專利名稱：修復(fù)設(shè)備和修復(fù)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于對(duì)設(shè)置于液晶顯示器(LCDLiquid CrystalDisplay)、等離子體顯示器(PDPPlasma Display Panel)、及其他FPD(Flat Panel Displays)的基板等的電連線中的缺陷進(jìn)行檢測(cè)和修復(fù)的修復(fù)設(shè)備。
背景技術(shù)：
近年來(lái)FPD基板的尺寸已經(jīng)增大，相比于廢棄掉在制造過(guò)程中出現(xiàn)的缺陷基板，修復(fù)這些缺陷基板變得比較便宜。使用電連線修復(fù)設(shè)備(修復(fù)設(shè)備)修復(fù)基板中的缺陷。
以下是在使用修復(fù)設(shè)備的過(guò)程之前和之后的制造過(guò)程的說(shuō)明。在該過(guò)程的第一部分中，通過(guò)專門用于在所述基板的整個(gè)區(qū)域上對(duì)所述FPD的電連線中的開(kāi)路缺陷和短路缺陷進(jìn)行測(cè)試的電缺陷檢測(cè)設(shè)備(OS(開(kāi)路短路)測(cè)試器)或者自動(dòng)圖像檢測(cè)設(shè)備(AOI設(shè)備自動(dòng)光學(xué)檢驗(yàn)設(shè)備)，檢測(cè)缺陷并確定其位置，并將檢測(cè)和位置確定的結(jié)果作為數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)中。所述修復(fù)設(shè)備根據(jù)該數(shù)據(jù)修復(fù)所述缺陷。然后所述OS測(cè)試器或者AOI設(shè)備對(duì)已經(jīng)正確修復(fù)的所述缺陷再次檢驗(yàn)。因此，所述過(guò)程返回，并且產(chǎn)品生產(chǎn)率下降。
為提高生產(chǎn)率，近年來(lái)已經(jīng)開(kāi)發(fā)出一種安置在OS測(cè)試器上的修復(fù)設(shè)備。然而，在制造過(guò)程中用于放置所述修復(fù)設(shè)備的可用空間有限，所以需要將所述設(shè)備制造得盡可能小。所述設(shè)備還必須提高生產(chǎn)率并降低成本。
日本未決專利申請(qǐng)No.02-02947中公開(kāi)的所述修復(fù)設(shè)備是利用配備有OS測(cè)試器的現(xiàn)有修復(fù)設(shè)備的示例。配備有OS測(cè)試器的現(xiàn)有修復(fù)設(shè)備具有平臺(tái)(stage)，用于支承被安置的被測(cè)單元，其中所述平臺(tái)可以移動(dòng)至探測(cè)位置和修復(fù)位置，并可以被控制以在三個(gè)正交軸上移動(dòng)并在二維平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)；測(cè)試裝置，用于通過(guò)向所述探測(cè)位置上的所述被測(cè)單元的電極加電來(lái)測(cè)試所述被測(cè)單元的電特性；以及存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)通過(guò)所述測(cè)試裝置測(cè)量的缺陷的地址和細(xì)節(jié)。根據(jù)固定于所述修復(fù)設(shè)備的并存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)器中的地址驅(qū)動(dòng)所述平臺(tái)，進(jìn)而將激光光點(diǎn)指向至少包括短路位置的缺陷位置，并且用激光輻照所述缺陷位置以修復(fù)所述缺陷。
圖1是顯示了配備有OS測(cè)試功能的另一現(xiàn)有修復(fù)設(shè)備的平面圖。為了方便于說(shuō)明，如圖1所示設(shè)定X軸方向和Y軸方向。
如圖1A所示，在平面板(surface palte)101上設(shè)置導(dǎo)向件102，在所述導(dǎo)向件102上配置能夠沿著所述導(dǎo)向件102的Y軸方向移動(dòng)的主臺(tái)架(main gantry)103和副臺(tái)架(sub-gantry)109。在所述主臺(tái)架103上安裝有激光振蕩器、透鏡等等，將用于執(zhí)行修復(fù)的光學(xué)系統(tǒng)104安裝于所述主臺(tái)架103，并且所述光學(xué)系統(tǒng)104能夠在X軸方向移動(dòng)。所述副臺(tái)架109安裝有傳感頭107和饋電探測(cè)頭108，且所述傳感頭107和饋電探測(cè)頭108能夠在所述X軸方向上一起移動(dòng)，并且所述頭部彼此面對(duì)配置。在所述平面板101上設(shè)置支座105，在所述支座105上設(shè)置LCD基板106，在LCD基板106上安裝有多個(gè)(在所述示例中示出為六個(gè))LCD顯示面板160。
存在兩種主要類型的OS測(cè)試器功能。所述第一功能是探測(cè)開(kāi)路缺陷，所述第二功能是探測(cè)相鄰圖形內(nèi)的短路缺陷。在開(kāi)路缺陷探測(cè)中，首先將位于所述饋電探頭108的單個(gè)探針與所述LCD基板的電極(焊盤(pad))進(jìn)行接觸，并且經(jīng)由所述探針將高頻電流輸送至所述LCD基板的圖形。構(gòu)造所述傳感頭107使得通過(guò)所述圖形的電磁效應(yīng)檢測(cè)處于非接觸狀態(tài)下的電流值。當(dāng)所述LCD基板的圖形處于開(kāi)路狀態(tài)時(shí)，流過(guò)所述圖形的電流間斷，并且所述電流不能通過(guò)所述傳感頭107探測(cè)到。并且構(gòu)造所述傳感頭107使得在所述X軸方向移動(dòng)，從而能夠確定所述圖形中的開(kāi)路缺陷的位置。
通過(guò)以下系統(tǒng)檢測(cè)短路缺陷，其中，將設(shè)置于所述饋電探頭108的兩個(gè)探針與相鄰電極焊盤接觸，然后施加電壓并且穿通兩個(gè)探針，從而通過(guò)傳導(dǎo)電流檢測(cè)在相鄰圖形中的短路。
在LCD基板內(nèi)通常在兩個(gè)方向上配置焊盤，但是可以根據(jù)LCD基板的類型在各個(gè)方向配置所述焊盤。為檢測(cè)出全部的開(kāi)路和短路缺陷，必須將所述饋電探頭108接觸到全部的電極焊盤。因此，在如上所述的傳統(tǒng)的設(shè)備中，所述LCD基板必須從所述支座105移開(kāi)一次并旋轉(zhuǎn)，然后重新安裝于所述修復(fù)設(shè)備。圖1B顯示了這樣一種狀態(tài)，其中，所述LCD基板已經(jīng)從所述支座105移開(kāi)并在旋轉(zhuǎn)90度之后重新安裝于所述修復(fù)設(shè)備。
然而，如上所述現(xiàn)有技術(shù)具有以下缺點(diǎn)。
在如上所述現(xiàn)有技術(shù)中，通過(guò)在先步驟提供的OS測(cè)試器設(shè)備預(yù)先檢測(cè)所述FPD基板內(nèi)的缺陷位置，基于所述探測(cè)數(shù)據(jù)移動(dòng)所述修復(fù)設(shè)備至所述缺陷位置，并修復(fù)所述缺陷。并且將所述修復(fù)結(jié)果再次返回至所述在先步驟的OS測(cè)試器以確認(rèn)是否已正確修復(fù)了所述缺陷。然而，該類型系統(tǒng)的缺點(diǎn)在于要將曾經(jīng)修復(fù)過(guò)一次的FPD基板返回至所述在先步驟，從而增加了工作時(shí)間和單件產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí)間(tact time)。
為克服上述缺點(diǎn)，近年來(lái)一些制造商已經(jīng)提出將OS測(cè)試器功能提供至修復(fù)設(shè)備的想法。然而，正如在如圖1所示的現(xiàn)有的配備有OS測(cè)試器的修復(fù)設(shè)備中，所述現(xiàn)有系統(tǒng)的缺點(diǎn)在于需要以下步驟，即需要將所述LCD基板從所述支座移開(kāi)一次并重新安裝所述基板，從而需要具有外部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)輪設(shè)備等，增加的安裝區(qū)使得成本上升，并進(jìn)一步增加了單件產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種修復(fù)設(shè)備，其能夠有效地接近在LCD基板上的全部電連線區(qū)，檢測(cè)缺陷，并修復(fù)所述缺陷而無(wú)須移開(kāi)并重新安裝所述基板。
