上 側(cè)基板28之間的距離為0.51nm，上側(cè)基板的凸部和凹部的高度之差為ljxm。 另外，作為試料l使用血清，液量為lnL。周圍的媒體即油2使用硅油。在本 實施例中，使用以上的材質(zhì)，但試料l也可以是純水、緩沖液。另外，也可以 含有DNA、乳膠粒子、細胞、磁性有孔玻璃珠等。另外，油2也可以是相對 于所輸送的液體不溶性的液體。絕緣性的基礎(chǔ)基板29、 29，是在Si等導(dǎo)電性基 板上成膜了氧化膜等絕緣膜的基板，也可以是樹脂性的基板。絕緣膜31、 31， 是聚硅氮烷，也可以是SiN、 Palylene等。在絕緣膜31、 31，上成膜了疏7jC膜 33、 33，，但也可以代替疏水膜33、 33，成膜疏水性絕緣膜，或者代替絕緣膜 31、 31，成膜絕緣性疏水膜。
以下，圖7A ~圖7E表示輸送液體的順序。在圖7A的凹部34b上試剩-從 1靜止的狀態(tài)開始，如圖7B所示，上側(cè)基板28的共通電極32接地并在共通 電極32和電極30b之間施加電壓時(施加電壓的電極被涂黑地圖示)，如圖
式移動。在本申請中，沒有施加電壓的電極30為不連接于任何地方的活動連 接的狀態(tài)，切斷所施加電壓時，停止電壓施加， 一旦控制電極30接地后，使 電極30成為活動連接的狀態(tài)。其次，如圖7D所示，切斷電極30c的施加電 壓時，試料1通過表面張力從凸部向液體的曲率半徑大的右側(cè)的凹部34c —側(cè) 移動。最終如圖7E所示位于凹部的中心。以上，通過反復(fù)從圖7A到圖7E的 順序進行操作，能夠一邊使液體即試料1變形一邊進行輸送。
在本實施例中，通過在上側(cè)基板28表面的絕緣膜31，上設(shè)置凹凸，在表面 上形成了凹部和凸部，但也可以通過在基礎(chǔ)基板29，和共通電極32,或者在疏 水膜33，上設(shè)置凹凸，而在表面上形成凹部和凸部。上述凹凸形狀可以通過濕 式蝕刻、干式蝕刻、CVD、機械加工等各種加工，并通過成型法設(shè)置3。
圖8表示在液體輸送設(shè)備10內(nèi)用于操作試料1的電壓控制機構(gòu)101的結(jié) 構(gòu)。本控制機構(gòu)被設(shè)置在圖1所示的分析系統(tǒng)中，并具有控制用計算機102; 將由控制用計算機102控制的施加電壓施加到液體輸送設(shè)備10的規(guī)定電極的 聯(lián)絡(luò)部103。在控制用計算機上連接有CRT、打印機、電源。在控制用計算機
9中，關(guān)于分析對象、液體輸送方法，具有用于輸入適宜條件的輸入部；存儲 與各種液體輸送方法對應(yīng)的電壓控制模式的電壓控制模式收納部；基于從輸入 部輸入的信息確定與分析對象對應(yīng)的電壓控制模式的組合的電壓控制模式調(diào) 整部；由電壓控制模式調(diào)整部確定的電壓控制模式的組合對應(yīng)地將電壓施加到 液體輸送設(shè)備10的電壓施加控制部。聯(lián)絡(luò)部103與所控制的電4及30連接，控 制試料1時，根據(jù)從輸入部輸入的信息，通過聯(lián)絡(luò)部103將接受電壓施加控制 部的控制的電壓施加到規(guī)定電極。
圖9表示試料導(dǎo)入部21的截面結(jié)構(gòu)圖。在上側(cè)基板28配置試料導(dǎo)入口 6， 用于導(dǎo)入^皮收容在油容器18的油2的油探針5和用于導(dǎo)入被收容在試料臺16 上的試料容器15的試料1的試料探針4分別以可在試料導(dǎo)入口 6中上下移動 的方式設(shè)置。首先，從油探針5供給油，并用油2填滿液體輸送設(shè)備10內(nèi)整 體。其次，使試料探針4吸入試料臺16上的試料容器15內(nèi)的試料1后，試料 探針4浸入液體輸送設(shè)備10內(nèi)的油2中，并噴出試料l,使試料探針4向上 方向移動，并使試料1脫離到油2中。通過使試料探針4通過油和空氣界面， 由此能夠在試料探針4前端不殘留試料1地可靠地將試料導(dǎo)入油2中。導(dǎo)入后， 對電極3 0施加電壓，來輸送試料1 。
