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密封組件的制作方法

文檔序號:5759255閱讀:327來源:國知局
專利名稱:密封組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種用于密封的裝置,尤指一種密封組件。
背景技術(shù)
在許多精密的高科技產(chǎn)業(yè)中,例如晶圓等半導體廠,其皆需要高度密封,以避免灰塵微粒進入設(shè)備或產(chǎn)品中,此時晶圓傳遞閘門等處便會使用密封組件。而現(xiàn)有的密封組件主要有兩種:其一,包含有一氣壓缸及一閘門,氣壓缸上下推動斜向的閘門,以封住橫向的開口 ;然而由于氣壓缸僅能上下移動閘門,導致閘門缺乏橫向的固定力來緊密抵靠橫向開口,因此閘門需要特殊的造型及設(shè)計來達到高度密封的需求,但卻因閘門制作難度高而提高了制作成本。其二,包含有兩方向的氣壓缸及一閘門,其中一氣壓缸將閘門上推后,再由第二個氣壓缸將閘門向橫向開口推抵,此舉雖可降低閘門的制作難度,但不僅需要兩段式的動作才能完成該動作,并且其兩方向的氣壓缸,同樣造成了復雜的機構(gòu),導致不易制作。除了上述的缺點外,兩種密封組件尚有以下的共通缺點:第一,由于閘門具有一定的重量,并且為了使閘門緊密抵靠于橫向開口,因此氣壓缸需要有一定的出力,進而須消耗一定的能量。第二,若閘門具有一定的體積,則往往會裝設(shè)多個氣壓缸來共同推動,但多個氣壓缸同時作動難免會有時間差,進而導致閘門移動的角度不正確,并造成無法有效密封。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于前述現(xiàn)有密封組件無法簡化機構(gòu)以降低成本、無法降低氣壓缸的出力及多個氣壓缸造成時間差的缺點及不足,本發(fā)明的目的在于提供一種密封組件,其可有效解決上述缺點。為達到上述的發(fā)明目的,本發(fā)明所采用的技術(shù)手段為設(shè)計一種密封組件,其中包含:一殼體;至少一動力裝置,其設(shè)有一移動部,移動部能夠相對殼體移動;一連桿組,其裝設(shè)于殼體及動力裝置上,且被動力裝置的移動部驅(qū)動;一閘門,其樞設(shè)于殼體及連桿組上,且被連桿組驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明的優(yōu)點在于,通過使殼體、連桿組及閘門相互樞設(shè)以共同組成肘節(jié)機構(gòu),并通過肘節(jié)機構(gòu)以轉(zhuǎn)動型式關(guān)閉閘門,以可提供橫向力于閘門上,進而可有效抵靠并密封開口 ;而肘節(jié)機構(gòu)本身構(gòu)造簡單,并且僅需使用單一方向的動力裝置,以可有效降低成本;此夕卜,通過肘節(jié)機構(gòu)的省力特性,以可降低動力裝置的出力;最后,通過設(shè)置連桿組于動力裝置與閘門之間,以可通過連桿來吸收各動力裝置的時間差,進而有效降低時間差對閘門移動的影響。本發(fā)明通過單一動作便可完成密封動作并且構(gòu)造簡單,同時達到降低成本、降低動力裝置的出力及降低時間差所造成的影響的目的。另外,通過可橫向串接多數(shù)組動力裝置及增加連桿組的連桿數(shù),以可適用于各種尺寸的閘門或提高增加閘門封閉開口的閉合力量。進一步而言,所述的密封組件,其中,殼體設(shè)有至少一樞設(shè)區(qū)塊,各樞設(shè)區(qū)塊包含有一動力樞設(shè)部及一閘門樞設(shè)部,該閘門樞設(shè)在閘門樞設(shè)部上;各動力裝置對應于殼體的其中一樞設(shè)區(qū)塊;連桿組包含有至少一第一桿、至少一第二桿及至少一第三桿;第一桿的一端樞設(shè)在相對應的動力裝置的移動部;第二桿的一端樞設(shè)在殼體上相對應的動力樞設(shè)部,第三桿的一端樞設(shè)在閘門上,該第一桿、第二桿及第三桿的另一端以一連桿軸相互樞設(shè)。所述的密封組件,其中,連桿組中,相互樞設(shè)的一個第一桿及一個第二桿為一個連桿單元,第三桿位于相鄰兩連桿單元之間,并且各連桿單元的連桿軸為同一根長軸。所述的密封組件,其中,殼體上具有兩樞設(shè)區(qū)塊;動力裝置的數(shù)量為兩個;連桿組具有兩第一桿、兩第二桿及一第三桿。所述的密封組件,其中,連桿組的第一桿與第二桿的長度皆短于第三桿。所述的密封組件,其中,動力裝置為氣壓缸,移動部為壓桿。


