專(zhuān)利名稱(chēng)：具有氣密軸桿貫通部的真空閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種根據(jù)權(quán)利要求1的前序部分的真空閥，該真空閥用于中斷、釋放或調(diào)節(jié)沿著真空閥的內(nèi)部區(qū)域中的流道流動(dòng)的介質(zhì)流。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)公開(kāi)了真空閥的各種實(shí)施方式，它們具有穿過(guò)閥殼體延伸的閥通道，該閥通道可通過(guò)閥關(guān)閉件以氣密方式關(guān)閉。特別地，在集成電路(IC)和半導(dǎo)體生產(chǎn)中使用不同的真空閥，這必須盡可能在沒(méi)有任何污染微粒的受保護(hù)的環(huán)境中進(jìn)行。例如，在用于生產(chǎn)半導(dǎo)體晶片或液晶基板的設(shè)備中，高度敏感的半導(dǎo)體元件或液晶元件依次穿過(guò)多個(gè)處理室，其中位于處理室內(nèi)的半導(dǎo)體元件通過(guò)各自的處理裝置處理。在處理室內(nèi)的處理期間以及在從一個(gè)處理室至另一個(gè)處理室的輸送期間，高度敏感的半導(dǎo)體元件必須總是處于受保護(hù)環(huán)境中，特別是處于保護(hù)氣體環(huán)境中或者沒(méi)有空氣和微粒的環(huán)境中。處理室例如通過(guò)連接通道彼此連接，其中處理室可通過(guò)真空閥打開(kāi)，以將零件從一個(gè)處理室輸送到下一個(gè)處理室，然后以氣密方式關(guān)閉，從而執(zhí)行各自的生產(chǎn)步驟。還使用移動(dòng)的輸送室，其可與處理室對(duì)接，并且可在處理室之間在保護(hù)環(huán)境中輸送半導(dǎo)體元件。供半導(dǎo)體零件穿過(guò)的這類(lèi)真空閥由于所述應(yīng)用領(lǐng)域和相關(guān)尺寸也稱(chēng)為真空輸送閥，由于其矩形開(kāi)口截面而稱(chēng)為矩形閥，并且由于其常用運(yùn)行方法而稱(chēng)為滑閥、矩形閘閥或輸送滑閥。具有楔形閥關(guān)閉件的滑閥也稱(chēng)為楔形閥。還使用用于打開(kāi)和關(guān)閉氣體通道的真空閥，或者用于調(diào)節(jié)通過(guò)氣體通道的介質(zhì)流的真空閥。這類(lèi)閥例如位于處理室或輸送室與真空泵或大氣之間的管的系統(tǒng)中。也稱(chēng)為泵閥的這類(lèi)閥的開(kāi)口截面通常比真空輸送閥小很多。已知這類(lèi)真空閥的不同設(shè)計(jì)，例如真空角形閥、滑閥、蝶形閥、旋轉(zhuǎn)閥和擺閥?？梢杂幸韵虏煌N類(lèi)的真空閥，其中一些真空閥僅僅設(shè)計(jì)用于完全打開(kāi)和完全關(guān)閉氣體通道或者一些其它開(kāi)度，而不能恒定處于任何指定中間位置，另外一些真空閥被設(shè)計(jì)用于處于完全打開(kāi)和完全關(guān)閉狀態(tài)之間的中間位置，因此適于調(diào)節(jié)通流。因此這些閥也稱(chēng)為調(diào)節(jié)閥或控制閥。此外，根據(jù)各自使用的驅(qū)動(dòng)技術(shù)，閥具體可以分為一方面具有線(xiàn)性關(guān)閉和打開(kāi)運(yùn)動(dòng)的閥，另一方面具有旋轉(zhuǎn)關(guān)閉和打開(kāi)運(yùn)動(dòng)的閥，其中這些運(yùn)動(dòng)的組合也是可行的。具有可通過(guò)閥關(guān)閉件的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)改變的通流截面的真空閥的例子是旋轉(zhuǎn)閥，也稱(chēng)為蝶形閥或翼型閥、擺閥、百葉閥或人字形閥。在旋轉(zhuǎn)閥的情況下，沿著流道流動(dòng)的介質(zhì)流通過(guò)布置在流道中的關(guān)閉活板的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而中斷、釋放或者調(diào)節(jié)，其中關(guān)閉活板的旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)的至少一個(gè)分量垂直于流道的流動(dòng)軸線(xiàn)延伸。這類(lèi)旋轉(zhuǎn)閥、蝶形閥和節(jié)流閥一股是已知的，并且尤其在 GB 2404237 (Wareham)或者 US 2004/0129909A1 (Wiese)中公開(kāi)。百葉閥具有多個(gè)這類(lèi)活板，活板的旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)通過(guò)彼此平行并且垂直于流道的流動(dòng)軸線(xiàn)延伸。 人字形閥具有兩個(gè)平行的關(guān)閉板，所述關(guān)閉板可相對(duì)于彼此旋轉(zhuǎn)，彼此抵靠并且具有基本平行于流動(dòng)軸線(xiàn)延伸的旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)。