專(zhuān)利名稱(chēng)：電氣檢測(cè)設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于被測(cè)件的尤其是用于晶片的電氣檢測(cè)設(shè)備，具有一個(gè)與被測(cè)件對(duì)應(yīng)的觸頭和一個(gè)電聯(lián)接的連接裝置以及一個(gè)在該連接裝置背向觸頭的一側(cè)面上布置的支撐裝置，所述的觸頭具有構(gòu)成觸針布置的銷(xiāo)狀接觸元件，所述的連接裝置設(shè)有接觸面，該接觸面與接觸元件上背朝布置有被測(cè)件的測(cè)試平面的一端相接觸。
背景技術(shù)：
本文開(kāi)頭提到的這種檢測(cè)設(shè)備與被測(cè)件進(jìn)行電接觸，以測(cè)試其功能。該電氣檢測(cè)設(shè)備與被測(cè)件之間為電連接，即一方面與被測(cè)件的電氣端子接觸，另一方面用電接觸來(lái)連接一個(gè)檢測(cè)系統(tǒng)，該檢測(cè)系統(tǒng)通過(guò)該檢測(cè)設(shè)備對(duì)被測(cè)件發(fā)送電信號(hào)，以測(cè)量它的如電阻、電流及電壓等以檢測(cè)它的性能。由于電氣上的被測(cè)件中通常會(huì)是尺寸極細(xì)小的、用來(lái)制作電子部件的電子元件例如晶片，因此該觸頭的銷(xiāo)狀接觸元件尺寸也相當(dāng)小。為了能與上述檢測(cè)系統(tǒng)連接，觸頭的接觸元件與連接裝置相接觸，該連接裝置通過(guò)轉(zhuǎn)化使接觸間隙變大，從而可以與通向檢測(cè)系統(tǒng)的連接電纜相連接。在檢測(cè)過(guò)程中被測(cè)件放在測(cè)試平面上，而檢測(cè)設(shè)備沿軸向最好是垂直方向往被測(cè)件下降，使銷(xiāo)狀接觸元件的一個(gè)末端與被測(cè)件接觸而另一末端則與連接裝置的接觸面相連。支撐裝置沿軸向施壓使被測(cè)件負(fù)載，從而產(chǎn)生了上述的接觸。同時(shí)由于通常構(gòu)成平面的連接裝置受到支撐裝置支撐，由于反作用力而在連接裝置上產(chǎn)生一個(gè)撓曲，該撓曲通過(guò)與該被測(cè)件的接觸而被抵消。由于加工和外部操作誤差還不能保證構(gòu)成觸針布置的觸針以幾乎相等的壓力接觸被測(cè)件。這可使結(jié)構(gòu)部分的平面度產(chǎn)生較小偏差，使得一部分觸針在垂直下降時(shí)比另一部分較早觸及被測(cè)件并在測(cè)試時(shí)具有較強(qiáng)的觸壓。在已知的檢測(cè)設(shè)備中最壞的情況是一定的觸針不接觸被測(cè)件，盡管另一部分以理想的接觸力碰觸在被測(cè)件上。觸針產(chǎn)生一致的較小偏差時(shí)，該觸針最好是由撓曲導(dǎo)線(Knickdrhten)構(gòu)成，在接觸時(shí)受到縱向的作用力并形成略呈弧形的彈性彎曲。當(dāng)然通過(guò)這種彎曲并不總能起到平衡作用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的任務(wù)是完成一個(gè)上述形式的電氣檢測(cè)設(shè)備，以保障一直與被測(cè)件可靠接觸。
本發(fā)明任務(wù)可這樣解決，在支撐裝置和連接裝置之間布置拉機(jī)構(gòu)和/或壓機(jī)構(gòu)以調(diào)整接觸面布置的平面度或理想的平面度偏差。通過(guò)調(diào)整拉和壓機(jī)構(gòu)，支撐裝置施力在連接裝置上并使其產(chǎn)生變形，最好是彈性變形，使得所布置的接觸面沿檢測(cè)設(shè)備軸向，最好是垂直方向移動(dòng)相應(yīng)距離，并用這種形式和方法，獲得該接觸面布置的平面度。這表明，當(dāng)被測(cè)件是標(biāo)準(zhǔn)的平面構(gòu)成，而檢測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)沒(méi)有加工誤差或也未因受外部影響發(fā)生偏差，只在連接裝置上設(shè)置不標(biāo)準(zhǔn)的平面時(shí)，本發(fā)明任務(wù)仍能完成。