圖1為本發(fā)明的立體外觀圖;圖2為本發(fā)明的閘門開啟時的示意圖;圖3為本發(fā)明的閘門關(guān)閉時的示意圖。附圖標記說明:10_殼體;11_樞設(shè)區(qū)塊;111-閘門樞設(shè)部;112-動力樞設(shè)部;21-壓桿;30-連桿組;31-第一桿;32-第二桿;33-第三桿;34_連桿軸;40_閘門。
具體實施例方式以下配合附圖及本發(fā)明的較佳實施例,進一步闡述本發(fā)明為達成預定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段。請參閱圖1及圖2所示,本發(fā)明的密封組件包含有一殼體10及一呈相互樞設(shè)的閘門40,其設(shè)有至少一動力裝置(圖中未示),動力裝置設(shè)有一可被驅(qū)動的移動部,該移動部可相對于殼體10移動,另設(shè)有相對應于動力裝置的連桿組30,其裝設(shè)于殼體10及動力裝置上且可利用移動部予以驅(qū)動,閘門40樞設(shè)于連桿組30上且被連桿組30所驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明的其中一種具體實施例可設(shè)計為包含有一殼體10、兩動力裝置(圖中未示)、一連桿組30及一閘門40。前述的殼體10設(shè)有兩橫向設(shè)置的樞設(shè)區(qū)塊11,各樞設(shè)區(qū)塊11包含有一動力樞設(shè)部112及一閘門樞設(shè)部111,閘門樞設(shè)部111位于動力樞設(shè)部112的上方。前述的動力裝置可為一氣壓缸,移動部可為該氣壓缸可伸縮的壓桿21,壓桿21可相對殼體10上下移動,兩氣壓缸分別對應于殼體10的兩樞設(shè)區(qū)塊11。前述的連桿組30裝設(shè)于殼體10及氣壓缸上,且包含有兩連桿單元及一第三桿33 ;兩連桿單元分別對應于殼體10的兩樞設(shè)區(qū)塊11及兩氣壓缸,且各包含有一第一桿31及一第二桿32,第一桿31的底端樞設(shè)相對應的氣壓缸的壓桿21 ;第二桿32的頂端樞設(shè)殼體10上相對應的動力樞設(shè)部112 ;第三桿33位于兩連桿單元之間,第三桿33的底端、第一桿31的頂端及第二桿32的底端以一連桿軸34相互樞設(shè),兩連桿單元的連桿軸34為同一根長軸;第一桿31與第二桿32的長度約略相等,并且短于第三桿33。前述的閘門40裝設(shè)于殼體10及連桿組30上,閘門40下側(cè)樞設(shè)殼體10上的兩閘門樞設(shè)部111 ;閘門40背面中央處樞設(shè)在連桿組30的第三桿33的頂端。請參閱圖2及圖3所示,在本實施例中,本發(fā)明配合一斜向下的開口使用,欲將閘門40關(guān)上時,使氣壓缸的壓桿21上移,連桿組30的第一桿31受其推動而連帶使第二桿32相對殼體10的動力樞設(shè)部112逆時針轉(zhuǎn)動(從圖2的視角來看,以下相同),第二桿32轉(zhuǎn)動的同時連帶移動連桿軸34,由此連帶上移第三桿33,并使第三桿33些微逆時針轉(zhuǎn)動,進而推動閘門40,使閘門40以殼體10的閘門樞設(shè)部111為軸逆時針轉(zhuǎn)動,并且由此關(guān)閉該斜向開口 ;閘門40閉合時,壓桿21與第一桿31成一直線以提高其封閉開口所需的推力,并且壓桿21可具有抵抗反向力作用。通過使殼體10的樞設(shè)區(qū)塊11、連桿組30及閘門40相互樞設(shè)以共同組成肘節(jié)機構(gòu),并通過肘節(jié)機構(gòu)以轉(zhuǎn)動型式關(guān)閉閘門40,以可提供橫向力于閘門40上,進而可有效抵靠并密封開口 ;而肘節(jié)機構(gòu)本身構(gòu)造簡單,并且僅需使用單一方向的氣壓缸,以可有效降低成本;此外,肘節(jié)機構(gòu)使用在相同力矩下,力臂與出力成反比的原理,通過調(diào)整第一桿31及第二桿32的長度來連帶調(diào)整力臂,進而達到的省力的功效,并降低氣壓缸的出力;最后,通過設(shè)置連桿組30于氣壓缸與閘門40之間,以可通過連桿來帶動作動較慢的壓桿21,進而吸收各氣壓缸作動的時間差,并藉此有效降低時間差對閘門40移動的影響。本發(fā)明通過單一動作便可完成密封動作并且構(gòu)造簡單,同時達到降低成本、降低氣壓缸的出力及降低時間差所造成的影響的目的。在其他實施例中,本發(fā)明的殼體可僅具有單一樞設(shè)區(qū)塊,具有單一氣壓缸,連桿組具有單一連桿單元及單一第三桿,其亦可同樣使用并發(fā)揮本發(fā)明的眾多功效。