本發(fā)明的修復(fù)設(shè)備包含平臺(tái)，在其上安裝有基板；第一和第二臺(tái)架，其能夠沿著所述平臺(tái)的表面在第一方向上移動(dòng)；第一和第二探測(cè)傳感單元，分別位于所述第一和第二臺(tái)架，并且能夠相對(duì)于所述臺(tái)架在第二方向上移動(dòng)，所述第二方向與第一方向相交；以及修復(fù)單元，用于修復(fù)所述基板的被測(cè)單元，所述修復(fù)單元位于所述第一臺(tái)架以便于能夠在所述第二方向上移動(dòng)；其中每個(gè)所述第一和第二探測(cè)傳感單元具有板臺(tái)部分，其能夠在所述第二方向上移動(dòng)；用于對(duì)所述基板的被測(cè)單元施加電壓的探測(cè)單元，以及用于對(duì)流過(guò)所述被測(cè)單元的電流進(jìn)行檢測(cè)的傳感單元，該兩者并列于所述板臺(tái)部分上；以及板臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，用于在垂直于所述平臺(tái)的表面的方向上圍繞轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地驅(qū)動(dòng)所述板臺(tái)部分。
可以采用這樣一種構(gòu)造，其中，將所述修復(fù)單元安裝在所述第一臺(tái)架的與第二臺(tái)架相背的一側(cè)上；將所述第一探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第一臺(tái)架的面對(duì)第二臺(tái)架的一側(cè)上；以及將所述第二探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第二臺(tái)架的面對(duì)第一臺(tái)架的一側(cè)上。
可以采用這樣一種構(gòu)造，其中，將所述修復(fù)單元設(shè)置于所述第一臺(tái)架的面對(duì)第二臺(tái)架的一側(cè)上；將所述第一探測(cè)傳感單元與所述修復(fù)單元整體地并列；以及將所述第二探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第二臺(tái)架的面對(duì)第一臺(tái)架的一側(cè)上。
本發(fā)明的修復(fù)設(shè)備包含平臺(tái)，在其上安裝有基板；第一、第二和第三臺(tái)架，其能夠沿著所述平臺(tái)的表面在第一方向上移動(dòng)；第一和第二探測(cè)傳感單元，分別位于所述第一和第二臺(tái)架，并且能夠相對(duì)于所述臺(tái)架在第二方向上移動(dòng)，所述第二方向與第一方向相交；以及修復(fù)單元，用于修復(fù)所述基板的被測(cè)單元，所述修復(fù)單元位于所述第三臺(tái)架以便于能夠在所述第二方向上移動(dòng)；其中每個(gè)所述第一和第二探測(cè)傳感單元具有板臺(tái)部分，其能夠在所述第二方向上移動(dòng)；用于對(duì)所述基板的被測(cè)單元施加電壓的探測(cè)單元，以及用于對(duì)流過(guò)所述被測(cè)單元的電流進(jìn)行檢測(cè)的傳感單元，該兩者并列于所述板臺(tái)部分上；以及板臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，用于在垂直于所述平臺(tái)的表面的方向上圍繞轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地驅(qū)動(dòng)所述板臺(tái)部分。
可以采用這樣一種構(gòu)造，其中，將所述第一探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第一臺(tái)架的面對(duì)所述第二臺(tái)架的一側(cè)上；將所述第一探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第一臺(tái)架的面對(duì)所述第二臺(tái)架的一側(cè)上；將所述第二探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第二臺(tái)架的面對(duì)所述第一臺(tái)架的一側(cè)上；所述第三臺(tái)架不配置在所述第一臺(tái)架和所述第二臺(tái)架之間；以及將所述修復(fù)單元設(shè)置于所述第三臺(tái)架的面對(duì)所述第一和第二臺(tái)架的一側(cè)上。
還可以采用這樣一種構(gòu)造，其中，將所述第一探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第一臺(tái)架的面對(duì)所述第二臺(tái)架的一側(cè)上；將所述第二探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第二臺(tái)架的面對(duì)所述第一臺(tái)架的一側(cè)上；所述第三臺(tái)架不配置在所述第一臺(tái)架和所述第二臺(tái)架之間；以及將所述修復(fù)單元設(shè)置于所述第三臺(tái)架的與所述第一和第二臺(tái)架相背的一側(cè)上。
還可以設(shè)置平面板(surface plate)和平臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，其中，該平面板設(shè)置有所述平臺(tái)和所述第一、第二以及第三臺(tái)架，該平臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元用于相對(duì)于所述平面板在第一方向上移動(dòng)所述平臺(tái)。
可以采用這樣一種構(gòu)造，其中，所述基板的被測(cè)單元是設(shè)置在基板的電連線，并且所述第一或者第二探測(cè)傳感單元的探測(cè)單元在兩個(gè)點(diǎn)與所述基板的被測(cè)單元進(jìn)行接觸，并且通過(guò)在所述雙個(gè)點(diǎn)施加電壓以檢測(cè)是否有電流流過(guò)所述被測(cè)單元，從而檢測(cè)出所述電連線內(nèi)的短路。
可以采用這樣一種構(gòu)造，其中，所述基板的被測(cè)單元是設(shè)置于基板的電連線，所述第一和第二探測(cè)傳感單元中的任何一個(gè)探測(cè)單元在一個(gè)點(diǎn)上與所述基板的被測(cè)單元進(jìn)行接觸并提供電流，另一個(gè)探測(cè)傳感單元的傳感單元檢測(cè)是否有電流流過(guò)與所述基板的被測(cè)單元連接的電連線，從而檢測(cè)出所述電連線內(nèi)的斷路。
可以采用這樣一種構(gòu)造，其中，所述基板的被測(cè)單元是設(shè)置于基板的電連線，并且所述修復(fù)單元用激光束輻照所述被測(cè)單元的短路位置并且修復(fù)缺陷。
可以采用這樣一種構(gòu)造，其中，所述基板的被測(cè)單元是設(shè)置于基板的電連線，并且所述修復(fù)單元用激光束輻照所述被測(cè)單元的斷路位置并通過(guò)化學(xué)氣相淀積執(zhí)行修復(fù)。
所述基板可以是平板顯示基板。在所述平板顯示基板內(nèi)可以將數(shù)據(jù)線和選通線以矩陣形式進(jìn)行布線。所述平板顯示基板可以是液晶顯示器的基板或者等離子體顯示器的基板。
本發(fā)明的修復(fù)方法是一種利用所述修復(fù)設(shè)備對(duì)安裝在平臺(tái)上的基板內(nèi)的短路進(jìn)行檢測(cè)和修復(fù)的方法，其中所述基板具有以所述第一和第二方向在其內(nèi)形成的多個(gè)電連線單元；其中所述修復(fù)方法包含移動(dòng)所述第一和第二探測(cè)傳感單元中的任意一個(gè)至被測(cè)單元，在通過(guò)以下過(guò)程對(duì)沿著所述第一方向的連線內(nèi)的短路進(jìn)行測(cè)試時(shí)確定短路的存在，所述過(guò)程即，在將位于所述被測(cè)單元的所述探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)至所述第一方向上之后，將探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在兩個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，在所述兩個(gè)點(diǎn)施加電壓，以及檢測(cè)在所述兩個(gè)點(diǎn)之間流過(guò)的電流；在通過(guò)以下步驟對(duì)沿著所述第二方向的連線內(nèi)的短路進(jìn)行測(cè)試時(shí)確定短路的存在，所述步驟即，在將位于所述被測(cè)單元的所述探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)到所述第二方向上之后，將探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在兩個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，在所述兩個(gè)點(diǎn)施加電壓，以及檢測(cè)在所述兩個(gè)點(diǎn)之間流過(guò)的電流；以及當(dāng)檢測(cè)出短路時(shí)移動(dòng)所述修復(fù)單元至所述短路位置并修復(fù)所述短路。
所述基板可以是平板顯示基板，其中，將數(shù)據(jù)線和選通線以矩陣形式進(jìn)行布線。
在用于將所述探測(cè)傳感單元的探針與所述基板的被測(cè)單元進(jìn)行接觸的兩個(gè)點(diǎn)之間施加電壓的位置優(yōu)選地是位于所述數(shù)據(jù)線或者所述選通線的終端部的相鄰電極焊盤。
