專利名稱：電特性測(cè)定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于測(cè)定電特性的測(cè)定裝置，本發(fā)明特別是涉及下述電特性測(cè)定裝置，其具有薄膜磁頭等的微型結(jié)構(gòu)，以靜電或突入電流較弱的電子器件作為被測(cè)定物。
如圖7所示，過去的數(shù)字式伏-歐-毫安表等的電特性測(cè)定裝置包括內(nèi)部設(shè)置有電動(dòng)測(cè)定器的主體部61；從主體部61引出，經(jīng)絕緣性覆蓋的2根測(cè)定電纜62；正負(fù)極的一對(duì)桿狀的電極探頭63，該對(duì)電極探頭63安裝于測(cè)定電纜62的前端部，通過測(cè)定電纜62與主體部61以導(dǎo)通方式連接，該電極探頭63由以鎳為基體，進(jìn)行了鍍金處理的黃銅等的良導(dǎo)電體形成，電極探頭63與被測(cè)定物的端子部直接相接觸，對(duì)被測(cè)定物的電特性進(jìn)行測(cè)定。
但是，由于過去的電特性測(cè)定裝置中的具有絕緣外膜的測(cè)定電纜62為容易蓄積電荷的結(jié)構(gòu)，另外，電極探頭63處于相對(duì)主體部61的電源接地端，靜電浮起的狀態(tài)，故電極探頭63相對(duì)電源接地端，容易帶有電位。如果電極探頭63或被測(cè)定物63帶電，通過測(cè)定時(shí)的電極探頭63與被測(cè)定物的端子部之間的接觸，帶電的電荷Q在被測(cè)定物與電極探頭63之間瞬間移動(dòng)(數(shù)個(gè)毫微秒)。在按照此方式，電荷Q瞬間移動(dòng)的場(chǎng)合，即使在電荷Q為微量的情況下，作為電荷Q時(shí)間微分的電流I=△Q／△T為大電流。由于該大電流，當(dāng)被測(cè)定物為具有微型結(jié)構(gòu)的電子器件(比如，薄膜磁頭等)時(shí)，具有被測(cè)定物受到靜電破壞的問題。
另外，在過去，為了防止被測(cè)定物或電特性測(cè)定裝置帶電，通過電離裝置對(duì)被測(cè)定物進(jìn)行除電處理，或?qū)﹄娞匦詼y(cè)定裝置進(jìn)行改造等。但是，任何一種方式的成本均較高，具有管理復(fù)雜的問題。本發(fā)明的目的在于提供電特性測(cè)定裝置，其不使作為被測(cè)定物的電子器件受到靜電破壞，并且可正確地測(cè)定電子器件的電特性。
本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置按照下述方式構(gòu)成，該方式為電極探頭包括由良導(dǎo)電體形成的基部；由良導(dǎo)電體形成的第1接點(diǎn)部；由其電阻大于上述第1接點(diǎn)部的導(dǎo)電體形成的第2接點(diǎn)部，上述基部與第1，第2接點(diǎn)部處于導(dǎo)通的狀態(tài)，在第2接點(diǎn)部與被測(cè)定物以導(dǎo)通方式連接之后，第1接點(diǎn)部與該被測(cè)定物以導(dǎo)通方式連接。
另外，本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中的電極探頭具有由良導(dǎo)電體形成的基部，第1接點(diǎn)部由上述基部的一部分形成，第2接點(diǎn)部可沿上述基部的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，并且上述第2接點(diǎn)部相對(duì)第1接點(diǎn)部，沿上述基部的長(zhǎng)度方向突出，可按照相對(duì)該突出狀態(tài)后退的方式移動(dòng)。
此外，最好在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，第2接點(diǎn)部與基部之間設(shè)置有彈簧部件。
還有，最好在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，上述彈簧部件將基部與第2接點(diǎn)部連接。
再有，最好在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，第1接點(diǎn)部與第2接點(diǎn)部按照相互接近的方式設(shè)置。
另外，最好在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，第2接點(diǎn)部呈包圍第1接點(diǎn)部的外周的筒狀。
此外，最好在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，在上述第1接點(diǎn)部的長(zhǎng)度方向的中間部，設(shè)置有中空部，第2接點(diǎn)部接納于該中空部中。
還有，最好在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，上述第2接點(diǎn)部的表面電阻在106～1012Ω／□的范圍內(nèi)。
