專(zhuān)利名稱(chēng)：用于封閉開(kāi)口的門(mén)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于使真空腔室的腔室壁中的開(kāi)口相對(duì)于大氣封閉的門(mén)，其包括封閉部件、門(mén)體以及至少一個(gè)傾翻執(zhí)行器，所述封閉部件安置在至少一個(gè)連桿上并且所述封閉部件可以在打開(kāi)位置、中間位置與閉合位置之間調(diào)整，在所述打開(kāi)位置中封閉部件釋放開(kāi)口，在所述中間位置中封閉部件覆蓋開(kāi)口但是從包圍開(kāi)口的底座中升起來(lái)，在所述閉合位置中封閉部件壓緊在底座上；所述門(mén)體承載有至少一個(gè)連桿以及所述封閉部件，并且所述門(mén)體為了調(diào)整封閉部件在所述中間位置與閉合位置之間可以相對(duì)于腔室壁圍繞傾翻軸線(xiàn)傾翻；所述傾翻執(zhí)行器具有內(nèi)部的空腔，可以將壓縮氣體導(dǎo)入到所述空腔中以使門(mén)體圍繞傾翻軸線(xiàn)傾翻。
背景技術(shù)：
以不同的實(shí)施例已知用于真空密封地封閉真空腔室中的開(kāi)口的門(mén)。這種門(mén)例如用于將工件引入到閘門(mén)室(Schleusenkammer)或者說(shuō)裝載閘室(Load-Lock-Kammer)中，在抽空真空腔室后將工件從閘門(mén)室輸送到另一個(gè)腔室，在所述另一個(gè)腔室中在真空條件下執(zhí)行加工步驟。例如由US 6,056,266已知一真空門(mén)。為了使封閉部件壓緊到圍繞開(kāi)口的底座上，從封閉部件的拉回的打開(kāi)位置開(kāi)始執(zhí)行L形運(yùn)動(dòng)，在該打開(kāi)位置中封閉部件完全釋放開(kāi)口。在此執(zhí)行的調(diào)整行程的第一區(qū)段中封閉部件通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)裝置平行于開(kāi)口或底座的平面移動(dòng)，直到封閉部件覆蓋開(kāi)口，但是還從底座中升起。在調(diào)整行程的第二區(qū)段中封閉部件通過(guò)第二驅(qū)動(dòng)裝置垂直于開(kāi)口或底座的平面移動(dòng)，直到封閉部件壓緊到底座上并且通過(guò)以密封面擠壓的密封部來(lái)真空密封地封閉開(kāi)口。第一和第二驅(qū)動(dòng)裝置由活塞氣缸單元形成。為了對(duì)于封閉部件的合乎邏輯的L形運(yùn)動(dòng)形成順序控制，活塞氣缸單元的在打開(kāi)方向和閉合方向上作用的活塞面是不同大小的。在閉合方向上作用的活塞面持續(xù)地加載驅(qū)動(dòng)活塞氣缸單元的壓縮空氣的系統(tǒng)壓力。當(dāng)門(mén)要從打開(kāi)狀態(tài)開(kāi)始關(guān)閉時(shí)，則第一和第二驅(qū)動(dòng)裝置在打開(kāi)方向上作用的活塞面處于無(wú)壓力狀態(tài)，也就是說(shuō)相應(yīng)的氣缸室進(jìn)行排氣。當(dāng)門(mén)要從其閉合位置開(kāi)始打開(kāi)時(shí)，則在打開(kāi)方向上作用的活塞面加載壓縮空氣的系統(tǒng)壓力。為了順序正確地在打開(kāi)和關(guān)閉門(mén)時(shí)執(zhí)行L形運(yùn)動(dòng),只需唯一的分配閥(Schaltventil)。例如由US 6，899，316 B2, US 2007/0272888 Al 和 US 6，916，009 B2 已知其它的真空門(mén)，其中封閉部件在打開(kāi)和關(guān)閉真空門(mén)時(shí)執(zhí)行L形運(yùn)動(dòng)。由DE 196 33 798 Al已知一種開(kāi)頭提到的類(lèi)型的真空門(mén)，其中同樣以上述方式實(shí)現(xiàn)沿著調(diào)整行程的第一區(qū)段的調(diào)整。為了使封閉部件從覆蓋開(kāi)口的、但是從底座中升起的位置壓緊到底座上，在這里門(mén)的門(mén)體相對(duì)于真空腔室的具有開(kāi)口的腔室壁可傾翻地支承，由門(mén)可移動(dòng)地引導(dǎo)連桿，在連桿上固定封閉部件。利用活塞氣缸單元使門(mén)體圍繞傾翻軸線(xiàn)傾翻，以便使封閉部件壓緊到底座上并且從底座中升起。為了完全打開(kāi)門(mén)，通過(guò)活塞氣缸單元軸向移動(dòng)連桿這種方式，拉回在底座中升起的封閉部件。由WO 2009/070824 Al已知一種真空閥，其中也描述了作為真空門(mén)的使用。在此封閉部件也設(shè)置在真空腔室外部并且用于封閉腔室壁中的開(kāi)口。僅僅利用一個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置(它作為執(zhí)行器可以具有兩個(gè)活塞氣缸單元)就可以打開(kāi)和關(guān)閉封閉部件，由驅(qū)動(dòng)裝置軸向移動(dòng)連桿，在連桿上安置封閉部件。從釋放位置出發(fā)，在該位置中封閉部件完全釋放開(kāi)口，封閉部件首先平行于開(kāi)口或者說(shuō)平行于包圍開(kāi)口的底座的平面移動(dòng)，直到封閉部件抵靠到導(dǎo)向部件上，所述導(dǎo)向部件布置在開(kāi)口兩側(cè)并且具有與底座的平面成角度的導(dǎo)向面。