所述修復(fù)單元可以用激光束輻照短路位置并修復(fù)所述短路缺陷。
本發(fā)明的修復(fù)方法是利用所述修復(fù)設(shè)備對(duì)安裝在平臺(tái)上的基板內(nèi)的斷路進(jìn)行檢測(cè)和修復(fù)，所述基板具有在其內(nèi)以第一和第二方向形成的多個(gè)電連線單元，所述修復(fù)方法包括將所述第一和第二探測(cè)傳感單元之任一移動(dòng)至被測(cè)單元；當(dāng)通過(guò)以下過(guò)程對(duì)沿著所第一方向的連線內(nèi)的斷路進(jìn)行測(cè)試時(shí)確定斷路缺陷的存在，所述過(guò)程即，將位于所述被測(cè)單元的所述探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)至所述第一方向上，然后將探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在一個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，并提供電流，然后將所述另一個(gè)探測(cè)傳感單元移動(dòng)至所述被測(cè)單元的第二方向上的坐標(biāo)位置，并將另一個(gè)探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)至第一方向上之后，通過(guò)所述傳感單元檢測(cè)流過(guò)位于所述傳感單元之下的所述電連線的電流量；當(dāng)通過(guò)以下過(guò)程對(duì)沿著所第二方向的連線內(nèi)的斷路進(jìn)行測(cè)試時(shí)確定斷路缺陷的存在，所述過(guò)程即，將位于所述被測(cè)單元的所述探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)至所述第二方向上，然后將探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在一個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，并提供電流，然后將所述另一個(gè)探測(cè)傳感單元移動(dòng)至所述被測(cè)單元的第一方向上的坐標(biāo)位置，并將另一個(gè)探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)至在第二方向上之后，通過(guò)所述傳感單元檢測(cè)流過(guò)位于所述傳感單元之下的所述電連線的電流量；當(dāng)檢測(cè)出斷路時(shí)，移動(dòng)所述修復(fù)單元至所述斷路位置并修復(fù)所述斷路。
所述基板可以是平板顯示基板，其中，將數(shù)據(jù)線和選通線以矩陣形式進(jìn)行布線。
將電流提供至用于使得所述探測(cè)傳感單元的探針與所述基板的被測(cè)單元進(jìn)行接觸的點(diǎn)的位置優(yōu)選地是位于所述數(shù)據(jù)線或者所述選通線的終端部的電極焊盤。所述修復(fù)單元可以用激光束輻照斷路位置并通過(guò)化學(xué)氣相淀積進(jìn)行修復(fù)。
本發(fā)明的所述修復(fù)設(shè)備包含平臺(tái)，在其上安裝有基板；臺(tái)架，其能夠沿著所述平臺(tái)的表面在第一方向上移動(dòng)；探測(cè)傳感單元，位于所述臺(tái)架，其能夠相對(duì)于所述臺(tái)架在第二方向上移動(dòng)，所述第二方向與所述第一方向相交；以及修復(fù)單元，用于修復(fù)所述基板的被測(cè)單元，所述修復(fù)單元位于所述臺(tái)架以便于能夠在所述第二方向上移動(dòng)；其中所述探測(cè)傳感單元具有板臺(tái)部分，其能夠在所述第二方向上移動(dòng)；用于對(duì)所述基板的被測(cè)單元施加電壓的探測(cè)單元，以及用于對(duì)流過(guò)所述被測(cè)單元的電流進(jìn)行檢測(cè)的傳感單元，該兩者并列于所述板臺(tái)部分上；以及板臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，用于在垂直于所述平臺(tái)的表面的方向上圍繞轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地驅(qū)動(dòng)所述板臺(tái)部分。
本發(fā)明的修復(fù)設(shè)備包含平臺(tái)，在其上安裝有基板；第一和第二臺(tái)架，其能夠沿著所述平臺(tái)的表面在第一方向上移動(dòng)；修復(fù)單元，用于修復(fù)所述基板的被測(cè)單元，所述修復(fù)單元位于所述第一臺(tái)架以便于能夠在所述第二方向上移動(dòng)；以及探測(cè)傳感單元，位于所述第二臺(tái)架，其能夠相對(duì)于所述第二臺(tái)架在第二方向上移動(dòng)，所述第二方向與所述第一方向相交；其中所述探測(cè)傳感單元具有板臺(tái)部分，其能夠在所述第二方向上移動(dòng)；用于對(duì)所述基板的被測(cè)單元施加電壓的探測(cè)單元，以及用于對(duì)流過(guò)所述被測(cè)單元的電流進(jìn)行檢測(cè)的傳感單元，該兩者并列于所述板臺(tái)部分上；以及板臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，用于在垂直于所述平臺(tái)的表面的方向上圍繞轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地驅(qū)動(dòng)所述板臺(tái)部分。
可以采用這樣一種構(gòu)造，其中，所述基板的所述被測(cè)單元是位于基板的電連線，將所述探測(cè)傳感單元的探測(cè)單元與所述基板的所述被測(cè)單元在兩個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，并在所述兩個(gè)點(diǎn)間施加電壓以檢測(cè)是否有電流流過(guò)所述被測(cè)單元，從而檢測(cè)出所述電連線內(nèi)的短路。
可以采用這樣一種構(gòu)造，其中，所述基板的所述被測(cè)單元是位于基板的電連線，所述修復(fù)單元用激光束輻照所述被測(cè)單元的短路位置并修復(fù)缺陷。
所述基板可以是平板顯示基板。在所述平板顯示基板內(nèi)，還可以將數(shù)據(jù)線和選通線以矩陣形式進(jìn)行布線。所述平板顯示基板還可以是液晶顯示器的基板或者等離子體顯示器的基板。
本發(fā)明的修復(fù)方法是一種利用所述修復(fù)設(shè)備對(duì)安裝在平臺(tái)上的基板內(nèi)的短路進(jìn)行檢測(cè)和修復(fù)的方法，其中所述具有以所述第一和第二方向在其內(nèi)形成的多個(gè)電連線單元；其中所述修復(fù)方法包含將所述探測(cè)傳感單元移動(dòng)至被測(cè)單元；當(dāng)通過(guò)以下過(guò)程對(duì)沿著所述第一方向的連線內(nèi)的短路進(jìn)行測(cè)試時(shí)確定短路的存在，所述過(guò)程即，在將位于所述被測(cè)單元的所述探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)至所述第一方向上之后，將探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在兩個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，在所述兩個(gè)點(diǎn)施加電壓，然后檢測(cè)在所述兩個(gè)點(diǎn)之間流過(guò)的電流；當(dāng)通過(guò)以下過(guò)程對(duì)沿著所述第二方向的連線內(nèi)的短路進(jìn)行測(cè)試時(shí)確定短路的存在，所述過(guò)程即，在將位于所述被測(cè)單元的所述探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)至所述第二方向上之后，將探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在兩個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，在所述兩個(gè)點(diǎn)施加電壓，然后檢測(cè)在所述兩個(gè)點(diǎn)之間流過(guò)的電流；以及當(dāng)檢測(cè)出短路時(shí)，移動(dòng)所述修復(fù)單元至所述短路位置并修復(fù)所述短路。
所述基板可以是平板顯示基板，在其內(nèi)，將數(shù)據(jù)線和選通線以矩陣形式進(jìn)行連線。
在用于將所述探測(cè)傳感單元的探針與所述基板的被測(cè)單元進(jìn)行接觸的兩個(gè)點(diǎn)施加電壓的位置優(yōu)選地是位于所述數(shù)據(jù)線或者所述選通線的終端部的相鄰電極焊盤。