根據(jù)另一應(yīng)用情況，例如構(gòu)成晶片的被測(cè)件不具有較準(zhǔn)確的平面度，可能造成接觸元件上產(chǎn)生不同的接觸壓力甚至接觸無(wú)件就不接觸。這可通過(guò)適當(dāng)調(diào)整拉和/或壓機(jī)構(gòu)來(lái)克服，其中根據(jù)平整度調(diào)整連接裝置上的接觸面的位置或以至產(chǎn)生一個(gè)預(yù)期的非平整度，以抵消上述的偏差。此外當(dāng)檢測(cè)裝置必須借助不同大小的接觸力來(lái)工作時(shí)，拉和壓機(jī)構(gòu)能夠?qū)γ總€(gè)工作觸頭進(jìn)行調(diào)整。例如當(dāng)被測(cè)件只有幾個(gè)測(cè)試點(diǎn)時(shí)，只須幾個(gè)觸針，相應(yīng)的測(cè)試時(shí)只有較小的接觸力。當(dāng)被測(cè)件有多個(gè)測(cè)試點(diǎn)時(shí)，則需要多個(gè)觸針，因此需施加一個(gè)較大的接觸力，以在每個(gè)觸針上作用相等的力。與此對(duì)應(yīng)連接裝置的負(fù)載變大，并根據(jù)反作用力產(chǎn)生變形，再次造成在相應(yīng)的接觸面發(fā)生位移。通過(guò)上述的拉和壓機(jī)構(gòu)可以對(duì)連接裝置的平面度和非平面度進(jìn)行預(yù)設(shè)，該連接裝置尤其是平面結(jié)構(gòu)——如上所述，例如由一個(gè)印刷電路板構(gòu)成的。
此外，一個(gè)有益方案是該拉和壓機(jī)構(gòu)能夠允許連接裝置在與測(cè)試平面平行的平面上發(fā)生熱膨脹。因?yàn)檫M(jìn)行測(cè)試時(shí)可能出現(xiàn)不同室溫，和/或最好是對(duì)不同的被測(cè)件溫度進(jìn)行測(cè)試，以能夠在一定溫度范圍內(nèi)對(duì)被測(cè)件進(jìn)行性能測(cè)試，尤其是在測(cè)試平面的平行平面上，構(gòu)件隨溫度而出現(xiàn)長(zhǎng)度變化時(shí)。如果拉和壓機(jī)構(gòu)允許上述平面上的變化，該不可避免的長(zhǎng)度變化不受拉和壓測(cè)試機(jī)構(gòu)阻礙，尤其是當(dāng)拉和壓機(jī)構(gòu)被制成懸擺拉和懸擺推機(jī)構(gòu)時(shí)。盡管通過(guò)擺動(dòng)產(chǎn)生的一個(gè)相應(yīng)的位移與該長(zhǎng)度方向垂直，但拉和壓機(jī)構(gòu)在長(zhǎng)度延伸方向具有機(jī)械剛性，從而獲得所需的拉力和/或壓力，由此上述的長(zhǎng)度變化不受阻礙。應(yīng)注意的是晶片測(cè)試在溫度-40℃到+150℃之間進(jìn)行。
本發(fā)明的一個(gè)改進(jìn)方案是，布置若干個(gè)拉和/或壓機(jī)構(gòu)，優(yōu)選以矩陣形式布置在檢測(cè)裝置的中央范圍，尤其布置在銷(xiāo)釘接觸結(jié)構(gòu)的基面范圍。該中央范圍用于接納該觸針并提供檢測(cè)范圍。所述的拉和或壓機(jī)構(gòu)在該范圍內(nèi)允許對(duì)軸向進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)準(zhǔn)或變形，以調(diào)節(jié)期望的平面度和/或非平面度。