通過(guò)這個(gè)導(dǎo)向面使封閉部件通過(guò)調(diào)整行程的末端區(qū)段在到達(dá)其閉合位置之前與底座的平面成角度地移動(dòng)，直到封閉部件貼靠到底座上并且密封部壓緊到密封面上。由US 6，471，181 B2已知閥板在閥桿上的固定，其中閥板可以圍繞軸線(xiàn)傾翻，該軸線(xiàn)與閥桿軸線(xiàn)成直角。由US 2007/0290157 Al已知一種真空閥，其中封閉單元包括用于封閉閥孔的閥板。在封閉單元內(nèi)部布置調(diào)整活塞，在所述調(diào)整活塞上安置頂桿，所述頂桿支撐在閥殼體上以將閥板壓緊到閥座上。封閉單元的至少一個(gè)工作室由薄膜密封部限定，所述工作室可以加載壓縮氣體以移動(dòng)調(diào)整活塞。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種開(kāi)頭提到的類(lèi)型的真空門(mén)，它簡(jiǎn)單而且成本低廉地進(jìn)行構(gòu)造。該目的按照本發(fā)明通過(guò)具有權(quán)利要求I的特征的門(mén)得以實(shí)現(xiàn)。 在按照本發(fā)明的門(mén)中存在至少一個(gè)傾翻執(zhí)行器以使門(mén)體圍繞傾翻軸線(xiàn)傾翻，所述傾翻執(zhí)行器具有內(nèi)部空腔，可以將壓縮氣體導(dǎo)入到所述內(nèi)部空腔中。傾翻執(zhí)行器的至少一個(gè)限定內(nèi)部空腔的壁首先局部彈性地和/或柔性地構(gòu)造并且支撐在門(mén)體的接觸面上和/或腔室壁或者固定在腔室壁的固定零件上的接觸面上。在將壓縮氣體充入到傾翻執(zhí)行器的內(nèi)部空腔中時(shí)，所述內(nèi)部空腔的容積擴(kuò)大，其中至少局部地由彈性和/或柔性材料構(gòu)造的壁朝向接觸面伸展，所述壁支承在所述接觸面上，由此傾翻執(zhí)行器使門(mén)體圍繞傾翻軸線(xiàn)偏轉(zhuǎn)。這種傾翻執(zhí)行器總體上也可以被稱(chēng)為“可充氣的單元”。在本發(fā)明的有利的實(shí)施方式中，所述傾翻執(zhí)行器的內(nèi)部空腔完全由彈性的和/或柔性的壁限定。這種可充氣的單元優(yōu)選以可充氣的軟管的形式構(gòu)造。優(yōu)選在傾翻軸線(xiàn)的對(duì)置側(cè)面上各布置一個(gè)傾翻執(zhí)行器，所述傾翻執(zhí)行器各具有一個(gè)至少在其伸展部的一部分上彈性的和/或柔性的壁，所述壁至少在其圓周的一部分上限定傾翻執(zhí)行器的內(nèi)部空腔，并且其支承在門(mén)體的接觸面上和/或腔室壁或者固定在腔室壁上的固定零件的接觸面上。位于傾翻軸線(xiàn)一側(cè)上的傾翻執(zhí)行器起到使閥體在偏轉(zhuǎn)方向上傾翻的作用，其中所述封閉部件從其打開(kāi)位置調(diào)整到中間位置，并且位于傾翻軸線(xiàn)另一側(cè)上的傾翻執(zhí)行器起到使門(mén)體圍繞傾翻軸線(xiàn)在另一偏轉(zhuǎn)方向上傾翻的作用，其中所述封閉部件從其中間位置調(diào)整到其閉合位置。原則上可以考慮并且實(shí)現(xiàn)的是借助彈性的單元執(zhí)行在傾翻方向其中之一上的傾翻。本發(fā)明的一種有利的實(shí)施方式規(guī)定，所述門(mén)體圍繞傾翻軸線(xiàn)可傾翻地支承在有待固定在腔室壁上的固定零件上。為了使封閉部件在其打開(kāi)位置與其中間位置之間進(jìn)行調(diào)整，至少一個(gè)連桿有利地、可軸向移動(dòng)地在門(mén)體中引導(dǎo)并且由連桿驅(qū)動(dòng)裝置、優(yōu)選至少一個(gè)活塞氣缸單元在其縱軸線(xiàn)的方向上移動(dòng)，所述封閉部件固定在所述連桿上。


下面借助于附圖詳細(xì)解釋本發(fā)明的其它優(yōu)點(diǎn)和細(xì)節(jié)。在附圖示出
圖I是按照本發(fā)明實(shí)施例的、安置在具有開(kāi)口的真空腔室的腔室壁上的門(mén)在封閉部件的閉合位置中的斜視 圖2是根據(jù)圖I的、在封閉部件的中間位置中的斜視 圖3是根據(jù)圖I的、在封閉部件的打開(kāi)位置中的斜視 圖4是由另一觀(guān)察方向看去的、在封閉部件的打開(kāi)位置的斜視圖；、
圖5和圖6是在封閉部件的閉合位置中的視圖和俯視 圖7是沿著圖5的線(xiàn)AA的截面 圖8是沿著圖5的線(xiàn)BB的截面 圖9是根據(jù)圖7的、在封閉部件的中間位置中的截面 圖10是根據(jù)圖7的、在封閉部件的打開(kāi)位置中的截面圖，其簡(jiǎn)示出真空腔室的其它
壁；
圖11是在封閉部件的閉合位置中、去掉門(mén)體和固定零件的支承架的斜視 圖12是按照本發(fā)明的門(mén)的第二實(shí)施例的視 圖13是圖12所示的門(mén)的斜視圖，其為了簡(jiǎn)化去掉了在圖12中示出的、用于供給壓縮空氣的連接管；
圖14是沿著圖12的線(xiàn)CC的截面 圖15是圖14的截取區(qū)段的放大 圖16是沿著圖12的線(xiàn)DD的截面 圖17是沿著圖12的線(xiàn)EE的截面 圖18是按照本發(fā)明的門(mén)的第三實(shí)施例的視 圖19是圖18所不的門(mén)的斜視 圖20是根據(jù)圖19的斜視圖，其去掉了用于門(mén)體的蓋板；