再有，最好在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性塑料形成。作為導(dǎo)電性塑料，包括有聚乙炔等的導(dǎo)電性高分子，在塑料中混合有作為導(dǎo)電性填料的金屬粉末等而形成的材料，或離子傳導(dǎo)性高分子等。
或者，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性陶瓷形成。作為導(dǎo)電性陶瓷，包括有ZrO2-Y2O3等的離子帶電體。
還有，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，上述彈簧部件由鈹銅形成。
或者，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，上述彈簧部件由磷青銅形成。
另外，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，第1接點(diǎn)部由上述基部的一部分形成，第2接點(diǎn)部在第1接點(diǎn)部的附近，安裝于上述基部上，第1接點(diǎn)部的前端與第2接點(diǎn)部的前端位置按照與上述基部的長(zhǎng)度方向保持一致的方式設(shè)置。
此外，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，第2接點(diǎn)部的表面電阻在106～1012Ω／□的范圍內(nèi)。
還有，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性塑料形成。
再有，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性陶瓷形成。


圖1為本發(fā)明電特性測(cè)定裝置的整體示意圖；圖2為本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置的第1實(shí)施例的主要部分的剖視圖；圖3為本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置的第2實(shí)施例的主要部分的剖視圖；圖4為本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置的第3實(shí)施例的主要部分的剖視圖；圖5為本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置的第4實(shí)施例的主要部分的剖視圖；圖6為本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置的第5實(shí)施例的主要部分的剖視圖；圖7為過去的電特性測(cè)定裝置的整體示意圖。
首先，通過圖1和圖2對(duì)本發(fā)明的第1實(shí)施例進(jìn)行描述。如圖1所示，本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置包括其內(nèi)部設(shè)置有電測(cè)定器的主體部1；兩根測(cè)定電纜2，它們從主體部1引出，實(shí)現(xiàn)絕緣包覆；正負(fù)極的一對(duì)電極探頭3，其安裝于測(cè)定電纜2的前端部，通過測(cè)定電纜2，與主體部1以導(dǎo)通方式連接。
如圖2所示，一對(duì)相應(yīng)的電極探頭3包括基部3b，該基部3b由以鎳為基體，進(jìn)行了鍍金處理的黃銅等的良導(dǎo)電體形成；第1接點(diǎn)部3a，該第1接點(diǎn)部3a呈從基部3b的前端中間部，沿基部3b的長(zhǎng)度方向延伸的前端較細(xì)的桿狀；螺旋狀的彈簧部件5，該彈簧部件5由鈹銅或磷青銅等形成；第2接點(diǎn)部4，該第2接點(diǎn)部4由導(dǎo)電性塑料或?qū)щ娦蕴沾傻鹊母咦杩共牧闲纬?，上述?接點(diǎn)部4呈與基部3b基本相同的粗細(xì)的筒狀，在中心開設(shè)有通孔。
另外，作為導(dǎo)電性塑料，包括有比如，聚乙炔等的導(dǎo)電性高分子，包含金屬粉末或鍍金屬層的無機(jī)物等的導(dǎo)電性填料的材料，或具有由聚氧化乙烯與LiClO4的混合物形成的傳導(dǎo)性高分子等，作為導(dǎo)電性陶瓷，包括有ZrO2-Y2O3或Bi2O3-Y2O3等。
第1接點(diǎn)部3a插入第2接點(diǎn)部4的通孔中，第1接點(diǎn)部3a的外周處于圍繞第2接點(diǎn)部4的主體。另外，在第2接點(diǎn)部4的頂面，安裝有彈簧部件5的一個(gè)端部，并且在彈簧部件5的另一端部安裝于基部3b，第2接點(diǎn)部4在可相對(duì)第1接點(diǎn)部3a，沿基部3b的長(zhǎng)度方向移動(dòng)的狀態(tài)，與基部3b連接。此外，該第2接點(diǎn)部4與基部3b處于通過彈簧部件5，實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通的狀態(tài)。在測(cè)定前的通常時(shí)，第2接點(diǎn)部4處于沿基部3b的長(zhǎng)度方向，從第1接點(diǎn)部3a突出的狀態(tài)，并且可相對(duì)該突出狀態(tài)，抵抗彈簧部件5的彈性，朝向基部3b一側(cè)后退。