本發(fā)明可以獲得一種配備有OS測(cè)試器功能的修復(fù)設(shè)備，該修復(fù)設(shè)備用于對(duì)FPD基板的電連線中的開(kāi)路缺陷、短路缺陷等進(jìn)行檢測(cè)。在該設(shè)備中，與傳感單元配套的電源探測(cè)單元集成在單個(gè)單元內(nèi)，所述單元安裝于主臺(tái)架和副臺(tái)架，并且所述臺(tái)架能夠圍繞與所述基板相垂直的軸旋轉(zhuǎn)，從而使得可以接近(access)被測(cè)單元上的電極焊盤而無(wú)須考慮其內(nèi)安置了電極焊盤的所述FPD的方向，并可以有效地進(jìn)行缺陷探測(cè)和修理。


圖1A是顯示配備有OS測(cè)試器功能的現(xiàn)有修復(fù)設(shè)備的平面圖，圖1B顯示了當(dāng)在平面內(nèi)將LCD基板旋轉(zhuǎn)90度時(shí)的相同構(gòu)造的示例，并且在所述基板上以不同方向排列所述圖形；圖2是顯示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的配備有OS測(cè)試器功能的修復(fù)設(shè)備的平面圖，其中，圖2A顯示了LCD基板上選通圖形的OS測(cè)試，圖2B顯示了所述LCD基板上數(shù)據(jù)圖形的OS測(cè)試；圖3A是顯示了從前面進(jìn)行觀察的所述第一實(shí)施例的透視圖，圖3B是顯示了從后面進(jìn)行觀察的所述第一實(shí)施例的透視圖；圖4A是顯示了LCD基板的結(jié)構(gòu)的示意圖，圖4B是LCD面板的放大圖；圖5是顯示了探測(cè)傳感頭的結(jié)構(gòu)的透視圖；圖6A是顯示了進(jìn)行開(kāi)路缺陷測(cè)試期間所述探測(cè)傳感頭的運(yùn)行的平面圖，圖6B是顯示了進(jìn)行短路缺陷測(cè)試期間所述探測(cè)傳感頭的運(yùn)行的平面圖；圖7是顯示了根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的配備有OS測(cè)試器功能的修復(fù)設(shè)備的平面圖；圖8A是顯示了從前面進(jìn)行觀察的所述第二實(shí)施例的透視圖，圖8B是顯示了從后面進(jìn)行觀察的所述第二實(shí)施例的透視圖；圖9是顯示了根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的配備有OS測(cè)試器功能的所述修復(fù)設(shè)備的平面圖；圖10是顯示了從前面進(jìn)行觀察的所述第三實(shí)施例的透視圖；圖11是顯示了根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的配備有OS測(cè)試器功能的所述修復(fù)設(shè)備的平面圖；圖12是顯示了從前面進(jìn)行觀察的所述第四實(shí)施例的透視圖；圖13是顯示了根據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施例的配備有短路測(cè)試器功能的所述修復(fù)設(shè)備的平面圖；以及圖14是顯示了根據(jù)本發(fā)明第六實(shí)施例的配備有短路測(cè)試器功能的所述修復(fù)設(shè)備的平面圖。
具體實(shí)施例方式
以下將參考所述附圖詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例。首先說(shuō)明本發(fā)明第一實(shí)施例。圖2A和2B是顯示了本實(shí)施例的平視圖。圖2A顯示了LCD基板上的選通圖形的OS測(cè)試，圖2B顯示了所述LCD基板上的數(shù)據(jù)圖形的OS測(cè)試。為了方便于說(shuō)明，在圖中通過(guò)箭頭所示設(shè)定X軸和Y軸。與所述所述X和Y軸相垂直的方向是Z軸。
如圖2A所示，在本實(shí)施例的所述配備OS測(cè)試器的修復(fù)設(shè)備中，在平面板1上，在所述Y軸方向沿著兩個(gè)邊緣配置導(dǎo)向件2，在所述導(dǎo)向件2的上方安裝主臺(tái)架3以使得在所述X軸方向延伸。構(gòu)建主臺(tái)架3使得能夠在所述導(dǎo)向件2的上方沿所述Y軸移動(dòng)。以同樣方式，將副臺(tái)架9安裝于所述導(dǎo)向件2以在所述X軸方向延伸，并構(gòu)建其使得能夠在所述導(dǎo)向件2之上方沿著所述Y軸移動(dòng)。所述平面板1是用于在本設(shè)備上安裝所有的單元的基座。
在所述主臺(tái)架3上設(shè)置光學(xué)系統(tǒng)4，并且所述光學(xué)系統(tǒng)4能沿著所述主臺(tái)架3在所述X軸方向上移動(dòng)。所述光學(xué)系統(tǒng)4是一種用于進(jìn)行修復(fù)的光學(xué)單元，其配備有激光振蕩器、透鏡等。
在所述平面板1上的兩個(gè)導(dǎo)向件2之間設(shè)置有可以沿著所述Y軸方向移動(dòng)的移動(dòng)支座50，在所述移動(dòng)支座50上安裝LCD基板6亦即所述被測(cè)單元，并且通過(guò)移動(dòng)所述移動(dòng)支座50來(lái)移動(dòng)所述LCD基板6。所述LCD基板具有如圖4所示的結(jié)構(gòu)類型。
圖4是具有有源矩陣TFT(薄膜晶體管)結(jié)構(gòu)的LCD基板6的示意圖。如圖4A所示，所述LCD基板6由位于玻璃基板上的多個(gè)LCD面板60組成，并且每個(gè)LCD面板60是顯示板。圖4B是LCD面板60的放大圖。在所述LCD面板60內(nèi)形成網(wǎng)格連線圖形，其中，彼此正交地排列選通圖形和數(shù)據(jù)圖形。選通焊盤位于所述選通圖形的末端部分，數(shù)據(jù)焊盤位于所述數(shù)據(jù)圖形的末端部分，并且所述焊盤是用于電驅(qū)動(dòng)所述圖形的電源焊盤。
如圖2A所示，與其上安裝了所述主臺(tái)架3的所述光學(xué)系統(tǒng)4一側(cè)相對(duì)的另一側(cè)安裝副臺(tái)架9。在與所述主臺(tái)架3的光學(xué)系統(tǒng)4的相反側(cè)上，將探測(cè)傳感頭10a安裝于所述主臺(tái)架3。并且，以同樣方式，以面對(duì)所述主臺(tái)架3的方向?qū)⑻綔y(cè)傳感頭10b安裝于所述副臺(tái)架9。通過(guò)提供一個(gè)具有傳感頭和探測(cè)頭的單元可以得到所述探測(cè)傳感頭10a、10b，其中所述傳感頭在無(wú)須進(jìn)行接觸的情況下即可用于對(duì)所述LCD面板60的圖形的電連接狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)，所述探測(cè)頭具有兩個(gè)探測(cè)針。構(gòu)建所述探測(cè)傳感頭10a、10b使其能夠在所述X軸方向一起移動(dòng)，并且還構(gòu)建使其能夠在所述XY平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
圖5將用于詳細(xì)地說(shuō)明探測(cè)傳感頭的結(jié)構(gòu)。如圖5所示，所述探測(cè)傳感頭具有如下結(jié)構(gòu)，其中，傳感頭7和探測(cè)頭8位于相同的支撐板20，并且將所述支撐板20連接至用于所述探測(cè)傳感頭的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)90，從而所述傳感頭7和所述探測(cè)頭8可以彼此協(xié)同旋轉(zhuǎn)。在所述LCD基板之上直接配置所述傳感頭7使得其遠(yuǎn)端不接觸所述LCD基板，并且所述傳感頭7以非接觸方式檢測(cè)被提供至所述LCD基板上的所述圖形的高頻電流。所述探測(cè)頭8設(shè)置有兩個(gè)探測(cè)針81、82，其通過(guò)所述焊盤向所述圖形提供電流。
圖3A是對(duì)如上所述的本實(shí)施例從前面進(jìn)行觀察的透視圖，圖3B是顯示了從后面進(jìn)行觀察的所述第一實(shí)施例的透視圖。在本說(shuō)明中，其上安裝了所述光學(xué)系統(tǒng)4的一側(cè)是所述修復(fù)設(shè)備的前側(cè)，并且相對(duì)于其的另一側(cè)是后側(cè)。如圖3A所示，沿著所述平面板1的邊緣從其前端到其后端設(shè)置有所述導(dǎo)向件2，并且，在與所述導(dǎo)向件2正交的方向，在所述導(dǎo)向件2上設(shè)置所述主臺(tái)架3和副臺(tái)架9。在所述圖的前側(cè)上的所述主臺(tái)架3一側(cè)設(shè)置所述光學(xué)系統(tǒng)4，在所述圖的前側(cè)上的所述副臺(tái)架9一側(cè)設(shè)置所述探測(cè)傳感頭10b。如圖3B所示，與在其上安裝了所述光學(xué)系統(tǒng)4一側(cè)相對(duì)的所述主臺(tái)架3的相反側(cè)，設(shè)置所述探測(cè)傳感頭10a。
接下來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的運(yùn)行。利用圖6首先說(shuō)明所述傳感頭7和探測(cè)頭8的運(yùn)行。圖6A顯示了用于開(kāi)路缺陷的測(cè)試，圖6B顯示了用于短路缺陷的測(cè)試。
