一種用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料，其包括基材、隔熱層和外包層，其中，所述基材包括蝕刻不銹鋼加熱膜，所述蝕刻不銹鋼加熱膜的兩面分別設(shè)置有上硅橡膠涂覆玻纖布和下硅橡膠涂覆玻纖布，所述隔熱層包括氣凝膠隔熱氈，所述氣凝膠隔熱氈設(shè)置于所述上硅橡膠涂覆玻纖布的外側(cè)，且所述氣凝膠隔熱氈外設(shè)置有玻璃纖維氈或發(fā)泡硅橡膠層的任一種，所述外包層設(shè)置于所述玻璃纖維氈或發(fā)泡硅橡膠層的外側(cè)。上述復(fù)合保溫材料采用氣凝膠隔熱氈作為保溫材料，其導(dǎo)熱系數(shù)在0.01W/mK左右，使得生產(chǎn)高保溫又美觀的柔性加熱器成為可能。降低了加熱器的表面溫度，大大減少了加熱器的能耗，增加了加熱器的使用壽命。
【專利說明】
一種用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于柔性管道加熱技術(shù)，尤其是涉及一種用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體真空管道加熱已經(jīng)廣泛應(yīng)用于許多半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中。由于許多半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中(例如CVD，PECVD，Etch)有大量的可凝生成物的生成，對管道的加熱可以避免此類生成物在管道內(nèi)壁上的沉積，從而，避免了管道的堵塞，以保證半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的正常運行。一個完美加熱的半導(dǎo)體管道可以大大增加設(shè)備的利用率，延長真空栗的壽命，提高成品的良率，并且減少操作工人和有毒氣體的接觸。
[0003]由于必須對管道進(jìn)行定期的維護(hù)，例如，更換O型圈，半導(dǎo)體的管道加熱套必須能夠方便裝拆。這就極大地限制了保溫材料的使用。尤其是必須對復(fù)雜形狀的零部件(例如，閥門)的加熱。
[0004]發(fā)泡硅橡膠和玻璃纖維是目前最常用的保溫材料。發(fā)泡硅橡膠可以做出非常美觀的加熱器，但是，它的導(dǎo)熱系數(shù)較高(0.lW/mK左右)，因此，加熱器表面溫度較高，散熱量很大。例如有些工藝需要加熱到180°C，表面溫度可達(dá)90°C。這不僅造成熱量的損耗，而且可能導(dǎo)致操作人員的燙傷。玻璃纖維具有較低的導(dǎo)熱系數(shù)，廣泛用于直管的保溫。但是，由于很難對復(fù)雜零部件進(jìn)行包覆。所以采用玻璃纖維的復(fù)雜零部件加熱器往往非常難看，且生產(chǎn)成本極高。
[0005]因此，對于半導(dǎo)體真空管道的加熱，如何提高加熱器的綜合保溫性能就極其重要。柔性加熱器的保溫一直是最大的挑戰(zhàn)。因為高保溫的材料往往柔性較差。而柔性的材料有往往是有機(jī)材料，不僅不耐高溫，而且可燃，安全性能較差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料，其具有保溫效果好和外形美觀的特點，以解決現(xiàn)有技術(shù)中柔性管道加熱存在的上述問題。
[0007]為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0008]—種用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料，其包括基材、隔熱層和外包層，其中，所述基材包括蝕刻不銹鋼加熱膜，所述蝕刻不銹鋼加熱膜的兩面分別設(shè)置有上硅橡膠涂覆玻纖布和下硅橡膠涂覆玻纖布，所述隔熱層包括氣凝膠隔熱氈，所述氣凝膠隔熱氈設(shè)置于所述上硅橡膠涂覆玻纖布的外側(cè)，且所述氣凝膠隔熱氈外設(shè)置有玻璃纖維氈或發(fā)泡硅橡膠層的任一種，所述外包層設(shè)置于所述玻璃纖維氈或發(fā)泡硅橡膠層的外側(cè)。
[0009]特別地，所述外包層包括玻纖布和外特氟龍涂覆玻纖布，所述玻纖布設(shè)置于所述玻璃纖維氈的外側(cè)，所述外特氟龍涂覆玻纖布設(shè)置于所述玻纖布的外側(cè)。
[0010]特別地，所述外包層為外硅橡膠涂覆玻纖布，所述氣凝膠隔熱氈包裹于所述發(fā)泡硅橡膠層內(nèi)，所述外硅橡膠涂覆玻纖布設(shè)置于所述發(fā)泡硅橡膠層的外側(cè)。
[0011]特別地，所述下硅橡膠涂覆玻纖布的內(nèi)側(cè)設(shè)置有內(nèi)特氟龍涂覆玻纖布。
[0012]本發(fā)明的有益效果為，與現(xiàn)有技術(shù)相比所述用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料采用氣凝膠隔熱氈作為保溫材料，其導(dǎo)熱系數(shù)在0.01W/mK左右，比發(fā)泡硅橡膠要低10倍，其與玻璃纖維或發(fā)泡硅橡膠結(jié)合使用，適用于直觀或復(fù)雜形狀的加熱。使得生產(chǎn)高保溫又美觀的柔性加熱器成為可能。這樣，降低了加熱器的表面溫度，大大減少了加熱器的能耗，增加了加熱器的使用壽命，具有較高的價值。
【附圖說明】
[0013]圖1是本發(fā)明【具體實施方式】I提供的用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料的剖面圖；
