本發(fā)明涉及半導體設備技術領域，尤其涉及一種金屬軟管(gas bellow)連接結構。

背景技術：

由于金屬軟管具有良好的可撓性及耐溫、耐壓、耐腐蝕性能，適用于蒸汽、水、油類及各種工業(yè)氣體、藥品等介質(zhì)輸送。金屬軟管對管道系統(tǒng)的運動，熱膨脹吸收、振動吸收起著重要的作用。在半導體爐管機臺中，制程氣體也是經(jīng)過金屬軟管導入到反應管內(nèi)進行反應的，且金屬軟管是以旋緊螺紋的方式將其固定在進出氣歧管(manifold)上的。

目前，螺帽在進行旋轉鎖緊以將金屬軟管本體固定在進出歧管上的過程中，因螺帽與軟管接頭之間存在旋轉摩擦，進而帶動金屬軟管本體會沿著螺帽旋轉的方向轉動，金屬軟管這種不應該有的摩擦轉動會造成兩種影響；第一種影響是軟管接頭旋轉后，金屬軟管本體發(fā)生旋轉形變，多次這樣的旋轉形變造成金屬軟管本體的使用壽命縮短，也使金屬軟管本體在使用過程中發(fā)生破裂漏損的風險增加。第二種情況是金屬軟管本體在形變到極限角度后，會回彈，造成金屬軟管接頭無法固定緊，甚至有可能發(fā)生氣體泄露的情況；這些都是本領域技術人員所不期望見到的。

技術實現(xiàn)要素：

針對上述存在的問題，本發(fā)明公開一種金屬軟管連接結構，其中，應用于將金屬軟管本體固定在進出歧管上，所述結構包括：所述連接結構包括歧管接頭和金屬直管；

所述歧管接頭設置于所述進出歧管上；

所述金屬直管一端與所述金屬軟管本體連接，另一端設置有與所述歧管接頭相適配的軟管接頭；

所述軟管接頭上設置一定位銷，所述歧管接頭上設置有與所述定位銷相適配的缺口；所述金屬直管上活動套設有一螺帽，所述歧管接頭的外部設置有與所述螺帽相適配的螺紋，以在所述軟管接頭接入所述歧管接頭并通過所述定位銷固定后，將所述螺帽移動至所述軟管接頭的位置，并通過旋轉所述螺帽鎖緊所述歧管接頭和所述軟管接頭；

其中，在旋轉所述螺帽的過程中，通過所述定位銷限制所述軟管接頭在所述螺帽旋轉方向上的移動。

上述的金屬軟管連接結構，其中，所述軟管接頭臨近所述金屬直管的位置設置有凸緣；且所述定位銷設置于靠近連接所述進出歧管接頭側的所述凸緣上。

上述的金屬軟管連接結構，其中，所述歧管接頭內(nèi)設置有密封圈，所述密封圈位于所述軟管接頭和所述歧管接頭的接入面上。

上述的金屬軟管連接結構，其中，所述金屬直管的直徑為0.6-1cm。

上述的金屬軟管連接結構，其中，所述歧管接頭、軟管接頭、所述金屬直管以及所述螺帽均為316不銹鋼材質(zhì)。

本發(fā)明還公開了一種金屬軟管連接結構，其中，應用于將金屬軟管本體固定在進出歧管上，所述結構包括：所述連接結構包括歧管接頭和金屬直管；

所述歧管接頭設置于所述進出歧管上；

所述金屬直管一端與所述金屬軟管本體連接，另一端設置有與所述歧管接頭相適配的軟管接頭；

所述金屬直管上活動套設有一螺帽和一平面軸承，所述平面軸承位于所述軟管接頭和所述螺帽之間，所述歧管接頭的外部設置有與所述螺帽相適配的螺紋，以在所述軟管接頭接入歧管接頭后，移動所述螺帽并帶動所述平面軸承移動至所述軟管接頭的位置，并通過旋轉所述螺帽鎖緊所述歧管接頭和所述軟管接頭；

