專利名稱：一種用于低溫工作多元紅外探測(cè)器的氣密管殼的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光電探測(cè)器，具體涉及一種用于低溫工作多元紅外探測(cè)器的氣密管殼。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的單元低溫紅外探測(cè)器的電極引腳采用金屬針引腳外包裹玻璃作為絕緣層從管殼底座引出。這種結(jié)構(gòu)的局限性在于當(dāng)光敏元超過(guò)二只，電極引腳增加時(shí)，由于多根電極引腳占去較多管殼底座底面積，造成器件與杜瓦冷頭熱交換的有效面積減少，影響器件的低溫工作性能，同時(shí)由于玻璃絕緣電極引腳占有面積大，不能在管殼底座上高密度排列，所以對(duì)多元器件這種管殼結(jié)構(gòu)已不相適應(yīng)。另外傳統(tǒng)管殼結(jié)構(gòu)的器件在低溫狀態(tài)測(cè)試其電性能時(shí)，引線連接也是麻煩事。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型根據(jù)上述已有技術(shù)存在的問(wèn)題，提出一種可高密度排列的平面電極引腳的管殼結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)與杜瓦冷頭熱交換性能好，耐低溫、耐沖擊。
本實(shí)用新型的管殼包括底座、電極瓷環(huán)、絕緣瓷環(huán)、管帽。底座上置有與管座密封連接的電極瓷環(huán)，所說(shuō)的電極瓷環(huán)上表面布有用鉬錳材料印刷的電極引線圖，引線圖上鍍有一層金膜，構(gòu)成一個(gè)平面電極引腳。多元器件芯片放在基板中間，基板置在電極瓷環(huán)內(nèi)的底座中間，芯片、基板與底座之間形成一個(gè)良好的熱交換接觸，芯片的信號(hào)引出通過(guò)金絲用壓焊或銦焊方式與電極瓷環(huán)上的電極引線一一對(duì)應(yīng)實(shí)現(xiàn)電學(xué)連接。電極瓷環(huán)上置有與電極瓷環(huán)密封連接的絕緣瓷環(huán)。絕緣瓷環(huán)上置有與其密封連接的管帽座，帶有紅外窗口的管帽與管帽座通過(guò)銦密封連接。
整個(gè)管殼結(jié)構(gòu)緊湊，電極采用平面延伸從而具有如下優(yōu)點(diǎn)1.芯片、基板、管殼底座與杜瓦冷頭之間熱交換接觸良好，提高了器件的低溫工作性能。
2.電極引線可在電極瓷環(huán)上高密度排列，從而實(shí)現(xiàn)多元芯片安裝。
3.便于器件采用探針卡完成測(cè)量。
說(shuō)明書附圖

圖1為用于低溫工作多元紅外探測(cè)器的氣密管殼的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為電極瓷環(huán)電極引線圖。
具體實(shí)施方式
見(jiàn)圖1所示的結(jié)構(gòu)，制作過(guò)程是A.在電極瓷環(huán)2上印刷鉬錳漿料的電極引線圖，再在引線圖上蒸鍍金膜，構(gòu)成一個(gè)平面電極引腳3，將絕緣瓷環(huán)4放置在布有電極引線的電極瓷環(huán)上，進(jìn)行熱壓密封連接成一體；B.再將形成一體的電極瓷環(huán)2和絕緣瓷環(huán)4放置在底座1上，管帽座5置在絕緣瓷環(huán)上進(jìn)行燒結(jié)成為一體；C.將預(yù)先裝配好的芯片6與基板7置入底座1上；D.將帶有密封窗口8的管帽9和帶有芯片的已燒結(jié)成為一體的底座、電極瓷環(huán)、絕緣瓷環(huán)、管帽座放入同一真空室內(nèi)的上機(jī)械手與下機(jī)械手中，并在管帽座內(nèi)置入密封用銦環(huán)10；經(jīng)高真空排氣后進(jìn)行壓封包邊完成器件的封裝，上述的底座、基板、管帽座和管帽勻用金屬材料制成。
權(quán)利要求1.一種用于多元紅外探測(cè)器的氣密管殼，包括底座(1)、電極瓷環(huán)(2)、絕緣瓷環(huán)(4)、基板(7)和管帽(9)，其特征在于底座(1)上置有與底座(1)密封連接的電極瓷環(huán)(2)，所說(shuō)的電極瓷環(huán)上表面布有用鉬錳材料印刷的電極引線圖，引線圖上鍍有一層金膜，構(gòu)成一個(gè)平面電極引腳(3)；多元器件芯片(6)放在基板(7)中間，基板置在電極瓷環(huán)(2)內(nèi)的底座(1)中間，芯片的信號(hào)引出通過(guò)金絲與電極瓷環(huán)上的電極引腳(3)一一對(duì)應(yīng)實(shí)現(xiàn)電學(xué)連接；電極瓷環(huán)上置有與電極瓷環(huán)密封連接的絕緣瓷環(huán)(4)；絕緣瓷環(huán)上置有與其密封連接的管帽座(5)；帶有紅外窗口(8)的管帽(9)與管帽座通過(guò)銦環(huán)(10)密封連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于低溫工作的多元紅外探測(cè)器的氣密管殼,包括:底座、固定探測(cè)器芯片的基板、電極瓷環(huán)、絕緣瓷環(huán)和管帽。它的特征是:電極瓷環(huán)表面布有金屬電極引線圖,電極采用平面延生方式,從管殼的側(cè)面引出,徹底改變了原采用金屬針引腳外包裹玻璃作為絕緣層從管殼底座引出。使芯片、基板、管殼底座與杜瓦冷頭之間熱交換接觸良好,提高了器件的低溫工作性能。同時(shí)電極引線可在電極瓷環(huán)上高密度排列,從而實(shí)現(xiàn)多元芯片安裝。
文檔編號(hào)G01J1/02GK2511953SQ0125519
公開(kāi)日2002年9月18日 申請(qǐng)日期2001年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月7日
發(fā)明者朱三根, 洪斯敏 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所