一個(gè)有益方案是，該拉和壓機(jī)構(gòu)設(shè)有螺紋銷(xiāo)，該螺紋銷(xiāo)與調(diào)整螺母相互作用，以產(chǎn)生拉力和/或壓力。當(dāng)沿一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)調(diào)整螺母，該調(diào)整在螺紋銷(xiāo)上產(chǎn)生一個(gè)壓力，而沿另一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)調(diào)整螺母，則產(chǎn)生一個(gè)拉力。其中壓力和拉力的大小還可通過(guò)對(duì)調(diào)整螺母相應(yīng)的調(diào)節(jié)距離來(lái)改變，因此可以進(jìn)行獨(dú)立且無(wú)級(jí)的調(diào)整。
此外，一個(gè)有益方案是螺紋銷(xiāo)的一端固定在連接裝置上，而調(diào)整螺母支撐在支撐裝置上。調(diào)整螺母保持從外面可碰觸的狀態(tài)，并能夠在檢測(cè)裝置校準(zhǔn)時(shí)相應(yīng)的作簡(jiǎn)單調(diào)整。
特別是，與連接裝置相連的螺紋銷(xiāo)末端設(shè)有觸頭，該觸頭容置在連接裝置上設(shè)置的止動(dòng)帽內(nèi)。該觸頭以擺動(dòng)的方式支撐在該止動(dòng)帽內(nèi)，因此產(chǎn)生的熱膨脹不受阻礙。
螺紋銷(xiāo)最好安裝在支撐裝置的通孔中或穿過(guò)該通孔，其中該通孔最好是由一個(gè)較小直徑通孔段和一個(gè)較大直徑通孔段構(gòu)成的臺(tái)階孔。其中較大直徑的通孔段在支撐裝置的外側(cè)面，調(diào)整螺母裝入其中并且一個(gè)表面在臺(tái)階孔的臺(tái)階上，而另一個(gè)表面靠近并支撐在位于大直徑孔段中的鎖緊件內(nèi)部。因此轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整螺母使得來(lái)自支撐裝置上的壓力或拉力通過(guò)該各個(gè)螺紋銷(xiāo)的設(shè)置作用在連接裝置上。
鎖緊件可優(yōu)選地按調(diào)整螺母的夾緊塊制成，使調(diào)整螺母通過(guò)夾緊鎖定在一個(gè)理想的轉(zhuǎn)動(dòng)位置，以防止一個(gè)不期望的位移。
最后的有益方案是鎖緊件是帶有外螺紋的螺紋環(huán)，擰入大直徑孔段的內(nèi)螺紋中。轉(zhuǎn)動(dòng)該螺紋環(huán)并使其沿軸向移動(dòng)，以使對(duì)應(yīng)的調(diào)整螺母被鎖緊并緊固或松開(kāi)。


下面結(jié)合附圖及實(shí)施例詳述本發(fā)明。
圖1為一個(gè)檢測(cè)設(shè)備的橫截面示意圖；圖2為圖1所示檢測(cè)設(shè)備的局部放大圖。
具體實(shí)施例方式
圖1所示為電氣檢測(cè)設(shè)備1的橫截面示意圖，它通過(guò)圖未示的電纜與圖未示的一個(gè)檢測(cè)系統(tǒng)相連以與圖中未示的被測(cè)件相接觸，以實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)件的電氣檢測(cè)。該被測(cè)件可以為晶片結(jié)構(gòu)，放于測(cè)試平面2上，如圖1中的虛線所示。同時(shí)標(biāo)記為垂直檢測(cè)邊3的檢測(cè)設(shè)備1用來(lái)接觸被測(cè)件上相應(yīng)的連接點(diǎn)。該檢測(cè)設(shè)備1設(shè)有一個(gè)觸頭4，一個(gè)連接裝置5及一個(gè)支撐裝置6。該連接裝置5由支撐裝置6來(lái)支撐。觸頭4上設(shè)有若干個(gè)可在縱向移動(dòng)的接觸元件7，該元件第一端與圖中未示的被測(cè)件對(duì)應(yīng)，而另一端與連接裝置5對(duì)應(yīng)。該連接裝置5制成帶有印制導(dǎo)線9的多層印刷電路板8的形式，其中印制導(dǎo)線9上與觸頭4末端配置有接觸面10，在其徑向外端設(shè)置有電氣聯(lián)接面11，后者通過(guò)上面提到而圖中未示的電纜與測(cè)試系統(tǒng)連接。連接裝置5可以設(shè)計(jì)成一個(gè)適配器，即較小的接觸面10的較小間距通過(guò)印制導(dǎo)線9轉(zhuǎn)化為聯(lián)接面11的較大間距。同時(shí)聯(lián)接面11的尺寸使上述的電纜連接得以實(shí)現(xiàn)。