其中，在旋轉所述螺帽的過程中，通過所述平面軸承減少所述軟管接頭在所述螺帽旋轉方向上的移動。

上述的金屬軟管連接結構，其中，所述軟管接頭臨近所述金屬直管的位置設置有凸緣。

上述的金屬軟管連接結構，其中，所述歧管接頭內(nèi)設置有密封圈，所述密封圈位于所述軟管接頭和所述歧管接頭的接入面上。

上述的金屬軟管連接結構，其中，所述金屬直管的直徑為0.6-1cm。

上述的金屬軟管連接結構，其中，所述歧管接頭、軟管接頭、所述金屬直管以及所述螺帽均為316不銹鋼材質(zhì)。

上述發(fā)明具有如下優(yōu)點或者有益效果：

本發(fā)明公開的金屬軟管連接結構，既可以通過于金屬軟管結構的軟管接頭上設置定位銷，并于進出歧管的歧管接頭上設置于該定位銷相適配的缺口；以在旋轉螺帽的過程中通過定位銷限制軟管接頭在螺帽旋轉方向上的摩擦移動，從而消除了金屬軟管本體在螺帽旋轉方向上的移動；也可以通過于金屬軟管結構的金屬直管上加裝一平面軸承，以在旋轉螺帽的過程中，通過該平面軸承減少軟管接頭在螺帽旋轉方向上的移動，從而減少了金屬軟管本體在螺帽旋轉方向上的移動；該連接結構不僅降低了金屬軟管由于旋轉形變發(fā)生破裂漏損的風險，提高了金屬軟管本體的使用壽命，而且避免了軟管接頭與歧管接頭無法固定緊的現(xiàn)象，進而降低機臺在保養(yǎng)過程中難度、縮短機臺保養(yǎng)的耗時、提高機臺零件的使用壽命和提高機臺的保養(yǎng)成功率。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本發(fā)明及其特征、外形和優(yōu)點將會變得更加明顯。在全部附圖中相同的標記指示相同的部分。并未可以按照比例繪制附圖，重點在于示出本發(fā)明的主旨。

圖1a是本發(fā)明實施例一中軟管接頭未接入歧管接頭時的金屬軟管連接結構的示意圖；

圖1b是本發(fā)明實施例一中軟管接頭已接入歧管接頭時的金屬軟管連接結構的示意圖；

圖2a是本發(fā)明實施例二中軟管接頭未接入歧管接頭時的金屬軟管連接結構的示意圖；

圖2b是本發(fā)明實施例二中軟管接頭已接入歧管接頭時的金屬軟管連接結構的示意圖。

具體實施方式

目前，在將金屬軟管本體固定在進出歧管上的過程中，因螺帽與軟管接頭之間存在旋轉摩擦，使金屬軟管的摩擦轉動會伴隨著旋轉擰緊而存在，如何要消除或降低摩擦轉動，可以從以下兩個方面來著手：

1.固定住軟管接頭，使摩擦轉動無法發(fā)生；

2.正視摩擦轉動的發(fā)生，引導利用，將摩擦轉動降到最低。

下面結合附圖和具體的實施例對本發(fā)明作進一步的說明，但是不作為本發(fā)明的限定。

實施例一

如圖1a和圖1b所示，本實施例涉及一種金屬軟管連接結構，可應用于將金屬軟管本體11固定在進出歧管21上，通過設置定位銷15固定住軟管接頭13，以消除軟管接頭13由于旋轉擰緊螺帽14而產(chǎn)生的摩擦移動。

具體的，上述金屬軟管連接結構包括歧管接頭22和金屬直管12，歧管接頭22設置于進出歧管21上；金屬直管12一端與金屬軟管本體11連接，另一端設置有與歧管接頭22相適配的軟管接頭13(軟管接頭13與歧管接頭22相適配具體為：軟管接頭13的上部131(即圖中未設置凸緣的部分，上部和下部可參照圖中軟管接頭所放置的位置)的外徑與歧管接頭22的內(nèi)徑相當(軟管接頭13的上部131的外徑略小于歧管接頭22的內(nèi)徑)，以及軟管接頭13的上部131的長度和歧管接頭22內(nèi)接口的長度大致相當，以使得軟管接頭13剛好可以接入該歧管接頭22)；軟管接頭13上設置一定位銷15，歧管接頭22上設置有與定位銷15相適配的缺口23(缺口23與定位銷15匹配是指定位銷15剛好可以卡在缺口23里，以消除摩擦移動)；金屬直管12上活動套設有一螺帽14(按如圖1a和圖1b所示的放置方式，該螺帽14頂部和內(nèi)部開口部分的直徑大于底部開口部分的直徑)，歧管接頭22的外部設置有與螺帽14相適配的螺紋(即歧管接頭22的外部螺紋和螺帽14的內(nèi)部螺紋相匹配)，以在軟管接頭13接入歧管接頭22并通過定位銷15固定后(圖1a中軟管接頭13沿箭頭方向接入歧管接頭22)，將螺帽14移動至軟管接頭13的位置，并通過旋轉螺帽14鎖緊歧管接頭22和軟管接頭13(為了使得螺帽14可以鎖緊歧管接頭22和軟管接頭13，因此螺帽14頂部和內(nèi)部開口部分的直徑與歧管接頭22的外徑和軟管接頭13下部132的外徑大致相當)；其中，在旋轉螺帽14的過程中，通過定位銷15限制軟管接頭13在螺帽14旋轉方向上的移動。

在本發(fā)明一個優(yōu)選的實施例中，上述軟管接頭13臨近金屬直管12的位置設置有凸緣(即如圖1a和圖1b中軟管接頭13下部132的直徑大于軟管接頭13上部131的直徑，且該軟管接頭13下部132的直徑也大于螺帽14底部開口部分的直徑)；上述定位銷15設置于靠近連接進出歧管接頭22側的凸緣上，且軟管接頭13下部132的直徑和歧管接頭22的外徑相同，該凸緣部分的外部也具有和歧管接頭22的外部相同的螺紋以使得螺帽14可以將歧管接頭22和軟管接頭13鎖緊。