如果在測(cè)定電特性時(shí)，使電極探頭3的前端部接近被測(cè)定物的端子部，則電極探頭3首先在最初，在第2接點(diǎn)部4，與被測(cè)定物的端子部相接觸。此時(shí)，即使在電極探頭3或被測(cè)定物帶電的情況下，由于電極探頭3與被測(cè)定物之間的電荷移動(dòng)因高阻抗材料的第2接點(diǎn)部4的作用而緩慢，故大電流不流過被測(cè)定物。
此外，由于第2接點(diǎn)部4圍繞第1接點(diǎn)部3a的外周，故第1接點(diǎn)部3a不先于第2接點(diǎn)部4，與被測(cè)定物的端子部相接觸。
如果在電荷移動(dòng)完成，電極探頭3與被測(cè)定物為相同電位之后，將電極探頭3壓靠于被測(cè)定物的端子部，則在彈簧部件5的彈性的作用下，第2接點(diǎn)部4從突出的狀態(tài)后退，第1接點(diǎn)部3a的前端與被測(cè)定物的端子部相接觸。另外，由于由良導(dǎo)電體形成的第1接點(diǎn)部3a與被測(cè)定物之間以導(dǎo)通方式連接，故在測(cè)定裝置中的內(nèi)部電阻較小的狀態(tài)下，可正確地測(cè)定被測(cè)定物的電特性。
下面通過圖3，對(duì)本發(fā)明的第2實(shí)施例進(jìn)行描述。第2實(shí)施例的主體部1與測(cè)定電纜2與圖1所示的第1實(shí)施例的相同，如圖3所示，安裝于測(cè)定電纜2的前端的電極探頭13包括基部13b，該基部13b由以鎳為基體，進(jìn)行了鍍金處理的黃銅等的良導(dǎo)電體形成；孔部13c，該孔部13c從該基部13b的前端部，沿基部13b的長(zhǎng)度方向呈凹狀設(shè)置；止動(dòng)部13d，其在孔部13c的內(nèi)部突出；第1接點(diǎn)部13a，該第1接點(diǎn)部13a為基部13b的一部分，其呈從孔部13c的附近，沿基部13b的長(zhǎng)度方向延伸的前端較細(xì)的桿狀；彈簧部件15，該彈簧部件15由鈹銅或磷青銅等形成；第2接點(diǎn)部14，該第2接點(diǎn)部14由導(dǎo)電性塑料或?qū)щ娦蕴沾傻鹊母唠娮璨牧闲纬?，上述?接點(diǎn)部14呈前端較細(xì)的桿狀，并且在其后端部，對(duì)應(yīng)于孔部13c的止動(dòng)部13d，設(shè)置有朝向外周突出的鉤搭部14a。
第2接點(diǎn)部14與彈簧部件15接納于基部13b的孔部13c內(nèi)，彈簧部件15設(shè)置于第2接點(diǎn)部14與基部13b之間，由此第2接點(diǎn)部14處于可沿基部13b的長(zhǎng)度方向移動(dòng)的狀態(tài)。另外，第2接點(diǎn)部14與基部13b通過彈簧部件15，處于導(dǎo)通狀態(tài)。在測(cè)定前的通常時(shí)，第2接點(diǎn)部14相對(duì)第1接點(diǎn)部13a，沿基部13b的長(zhǎng)度方向突出。此時(shí)，由于通孔13c中的止動(dòng)部13d與第2接點(diǎn)部14中的鉤搭部14a相接觸，故防止第2接點(diǎn)部14從孔部13c拔落。另外，如果第2接點(diǎn)部14與基部13b通過彈簧部件15連接，也可不設(shè)置第2接點(diǎn)部14中的鉤搭部14a與孔部13c中的止動(dòng)部13d。
在測(cè)定電特性時(shí)，如果在使電極探頭13的長(zhǎng)度方向基本與被測(cè)定物的端子部保持垂直的狀態(tài)，使電極探頭13的前端部靠近被測(cè)定物的端子部，則該電極探頭13首先在最初，在第2接點(diǎn)部14，與被測(cè)定物的端子部相接觸。此時(shí)，即使在電極探頭13或被測(cè)定物帶電的情況下，由于電荷在電極探頭13與被測(cè)定物之間的移動(dòng)因由高電阻材料形成的第2接點(diǎn)部14而緩慢，故大電流不流過被測(cè)定物。
如果在電荷移動(dòng)完成，電極探頭13與被測(cè)定物處于相同電位之后，將電極探頭13壓靠于被測(cè)定物的端子部上，則由于彈簧部件15的彈性，第2接點(diǎn)部14從突出狀態(tài)后退，第1接點(diǎn)部13a的前端與被測(cè)定物的端子部相接觸。另外，由于由良導(dǎo)電體形成的第1接點(diǎn)部3a與被測(cè)定物之間以導(dǎo)通方式連接，故在測(cè)定裝置中的內(nèi)部電阻很小的狀態(tài)，可正確對(duì)被測(cè)定物的電特性進(jìn)行測(cè)定。
此時(shí)，由于第1接點(diǎn)部13a與第2接點(diǎn)部14按照相互接近的方式設(shè)置，故即使在被測(cè)定物的端子部的面積較小的情況下，在第2接點(diǎn)部14與被測(cè)定物相接觸的狀態(tài)，第1接點(diǎn)部13a仍可與被測(cè)定物相接觸，由此，可防止下述情況，該情況指因第2接點(diǎn)部14的接觸而除電的被測(cè)定物再次帶電，直至與第1接點(diǎn)部13a相接觸。