在測(cè)試被測(cè)件時(shí)，支撐裝置6沿軸向(箭頭12)往放置在測(cè)試平面2上的被測(cè)件移動(dòng)，以便接觸元件7的端部一方面觸及被測(cè)件而另一方面與接觸面10相連。由于接觸元件7由撓曲導(dǎo)線13構(gòu)成，即其沿軸向由于撓曲有略微彈性，所以當(dāng)檢測(cè)設(shè)備1和被測(cè)件各有一個(gè)足夠的平面度時(shí)，該撓曲導(dǎo)線便可與被測(cè)件恰好接觸。問(wèn)題是當(dāng)撓曲導(dǎo)線13與連接裝置5相連的頂端都在同一個(gè)平面上時(shí)，連接裝置5上的接觸面10由于例如印刷電路板8的凸形撓曲而并非平面布置。為了能夠調(diào)整連接裝置5的平面度或非平面度，在支撐裝置6和連接裝置5之間設(shè)置拉和壓機(jī)構(gòu)14。在檢測(cè)裝置1的中央?yún)^(qū)域15布置有呈矩陣分布的若干個(gè)拉和壓機(jī)構(gòu)14。在這種情況下，尤其是在觸頭4的觸針布置17的基面區(qū)域16，設(shè)置拉和壓機(jī)構(gòu)14。
圖2中的放大圖表明，每個(gè)拉和壓機(jī)構(gòu)14上設(shè)有帶端頭19的螺紋銷(xiāo)18，其中螺紋銷(xiāo)18上旋有一個(gè)調(diào)整螺母20。在電路板8的上表面21上最好通過(guò)粘合劑固定止動(dòng)帽22，該止動(dòng)帽22的橫截面是C型結(jié)構(gòu)23，且拉和壓機(jī)構(gòu)14的端頭19置于其中。有時(shí)端頭19置于C型結(jié)構(gòu)23中有一定空隙，那么該拉和壓機(jī)構(gòu)14則分別表現(xiàn)為懸擺拉或推機(jī)構(gòu)24。但是，也可以選擇將端頭19粘貼入C型結(jié)構(gòu)中，通過(guò)彎曲該拉和壓機(jī)構(gòu)14可使懸擺平衡。每個(gè)螺紋銷(xiāo)18的自由端25伸入支撐裝置6的一個(gè)通孔26中。為了容納止動(dòng)帽22和一段螺紋銷(xiāo)18，支撐裝置26在面向連接裝置5的一側(cè)設(shè)有凹口27(如圖1)。如圖2所示，每個(gè)通孔26做成臺(tái)階孔28形式，即其具有一個(gè)與連接裝置5對(duì)應(yīng)的較小直徑孔段29和延伸到支撐裝置6外側(cè)30的較大直徑孔段31，因此形成環(huán)行臺(tái)階32。
具有內(nèi)螺紋33的調(diào)整螺母20旋在螺紋銷(xiāo)18的一端25處并具有一個(gè)小直徑的中心區(qū)34，它與一有較大直徑的外側(cè)環(huán)形法蘭35構(gòu)成一個(gè)整體。該環(huán)形法蘭35的下表面緊貼在該環(huán)行臺(tái)階32上。
孔段31的內(nèi)部設(shè)有一個(gè)鎖緊件36，能以?shī)A緊的方式抵靠在調(diào)整螺母20的環(huán)形法蘭35上，由此可以使調(diào)整螺母20在鎖緊件36和環(huán)形臺(tái)階32之間的轉(zhuǎn)動(dòng)被鎖緊。該鎖緊件36由此形成一個(gè)夾緊塊37，并按螺環(huán)38構(gòu)成，該螺環(huán)38的外緣設(shè)有外螺紋39，與孔段31的內(nèi)螺紋40嚙合。此外螺環(huán)38的中心孔41可容置調(diào)整螺母20的小直徑范圍34。
這導(dǎo)致了以下作用為了校準(zhǔn)該檢測(cè)設(shè)備，將其下降至放在檢測(cè)平面2上的被測(cè)件上，使撓曲導(dǎo)線13一方面與被測(cè)件電接觸，而另一方面通過(guò)接觸面10，印制導(dǎo)線9和聯(lián)接面11以及圖中未示的連接電纜與圖中未示的檢測(cè)系統(tǒng)電聯(lián)接。在下降過(guò)程中，采用一個(gè)檢測(cè)系統(tǒng)的監(jiān)控器顯示下降狀態(tài)，到下降位置接觸元件7與檢測(cè)件接觸。如果發(fā)現(xiàn)，例如位于圖1右側(cè)的接觸元件7以一個(gè)比左側(cè)接觸元件7較大的接觸壓力較早地接觸到被測(cè)件，這些可以通過(guò)檢測(cè)系統(tǒng)的監(jiān)控器上相應(yīng)的圖像顯示出，那么可以采用拉和壓機(jī)構(gòu)14進(jìn)行所期望的糾正。這可以如此進(jìn)行從支撐裝置6到電路板8上，對(duì)位于右側(cè)的拉和壓機(jī)構(gòu)14施加一個(gè)較大的拉力，和/或置于左側(cè)的拉和壓機(jī)構(gòu)14施加一個(gè)較大的壓力，這樣使電路板有一個(gè)微小的彈性變形，由此使接觸面10在軸向產(chǎn)生相應(yīng)的垂直位移。
如果螺紋銷(xiāo)18為右旋螺紋且螺環(huán)38被旋松，推力的實(shí)現(xiàn)可以通過(guò)調(diào)整螺母20以逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)而向遠(yuǎn)離端頭19的方向移動(dòng)，然后通過(guò)擰緊螺環(huán)38來(lái)卡緊螺環(huán)38與環(huán)性形臺(tái)階32之間的環(huán)形法蘭35。另一方面，拉力的實(shí)現(xiàn)是通過(guò)-松開(kāi)螺環(huán)38后-順時(shí)針旋轉(zhuǎn)調(diào)整螺母20，在此過(guò)程中，該調(diào)整螺母由環(huán)形臺(tái)階32支撐并通過(guò)止動(dòng)帽22的C型結(jié)構(gòu)23將拉力傳遞至電路板8上。接著螺環(huán)38再次被旋緊，使得調(diào)整螺母20的環(huán)形法蘭35固定鎖緊。用這種方式和方法，在拉和壓機(jī)構(gòu)14相應(yīng)的若干個(gè)位置，使得連接裝置5和其接觸面10布置的平面度或非平面度都得以調(diào)節(jié)。
如圖2可知，孔段29比螺紋銷(xiāo)18的直徑大，當(dāng)放置在測(cè)試平面2的平行平面上的元件產(chǎn)生熱膨脹時(shí)，允許螺紋銷(xiāo)18產(chǎn)生一定量的擺動(dòng)偏差。
為了能夠使上述調(diào)整螺母20和/或螺環(huán)38作旋轉(zhuǎn)調(diào)整，這兩個(gè)元件的表面各有一個(gè)工具嚙合槽，以便它們都可以沒(méi)有任何問(wèn)題的用叉形螺絲刀調(diào)節(jié)。
本發(fā)明還有可能使連接裝置5尤其是印刷電路板8在垂直或軸向位置對(duì)不同點(diǎn)調(diào)節(jié)和固定從而與被測(cè)件最佳接觸。
權(quán)利要求
1.一種用于被測(cè)件的電氣檢測(cè)設(shè)備，尤其是用于晶片檢測(cè)，它包括一個(gè)與被測(cè)件對(duì)應(yīng)的觸頭和一個(gè)電聯(lián)接的連接裝置以及一個(gè)在該連接裝置背向觸頭的一側(cè)面上布置的支撐裝置，所述的觸頭具有構(gòu)成觸針布置的銷(xiāo)狀接觸元件，所述的連接裝置設(shè)有接觸面，其與接觸元件上背朝布置有被測(cè)件的測(cè)試平面的一端相接觸，其特征在于在支撐裝置(6)和連接裝置(5)之間布置有拉和/或壓機(jī)構(gòu)(14)以調(diào)整接觸面(10)布置的平面度或該平面度的一個(gè)預(yù)期偏差。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于該拉和/或壓機(jī)構(gòu)(14)允許連接裝置(5)或該檢測(cè)裝置(1)的其它部分在測(cè)試平面(2)的平行平面上發(fā)生熱膨脹。