關(guān)閉板均具有(特別是徑向延伸的槽狀)開(kāi)口，在關(guān)閉板相對(duì)于彼此的第一旋轉(zhuǎn)位置，所述開(kāi)口相對(duì)于彼此對(duì)準(zhǔn)從而釋放流道，并且在關(guān)閉板相對(duì)于彼此的第二旋轉(zhuǎn)位置，所述開(kāi)口重疊從而阻塞流道。在擺閥的情況下，例如從US 6，089，537 (Olmsted)已知，關(guān)閉板繞基本平行于流動(dòng)軸線(xiàn)延伸的軸線(xiàn)樞轉(zhuǎn)至流道中，因此開(kāi)口截面可減小并且流道被阻塞。在滑閥的情況下，閥關(guān)閉件，特別是關(guān)閉板，通常垂直于流動(dòng)軸線(xiàn)線(xiàn)性滑入流道中。通過(guò)該線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)，或者另外通過(guò)沿平行于流道的方向的第二運(yùn)動(dòng)進(jìn)行氣密關(guān)閉。關(guān)閉和密封操作通過(guò)單個(gè)線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)進(jìn)行的滑閥例如是尤其如在US 6, 367, 770B1 (Duelli)所提出的楔形閥，或者是因產(chǎn)品名稱(chēng)“M0N0VAT系列02和03”已知的輸送閥，該輸送閥構(gòu)造為矩形閘閥，由瑞士 Haag 的 VAT Vakuumventile AG 生產(chǎn)，例如在 US 4, 809, 950 (Geiser)和 US 4, 881, 717 (Geiser)中描述了這種滑閥的結(jié)構(gòu)和功能。從現(xiàn)有技術(shù)，例如從US 6, 629, 682B2 (Duelli)已知各種密封裝置。用于密封環(huán)的適當(dāng)材料的例子是已知商標(biāo)名稱(chēng)為Viton 的彈性密封材料。所有這些真空閥都具有以下情形，即至少一個(gè)活動(dòng)的閥關(guān)閉件設(shè)置在閥殼體的內(nèi)部區(qū)域中的流道內(nèi)，并且可通過(guò)閥關(guān)閉件的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行中斷、釋放或調(diào)節(jié)沿著流道流動(dòng)的介質(zhì)流的操作。該運(yùn)動(dòng)具體可以是旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和/或線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)。這里，可以提供一種用于在真空區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)的閥驅(qū)動(dòng)裝置。已知的設(shè)計(jì)是使用沒(méi)有任何潤(rùn)滑劑的真空兼容的步進(jìn)電機(jī)。生產(chǎn)這類(lèi)電機(jī)需要用于軸承等的特殊材料，以將尤其是通過(guò)真空區(qū)域中的摩擦產(chǎn)生的不期望的微粒保持至低水平。即使在真空閥的內(nèi)部區(qū)域中布置驅(qū)動(dòng)裝置避免了從大氣區(qū)域至真空區(qū)域的運(yùn)動(dòng)傳遞，并且允許免除對(duì)應(yīng)的密封，驅(qū)動(dòng)裝置在真空區(qū)域中的該布置也產(chǎn)生了非常高的支出，特別是在用于高度敏感的超高真空應(yīng)用中，并且在一些情況下根本是不可能的。因此用于產(chǎn)生該運(yùn)動(dòng)的閥驅(qū)動(dòng)裝置通常布置在真空區(qū)域外，在大氣區(qū)域中，因此其中經(jīng)由至少一個(gè)機(jī)構(gòu)(特別是軸)以氣密的方式將運(yùn)動(dòng)從大氣區(qū)域通過(guò)密封貫通部導(dǎo)入閥的內(nèi)部區(qū)域中。已經(jīng)知道，具有從真空側(cè)穿至大氣側(cè)的軸的真空密閉的旋轉(zhuǎn)或線(xiàn)性貫通部被用于以高精度、高穩(wěn)定性和高轉(zhuǎn)矩和/或力將旋轉(zhuǎn)或平移或線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)從真空區(qū)域的外部傳遞至真空區(qū)域的內(nèi)部，其中軸通過(guò)密封軸貫通部經(jīng)由布置在軸與貫通部之間的至少一個(gè)密封環(huán)以氣密方式導(dǎo)入真空中。該簡(jiǎn)單的旋轉(zhuǎn)或線(xiàn)性貫通部用于多種真空閥中，并且由于先進(jìn)的密封材料而證實(shí)對(duì)于許多應(yīng)用領(lǐng)域是成功的。