圖10表示試劑導(dǎo)入部22的截面結(jié)構(gòu)圖。在上側(cè)基板28配置試劑導(dǎo)入口 7,用于導(dǎo)入被收容在試劑導(dǎo)入單元12中的試劑容器18的試劑3的試劑探針 8以可在試劑導(dǎo)入口 7中上下移動的方式設(shè)置。將試劑纟笨針8浸入被油填滿的 液體輸送設(shè)備10內(nèi)，并噴出試劑3，而向上方移動，并使試劑3脫離到油2。 通過使試劑探針8通過油2和空氣的界面，由此能夠在試劑探針8前端不殘留 試劑3地可靠地將試劑3導(dǎo)入油2中。導(dǎo)入后，通過對電極30施加電壓，來 輸送試劑3。在本實施例中，使用第一化學(xué)藥品林式會社才一 卜七，(注冊商 標)TP試劑。
使用圖IIA、圖11B即從上部觀察混合部23的結(jié)構(gòu)的透視圖來進行說明。 用實線表示下側(cè)基板27的電極30，用虛線表示上側(cè)基板的凹部34，用實線圓 形表示試料l、試劑3、試料1和試劑3混合后的反應(yīng)液1，。由于連結(jié)試料導(dǎo) 入部21和混合部23的液體輸送路26、連結(jié)試劑導(dǎo)入部22和混合部23的液 體輸送路26在混合部合流，所以形成有各自的液體輸送路26的電極30和凹
10部34相交。如圖IIA所示，試料1和試劑3分別靜止在凹部34e、 34f時，對 電沖及30e施加電壓時，如圖11B所示，試料1和試劑3向電才及30e上方移動并 混合，成為反應(yīng)液l'。之后，在切斷施加到電極30e的電壓時，反應(yīng)液l，向凹 部34g移動并被輸送。為使反應(yīng)液l，具有良好的反應(yīng)再現(xiàn)性，必須積極地混合 內(nèi)部成分，但本發(fā)明的結(jié)構(gòu)即在表面設(shè)置有凹凸形狀的液體輸送設(shè)備中，由于 通過凹部和凸部使液體的表面形狀變化，所以能夠積極地混合內(nèi)部，提高反應(yīng)
的再現(xiàn)性。
圖12 —并表示檢測部24的截面結(jié)構(gòu)圖和檢測單元13。在檢測單元13中 用照射光纖38傳導(dǎo)來自卣素?zé)?6的光37，通過照射透鏡39照射到檢測部24， 用聚光透鏡40將透過光聚光到聚光光纖41，并用分光檢測器42將光分光并 檢測成必要的波長。才企測時，使反應(yīng)液l，位于凹部。凹部的中心位于電才及30 和電極30之間的區(qū)域的鉛直上方，從光源出射的光通過凹部34，并被檢測部 檢測。在檢測部的液體位于電極上方的以往的液體輸送設(shè)備中，通過油的流動 影響液體，而使其來回移動，則在檢測過程中，必須一直施加電壓并預(yù)先放置。 根據(jù)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，液體靜止在凹部中，由于不被油的流動影響，所以具有枱r 測部中的光和液體的校準容易進行的優(yōu)點。在本實施例中，測定546nm和 700nm兩波長的光，從其吸光度的差來定量血清中的總蛋白濃度。
在本申請中，在液體輸送設(shè)備內(nèi)將血清與試劑混合，來測定吸光度，由此 測定了血液內(nèi)部的成分，^旦也可以使試料不與試劑反應(yīng)來計測濃度，也可以設(shè) 置多個試劑混合部而與多個試劑反應(yīng)。另外，通過遮擋透過光，也能夠進行來 自反應(yīng)液的發(fā)光計測。
圖13表示排出部25的截面結(jié)構(gòu)圖。在排出部25中，在上側(cè)基板28設(shè)置 排出口 9,被輸送到排出部25的反應(yīng)液l，從排出口 9被吸引到排出單元14的 轉(zhuǎn)移部19,并被排出到廢液箱20。此時，油2也一起被排出，但在廢液箱20 內(nèi)集中的油2和反應(yīng)液1，之間比重不同而分離，從而即使多數(shù)試料及包圍其的 油被排出，之后的廢液處理也是容易的。