在圖6A中，將設(shè)置所述探測(cè)頭8上的所述探針81連接至高頻電流電路，高頻電流通過(guò)數(shù)據(jù)焊盤從所述探針81提供至所述數(shù)據(jù)圖形。在所述傳感頭7之內(nèi)部容納傳感器電極71，并且通過(guò)至所述數(shù)據(jù)圖形的電通路對(duì)傳導(dǎo)至所述數(shù)據(jù)圖形的高頻電流進(jìn)行檢測(cè)。在圖6A所示示例中，會(huì)出現(xiàn)如下?tīng)顟B(tài)，其中，一部分?jǐn)?shù)據(jù)圖形在中間斷路，形成開(kāi)路缺陷，并且所述傳感頭7不能檢測(cè)到傳導(dǎo)至數(shù)據(jù)圖形的高頻電流。然而，當(dāng)從所述數(shù)據(jù)圖形的斷開(kāi)部分向所述探針移動(dòng)所述傳感頭7時(shí)，檢測(cè)到所述高頻電流，則可以確定所述數(shù)據(jù)圖形內(nèi)沒(méi)有截?cái)唷?br> 在圖6B，在設(shè)置在所述探頭8上的所述探針81和探針82之間施加電壓，通過(guò)所述探針的電壓和電流能夠測(cè)量在所述探針之間的電阻。在如圖6B所示示例中，在數(shù)據(jù)圖形之間形成短路缺陷，電阻因此降低，然后能夠確定存在短路。當(dāng)檢測(cè)短路缺陷時(shí)，能夠通過(guò)切換器將所述電路結(jié)構(gòu)與用于檢測(cè)開(kāi)路缺陷時(shí)所用的高頻電流電路分離開(kāi)來(lái)。所述探針81和所述探針82裝備有能夠在所述Z軸方向移動(dòng)以使得與所述LCD面板的電源焊盤相接觸的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
接下來(lái)說(shuō)明利用如圖2A所示的構(gòu)造修復(fù)缺陷。為了進(jìn)行修復(fù)，所述光學(xué)系統(tǒng)4必須能夠接近所述LCD基板的全部區(qū)域。因此，首先將所述移動(dòng)支座50移動(dòng)至左端。從而所述光學(xué)系統(tǒng)4能夠接近所述LCD基板的全部區(qū)域。當(dāng)不具有移動(dòng)支座50時(shí)，必須具有額外的移動(dòng)區(qū)域，其等于所述主臺(tái)架3和所述光學(xué)系統(tǒng)4在所述Y軸方向上的組合寬度，從而增加了所述設(shè)備的尺寸。具體地說(shuō)，所述移動(dòng)支座50具有減小了所述設(shè)備尺寸的效果。
然后從所述在先過(guò)程獲得缺陷信息。所述缺陷信息包括在所述數(shù)據(jù)圖形和選通圖形內(nèi)的缺陷的線數(shù)，缺陷坐標(biāo)信息，用于指定開(kāi)路缺陷或者短路缺陷的缺陷類型信息，以及其他信息。然后，所述主臺(tái)架3基于所述Y軸缺陷坐標(biāo)信息運(yùn)行，所述光學(xué)系統(tǒng)4基于所述X軸缺陷坐標(biāo)信息運(yùn)行，并且所述光學(xué)系統(tǒng)4移動(dòng)至所述缺陷位置。進(jìn)一步地，當(dāng)缺陷類型顯示是短路缺陷時(shí)，通過(guò)激光輻照在所述短路位置進(jìn)行切割。當(dāng)存在開(kāi)路缺陷時(shí)，利用CVD(化學(xué)氣相淀積)等連接所述開(kāi)路部分，并修復(fù)所述缺陷。當(dāng)在多個(gè)位置存在缺陷時(shí)，以同樣方式在所述多個(gè)位置修復(fù)缺陷。
接下來(lái)說(shuō)明在通過(guò)所述修復(fù)設(shè)備修復(fù)所述選通圖形內(nèi)的短路缺陷之后的用于OS測(cè)試的方法。假定在所述Y軸方向形成所述選通圖形。當(dāng)進(jìn)行OS測(cè)試時(shí)，所述LCD基板6的全部區(qū)域必須都是可以通過(guò)所述探測(cè)傳感頭10a和10b接近的。所述移動(dòng)支座50因此移動(dòng)至右端。從而所述探測(cè)傳感頭10a和10b能夠接近所述LCD基板6的全部區(qū)域。
然后，移動(dòng)所述副臺(tái)架9至基于通過(guò)所述在先過(guò)程的缺陷信息計(jì)算的Y軸坐標(biāo)。并且將所述探測(cè)傳感頭10b移動(dòng)至基于所述缺陷信息計(jì)算的焊盤位置的X軸坐標(biāo)，然后，將探針81、82沿著所述Z軸方向向下移動(dòng)使得每個(gè)探針與不同焊盤進(jìn)行接觸。在所述兩個(gè)探針81、82之間施加電流，并且通過(guò)所述探針之間的電壓和電流計(jì)算所述圖形之間的電阻。當(dāng)所述電阻大于預(yù)定閾值時(shí)，可以確定存在開(kāi)路狀態(tài)以及修復(fù)成功。當(dāng)所述電阻小于所述閾值時(shí)，可以確定存在短路狀態(tài)以及所述修復(fù)是不成功的。在該情況下，重復(fù)所述修復(fù)操作。
接下來(lái)說(shuō)明在通過(guò)所述修復(fù)設(shè)備修復(fù)所述選通圖形內(nèi)的開(kāi)路缺陷后的用于OS測(cè)試的方法。移動(dòng)所述副臺(tái)架9至基于通過(guò)所述在先過(guò)程的缺陷信息計(jì)算的Y軸坐標(biāo)。然后，將安裝于所述副臺(tái)架9的所述探測(cè)傳感頭10b移動(dòng)至基于所述缺陷信息計(jì)算的所述焊盤位置的X軸坐標(biāo)，將與高頻電源連接的所述探針81在所述Z軸方向向下移動(dòng)以接觸所述修復(fù)圖形的焊盤。然后將安裝于所述主臺(tái)架3的所述探測(cè)傳感頭10a沿著所述X軸移動(dòng)至所述探測(cè)傳感頭10b所處的修復(fù)圖形的位置。在所述Y軸方向?qū)⑺鲋髋_(tái)架3向所述探測(cè)傳感頭10b移動(dòng)，進(jìn)行所述探測(cè)操作。當(dāng)此時(shí)已經(jīng)正確修復(fù)了所述缺陷時(shí)，在所述缺陷圖形上的所有點(diǎn)距(strokes)之間可以檢測(cè)出所述高頻電流，可以確定所述修復(fù)是成功的。當(dāng)在所述缺陷圖形上檢測(cè)不到所述高頻電流時(shí)，可以確定所述修復(fù)是不成功的。在該情況下，再次進(jìn)行所述修復(fù)操作。當(dāng)移動(dòng)所述探測(cè)傳感頭時(shí)，沿著所述Z軸向上縮回所述探針以防止所述探針與所述基板的表面相接觸。
接下來(lái)說(shuō)明用于對(duì)所述數(shù)據(jù)圖形進(jìn)行OS測(cè)試的方法。在圖2A中，沿著所述X軸軸形成所述數(shù)據(jù)圖形。當(dāng)所述探測(cè)傳感頭10a和10b在所述XY平面內(nèi)向左側(cè)旋轉(zhuǎn)90度后，產(chǎn)生如圖2B所示的狀態(tài)，并且，因此能夠接近所述數(shù)據(jù)圖形和數(shù)據(jù)焊盤。通過(guò)以與用于所述選通圖形的OS測(cè)試的方法相同的方式能夠檢驗(yàn)所述短路缺陷和開(kāi)路缺陷的修復(fù)結(jié)果。
根據(jù)所述LCD基板的類型，可以以多種方向的方式排列所述數(shù)據(jù)焊盤和所述選通焊盤，但是通過(guò)在所述XY平面旋轉(zhuǎn)所述探測(cè)傳感頭10a、10b，可以在任意方向上接近所述數(shù)據(jù)焊盤和所述選通焊盤。
接下來(lái)說(shuō)明本實(shí)施例的效果。在本實(shí)施例中，所述電源探頭和傳感頭集成為設(shè)置在所述主臺(tái)架和所述副臺(tái)架上的探測(cè)傳感頭，并且在所述XY平面內(nèi)，所述探測(cè)傳感頭能夠在180度的范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)，從而無(wú)論所述被測(cè)基板的電極焊盤的方向如何，無(wú)須移開(kāi)所述FPD基板就能夠?qū)λ鲞B線進(jìn)行檢驗(yàn)。在本實(shí)施例中每個(gè)所述主臺(tái)架和副臺(tái)架具有單個(gè)探測(cè)傳感頭，但是也可以設(shè)置多個(gè)探測(cè)傳感頭。
由于在所述主臺(tái)架的后側(cè)，也就是在其上安裝了所述主臺(tái)架的光學(xué)系統(tǒng)一側(cè)的相對(duì)側(cè)，添加了其上安裝有探測(cè)傳感頭的所述副臺(tái)架，所以僅稍微增加了現(xiàn)有修復(fù)設(shè)備的尺寸便容易地添加了OS測(cè)試器功能。進(jìn)一步地，通過(guò)將探測(cè)傳感頭安裝于所述主臺(tái)架的后方，并在所述Y軸方向上前向和后向地移動(dòng)所述用于夾持所述FPD基板的支座，使得當(dāng)使用所述修復(fù)功能時(shí)可以向前移動(dòng)所述支座位置，并且當(dāng)使用所述OS測(cè)試器功能時(shí)可以向后移動(dòng)所述支座位置。從而能夠保存與所述現(xiàn)有修復(fù)功能的特征的兼容性。