圖21是沿著圖18的線(xiàn)FF的截面 圖22是沿著圖18的線(xiàn)GG的截面 圖23是圖22的細(xì)節(jié)H的放大圖；以及
圖24是具有由門(mén)體支承的封閉部件和支承架的門(mén)體沿著圖21的觀(guān)察方向I的視圖。
具體實(shí)施例方式在圖I至11中示出了按照本發(fā)明的門(mén)的實(shí)施例。所述門(mén)包括板狀的封閉部件1，所述封閉部件在其閉合位置(參見(jiàn)圖I和圖5至8)中密封在真空腔室4的腔室壁3中的開(kāi)口 2。為此所述封閉部件具有環(huán)形的密封部5，所述密封部壓緊到腔室壁3的密封面6上。因此在所示的實(shí)施例中由密封面6形成包圍開(kāi)口 2的底座7，封閉部件I在其閉合位置中貼靠到所述底座上。也能夠?qū)⒚芊獠?布置在底座7上，并且將密封面6布置在封閉部件I上。封閉部件I通過(guò)連接零件8固定在連桿9上。連桿9在門(mén)體10中在其縱軸線(xiàn)11的方向上可移動(dòng)地引導(dǎo)。連桿驅(qū)動(dòng)裝置12用于使連桿9在其縱軸線(xiàn)11的方向上軸向地移動(dòng)，所述連桿驅(qū)動(dòng)裝置在這里實(shí)施為活塞氣缸單元12。所述活塞氣缸單元12由在門(mén)體10中構(gòu)造的氣缸孔13和布置在其中的活塞14構(gòu)成，在所述活塞上固定連桿9，連桿密封地由氣缸孔13中引導(dǎo)出來(lái)。在門(mén)體10的對(duì)置側(cè)面上同樣固定在活塞14上的導(dǎo)向連桿15密封地從氣缸孔13中引導(dǎo)出來(lái)。在導(dǎo)向連桿15的位于門(mén)體10外部的端部上固定磁軛(Joch) 16,在導(dǎo)向連桿15的兩側(cè)上防扭轉(zhuǎn)桿17，18安置在所述磁軛上，所述防扭轉(zhuǎn)桿在門(mén)體10的孔中可移動(dòng)地引導(dǎo)。通過(guò)這種方式構(gòu)造用于連桿9進(jìn)而用于封閉部件I的防扭轉(zhuǎn)裝置。也可以通過(guò)其它方式構(gòu)造防扭轉(zhuǎn)裝置，例如通過(guò)連桿9和/或?qū)蜻B桿15的非圓形的結(jié)構(gòu)和在門(mén)體10中的相應(yīng)的導(dǎo)向部。此外，封閉部件I也可以 安置在兩個(gè)或多個(gè)連桿9上，所述連桿在門(mén)體10中可移動(dòng)地引導(dǎo)，并且可以分別被活塞氣缸單元或共同的活塞氣缸單元移動(dòng)。在后一種情況下連桿可以穿過(guò)門(mén)體10引導(dǎo)并且在其離開(kāi)封閉部件I的端部上通過(guò)磁軛來(lái)連接，在所述磁軛上、優(yōu)選在支承封閉部件I的兩個(gè)連桿之間在中心地也嵌接活塞氣缸單元的活塞桿。由腔室壁3支承的門(mén)體10與腔室壁3圍繞與開(kāi)口 2的軸線(xiàn)19成直角或者說(shuō)平行于底座7的平面放置的傾翻軸線(xiàn)20可偏轉(zhuǎn)或者說(shuō)可傾翻地連接，其中所述門(mén)體布置在腔室壁3的大氣一側(cè)，也就是說(shuō)布置在真空腔室4的真空范圍以外。在所示的實(shí)施例中，固定在腔室壁3上的固定零件21用于相對(duì)于腔室壁3可偏轉(zhuǎn)地支承門(mén)體10，固定零件圍繞傾翻軸線(xiàn)20可傾翻地支承門(mén)體10。例如固定零件21在此可以具有旋緊在支撐小板23上的支承架，所述支承架具有軸螺栓，軸螺栓伸入到門(mén)體10中的孔中(在圖8中可以看到這樣的孔或套筒24)。傾翻執(zhí)行器25，26支撐在固定零件21上，所述傾翻執(zhí)行器以軟管形的可充氣元件的形式構(gòu)造。這種軟管形的可充氣元件在其指向腔室壁3的側(cè)面上貼靠在固定零件21的接觸面37上，并且在其背離腔室壁3的側(cè)面上貼靠在門(mén)體10的接觸面38上。關(guān)于連桿9的縱軸線(xiàn)11的方向，傾翻執(zhí)行器25，26分別布置在傾翻軸線(xiàn)20的兩側(cè)。通過(guò)將壓縮空氣充入到兩個(gè)傾翻執(zhí)行器25，26其中之一中，當(dāng)另一個(gè)傾翻執(zhí)行器25，26保持無(wú)壓力時(shí)(相當(dāng)于與大氣連接)時(shí)，門(mén)體10圍繞傾翻軸線(xiàn)20在一個(gè)旋轉(zhuǎn)方向上偏轉(zhuǎn)，并且通過(guò)將壓縮空氣充入到另一個(gè)傾翻執(zhí)行器25，26中，而所述傾翻執(zhí)行器25，26保持無(wú)壓力，那么門(mén)體10在另一個(gè)旋轉(zhuǎn)方向上傾翻。原則上可以考慮并且能夠?qū)⑵渌畛浣橘|(zhì)作為用于傾翻執(zhí)行器25，26的壓縮空氣，但是其中壓縮空氣是優(yōu)選的。各個(gè)傾翻執(zhí)行器25，26具有內(nèi)部空腔27。在將壓縮空氣充入到各個(gè)傾翻執(zhí)行器25，26的內(nèi)部空腔27中時(shí)擴(kuò)大了內(nèi)部空腔27的容積，其中傾翻執(zhí)行器25，26的尺寸關(guān)于開(kāi)口 2的軸線(xiàn)19方向擴(kuò)大。