下面通過圖4，對(duì)本發(fā)明的第3實(shí)施例進(jìn)行描述。第3實(shí)施例中的主體部1和測(cè)定電纜2與圖1所示的第1實(shí)施例的相同，如圖4所示，安裝于測(cè)定電纜2的前端上的電極探頭23包括基部23b，該基部23b由以鎳為基體，進(jìn)行了鍍金處理的黃銅等的良導(dǎo)電體形成；第1接點(diǎn)部23a，該第1接點(diǎn)部23a為基部23b的一部分，其呈沿基部23b的長(zhǎng)度方向延伸的筒狀；中空部23d，該中空部23d設(shè)置于筒狀的第1接點(diǎn)部23a的中間部，在其前端側(cè)，具有開放口；止動(dòng)部23e，該止動(dòng)部23e在第1接點(diǎn)部23a中的中空部23d的內(nèi)部突出；彈簧部件25，該彈簧部件25由鈹銅或磷青銅等形成；第2接點(diǎn)部24，該第2接點(diǎn)部24由導(dǎo)電性塑料或?qū)щ娦蕴沾傻鹊母唠娮璨牧闲纬?，上述?接點(diǎn)部24為呈前端較細(xì)的桿狀，在其后端部，對(duì)應(yīng)于止動(dòng)部23e，設(shè)置有在外周部突出的鉤搭部24a。
第2接點(diǎn)部24與彈簧部件25接納于第1接點(diǎn)部23a中的中空部23d，彈簧部件25設(shè)置于第2接點(diǎn)部24與基部23b之間，由此第2接點(diǎn)部24處于可沿基部23b的長(zhǎng)度方向移動(dòng)。此外，通過彈簧部件25，第2接點(diǎn)部24與基部23b之間實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通。在測(cè)定前的通常時(shí)，第2接點(diǎn)部24相對(duì)第1接點(diǎn)部23b，沿基部23a的長(zhǎng)度方向突出。此時(shí)，由于止動(dòng)部23e與第2接點(diǎn)部24中的鉤搭部24a相接觸，這樣便防止第2接點(diǎn)部24相對(duì)孔部23c拔落。另外，如果第2接點(diǎn)部24與基部23b通過彈簧部件25連接，則也可不設(shè)置第2接點(diǎn)部24中的鉤搭部24a與止動(dòng)部23e。
在測(cè)定電特性時(shí)，如果使電極探頭23按照基本上與被測(cè)定物的端子部保持垂直的方式靠近該端子部，則電極探頭23首先在最初在第2接點(diǎn)部24，與被測(cè)定物的端子部相接觸。此時(shí)，電極探頭23或被測(cè)定物上所攜帶的電荷通過第2接點(diǎn)部24，在電極探頭23與被測(cè)定物之間移動(dòng)。這樣的電荷移動(dòng)因高電阻材料形成的第2接點(diǎn)部24而緩慢，不產(chǎn)生大電流。
如果在電荷移動(dòng)完成，電極探頭23與被測(cè)定物處于相同電位之后，將電極探頭23壓靠于被測(cè)定物的端子部上，則由于彈簧部件25的彈性，第2接點(diǎn)部24從突出狀態(tài)后退，第1接點(diǎn)部23a的前端與被測(cè)定物的端子部相接觸。另外，由于由良導(dǎo)電體形成的第1接點(diǎn)部23a與被測(cè)定物之間以導(dǎo)通方式連接，故在測(cè)定裝置中的內(nèi)部電阻很小的狀態(tài)，可正確地對(duì)被測(cè)定物的電特性進(jìn)行測(cè)定。
此時(shí)，由于第2接點(diǎn)部24接納于第1接點(diǎn)部23a中的中空部23d，故即使在被測(cè)定物的端子部的面積較小的情況下，在第2接點(diǎn)部24與被測(cè)定物相接觸的狀態(tài)，第1接點(diǎn)部23a仍可與被測(cè)定物相接觸，由此，可防止下述情況，該情況指因第2接點(diǎn)部24的接觸而除電的被測(cè)定物再次帶電，直至與第1接點(diǎn)部23a相接觸。
下面通過圖5，對(duì)本發(fā)明的第4實(shí)施例進(jìn)行描述。第4實(shí)施例中的主體部1和測(cè)定電纜2與圖1所示的第1實(shí)施例的相同，如圖5所示，安裝于測(cè)定電纜2的前端上的電極探頭33包括基部33b，該基部33b由以鎳為基體，進(jìn)行了鍍金處理的黃銅等的良導(dǎo)電體形成；第1接點(diǎn)部33a，該第1接點(diǎn)部33a為基部33b的一部分，其呈從基部33b的前端部，沿基部33b的長(zhǎng)度方向延伸的前端較細(xì)的桿狀；第2接點(diǎn)部34，該第2接點(diǎn)部34由導(dǎo)電性塑料或?qū)щ娦蕴沾傻鹊母唠娮璨牧闲纬桑鲜龅?接點(diǎn)部34與第1接點(diǎn)部33a相同，呈前端較細(xì)的桿狀，該第2接點(diǎn)部34在第1接點(diǎn)部33a附近，固定安裝于基部33b上，第1接點(diǎn)部33a的前端與第2接點(diǎn)部34的前端的位置按照與基部33b的長(zhǎng)度方向保持一致的方式設(shè)置。
在測(cè)定電特性時(shí)，如圖5中的實(shí)線所示，在電極探頭33傾斜的狀態(tài)，首先在最初，使第2接點(diǎn)部34與被測(cè)定物的端子部相接觸。此時(shí)，即使在電極探頭33或被測(cè)定物帶電的情況下，由于電荷在電極探頭33與被測(cè)定物之間的移動(dòng)因由高電阻材料形成的第2接點(diǎn)部34而緩慢，故大電流不會(huì)流過被測(cè)定物。