接下來(lái)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的裝備OS測(cè)試器功能的修復(fù)設(shè)備。圖7是顯示了所述本實(shí)施例的平面圖。如圖7所示，除所述副臺(tái)架9之外，本實(shí)施例還在所述主臺(tái)架3的后面具有另一副臺(tái)架91。在圖2中安裝于所述主臺(tái)架3的所述探測(cè)傳感頭10a也安裝于所述副臺(tái)架91，但是所述構(gòu)造的其他方面與圖2中相同。從而使用相同的附圖標(biāo)記指示相同的結(jié)構(gòu)元件，并不再對(duì)其做具體說(shuō)明。本實(shí)施例的基本操作與第一實(shí)施例的操作相同。除所述第一實(shí)施例的效果之外，本發(fā)明具有如下效果，其中，無(wú)須改變所述主臺(tái)架的修復(fù)機(jī)構(gòu)，通過(guò)添加另一副臺(tái)架就能夠獲得OS測(cè)試器功能，并且能夠很容易地添加OS測(cè)試器功能。圖8A是顯示了從前面進(jìn)行觀察的所述第二實(shí)施例的透視圖，圖8B是顯示了從后面進(jìn)行觀察的所述第二實(shí)施例的透視圖；除了如上所述本實(shí)施例的特征之外圖8與圖3相同，所以使用相同的附圖標(biāo)記說(shuō)明相同的結(jié)構(gòu)元件，并且不進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
接下來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施例。圖9顯示了本實(shí)施例的平面圖。如圖9所示，本實(shí)施例具有如下結(jié)構(gòu)，其中，在所述主臺(tái)架3的前方安裝有兩個(gè)副臺(tái)架9、91，其他方面與圖7所示實(shí)施例相同。因此使用相同的附圖標(biāo)記指示相同的結(jié)構(gòu)元件，并且不對(duì)其做具體說(shuō)明。本實(shí)施例的基本操作與第二實(shí)施例的操作相同。圖10是顯示了從前面觀察本實(shí)施例的透視圖。由于除了如上所述的本實(shí)施例的特征之外，圖10與圖8相同，所以使用相同的附圖標(biāo)記指示相同的結(jié)構(gòu)元件，并且不對(duì)其做具體說(shuō)明。
接下來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的第四實(shí)施例。圖11是顯示了本實(shí)施例的平面圖。如圖11所示，本實(shí)施例具有如下結(jié)構(gòu)，其中，在所述主臺(tái)架3的前方安裝所述副臺(tái)架9，并且，所述探測(cè)傳感頭10b安裝于所述主臺(tái)架3的所述光學(xué)系統(tǒng)4。由于本實(shí)施例的其他方面與第一實(shí)施例相同，所以使用相同的附圖標(biāo)記指示相同的結(jié)構(gòu)元件，并且不對(duì)其做詳細(xì)說(shuō)明。本實(shí)施例的操作和效果基本上與所述第一實(shí)施例的操作和效果相同。圖12是顯示了從前面觀察的本實(shí)施例的透視圖。由于除了如上所述的本實(shí)施例的特征以外，圖12與圖3相同，所以使用相同的附圖標(biāo)記指示相同的結(jié)構(gòu)元件，并且不對(duì)其進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
如圖13和14所示，當(dāng)所述修復(fù)設(shè)備僅設(shè)置有單個(gè)探測(cè)傳感頭時(shí)，無(wú)須重新安裝所述被測(cè)基板也能夠檢測(cè)出短路缺陷。圖13和14分別顯示了本發(fā)明的第五和第六實(shí)施例。除了未安裝有所述副臺(tái)架和所述探測(cè)傳感頭之外，圖13所示的構(gòu)造與如圖2A所示的構(gòu)造相同。除了沒(méi)有安裝于所述主臺(tái)架的所述探測(cè)傳感頭之外，圖14所示的構(gòu)造與如圖2B所示的構(gòu)造相同。因此使用相同的附圖標(biāo)記指示相同的結(jié)構(gòu)元件，并且不對(duì)其做具體說(shuō)明。圖13和14所示實(shí)施例的操作和效果與利用圖2所示實(shí)施例進(jìn)行檢測(cè)和修復(fù)基板內(nèi)短路缺陷的情況相同。
本發(fā)明能夠適用于用來(lái)制造液晶顯示板、等離子體顯示板及其他FPD的設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種修復(fù)設(shè)備，包括平臺(tái)，在其上安裝有基板；第一和第二臺(tái)架，其能夠沿著所述平臺(tái)的表面在第一方向上移動(dòng)；第一和第二探測(cè)傳感單元，分別位于所述第一和第二臺(tái)架，并且能夠相對(duì)于所述臺(tái)架在第二方向上移動(dòng)，所述第二方向與第一方向相交；以及修復(fù)單元，用于修復(fù)所述基板的被測(cè)單元，所述修復(fù)單元位于所述第一臺(tái)架以便于能夠在所述第二方向上移動(dòng)；其中每個(gè)所述第一和第二探測(cè)傳感單元具有板臺(tái)部分，其能夠在所述第二方向上移動(dòng)；用于對(duì)所述基板的被測(cè)單元施加電壓的探測(cè)單元，以及用于對(duì)流過(guò)所述被測(cè)單元的電流進(jìn)行檢測(cè)的傳感單元，該兩者并列于所述板臺(tái)部分上；以及板臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，用于在垂直于所述平臺(tái)的表面的方向上圍繞轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地驅(qū)動(dòng)所述板臺(tái)部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述修復(fù)設(shè)備，其中將所述修復(fù)單元安裝在所述第一臺(tái)架的與第二臺(tái)架相背的一側(cè)上；將所述第一探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第一臺(tái)架的面對(duì)第二臺(tái)架的一側(cè)上；以及將所述第二探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第二臺(tái)架的面對(duì)第一臺(tái)架的一側(cè)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述修復(fù)設(shè)備，其中將所述修復(fù)單元設(shè)置于所述第一臺(tái)架的面對(duì)第二臺(tái)架的一側(cè)上；將所述第一探測(cè)傳感單元與所述修復(fù)單元整體地并列；以及將所述第二探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第二臺(tái)架的面對(duì)第一臺(tái)架的一側(cè)上。
4.一種修復(fù)設(shè)備，包括平臺(tái)，在其上安裝有基板；第一、第二和第三臺(tái)架，其能夠沿著所述平臺(tái)的表面在第一方向上移動(dòng)；第一和第二探測(cè)傳感單元，分別位于所述第一和第二臺(tái)架，并且能夠相對(duì)于所述臺(tái)架在第二方向上移動(dòng)，所述第二方向與第一方向相交；以及修復(fù)單元，用于修復(fù)所述基板的被測(cè)單元，所述修復(fù)單元位于所述第三臺(tái)架以便于能夠在所述第二方向上移動(dòng)；其中每個(gè)所述第一和第二探測(cè)傳感單元具有板臺(tái)部分，其能夠在所述第二方向上移動(dòng)；用于對(duì)所述基板的被測(cè)單元施加電壓的探測(cè)單元，以及用于對(duì)流過(guò)所述被測(cè)單元的電流進(jìn)行檢測(cè)的傳感單元，該兩者并列于所述板臺(tái)部分上；以及板臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，用于在垂直于所述平臺(tái)的表面的方向上圍繞轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地驅(qū)動(dòng)所述板臺(tái)部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述修復(fù)設(shè)備，其中將所述第一探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第一臺(tái)架的面對(duì)所述第二臺(tái)架的一側(cè)上；將所述第一探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第一臺(tái)架的面對(duì)所述第二臺(tái)架的一側(cè)上；將所述第二探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第二臺(tái)架的面對(duì)所述第一臺(tái)架的一側(cè)上；所述第三臺(tái)架不配置在所述第一臺(tái)架和所述第二臺(tái)架之間；以及將所述修復(fù)單元設(shè)置于所述第三臺(tái)架的面對(duì)所述第一和第二臺(tái)架的一側(cè)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述修復(fù)設(shè)備，其中將所述第一探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第一臺(tái)架的面對(duì)所述第二臺(tái)架的一側(cè)上；將所述第二探測(cè)傳感單元設(shè)置于所述第二臺(tái)架的面對(duì)所述第一臺(tái)架的一側(cè)上；所述第三臺(tái)架不配置在所述第一臺(tái)架和所述第二臺(tái)架之間；以及將所述修復(fù)單元設(shè)置于所述第三臺(tái)架的與所述第一和第二臺(tái)架相背的一側(cè)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6的任一所述修復(fù)設(shè)備，進(jìn)一步地包括平面板，其設(shè)置有所述平臺(tái)以及所述第一、第二和第三臺(tái)架；以及平臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，用于相對(duì)于所述平面板在所述第一方向上移動(dòng)所述平臺(tái)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7的任一所述修復(fù)設(shè)備，其中所述基板的被測(cè)單元是位于基板的電連線；以及所述第一或者第二探測(cè)傳感單元的探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在兩個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，并在所述兩個(gè)點(diǎn)施加電壓以檢測(cè)是否有電流流過(guò)所述被測(cè)單元，從而檢測(cè)出所述電連線內(nèi)的短路。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8的任一所述修復(fù)設(shè)備，其中所述基板的被測(cè)單元是位于基板的電連線；以及所述第一和第二探測(cè)傳感單元的任意一個(gè)探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在一個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸并提供電流，另一個(gè)探測(cè)傳感單元的傳感單元檢測(cè)是否有電流流過(guò)與所述基板的所述被測(cè)單元連接的電連線，從而檢測(cè)出所述電連線內(nèi)的斷路。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9的任一所述修復(fù)設(shè)備，其中所述基板的被測(cè)單元是位于基板的電連線；以及所述修復(fù)單元用激光束輻照所述被測(cè)單元的短路位置并修復(fù)缺陷。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10的任一所述修復(fù)設(shè)備，其中所述基板的被測(cè)單元是位于基板的電連線；以及所述修復(fù)單元用激光束輻照所述被測(cè)單元的斷路位置并通過(guò)化學(xué)氣相淀積進(jìn)行修復(fù)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至11的任一所述修復(fù)設(shè)備，其中，所述基板是平板顯示基板。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述修復(fù)設(shè)備，其中，在所述平板顯示基板內(nèi)，將數(shù)據(jù)線和選通線以矩陣形式布線。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述修復(fù)設(shè)備，其中，所述平板顯示基板是液晶顯示器的基板或者等離子體顯示器的基板。
15.一種修復(fù)方法，利用根據(jù)權(quán)利要求1至7的任一所述修復(fù)設(shè)備對(duì)安裝在平臺(tái)上的基板內(nèi)的短路進(jìn)行檢測(cè)和修復(fù)，所述基板具有在其內(nèi)以第一和第二方向形成的多個(gè)電連線單元，所述修復(fù)方法包括將所述第一和第二探測(cè)傳感單元之任一移動(dòng)至被測(cè)單元；當(dāng)通過(guò)以下過(guò)程對(duì)沿著所述第一方向的連線內(nèi)的短路進(jìn)行測(cè)試時(shí)確定短路的存在，所述過(guò)程即，在將位于所述被測(cè)單元的所述探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)到所述第一方向上之后，將探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在兩個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，在所述兩個(gè)點(diǎn)施加電壓，然后，檢測(cè)在所述兩個(gè)點(diǎn)之間流過(guò)的電流；當(dāng)通過(guò)以下過(guò)程對(duì)沿著所述第二方向的連線內(nèi)的短路進(jìn)行測(cè)試時(shí)確定短路的存在，所述過(guò)程即，在將位于所述被測(cè)單元的所述探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)到所述第二方向上之后，將探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在兩個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，在所述兩個(gè)點(diǎn)施加電壓，然后檢測(cè)在所述兩個(gè)點(diǎn)之間流過(guò)的電流；當(dāng)檢測(cè)出短路時(shí)，移動(dòng)所述修復(fù)單元至所述短路位置并修復(fù)所述短路。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述修復(fù)方法，其中，所述基板是平板顯示基板，在該平板顯示基板內(nèi)將數(shù)據(jù)線和選通線以矩陣形式進(jìn)行布線。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述修復(fù)方法，其中，在用于將所述探測(cè)傳感單元的探針與所述基板的被測(cè)單元進(jìn)行接觸的兩個(gè)點(diǎn)施加電壓的位置是位于所述數(shù)據(jù)線或者所述選通線的終端部的相鄰電極焊盤。
18.一種修復(fù)方法，用于利用根據(jù)權(quán)利要求1至7之任一所述修復(fù)設(shè)備對(duì)安裝在平臺(tái)上的基板內(nèi)的斷路進(jìn)行檢測(cè)和修復(fù)，所述基板具有在其內(nèi)以第一和第二方向形成的多個(gè)電連線單元，所述修復(fù)方法包括將所述第一和第二探測(cè)傳感單元之任一移動(dòng)至被測(cè)單元；當(dāng)通過(guò)以下過(guò)程對(duì)沿著所第一方向的連線內(nèi)的斷路進(jìn)行測(cè)試時(shí)確定斷路缺陷的存在，所述過(guò)程即，將位于所述被測(cè)單元的所述探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)至所述第一方向上，然后將探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在一個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，并提供電流，然后將所述另一個(gè)探測(cè)傳感單元移動(dòng)至所述被測(cè)單元的第二方向上的坐標(biāo)位置，并將另一個(gè)探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)至第一方向上之后，通過(guò)所述傳感單元檢測(cè)流過(guò)位于所述傳感單元之下的所述電連線的電流量；當(dāng)通過(guò)以下過(guò)程對(duì)沿著所第二方向的連線內(nèi)的斷路進(jìn)行測(cè)試時(shí)確定斷路缺陷的存在，所述過(guò)程即，將位于所述被測(cè)單元的所述探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)至所述第二方向上，然后將探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在一個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，并提供電流，然后將所述另一個(gè)探測(cè)傳感單元移動(dòng)至所述被測(cè)單元的第一方向上的坐標(biāo)位置，并將另一個(gè)探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)至在第二方向上之后，通過(guò)所述傳感單元檢測(cè)流過(guò)位于所述傳感單元之下的所述電連線的電流量；當(dāng)檢測(cè)出斷路時(shí)，移動(dòng)所述修復(fù)單元至所述斷路位置并修復(fù)所述斷路。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述修復(fù)方法，其中，所述基板是平板顯示基板，在該平板顯示基板內(nèi)將數(shù)據(jù)線和選通線以矩陣形式進(jìn)行布線。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述修復(fù)方法，其中，將電流提供至所述探測(cè)傳感單元的探針與所述基板的被測(cè)單元進(jìn)行接觸的點(diǎn)的位置是位于所述數(shù)據(jù)線的或者所述選通線的終端部的電極焊盤。