在本發(fā)明一個優(yōu)選的實施例中，上述歧管接頭22內(nèi)設置有密封圈(該密封圈并未于圖中示出)，密封圈位于軟管接頭13和歧管接頭22的接入面上。

在本發(fā)明一個優(yōu)選的實施例中，金屬直管12的直徑為0.6-1cm(例如0.6cm、0.7cm、0.8cm或1cm等)。

在本發(fā)明一個優(yōu)選的實施例中，歧管接頭22、軟管接頭13、金屬直管12以及螺帽14均為316不銹鋼材質(zhì)。

實施例二

如圖2a和圖2b所示，本實施例涉及一種金屬軟管連接結構，可應用于將金屬軟管本體101固定在進出歧管201上，通過設置平面軸承105可以將摩擦轉動降到最低。

具體的，上述金屬軟管連接結構包括歧管接頭202和金屬直管102，歧管接頭202設置于進出歧管201上；金屬直管102一端與金屬軟管本體101連接，另一端設置有與歧管接頭202相適配的軟管接頭103(軟管接頭103與歧管接頭202相適配具體為：軟管接頭103的上部1031(即圖中未設置凸緣的部分)的外徑略小于歧管接頭202的內(nèi)徑尺寸，以及軟管接頭103的上部1031的長度和歧管接頭202接口的長度大致相當，以使得軟管接頭103剛好可以接入該歧管接頭202)；金屬直管102上活動套設有一螺帽104(按如圖2a和圖2b所示的放置方式，該螺帽104頂部和內(nèi)部開口部分的直徑大于底部開口部分的直徑)和一平面軸承105，平面軸承105位于軟管接頭103和螺帽104之間(其中，平面軸承105的內(nèi)徑小于軟管接頭103的下部1032的外徑，且該平面軸承105的外徑大于螺帽104底部開口部分的直徑，且小于該螺帽104頂部和內(nèi)部開口部分的直徑)，歧管接頭202的外部設置有與螺帽104相適配的螺紋(即歧管接頭202的外部螺紋和螺帽104的內(nèi)部螺紋相匹配)，以在軟管接頭103接入歧管接頭202后(圖2a中軟管接頭103沿箭頭方向接入歧管接頭202)，移動螺帽104并帶動平面軸承105移動至軟管接頭103的位置(由于平面軸承105的外徑大于螺帽104底部開口部分的直徑，且小于該螺帽104頂部和內(nèi)部開口部分的直徑，因此在螺帽104沿箭頭方向移動時，平面軸承105位于螺帽104的底部之上并隨著螺帽104一起移動)，并通過旋轉螺帽104鎖緊歧管接頭202和軟管接頭103；其中，在旋轉螺帽104的過程中，通過平面軸承105減少軟管接頭103在螺帽104旋轉方向上的移動(這是由于平面軸承105具有滑動性，從而可以減少軟管接頭103在螺帽104旋轉方向上的移動)。

在本發(fā)明一個優(yōu)選的實施例中，在本發(fā)明一個優(yōu)選的實施例中，上述軟管接頭103臨近金屬直管102的位置設置有凸緣(即如圖2a和圖2b中軟管接頭103下部1032的直徑大于軟管接頭103上部1031的直徑，且該軟管接頭103下部1032的直徑也大于螺帽104底部開口部分的直徑，并小于平面軸承105的外徑)；軟管接頭103的凸緣的直徑比歧管接頭202的外直徑小，且比歧管接頭202的內(nèi)直徑大，即凸緣的直徑的大小位于歧管接頭202的內(nèi)外徑之間。

在此，值得一提的是，由于增加了平面軸承105，因此螺帽104的厚度也要隨之增加，具體的，該螺帽104的厚度比歧管接頭202的厚度、軟管接頭103凸緣部分的厚度和平面軸承105的厚度之和稍小。

在本發(fā)明一個優(yōu)選的實施例中，上述歧管接頭202內(nèi)設置有密封圈(該密封圈并未于圖中示出)，密封圈位于軟管接頭103和歧管接頭202的接入面上。

在本發(fā)明一個優(yōu)選的實施例中，金屬直管102的直徑為0.6-1cm(例如0.6cm、0.7cm、0.8cm或1cm等)。

在本發(fā)明一個優(yōu)選的實施例中，歧管接頭202、軟管接頭103、金屬直管102以及螺帽104均為316不銹鋼材質(zhì)。

本領域技術人員應該理解，本領域技術人員在結合現(xiàn)有技術以及上述實施例可以實現(xiàn)變化例，在此不做贅述。這樣的變化例并不影響本發(fā)明的實質(zhì)內(nèi)容，在此不予贅述。

以上對本發(fā)明的較佳實施例進行了描述。需要理解的是，本發(fā)明并不局限于上述特定實施方式，其中未盡詳細描述的設備和結構應該理解為用本領域中的普通方式予以實施；任何熟悉本領域的技術人員，在不脫離本發(fā)明技術方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術內(nèi)容對本發(fā)明技術方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例，這并不影響本發(fā)明的實質(zhì)內(nèi)容。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術方案保護的范圍內(nèi)。