另外，在電荷移動(dòng)完成，電極探頭23與被測(cè)定物處于相同電位之后，如圖5中的虛線所示，使電極探頭33中的基部33b旋轉(zhuǎn)，使第1接點(diǎn)部33a，與和第2接點(diǎn)部34接觸的被測(cè)定物的端子部相接觸。另外，如果沿相同方向使基部33b旋轉(zhuǎn)，第2接點(diǎn)部34與被測(cè)定物的端子部離開，僅僅第1接點(diǎn)部33a處于與被測(cè)定物的端子部相接觸的狀態(tài)。此外，由于由良導(dǎo)電體形成的第1接點(diǎn)部33a與被測(cè)定物之間以導(dǎo)通方式連接，故在測(cè)定裝置中的內(nèi)部電阻很小的狀態(tài)，可正確對(duì)被測(cè)定物的電特性進(jìn)行測(cè)定。
此時(shí)，由于在第2接點(diǎn)部34與被測(cè)定物的端子部離開之前，第1接點(diǎn)部33a與被測(cè)定物的端子部相接觸，故不發(fā)生下述情況，該情況指因第2接點(diǎn)部34的接觸而除電的被測(cè)定物再次帶電，直至與第1接點(diǎn)部33a相接觸。另外，當(dāng)通過第1接點(diǎn)部33a與被測(cè)定物之間的導(dǎo)通式連接進(jìn)行測(cè)定時(shí)，由于第2接點(diǎn)部34與端子部離開，故可更加正確地進(jìn)行測(cè)定。
下面通過圖6，對(duì)本發(fā)明的第5實(shí)施例進(jìn)行描述。第5實(shí)施例中的主體部1與圖1所述的第1實(shí)施例相同，其包括與主體部1以導(dǎo)通方式連接的電極探頭43。
如圖6所示，電極探頭43包括筒狀基部43b，該基部43b由導(dǎo)電體形成，設(shè)置有通孔；一對(duì)第1接點(diǎn)部43a，該對(duì)第1接點(diǎn)部43a由以鎳為基體，進(jìn)行了鍍金處理的黃銅等的良導(dǎo)電體形成，其呈前端較細(xì)的桿狀；螺旋狀的彈簧部件45，該彈簧部件45由鈹銅或磷青銅等形成；第2接點(diǎn)部44，該第2接點(diǎn)部44由導(dǎo)電性塑料或?qū)щ娦蕴沾傻鹊母唠娮璨牧闲纬?，上述?接點(diǎn)部44平行地設(shè)置有兩個(gè)通孔，該第2接點(diǎn)部44呈筒狀。
基部43b與第2接點(diǎn)部44通過彈簧部件45連接，借助彈簧部件45，第2接點(diǎn)部44與基部43b實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通。一對(duì)第1接點(diǎn)部43a在基部43b的通孔內(nèi)部，相互保持平行，分別插入第2接點(diǎn)部44中的兩個(gè)通孔中，一對(duì)第1接點(diǎn)部43a的外周各自處于圍繞第2接點(diǎn)部44的狀態(tài)。此時(shí)，第2接點(diǎn)部44借助彈簧部件45的彈性，處于可相對(duì)第1接點(diǎn)部43a，沿基部43b的長(zhǎng)度方向移動(dòng)的狀態(tài)。
一對(duì)接點(diǎn)部43a分別與主體部1的正負(fù)極以導(dǎo)通方式連接。
在測(cè)定前的通常時(shí)，第2接點(diǎn)部44處于相對(duì)第1接點(diǎn)部43a，沿基部43b的長(zhǎng)度方向突出的狀態(tài)，并且從該突出狀態(tài)，抵抗彈簧部件45的彈性，可朝向基部43a一側(cè)后退。
在測(cè)定電特性時(shí)，如果使電極探頭43的前端部靠近被測(cè)定物的端子部，則電極探頭43首先在最初，在第2接點(diǎn)部44上，與被測(cè)定物的端子部相接觸。此時(shí)，即使在電極探頭43或被測(cè)定物帶電的情況下，由于在電極探頭43與被測(cè)定物之間的電荷移動(dòng)因由高電阻材料形成的第2接點(diǎn)部44緩慢，大電流仍不流過被測(cè)定物。
還有，由于一對(duì)第1接點(diǎn)部43a的相應(yīng)外周為第2接點(diǎn)部44包圍，故該對(duì)第1接點(diǎn)部43a不先于第2接點(diǎn)部44，與被測(cè)定物的端子部相接觸，另外，第1接點(diǎn)部43a之間不相接觸。
如果在電荷移動(dòng)完成，電極探頭43與被測(cè)定物處于相同電位之后，將電極探頭43壓靠于被測(cè)定物的端子部上，則由于彈簧部件45的彈性，第2接點(diǎn)部44從突出狀態(tài)后退，一對(duì)第1接點(diǎn)部43a的相應(yīng)前端與被測(cè)定物的端子部相接觸，主體部1的正負(fù)極同時(shí)與被測(cè)定物之間以導(dǎo)通方式接觸。這樣，在測(cè)定裝置中的內(nèi)部電阻很小的狀態(tài)，可正確對(duì)被測(cè)定物的電特性進(jìn)行測(cè)定。
按照上述方式，通過將電極探頭3壓靠于被測(cè)定物的端子部上，主體部1的正負(fù)極同時(shí)與被測(cè)定物之間以導(dǎo)通方式接觸。由于此時(shí)，可通過一只手保持電極探頭3，對(duì)其進(jìn)行測(cè)定，故與下述場(chǎng)合相比較，可更容易進(jìn)行測(cè)定，該場(chǎng)合指分別設(shè)置正，負(fù)極的一對(duì)電極探頭，分別通過兩只手保持一對(duì)電極探頭，對(duì)其進(jìn)行測(cè)定。