在壓縮空氣排氣時(shí)空腔27的容積或者說(shuō)尺寸在各個(gè)傾翻執(zhí)行器25，26的軸線(xiàn)方向上又會(huì)縮小。在這個(gè)實(shí)施例中，各個(gè)傾翻執(zhí)行器25，26的內(nèi)部空腔27完全地或者說(shuō)整個(gè)圓周地被彈性壁39包圍，當(dāng)將壓縮空氣充入到內(nèi)部空腔27中時(shí)，壁會(huì)伸展。彈性的壁39優(yōu)選由橡膠彈性的材料、例如氟橡膠(Viton)制成。代替由可彈性伸展的材料制成的壁39的結(jié)構(gòu)，也可以考慮并實(shí)現(xiàn)由柔性材料制成的壁39的結(jié)構(gòu)。為了傾翻門(mén)體10可以再將壓縮空氣充入到由柔性壁包圍的內(nèi)部空腔(其容積初始可能接近等于零)中，其中首先相互貼靠對(duì)置的壁區(qū)段在擴(kuò)大內(nèi)部空腔27的容積的情況下可以相互折疊分開(kāi)。也可以充分利用形成壁39的材料的可彈性伸展的和柔性的特性的組合。這種不僅可彈性伸展的而且柔性的壁例如可以由特氟龍(Teflon)制成。在這里也可以考慮并實(shí)現(xiàn)使用橡膠彈性的材料、例如氟橡膠。各個(gè)可充氣的軟管形的元件利用其兩個(gè)端部布置在托板22的孔中，其中所述元件在一端上封閉，并且在另一端上具有用于與壓縮空氣管道連接的接頭28。托板22在兩個(gè)孔之間的區(qū)域中具有凹部，軟管形的可充氣元件的端部布置在所述孔中，軟管形的可充氣元件的中間區(qū)域穿過(guò)所述凹部延伸。在門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)中，相對(duì)于傾翻軸線(xiàn)20接近開(kāi)口 2的可充氣元件(相當(dāng)于傾翻執(zhí)行器25)充氣，并且另一個(gè)可充氣元件(相當(dāng)于傾翻執(zhí)行器26)無(wú)壓力，在所述打 開(kāi)狀態(tài)中封閉部件I占據(jù)打開(kāi)位置(參見(jiàn)圖4和10)。封閉部件I從開(kāi)口 2拉回，從而所述封閉元件完全釋放所述開(kāi)口，也就是說(shuō)，沿著開(kāi)口 2的軸線(xiàn)19的方向看不與所述開(kāi)口重疊。為了關(guān)閉門(mén)首先借助連桿驅(qū)動(dòng)裝置12使封閉部件I從其打開(kāi)位置移動(dòng)到其中間位置(參見(jiàn)圖2和9)，在所述中間位置中，所述封閉部件沿著軸線(xiàn)19的方向看覆蓋閥開(kāi)口 2，但是從底座7中升起。接著圍繞傾翻軸線(xiàn)20偏轉(zhuǎn)門(mén)體10，其中將空氣從相對(duì)于傾翻軸線(xiàn)20接近開(kāi)口 2的可充氣元件(相當(dāng)于傾翻執(zhí)行器25)中排出，也就是說(shuō)，將這個(gè)可充氣元件設(shè)置成無(wú)壓力的或者說(shuō)與大氣相連，而相對(duì)于傾翻軸線(xiàn)20進(jìn)一步離開(kāi)開(kāi)口 2的可充氣元件(相當(dāng)于傾翻執(zhí)行器26)充氣，也就是說(shuō)，處于壓力下。由此使封閉部件I貼靠在底座7上，其中彈性密封部5壓緊到密封面6上。封閉部件I占據(jù)其閉合位置并且門(mén)處于其關(guān)閉狀態(tài)。在相反的意義中將門(mén)打開(kāi)。密封部5可以由傳統(tǒng)的、用于彈性的真空密封部的橡膠彈性的材料、例如氟橡膠制成。密封部5可以硫化到封閉部件I上。也能夠插入到安置在封閉部件I上的槽中，其中密封部5尤其能夠以0形環(huán)的形式構(gòu)造。在門(mén)的關(guān)閉狀態(tài)中，可以借助在圖10中示意性地示出的真空泵29泵空真空腔室4并且使其處于真空狀態(tài)下。通過(guò)使用可充氣元件作為傾翻執(zhí)行器25，26實(shí)現(xiàn)了簡(jiǎn)單而成本低廉的結(jié)構(gòu)。因?yàn)楸苊饬嗽陂T(mén)體10與固定零件21之間的金屬與金屬的接觸，所以可以產(chǎn)生少量的顆粒，這在許多應(yīng)用中是期望的。連接零件8可以彈性地構(gòu)造，從而實(shí)現(xiàn)封閉部件I圍繞垂直于至少一個(gè)連桿9的縱軸線(xiàn)11并且平行于底座7的平面放置的傾翻軸線(xiàn)的彈性?xún)A翻。由此在封閉部件I關(guān)于該傾翻軸線(xiàn)不精確地定位時(shí)也可以實(shí)現(xiàn)均勻地?cái)D壓密封部5。封閉部件I關(guān)于至少一個(gè)連桿9的可傾翻性也能夠以其它方式、例如根據(jù)在說(shuō)明書(shū)導(dǎo)言中提到的、按照US 6,471,181B2的現(xiàn)有技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)。尤其對(duì)于封閉部件I安置在兩個(gè)或多個(gè)連桿上的這種結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，連桿驅(qū)動(dòng)裝置也可以具有兩個(gè)或多個(gè)執(zhí)行器、例如活塞氣缸單元，例如對(duì)于每個(gè)連桿來(lái)說(shuō)具有自身的活塞氣缸單元。在圖12至17中示出了本發(fā)明的第二實(shí)施例。