上述記載只是關(guān)于實施例的記載，本發(fā)明不限于此，在本發(fā)明的精神和權(quán) 利要求的范圍內(nèi)進行各種變更和修正對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是顯而易見的。
工業(yè)實用性像本發(fā)明這樣，通過在液體輸送設(shè)備表面設(shè)置凸凹，能夠減少用于輸送液 體的電極，能夠?qū)⒁后w保持穩(wěn)定。由此，能夠可靠地輸送液體，另外，能夠容 易地進行檢測部中的液體的才交準。
權(quán)利要求
1. 一種液體輸送裝置，其特征在于，具有第1基板；排列在上述第1基板的一個面上的多個電極；與上述第1基板的一個面相對配置的第2基板；在上述第2基板的與上述第1基板的一個面相對的面上配置的一個共通電極；在上述共通電極的表面的至少一部分上設(shè)置且在表面上具備多個凹部和多個凸部的絕緣膜；對上述共通電極和多個電極施加電壓的電壓施加機構(gòu)。
2. —種液體輸送裝置，其特征在于，具有 第1基板；排列在上述第l基板的一個面上的多個電極； 與上述第1基板的一個面相對配置的第2基板；在上述第2基板的與上述第l基板的一個面相對的面上配置的、表面上具 有多個凹部和多個凸部的一個共通電才及；對上述共通電極和多個電極施加電壓的電壓施加機構(gòu)。
3. —種液體輸送裝置，其特征在于，具有 第1基板；排列在上述第l基板的一個面上的多個電極； 與上述第1基板的一個面相對配置的第2基板；在上述第2基板的與上述第1基板的一個面相對的面上配置的一個共通電極；在上述共通電極的表面上至少一部分上設(shè)置的絕緣膜； 在上述絕緣膜的表面上至少一部分上^:置的、表面具有多個凹部和多個凸 部的疏水膜；對上述共通電極和多個電極施加電壓的電壓施加機構(gòu)。
4. 如權(quán)利要求1 3任一項所述的液體輸送裝置，其特征在于，上述凸部的一部分位于與上述電4l相對的位置。
5. 如權(quán)利要求1~3任一項所述的液體輸送裝置，其特征在于，上述凹部 中，在凹部的中心，相對于垂直于液體輸送方向的面實質(zhì)上為非對稱。
6. 如權(quán)利要求1 3任一項所述的液體輸送裝置，其特征在于，上述凹部 朝向一方向?qū)挾戎饾u變小。
7. 如權(quán)利要求1-3任一項所述的液體輸送裝置，其特征在于，上述凹部 中，在至少一部分上，液體輸送方向的截面積具有差異。
8. 如權(quán)利要求1 3任一項所述的液體輸送裝置，其特征在于，上述凹部 配置成與上述多個電極中的鄰接的一個電極和其他電極之間的區(qū)域相對應(yīng)。
9. 如權(quán)利要求1 3任一項所述的液體輸送裝置，其特征在于，還具有光 源和檢測部，上述凹部配置成與上述多個電極中的鄰接的一個電極和其他電極 之間的區(qū)域相對應(yīng)，從上述光源出射的光通過上述凹部，并被上述檢測部檢測。
10. 如權(quán)利要求1所述的液體輸送裝置，其特征在于，還具有位于上述絕 緣膜的至少 一 部分的上方的疏水膜。
11. 如權(quán)利要求2所述的液體輸送裝置，其特征在于，還具有分別覆蓋 上述電極和上述共通電極的多個絕緣膜；位于上述多個絕緣膜中的至少一部分 的上方的疏水膜。
12. 如權(quán)利要求1~3任一項所述的液體輸送裝置，其特征在于，通過上 述凹部和上述凸部使;故輸送液體變形，并使上述被輸送液體混合。
全文摘要
在電氣地控制液體位置的液體輸送設(shè)備中，為解決控制電壓的電極的數(shù)量多的問題，提供一種液體輸送設(shè)備，在液體輸送設(shè)備的表面設(shè)置凹凸，除了電力以外，通過利用液體因表面張力恢復(fù)成球狀的力，能夠使控制電壓的電極的數(shù)量減半。
文檔編號G01N35/08GK101490562SQ20078002596
公開日2009年7月22日 申請日期2007年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月10日
發(fā)明者原田邦男, 塚田修大, 山川寬展, 榎英雄, 足立作一部 申請人:株式會社日立高新技術(shù)