3.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于拉和/或壓機(jī)構(gòu)(14)構(gòu)形為懸擺拉和/或懸擺壓機(jī)構(gòu)(24)，以允許連接裝置(5)或檢測(cè)裝置(1)的其它部分熱膨脹。
4.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于兩個(gè)或多個(gè)拉和/或壓機(jī)構(gòu)(14)，以矩陣形式分布在檢測(cè)裝置(1)的中央?yún)^(qū)域(15)，尤其是布置在接觸針布置(17)的基面區(qū)域(16)。
5.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于該拉和/或壓機(jī)構(gòu)(14)設(shè)有螺紋銷(xiāo)(18)，該螺紋銷(xiāo)(18)與調(diào)整螺母(20)共同作用而產(chǎn)生拉力和/或壓力。
6.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于螺紋銷(xiāo)(18)的第一端固定在連接裝置(5)上，而調(diào)整螺母(20)支撐在支撐裝置(6)上。
7.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于布置在連接裝置(5)上的螺紋銷(xiāo)(18)具有端頭(19)，該端部容置于固定在連接裝置(5)上的止動(dòng)帽(22)中。
8.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于該螺紋銷(xiāo)(18)伸入或穿過(guò)支撐裝置(6)的通孔(26)。
9.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于所述通孔(26)為具有小直徑孔段(29)和大直徑孔段(31)的臺(tái)階孔(28)，其中調(diào)整螺母(20)位于在支撐裝置(6)外側(cè)(30)的大直徑孔段(31)內(nèi)，，其一面支撐在臺(tái)階孔(28)的環(huán)形臺(tái)階(32)上而另一面則支持在大直徑孔段(31)內(nèi)的鎖緊件(36)上。
10.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于所述鎖緊件(36)是用于調(diào)整螺母(20)的夾緊塊(37)。
11.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于鎖緊件(36)是螺環(huán)(38)，該螺環(huán)的外螺紋(39)擰入大直徑孔段(31)內(nèi)的內(nèi)螺紋(40)中。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于被測(cè)件電檢測(cè)的電氣檢測(cè)設(shè)備，尤其是用于晶片檢測(cè)的電氣檢測(cè)，它包括一個(gè)與被測(cè)件對(duì)應(yīng)的觸頭和一個(gè)電聯(lián)接的連接裝置以及一個(gè)在該連接裝置背向觸頭的一側(cè)面上布置的支撐裝置，所述的觸頭具有構(gòu)成觸針布置的銷(xiāo)狀接觸元件，所述的連接裝置設(shè)有接觸面，其與接觸元件上背朝布置有被測(cè)件的測(cè)試平面的一端相接觸，本發(fā)明在支撐裝置和連接裝置之間布置有拉和/或壓機(jī)構(gòu)以調(diào)整該接觸面布置的平面度或該平面度的一個(gè)預(yù)期偏差。
文檔編號(hào)G01R1/073GK1702462SQ200510075498
公開(kāi)日2005年11月30日 申請(qǐng)日期2005年5月26日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月28日
發(fā)明者貢特爾·伯姆 申請(qǐng)人:精煉金屬股份有限公司