在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，在由高電阻材料形成的第2接點(diǎn)部與被測(cè)定物以導(dǎo)通方式接觸之后，由良導(dǎo)電體形成的第1接點(diǎn)部與被測(cè)定物以導(dǎo)通方式接觸。
在這樣的電特性測(cè)定裝置中，即使在電極探頭或被測(cè)定物帶電的情況下，由于電荷在電極探頭與被測(cè)定物之間的移動(dòng)因由高電阻材料形成的第2接點(diǎn)部而緩慢，大電流仍不流過被測(cè)定物，可防止被測(cè)定物的靜電破壞。另外，在電荷移動(dòng)完成之后，第1接點(diǎn)部與被測(cè)定物以導(dǎo)通方式接觸，在內(nèi)部電阻較小的狀態(tài)，可正確地測(cè)定被測(cè)定物的電特性。
另外，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，上述第2接點(diǎn)部可移動(dòng)，并且上述第2接點(diǎn)部可相對(duì)第1接點(diǎn)部，沿上述基部的長(zhǎng)度方向突出，相對(duì)該突出狀態(tài)后退。
在這樣的電特性測(cè)定裝置中，由于上述第2接點(diǎn)部相對(duì)第1接點(diǎn)部突出，故在測(cè)定時(shí)，第1接點(diǎn)部不先于第2接點(diǎn)部，與被測(cè)定物相接觸，可防止被測(cè)定物的靜電破壞。
此外，本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置在上述第2接點(diǎn)部與基部之間，設(shè)置彈簧部件。
在這樣的電特性測(cè)定裝置中，由于第2接點(diǎn)部的移動(dòng)借助彈簧部件的彈性進(jìn)行，故第2接點(diǎn)部容易移動(dòng)，可防止因壓靠于第2接點(diǎn)部上造成的端子部的破壞。
還有，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，上述彈簧部件將上述基部和第2接點(diǎn)部連接。
在這樣的電特性測(cè)定裝置中，由于第2接點(diǎn)部不相對(duì)基部拔動(dòng)，無需第2接點(diǎn)部的止拔結(jié)構(gòu)，故可使結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
再有，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，上述第1接點(diǎn)部與第2接點(diǎn)部以相互接近的方式設(shè)置。
在這樣的電極探頭結(jié)構(gòu)中，即使在被測(cè)定物的端子部的面積較小的情況下，由于在第2接點(diǎn)部與被測(cè)定物相接觸的狀態(tài)，可使第1接點(diǎn)部與被測(cè)定物相接觸，故可防止通過第2接點(diǎn)部的接觸而除電的被測(cè)定物再次帶電，直至與第1接點(diǎn)部相接觸。
另外，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，上述第2接點(diǎn)部呈包圍第1接點(diǎn)部的外周的筒狀。
在這樣的電特性測(cè)定裝置中，由于第1接點(diǎn)部為第2接點(diǎn)部包圍，故即使在電極探頭在傾斜于被測(cè)定物的狀態(tài)接近的情況下，第1接點(diǎn)部仍不先于第2接點(diǎn)部，與端子部相接觸。
另外，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，上述第1接點(diǎn)部的長(zhǎng)度方向的中間部設(shè)置有中空部，該中空部接納于第2接點(diǎn)部。
在這樣的電極探頭結(jié)構(gòu)中，即使在被測(cè)定物的端子部的面積較小的情況下，由于在第2接點(diǎn)部與被測(cè)定物相接觸的狀態(tài)，可使第1接點(diǎn)部與被測(cè)定物相接觸，故可防止因第2接點(diǎn)部的接觸而除電的被測(cè)定物再次帶電，直至與第1接點(diǎn)部相接觸。
此外，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，第2接點(diǎn)部的表面電阻在106～1012Ω／□的范圍內(nèi)。
在這樣的電特性測(cè)定裝置中，可使第2接點(diǎn)部接觸時(shí)的電荷的移動(dòng)形成的電流更小。
還有，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性塑料形成。
即使在絕緣材料的表面上附著表面活性劑或水分的情況下，仍可使表面電阻在106～1012Ω／□的范圍內(nèi)，而第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性塑料形成，從而可獲得穩(wěn)定的表面電阻值。