[0014]圖2是本發(fā)明【具體實施方式】2提供的用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料的剖面圖。
【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖并通過【具體實施方式】來進(jìn)一步說明本發(fā)明的技術(shù)方案。
[0016]實施例一:
[0017]請參閱圖1所示，圖1是本發(fā)明【具體實施方式】I提供的用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料的剖面圖。
[0018]本實施例中，一種用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料包括基材、隔熱層和外包層，所述基材包括蝕刻不銹鋼加熱膜1，所述蝕刻不銹鋼加熱膜I的兩面分別設(shè)置有上硅橡膠涂覆玻纖布2和下硅橡膠涂覆玻纖布3，所述隔熱層采用氣凝膠隔熱氈4，且所述氣凝膠隔熱氈4設(shè)置于所述上硅橡膠涂覆玻纖布2的外側(cè)，所述外包層包括玻璃纖維氈5、玻纖布6和外特氟龍涂覆玻纖布7，所述玻璃纖維氈5設(shè)置于所述氣凝膠隔熱氈4的外側(cè)，所述玻纖布6設(shè)置于所述玻璃纖維氈5的外側(cè)，所述外特氟龍涂覆玻纖布7設(shè)置于所述玻纖布6的外側(cè)。所述下硅橡膠涂覆玻纖布3的內(nèi)側(cè)設(shè)置有內(nèi)特氟龍涂覆玻纖布8。
[0019]本實施例中，復(fù)合保溫材料的保溫層采用氣凝膠隔熱氈4，但是氣凝膠很難單獨在半導(dǎo)體管道復(fù)雜零部件加熱器中使用。即使在直管加熱器中，由于表面不夠柔軟，而且成本較高。因此，并不適合單獨使用。通過氣凝膠隔熱氈4與玻璃纖維的結(jié)合形成復(fù)合保溫材料，適用于直管加熱器中。
[0020]實施例二:
[0021]請參閱圖2所示，圖2是本發(fā)明【具體實施方式】2提供的用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料的剖面圖。
[0022]本實施例中，一種用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料包括基材、隔熱層和外包層，所述基材包括蝕刻不銹鋼加熱膜1，所述蝕刻不銹鋼加熱膜I的兩面分別設(shè)置有上硅橡膠涂覆玻纖布2和下硅橡膠涂覆玻纖布3，所述隔熱層采用氣凝膠隔熱氈4，且所述氣凝膠隔熱氈4設(shè)置于所述上硅橡膠涂覆玻纖布2的外側(cè)，所述外包層包括發(fā)泡硅橡膠層9和外硅橡膠涂覆玻纖布10，所述氣凝膠隔熱氈4包裹于所述發(fā)泡硅橡膠層9內(nèi)，所述外硅橡膠涂覆玻纖布10設(shè)置于所述發(fā)泡硅橡膠層9的外側(cè)。
[0023]本實施例中，復(fù)合保溫材料的保溫層采用氣凝膠隔熱氈4，通過氣凝膠隔熱氈4與發(fā)泡硅橡膠層9的結(jié)合形成復(fù)合保溫材料，適用于復(fù)雜形狀(例如閥門，法蘭)的加熱，既達(dá)到了提高保溫的目的，又可以使得加熱器外形美觀。
[0024]以上實施例只是闡述了本發(fā)明的基本原理和特性，本發(fā)明不受上述事例限制，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還有各種變化和改變，這些變化和改變都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【主權(quán)項】
1.一種用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料，其包括基材、隔熱層和外包層，其特征在于，所述基材包括蝕刻不銹鋼加熱膜，所述蝕刻不銹鋼加熱膜的兩面分別設(shè)置有上硅橡膠涂覆玻纖布和下硅橡膠涂覆玻纖布，所述隔熱層包括氣凝膠隔熱氈，所述氣凝膠隔熱氈設(shè)置于所述上硅橡膠涂覆玻纖布的外側(cè)，且所述氣凝膠隔熱氈外設(shè)置有玻璃纖維氈或發(fā)泡硅橡膠層的任一種，所述外包層設(shè)置于所述玻璃纖維氈或發(fā)泡硅橡膠層的外側(cè)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料，其特征在于，所述外包層包括玻纖布和外特氟龍涂覆玻纖布，所述玻纖布設(shè)置于所述玻璃纖維氈的外側(cè)，所述外特氟龍涂覆玻纖布設(shè)置于所述玻纖布的外側(cè)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料，其特征在于，所述外包層為外硅橡膠涂覆玻纖布，所述氣凝膠隔熱氈包裹于所述發(fā)泡硅橡膠層內(nèi)，所述外硅橡膠涂覆玻纖布設(shè)置于所述發(fā)泡硅橡膠層的外側(cè)。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于柔性管道加熱的復(fù)合保溫材料，其特征在于，所述下硅橡膠涂覆玻纖布的內(nèi)側(cè)設(shè)置有內(nèi)特氟龍涂覆玻纖布。
【文檔編號】B32B33/00GK105953029SQ201610414873
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年6月14日
【發(fā)明人】顧幼范, 謝龍
【申請人】無錫新輝龍科技有限公司