對(duì)于與第一實(shí)施例類(lèi)似的零件來(lái)說(shuō)使用相同的附圖標(biāo)記。下面描述與第一實(shí)施例的差別。在這個(gè)實(shí)施例中封閉部件I由三個(gè)連桿9，9’，9”支承，由所述三個(gè)連桿使封閉部件從其打開(kāi)位置經(jīng)由其中間位置運(yùn)動(dòng)到其閉合位置，反之亦然。連桿9，9’，9”仍然可以在其相互平行的縱軸線(xiàn)11的方向上移動(dòng)。布置在門(mén)體10的區(qū)域中的連桿驅(qū)動(dòng)裝置12用于軸向移動(dòng)。連桿的另一端與封閉部件I連接。仍然如此實(shí)現(xiàn)連接，從而使得板狀的封閉部件可以相對(duì)于連桿9，9’，9”的縱軸線(xiàn)11圍繞垂直于縱軸線(xiàn)11并且平行于封閉部件I的中間平面放置的軸線(xiàn)偏轉(zhuǎn)。為此支承零件30，31圍繞該軸線(xiàn)相對(duì)于封閉部件I可偏轉(zhuǎn)地支承。為此支承零件在橫截面中沿著垂直于封閉部件I的中間平面看去具有圓弧形支承面32，所述支承面與封閉部件I的相應(yīng)的圓弧形支承面共同作用。支承零件30，31具有帶有支承面32的蘑菇形頭部，所述頭部位于封閉部件I的凹部中，所述凹部具有支承面32。旋緊在封閉部件I上的、具有開(kāi)口的蓋板33防止支承零件30，31被從封閉部件I中的凹部中拉出來(lái)，各個(gè)支承零件30，31的頸部穿過(guò)所述開(kāi)口。在頭部與支承零件30,31的頸部之間的凸肩(Absatz)與蓋板33之間嵌入由彈性材料制成的環(huán)34。封閉部件I相對(duì)于支承零件30，31朝向這個(gè)環(huán)34偏轉(zhuǎn)，所述環(huán)施加彈性復(fù)位力到封閉部件I的中間位置中。
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例如存在兩個(gè)支承零件30，31，它們?cè)谳S線(xiàn)方向上相互間隔距離地布置，圍繞所述軸線(xiàn)封閉部件I可以相對(duì)于支承零件30，31偏轉(zhuǎn)。可以考慮并實(shí)現(xiàn)僅僅一個(gè)支承零件或多于兩個(gè)支承零件。在支承零件30，31的、從蓋板33突出來(lái)的端部上固定連接零件8，在所述連接零件上還固定有連桿9，9’，9”。為此連接零件例如可以如圖所示在橫截面中構(gòu)造成L形，其中在兩個(gè)支腿其中之一上固定支承零件30，31并且在兩個(gè)支腿的另一個(gè)上固定連桿9，9 ’，9 ”。連桿驅(qū)動(dòng)裝置12對(duì)于每個(gè)連桿9，9’，9”來(lái)說(shuō)包括自身的執(zhí)行器，所述執(zhí)行器由活塞氣缸單兀構(gòu)成。為此門(mén)體10例如具有氣缸孔13,在所述氣缸孔中各布置一個(gè)活塞14。也可以設(shè)有單獨(dú)的、支撐在門(mén)體10上的氣缸?；钊?4總是簡(jiǎn)單作用地構(gòu)造，也就是說(shuō)，其只在平行于各個(gè)連桿9，9’，9”的縱軸線(xiàn)11的方向上起作用。在此，例如與中間的連桿9共同作用的活塞14在閉合方向上起作用，也就是說(shuō)，用于使封閉部件I從其打開(kāi)位置移動(dòng)到其中間位置，而兩個(gè)與側(cè)面的連桿9’，9”共同作用的活塞14在打開(kāi)方向上起作用，也就是說(shuō)，用于使封閉部件從其中間位置移動(dòng)到其打開(kāi)位置。因此在打開(kāi)方向上作用的總活塞面(它是指與側(cè)面的連桿9’，9”共同作用的活塞14的活塞面的總和)大于在閉合方向上起作用的活塞面(它是指與中間連桿9共同作用的活塞14的活塞面)。傾翻執(zhí)行器25，26原則上能夠以與第一實(shí)施例相同的方式構(gòu)造，但是其中它們?cè)谶@里固定在門(mén)體10上。在此以可充氣的軟管的形式構(gòu)造的傾翻執(zhí)行器的兩個(gè)端部布置在門(mén)體10的孔中并且在所述門(mén)體的凹部中的、位于這兩個(gè)端部之間的中間區(qū)域中延伸，其中它們?cè)诔錃鈺r(shí)分別支承在該凹部的底部上，所述底部形成門(mén)體10的接觸面38。對(duì)于在打開(kāi)方向上作用的傾翻執(zhí)行器25來(lái)說(shuō)，在圖13中可以看到這個(gè)中間的、穿過(guò)凹部延伸的區(qū)域。傾翻執(zhí)行器還支撐在安置在腔室壁13上的固定零件21上，也就是支撐在固定零件21的支撐塊35，36的接觸面37上?？梢匀绱丝紤]并實(shí)現(xiàn)該第二實(shí)施例的一種變型方案，從而使得傾翻執(zhí)行器25，26直接支撐在腔室壁3上。在這種情況下門(mén)體10可以通過(guò)直接固定在腔室壁3上的支承零件相對(duì)于腔室壁3可偏轉(zhuǎn)地構(gòu)造，并且可以省略在門(mén)體10與腔室壁3之間延伸的板狀的固定零件。另一方面該實(shí)施例也可以如此變型，從而使得傾翻執(zhí)行器25，26固定在固定零件21上。傾翻軸線(xiàn)20與兩個(gè)傾翻執(zhí)行器25，26不對(duì)稱(chēng)，如同尤其由圖14看到的那樣。