21.根據(jù)權(quán)利要求15至17之任一所述修復(fù)方法，其中，所述修復(fù)單元用激光束輻照短路位置并修復(fù)所述短路缺陷。
22.根據(jù)權(quán)利要求18至20之任一所述修復(fù)方法，其中，所述修復(fù)單元用激光束輻照斷路位置并通過(guò)化學(xué)氣相淀積進(jìn)行修復(fù)。
23.一種修復(fù)設(shè)備，包括平臺(tái)，在其上安裝有基板；臺(tái)架，其能夠沿著所述平臺(tái)的表面在第一方向上移動(dòng)；探測(cè)傳感單元，位于所述臺(tái)架，其能夠相對(duì)于所述臺(tái)架在第二方向上移動(dòng)，所述第二方向與所述第一方向相交；以及修復(fù)單元，用于修復(fù)所述基板的被測(cè)單元，所述修復(fù)單元位于所述臺(tái)架以便于能夠在所述第二方向上移動(dòng)；其中所述探測(cè)傳感單元具有板臺(tái)部分，其能夠在所述第二方向上移動(dòng)；用于對(duì)所述基板的被測(cè)單元施加電壓的探測(cè)單元，以及用于對(duì)流過(guò)所述被測(cè)單元的電流進(jìn)行檢測(cè)的傳感單元，該兩者并列于所述板臺(tái)部分上；以及板臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，用于在垂直于所述平臺(tái)的表面的方向上圍繞轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地驅(qū)動(dòng)所述板臺(tái)部分。
24.一種修復(fù)設(shè)備，包括平臺(tái)，在其上安裝有基板；第一和第二臺(tái)架，其能夠沿著所述平臺(tái)的表面在第一方向上移動(dòng)；修復(fù)單元，用于修復(fù)所述基板的被測(cè)單元，所述修復(fù)單元位于所述第一臺(tái)架以便于能夠在所述第二方向上移動(dòng)；以及探測(cè)傳感單元，位于所述第二臺(tái)架，其能夠相對(duì)于所述第二臺(tái)架在第二方向上移動(dòng)，所述第二方向與所述第一方向相交；其中所述探測(cè)傳感單元具有板臺(tái)部分，其能夠在所述第二方向上移動(dòng)；用于對(duì)所述基板的被測(cè)單元施加電壓的探測(cè)單元，以及用于對(duì)流過(guò)所述被測(cè)單元的電流進(jìn)行檢測(cè)的傳感單元，該兩者并列于所述板臺(tái)部分上；以及板臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，用于在垂直于所述平臺(tái)的表面的方向上圍繞轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地驅(qū)動(dòng)所述板臺(tái)部分。
25.根據(jù)權(quán)利要求23或者24所述修復(fù)設(shè)備，其中所述基板的被測(cè)單元是位于基板的電連線；以及所述探測(cè)傳感單元的探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在兩個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，并在所述兩個(gè)點(diǎn)施加電壓以檢測(cè)是否有電流流過(guò)所述被測(cè)單元，從而檢測(cè)出所述電連線內(nèi)的短路。
26.根據(jù)權(quán)利要求23至25的任一所述修復(fù)設(shè)備，其中所述基板的被測(cè)單元是位于基板的電連線；以及所述修復(fù)單元用激光束輻照所述被測(cè)單元的短路位置并修復(fù)缺陷。
27.根據(jù)權(quán)利要求23至26的任一所述修復(fù)設(shè)備，其中，所述基板是平板顯示基板。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述修復(fù)設(shè)備，其中，在所述平板顯示基板內(nèi)，將數(shù)據(jù)線和選通線以矩陣形式進(jìn)行布線。
29.根據(jù)權(quán)利要求27所述修復(fù)設(shè)備，其中，所述平板顯示基板是液晶顯示器的基板或者等離子體顯示器的基板。
30.一種修復(fù)方法，用于利用根據(jù)權(quán)利要求23或者24所述修復(fù)設(shè)備對(duì)安裝在平臺(tái)上的基板內(nèi)的短路進(jìn)行檢測(cè)和修復(fù)，所述基板具有在其內(nèi)以第一和第二方向形成的多個(gè)電連線單元，所述修復(fù)方法包括將所述探測(cè)傳感單元移動(dòng)至被測(cè)單元；當(dāng)通過(guò)以下過(guò)程對(duì)沿著所述第一方向的連線內(nèi)的短路進(jìn)行測(cè)試時(shí)確定短路的存在，所述過(guò)程即，在將位于所述被測(cè)單元的所述探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)至所述第一方向上之后，將探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在兩個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，在所述兩個(gè)點(diǎn)施加電壓，然后檢測(cè)在所述兩個(gè)點(diǎn)之間流過(guò)的電流；當(dāng)通過(guò)以下過(guò)程對(duì)沿著所述第二方向的連線內(nèi)的短路進(jìn)行測(cè)試時(shí)確定短路的存在，所述過(guò)程即，在將位于所述被測(cè)單元的所述探測(cè)傳感單元旋轉(zhuǎn)至所述第二方向上之后，將探測(cè)單元與所述基板的被測(cè)單元在兩個(gè)點(diǎn)進(jìn)行接觸，在所述兩個(gè)點(diǎn)施加電壓，然后檢測(cè)在所述兩個(gè)點(diǎn)之間流過(guò)的電流；以及當(dāng)檢測(cè)出短路時(shí)，移動(dòng)所述修復(fù)單元至所述短路位置并修復(fù)所述短路。
31.根據(jù)權(quán)利要求30所述修復(fù)方法，其中，所述基板是平板顯示基板，在該平板顯示基板內(nèi)將數(shù)據(jù)線和選通線以矩陣形式進(jìn)行布線。
32.根據(jù)權(quán)利要求31所述修復(fù)方法，其中，在用于將所述探測(cè)傳感單元的探針與所述基板的被測(cè)單元進(jìn)行接觸的兩個(gè)點(diǎn)施加電壓的位置是位于所述數(shù)據(jù)線或者所述選通線的終端部的相鄰電極焊盤。
全文摘要
在平面板上設(shè)置能夠沿著導(dǎo)向件在所述Y軸方向移動(dòng)的主臺(tái)架和副臺(tái)架，以及所述主臺(tái)架安裝有用于進(jìn)行修復(fù)并能夠在所述X軸方向移動(dòng)的光學(xué)系統(tǒng)。在移動(dòng)支座上設(shè)置LCD基板亦即所述被測(cè)單元。所述主臺(tái)架和副臺(tái)架安裝有能夠在所述X軸方向移動(dòng)并可以在所述XY平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的探測(cè)傳感頭。所述探測(cè)傳感頭由探測(cè)單元和傳感單元組成，所述探測(cè)單元用于對(duì)電極提供電流，所述傳感單元用于檢測(cè)對(duì)所述連線提供的電流并確定開(kāi)路/短路缺陷的存在，其中所述探測(cè)單元和所述傳感單元彼此集成在一起。如此構(gòu)造的所述修復(fù)設(shè)備能夠有效地接近所述LCD基板上的電連線的全部區(qū)域，檢測(cè)缺陷并修復(fù)所述缺陷而無(wú)須移開(kāi)并重新安裝所述基板。
文檔編號(hào)G01M11/00GK101017256SQ20071000679
公開(kāi)日2007年8月15日 申請(qǐng)日期2007年2月6日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月6日
發(fā)明者岡野明彥 申請(qǐng)人:激光先進(jìn)技術(shù)股份公司