在其他實施例中,本發(fā)明的殼體亦可具有多數(shù)樞設(shè)區(qū)塊,具有多數(shù)氣壓缸,連桿組具有多數(shù)連桿單元及多數(shù)第三桿,由此橫向串接在一起,進而可用于推動大尺寸的閘門或提高增加閘門封閉開口的閉合力量。以上所述僅是本發(fā)明的較佳實施例而已,并非對本發(fā)明做任何形式上的限制,雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上,然而并非用以限定本發(fā)明,任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者,在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi),當可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例,但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容,依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾,均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種密封組件,其特征在于,包含: 一殼體; 至少一動力裝置,其設(shè)有一移動部,移動部能夠相對殼體移動; 一連桿組,其裝設(shè)于殼體及動力裝置上,且被動力裝置的移動部驅(qū)動; 一閘門,其樞設(shè)于殼體及連桿組上,且被連桿組驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的密封組件,其特征在于: 殼體設(shè)有至少一樞設(shè)區(qū)塊,各樞設(shè)區(qū)塊包含有一動力樞設(shè)部及一閘門樞設(shè)部,該閘門樞設(shè)在閘門樞設(shè)部上; 各動力裝置對應于殼體的其中一樞設(shè)區(qū)塊; 連桿組包含有至少一第一桿、至少一第二桿及至少一第三桿;第一桿的一端樞設(shè)在相對應的動力裝置的移動部;第二桿的一端樞設(shè)在殼體上相對應的動力樞設(shè)部,第三桿的一端樞設(shè)在閘門上,該第一桿、第二桿及第三桿的另一端以一連桿軸相互樞設(shè)。
3.如權(quán)利要求2所述的密封組件,其特征在于:連桿組中,相互樞設(shè)的一個第一桿及一個第二桿為一個連桿單元,第三桿位于相鄰兩連桿單元之間,并且各連桿單元的連桿軸為同一根長軸。
4.如權(quán)利要求2所述的密封組件,其特征在于:殼體上具有兩樞設(shè)區(qū)塊;動力裝置的數(shù)量為兩個;連桿組具有兩第一桿、兩第二桿及一第三桿。
5.如權(quán)利要求3所述的密封組件,其特征在于:殼體上具有兩樞設(shè)區(qū)塊;動力裝置的數(shù)量為兩個;連桿組具有兩第一桿、兩第二桿及一第三桿。
6.如權(quán)利要求2至5中任一項所述的密封組件,其特征在于:連桿組的第一桿與第二桿的長度皆短于第三桿。
7.如權(quán)利要求1至5中任一項所述的密封組件,其特征在于:動力裝置為氣壓缸,移動部為壓桿。
8.如權(quán)利要求6所述的密封組件,其特征在于:動力裝置為氣壓缸,移動部為壓桿。
全文摘要
本發(fā)明為一種密封組件,其包含有一殼體及一相互樞設(shè)的閘門,以一由動力裝置所驅(qū)動的肘節(jié)連桿組與閘門樞設(shè)連接,以轉(zhuǎn)動型式關(guān)閉閘門,可有效抵靠并密封開口;而肘節(jié)機構(gòu)本身構(gòu)造簡單可以較小動力提供較大出力,可降低動力裝置的出力;通過設(shè)置連桿組于動力裝置與閘門之間,以可吸收各動力裝置的時間差。本發(fā)明通過單一動作便可完成密封動作并且構(gòu)造簡單,同時解決現(xiàn)有密封組件無法簡化機構(gòu)以降低成本、無法降低氣壓缸的出力及復數(shù)氣壓缸造成時間差的缺點。
文檔編號F16K31/12GK103174841SQ20111043316
公開日2013年6月26日 申請日期2011年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月21日
發(fā)明者陳俊仁, 詹明祥, 施智圣, 張祐語 申請人:麥豐密封科技股份有限公司
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