在此，在打開(kāi)方向上起作用(也就是說(shuō)使封閉部件I從其閉合位置調(diào)整到其中間位置)的傾翻執(zhí)行器25的杠桿臂大于在閉合方向上起作用(也就是說(shuō)使封閉部件I從其中間位置調(diào)整到其閉合位置)的傾翻執(zhí)行器26的杠桿臂。通過(guò)在打開(kāi)方向和閉合方向上的活塞面的不同大小并且通過(guò)傾翻執(zhí)行器25，26圍繞傾翻軸線(xiàn)20在打開(kāi)方向和閉合方向上的不同轉(zhuǎn)矩，可以以簡(jiǎn)單的方式在打開(kāi)和關(guān)閉門(mén)時(shí)實(shí)現(xiàn)用于封閉部件的合乎邏輯的L形運(yùn)動(dòng)的順序控制(Folgesteuerung)。在此在閉合方向上起作用的活塞面和在閉合方向上起作用的傾翻執(zhí)行器26能夠持續(xù)地加載驅(qū)動(dòng)執(zhí)行器的壓縮空氣的系統(tǒng)壓力。當(dāng)所述門(mén)要從其打開(kāi)狀態(tài)出發(fā)而關(guān)閉時(shí)，則在打開(kāi)方向上起 作用的活塞面和在打開(kāi)方向上起作用的傾翻執(zhí)行器25處于無(wú)壓力狀態(tài)，也就是說(shuō)與大氣壓力連接。當(dāng)所述門(mén)要從其關(guān)閉狀態(tài)出發(fā)而打開(kāi)時(shí)，則在打開(kāi)方向上起作用的活塞面和在打開(kāi)方向上起作用的傾翻執(zhí)行器25加載壓縮空氣。由此分別產(chǎn)生封閉部件I合乎邏輯的L形運(yùn)動(dòng)，其中總共僅僅需要唯一的換向閥，所述換向閥使連接管道與壓縮空氣的系統(tǒng)壓力或者與大氣壓力連接，所述連接管道引導(dǎo)壓縮空氣到在打開(kāi)方向上起作用的活塞面和在打開(kāi)方向上起作用的傾翻執(zhí)行器25。這種順序控制與由現(xiàn)有技術(shù)已知的、根據(jù)在說(shuō)明書(shū)導(dǎo)言中提到的US 6，056，266的順序控制類(lèi)似。在打開(kāi)方向和閉合方向上作用的、不同的活塞面在多于或少于三個(gè)用于連桿驅(qū)動(dòng)裝置12的執(zhí)行器時(shí)也可以實(shí)現(xiàn)，或者說(shuō)對(duì)于用于連桿驅(qū)動(dòng)裝置12的雙重作用的活塞來(lái)說(shuō)也可以實(shí)現(xiàn)，其中在這種情況下也可以?xún)H僅使用唯一的活塞氣缸單元。前述的順序控制也可以在這些結(jié)構(gòu)中實(shí)現(xiàn)，例如也在首先描述的、本發(fā)明第一實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。封閉部件I也可以由多于或少于三個(gè)所示的連桿9，9’，9”支承。代替順序控制也可以通過(guò)單獨(dú)的、相應(yīng)地觸發(fā)的閥門(mén)實(shí)現(xiàn)L形運(yùn)動(dòng)。在圖18至24中示出的第三實(shí)施例與前述的第二實(shí)施例的不同之處基本上在于傾翻執(zhí)行器25’，26’的構(gòu)造。在這里傾翻執(zhí)行器25’，26’的內(nèi)部空腔27不是全圓周地而是只在一個(gè)側(cè)面上由具有彈性的和/或柔性的材料的壁39限定。其余的內(nèi)部空腔27由門(mén)體10的區(qū)段限定，因此由剛性壁限定?？删植康貜椥陨煺沟暮?或柔性的壁39與門(mén)體10密封地連接，其中壁跨過(guò)門(mén)體10的凹部。在所示實(shí)施例中環(huán)繞的框架40用于與門(mén)體10密封地連接，其中壁39的彈性膜在其邊緣區(qū)域中圓周地夾緊在門(mén)體10與框架40之間。框架40為此借助螺栓41與門(mén)體10旋緊。為了改善門(mén)體10與彈性膜之間的密封可以使該膜在其圓周邊緣的區(qū)域中設(shè)有凸起形的加厚部，所述加厚部壓緊到門(mén)體10的表面上(在附圖中以未擠壓的狀態(tài)示出凸起形的加厚部，從而示出了所述加厚部伸入到門(mén)體10中)。同樣能夠?qū)崿F(xiàn)在膜與門(mén)體10之間的其它密封的連接，例如彈性膜可以硫化(anvulkanisieren)或粘接到門(mén)體10上。在彈性膜的背離內(nèi)部空腔27的外表面上安置、尤其是硫化或粘接支撐小板。通過(guò)所述支撐小板42的伸展抑制彈性的可伸展性進(jìn)而由此抑制膜的柔性，因此限定內(nèi)部空腔27的壁39在這個(gè)區(qū)域中總體上是剛性的。通過(guò)支撐小板42使各個(gè)傾翻執(zhí)行器25’，26’的至少局部彈性和/或柔性地構(gòu)造的壁39支撐在固定零件21的各個(gè)支撐塊35，36的接觸面37上。為了操縱各個(gè)傾翻執(zhí)行器25’，26’，將壓縮空氣充入到內(nèi)部空腔27中。由此通過(guò)彈性膜的伸展擴(kuò)大所述內(nèi)部空腔的容積，其中壁39朝向腔室壁3移動(dòng)。傾翻執(zhí)行器26的內(nèi)部空腔27通過(guò)通道43與在連桿驅(qū)動(dòng)裝置12閉合方向上起作用的氣缸室連接，由此可以構(gòu)成順序控制。也能夠?qū)崿F(xiàn)用于將壓縮空氣充入到傾翻執(zhí)行器