或者，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性陶瓷形成。
即使絕緣材料的表面上附著表面活性劑或水分的情況下，仍可使表面電阻在106～1012Ω／□的范圍內(nèi)，而第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性陶瓷形成，從而可獲得穩(wěn)定的表面電阻值。
另外，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，彈簧部件由鈹銅形成。在這樣的電特性測(cè)定裝置中，可使第2接點(diǎn)部接觸時(shí)的電荷的移動(dòng)形成的電流更小。
再有，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，彈簧部件由磷青銅形成。在這樣的電特性測(cè)定裝置中，可使第2接點(diǎn)部接觸時(shí)的電荷的移動(dòng)形成的電流更小。
另外，在本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中，第1接點(diǎn)部的前端與第2接點(diǎn)部的前端的位置按照與上述基部的長(zhǎng)度方向保持一致的方式設(shè)置。
在這樣的電特性測(cè)定裝置中，由于在第1接點(diǎn)部與第2接點(diǎn)部接觸時(shí)的狀態(tài)的被測(cè)定物接觸后，第2接點(diǎn)部與被測(cè)定物的端子部離開，僅僅第1接點(diǎn)部處于與被測(cè)定物的端子部相接觸的狀態(tài)，故不發(fā)生下述情況，即通過第2接點(diǎn)部的接觸而除電的被測(cè)定物再次帶電，直至與第1接點(diǎn)部33相接觸。此外，由于當(dāng)通過第1接點(diǎn)部與被測(cè)定物以導(dǎo)通方式連接，進(jìn)行測(cè)定時(shí)，第2接點(diǎn)部與被測(cè)定物的端子部離開，故可進(jìn)行更加正確的測(cè)定。
另外，本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中的第2接點(diǎn)部的表面電阻在106～1012Ω／□的范圍內(nèi)。
在這樣的電特性測(cè)定裝置中，可使第2接點(diǎn)部接觸時(shí)的電荷的移動(dòng)形成的電流更小。
此外，本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中的第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性塑料形成。
即使在絕緣材料的表面上附著表面活性劑或水分的情況下，仍可使表面電阻在106～1012Ω／□的范圍內(nèi)，而第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性塑料形成，從而可獲得穩(wěn)定的表面電阻值。
或者，本發(fā)明的電特性測(cè)定裝置中的第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性陶瓷形成。
即使在絕緣材料的表面上附著表面活性劑或水分的情況下，仍可使表面電阻在106～1012Ω／□的范圍內(nèi)，而第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性陶瓷形成，從而可獲得穩(wěn)定的表面電阻值。
權(quán)利要求
1．一種電特性測(cè)定裝置，其特征在于電極探頭包括由良導(dǎo)電體形成的基部；由良導(dǎo)電體形成的第1接點(diǎn)部；由其電阻大于上述第1接點(diǎn)部的導(dǎo)電體形成的第2接點(diǎn)部，上述基部與第1，第2接點(diǎn)部處于導(dǎo)通的狀態(tài)，在第2接點(diǎn)部與被測(cè)定物以導(dǎo)通方式連接之后，第1接點(diǎn)部與該被測(cè)定物以導(dǎo)通方式連接。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于上述第1接點(diǎn)部由上述基部的一部分形成，上述第2接點(diǎn)部在上述第1接點(diǎn)部的附近，安裝于上述基部上，第1接點(diǎn)部的前端與第2接點(diǎn)部的前端的位置按照與上述基部的長(zhǎng)度保持一致的方式設(shè)置，第2接點(diǎn)部的表面電阻在106～1012Ω／□的范圍內(nèi)。
3．根據(jù)權(quán)利要求2所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于上述第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性塑料形成。
4．根據(jù)權(quán)利要求2所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于上述第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性陶瓷形成。