26的內(nèi)部空腔27中的單獨(dú)的通道。能夠?qū)崿F(xiàn)該第三實(shí)施例的不同變型方案。因此各個(gè)傾翻執(zhí)行器25’，26’的(至少局部地)彈性伸展的和/或柔性的壁39也可以直接支撐在腔室壁3上。
也可以省略支撐小板42，由此壁39在其整個(gè)伸長(zhǎng)上是彈性的和/或柔性的。代替將傾翻執(zhí)行器25’，26’集成到門(mén)體10中也可以將傾翻執(zhí)行器25’，26’集成到固定零件21中，其中(至少局部地)彈性的和/或柔性的壁39支撐在門(mén)體10的接觸面37上。壁39也可以是不可伸展的并且僅僅(至少局部地)柔性地構(gòu)造。盡管連桿9優(yōu)選直線(xiàn)移動(dòng)以使封閉部件從其打開(kāi)位置調(diào)整到其中間位置，如在所述實(shí)施例中是這種情況，但是在所有所描述實(shí)施例中為了使封閉部件在其打開(kāi)位置與其中間位置之間進(jìn)行調(diào)整也可以實(shí)現(xiàn)門(mén)體上的連桿的可偏轉(zhuǎn)的支承，并且實(shí)現(xiàn)使連桿圍繞其旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)偏轉(zhuǎn)的連桿驅(qū)動(dòng)裝置。例如通過(guò)將支承架23直接安置在腔室壁3上這種方式，也能夠以與所描述的不同的方式實(shí)現(xiàn)門(mén)體10的可傾翻的支承。因此也可以省略托板22并且構(gòu)造成可充氣元件的傾翻執(zhí)行器25，26能夠一方面支撐在門(mén)體10上、另一方面直接支撐在腔室壁3上。也可以?xún)H僅設(shè)置一個(gè)在旋轉(zhuǎn)方向其中之一上圍繞傾翻軸線(xiàn)20作用的傾翻執(zhí)行器，其朝彈簧彈性的元件作用，所述彈簧彈性的元件在填充介質(zhì)從傾翻執(zhí)行器中排出時(shí)再將門(mén)體10翻回。代替壓縮空氣也可以使用其它的壓縮氣體、尤其是氮?dú)?。附圖標(biāo)記清單 I封閉部件
2開(kāi)口 3腔室壁 4真空腔室 5密封部 6密封面 7底座 8連接零件 9，9’，9” 連桿 10門(mén)體 11縱軸線(xiàn) 12連桿驅(qū)動(dòng)裝置13氣缸孔14活塞15導(dǎo)向連桿16磁軛17防扭轉(zhuǎn)桿18防扭轉(zhuǎn)桿19軸線(xiàn)20傾翻軸線(xiàn)21固定零件22托板23支承架24孔
25，25’ 傾翻執(zhí)行器26，26’ 傾翻執(zhí)行器 27空腔28接頭29真空泵30支承零件31支承零件32支承面33蓋板
34環(huán)35支撐塊36支撐塊37接觸面38接觸面
39壁40框架41螺栓42支撐小板43通道
權(quán)利要求
1.用于使真空腔室(4)的腔室壁(3)中的開(kāi)口(2)相對(duì)于大氣封閉的門(mén)，其包括 封閉部件(1)，所述封閉部件安置在至少一個(gè)連桿(9，9’，9”)上，并且所述封閉部件能夠在打開(kāi)位置、中間位置以及閉合位置之間調(diào)整，在所述打開(kāi)位置中所述封閉部件釋放開(kāi)口( 2 )，在所述中間位置中所述封閉部件覆蓋開(kāi)口( 2 )但是從包圍開(kāi)口( 2 )的底座(7 )中升起來(lái)，在所述閉合位置中所述封閉部件壓緊到所述底座(7)上； 門(mén)體(10)，所述門(mén)體承載有至少一個(gè)連桿(9，9’，9”)和所述封閉部件(1)，并且所述門(mén)體為了在所述中間位置與所述閉合位置之間調(diào)整所述封閉部件(I)能夠相對(duì)于所述腔室壁(3)圍繞傾翻軸線(xiàn)(20)傾翻；以及 至少一個(gè)傾翻執(zhí)行器(25，25’，26，26’)，所述傾翻執(zhí)行器具有內(nèi)部空腔(27)，能夠?qū)嚎s氣體導(dǎo)入到所述空腔中，以使所述門(mén)體(10)圍繞傾翻軸線(xiàn)(20)傾翻， 其特征在于，所述傾翻執(zhí)行器(25，25’，26，26’)的至少一個(gè)限定所述傾翻執(zhí)行器(25，25’，26，26’)的內(nèi)部空腔(27)的壁(39)至少在其伸展部的區(qū)段上彈性地和/或柔性地構(gòu)造，并且支撐在所述門(mén)體(10 )的接觸面(38 )上和/或支撐在所述腔室壁(3 )或者固定在所述腔室壁(3)上的固定零件(21)的接觸面(37)上。
2.按權(quán)利要求I所述的門(mén)，其特征在于，所述傾翻執(zhí)行器(25，26)的內(nèi)部空腔完全由彈性地和/或柔性地構(gòu)造的壁(39)限定，所述壁一方面支撐在所述門(mén)體(10)的接觸面(38)上、并且另一方面支撐在所述腔室壁(3)或者固定在所述腔室壁(3)上的固定零件(21)的接觸面(37)上。
3.按權(quán)利要求2所述的門(mén)，其特征在于，所述傾翻執(zhí)行器(25，26)構(gòu)造成能夠充氣的軟管。
4.按權(quán)利要求3所述的門(mén)，其特征在于，所述以能夠充氣的軟管的形式構(gòu)造的傾翻執(zhí)行器(25，26)利用其兩個(gè)端部布置在所述固定零件(21)中的孔中或者布置在所述門(mén)體(10)中。
5.按權(quán)利要求4所述的門(mén)，其特征在于，所述固定零件(21)或所述門(mén)體(10)在兩個(gè)孔之間的區(qū)域中具有凹部，構(gòu)造成能夠充氣的軟管的傾翻執(zhí)行器(25，26)的端部布置在所述孔中，所述軟管的中間的區(qū)段在所述凹部的區(qū)域中支撐在所述固定零件(21)的接觸面(37)以及所述門(mén)體(10)的接觸面(38)上。
6.按權(quán)利要求I所述的門(mén)，其特征在于，所述至少在其結(jié)構(gòu)的一段上彈性和/或柔性構(gòu)成的壁(39)具有彈性的和/或柔性的薄膜，所述薄膜密封地與所述傾翻執(zhí)行器(25’，26’)的剛性的區(qū)段連接，其中所述傾翻執(zhí)行器(25，’26’)的內(nèi)部空腔(27)位于所述薄膜與所述傾翻執(zhí)行器(25 ’，26 ’)的剛性的區(qū)段之間。
7.按權(quán)利要求6所述的門(mén)，其特征在于，所述傾翻執(zhí)行器(25’，26’)的剛性的區(qū)段由所述門(mén)體(10)構(gòu)造。
8.按權(quán)利要求6或7所述的門(mén)，其特征在于，在背離所述內(nèi)部空腔(27)的薄膜表面上安置支撐小板(42 )，所述支撐小板支撐在所述接觸面(37，38 )上。
9.按權(quán)利要求I至8中任一項(xiàng)所述的門(mén)，其特征在于，所述門(mén)體(10)圍繞所述傾翻軸線(xiàn)(20 )可傾翻地支承在有待固定在所述腔室壁(3 )上的固定零件(21)上。
10.按權(quán)利要求I至9中任一項(xiàng)所述的門(mén)，其特征在于，在所述傾翻軸線(xiàn)(20)的對(duì)置的側(cè)面上各布置一個(gè)傾翻執(zhí)行器(25，26)，所述傾翻執(zhí)行器的至少一個(gè)限定所述內(nèi)部空腔(27)的壁(39)至少在其伸展部的區(qū)段上分別彈性地和/或柔性地構(gòu)造，所述壁支撐在所述門(mén)體(10)的接觸面(38)上和/或支撐在所述腔室壁(3)或者固定在所述腔室壁(3)上的固定零件(21)的接觸面(37)上
11.按權(quán)利要求I至10中任一項(xiàng)所述的門(mén)，其特征在于，所述連桿(9)或所述連桿(9，9’，9”)中的至少一個(gè)能夠軸向移動(dòng)地在所述門(mén)體(10)中引導(dǎo)。
12.按權(quán)利要求I至11中任一項(xiàng)所述的門(mén)，其特征在于，所述至少一個(gè)連桿(9，9’，9”)能夠由連桿驅(qū)動(dòng)裝置(12)在其縱軸線(xiàn)(11)的方向上移動(dòng)以在所述打開(kāi)位置與所述中間位置之間調(diào)整所述封閉部件(I)。
13.按權(quán)利要求12所述的門(mén)，其特征在于，所述連桿驅(qū)動(dòng)裝置(12)包括至少一個(gè)布置在所述門(mén)體(10)的氣缸孔(13)中的活塞(14)，所述連桿(9)或者所述連桿(9，9’，9”)中的至少一個(gè)與所述活塞連接。
14.按權(quán)利要求I至13中任一項(xiàng)所述的門(mén)，其特征在于，所述封閉部件(I)布置在所述腔室壁(3)的大氣一側(cè)。
15.按權(quán)利要求I至14中任一項(xiàng)所述的門(mén)，其特征在于，所述連桿(9，9’，9”)防止相對(duì)于所述門(mén)體(10)、相對(duì)于圍繞連桿的縱軸線(xiàn)(11)的扭轉(zhuǎn)。
全文摘要
一種用于使真空腔室(4)的腔室壁(3)中的開(kāi)口(2)相對(duì)于大氣封閉的門(mén)，其包括封閉部件(1)、門(mén)體(10)以及至少一個(gè)傾翻執(zhí)行器(25，25’，26，26’)，所述封閉部件安置在至少一個(gè)連桿(9，9’，9”)上，并且所述封閉部件能夠在打開(kāi)位置、中間位置以及閉合位置之間調(diào)整，在所述打開(kāi)位置中所述封閉部件釋放開(kāi)口(2)，在所述中間位置中所述封閉部件覆蓋開(kāi)口(2)但是從包圍開(kāi)口(2)的底座(7)中升起來(lái)，在所述閉合位置中所述封閉部件壓緊到所述底座(7)上；所述門(mén)體承載有至少一個(gè)連桿(9，9’，9”)和所述封閉部件(1)，并且所述門(mén)體為了在所述中間位置與所述閉合位置之間調(diào)整所述封閉部件(1)能夠相對(duì)于所述腔室壁(3)圍繞傾翻軸線(xiàn)(20)傾翻；所述傾翻執(zhí)行器具有內(nèi)部空腔(27)，能夠?qū)嚎s氣體導(dǎo)入到所述空腔中，以使所述門(mén)體(10)圍繞傾翻軸線(xiàn)(20)傾翻。所述傾翻執(zhí)行器(25，25’，26，26’)的至少一個(gè)限定所述傾翻執(zhí)行器(25，25’，26，26’)的內(nèi)部空腔(27)的壁(39)至少在其伸展部的區(qū)段上彈性地和/或柔性地構(gòu)造。
文檔編號(hào)F16K51/02GK102713388SQ201180007474
公開(kāi)日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2011年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月29日
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