5．根據(jù)權(quán)利要求1所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于上述電極探頭中的第1接點(diǎn)部由上述基部的一部分形成，第2接點(diǎn)部可沿上述基部的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，并且上述第2接點(diǎn)部可相對(duì)第1接點(diǎn)部，沿上述基部的長(zhǎng)度方向突出，從該突出狀態(tài)后退。
6．根據(jù)權(quán)利要求5所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于在上述第2接點(diǎn)部與上述基部之間，設(shè)置有彈簧部件。
7．根據(jù)權(quán)利要求6所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于上述彈簧部件將上述基部和第2接點(diǎn)部連接。
8．根據(jù)權(quán)利要求7所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于上述第1接點(diǎn)部與第2接點(diǎn)部按照相互靠近的方式設(shè)置。
9．根據(jù)權(quán)利要求8所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于上述第2接點(diǎn)部呈包圍第1接點(diǎn)部的外周的筒狀。
10．根據(jù)權(quán)利要求9所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于在上述第1接點(diǎn)部的長(zhǎng)度方向的中間部，設(shè)置有中空部，第2接點(diǎn)部接納于該中空部中。
11．根據(jù)權(quán)利要求10所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于上述第2接點(diǎn)部的表面電阻在106～1012Ω／□的范圍內(nèi)。
12．根據(jù)權(quán)利要求11所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于上述彈簧部件由鈹銅形成。
13．根據(jù)權(quán)利要求11所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于上述彈簧部件由磷青銅形成。
14．根據(jù)權(quán)利要求2所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于上述第1接點(diǎn)部與第2接點(diǎn)部按照相互接近的方式設(shè)置。
15．根據(jù)權(quán)利要求2所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于上述第2接點(diǎn)部呈包圍第1接點(diǎn)部的外周的筒狀。
16．根據(jù)權(quán)利要求2所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于在上述第1接點(diǎn)部的長(zhǎng)度方向的中間部，設(shè)置有中空部，第2接點(diǎn)部接納于該中空部中。
17．根據(jù)權(quán)利要求2所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于第2接點(diǎn)部的表面阻抗在106～1012Ω／□的范圍內(nèi)。
18．根據(jù)權(quán)利要求17所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性塑料形成。
19．根據(jù)權(quán)利要求17所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于第2接點(diǎn)部由導(dǎo)電性陶瓷形成。
20．根據(jù)權(quán)利要求2所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于上述彈簧部件由鈹銅形成。
21．根據(jù)權(quán)利要求2所述的電特性測(cè)定裝置，其特征在于上述彈簧部件由磷青銅形成。
全文摘要
本發(fā)明目的在于提供一種電特性測(cè)定裝置,其可正確地測(cè)定作為被測(cè)定物的電子器件的電特性。由高電阻形成的第2接點(diǎn)部4與被測(cè)定物以導(dǎo)通方式連接,之后由良導(dǎo)電體形成的第1接點(diǎn)部3a與被測(cè)定物以導(dǎo)通方式連接。
文檔編號(hào)G01R31/28GK1295252SQ0013025
公開日2001年5月16日 申請(qǐng)日期2000年11月2日 優(yōu)先權(quán)日1999年11月8日
發(fā)明者川田貞夫 申請(qǐng)人:阿爾卑斯電氣株式會(huì)社