然而，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，有問(wèn)題的應(yīng)用領(lǐng)域是密封材料受到較大溫度波動(dòng)和/或大氣區(qū)域與真空區(qū)域之間的很大壓差的領(lǐng)域。所使用的大多數(shù)密封材料在熱的作用下膨脹，這增加了密封件與軸之間的擠壓動(dòng)作。如果靜止的密封件和運(yùn)動(dòng)的軸之間的力超過(guò)了某個(gè)極限值，那么密封件所受到的磨損明顯增加。在一些情況下，密封件甚至損壞并失效，因此這導(dǎo)致氣體穿透，并且可能導(dǎo)致很大的損壞。另一方面，必須始終保持最小的接觸壓力，以確保密封件與軸之間的密封。根據(jù)密封材料的熱膨脹系數(shù)，真空閥可運(yùn)行且一直確保密封和使用壽命的溫度范圍是有限的。現(xiàn)有技術(shù)公開(kāi)了用于以高密封程度將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)從外部傳遞至真空區(qū)域的內(nèi)部的各種方案。US 4，885，947 (Baiter等人)描述了一種真空密閉的旋轉(zhuǎn)貫通部，其具有用于將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)從真空室的外部傳遞至該真空室的內(nèi)部的第一軸和第二軸。這里，第一軸被設(shè)計(jì)為中空軸，第二軸被安裝成使其能在第一軸中旋轉(zhuǎn)。所述軸不會(huì)形成從真空側(cè)到大氣側(cè)連續(xù)的軸。旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)經(jīng)由復(fù)雜的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)傳遞。在外端，第一軸具有偏心布置的凹口，該凹口相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)傾斜，并且一錐形套筒伸入該凹口中。第一軸通過(guò)錐形套筒的軌道運(yùn)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)。第二軸的旋轉(zhuǎn)同樣通過(guò)偏心驅(qū)動(dòng)裝置發(fā)生。所述軸分別通過(guò)折疊波紋管密封。該真空密閉的旋轉(zhuǎn)貫通部的復(fù)雜結(jié)構(gòu)意味著削弱了旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳遞的精度和穩(wěn)定性。另外，僅可以傳遞較小的轉(zhuǎn)矩。US 2005/0210648A1公開(kāi)了一種用于在針形閥中對(duì)填料密封件預(yù)加應(yīng)力的裝置。 可圍繞其軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)的針形閥桿在密封作用下被導(dǎo)入閥內(nèi)部，其中殼體中的填料密封件確保了柱形閥桿與閥殼體的柱形壁之間的密封。柱形壁圍繞柱形閥桿，其中填料密封件布置在所述壁與所述閥桿之間的環(huán)形中間區(qū)域中。環(huán)形填料密封件包括一對(duì)楔形填料元件，該對(duì)楔形填料元件中的一個(gè)在另一個(gè)中弓丨導(dǎo)。由于彈簧對(duì)填料元件施加的軸向力，填料密封件在柱形閥桿與柱形壁之間沿徑向被擠壓，因此柱形閥桿與柱形壁之間的環(huán)形空間通過(guò)密封作用而被填料密封件完全填充。軸向力由彈簧提供。用于對(duì)填料密封件預(yù)加應(yīng)力的上述裝置的一個(gè)問(wèn)題是，填料密封件沿徑向的熱膨脹不可避免地使柱形閥桿上的徑向密封力急劇增加，從而使密封件的磨損增加，特別是在閥桿旋轉(zhuǎn)的時(shí)候。上述裝置也可在有限程度上適于通過(guò)彈簧的柔順性來(lái)補(bǔ)償填料密封件平行于閥桿的軸向膨脹，但是在密封件相對(duì)于閥桿沿徑向熱膨脹的情況下，其不適于確保密封件在可旋轉(zhuǎn)閥桿上的基本徑向的密封力。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種簡(jiǎn)單構(gòu)造的真空閥，其中可在寬溫度范圍內(nèi)將在大氣區(qū)域中產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)傳遞到真空閥的內(nèi)部區(qū)域中，并且在過(guò)程中確保氣體密封。該目的通過(guò)實(shí)施獨(dú)立權(quán)利要求的特征而實(shí)現(xiàn)。以可選或有利方式改進(jìn)本發(fā)明的特征記載在從屬專(zhuān)利權(quán)利要求中。本發(fā)明包括真空閥，該真空閥用于中斷、釋放或調(diào)節(jié)沿著真空閥的內(nèi)部區(qū)域中的流道流動(dòng)的介質(zhì)流。因此該真空閥可以是能在兩個(gè)以上的分離狀態(tài)(例如，打開(kāi)和關(guān)閉狀態(tài))之間切換的閥，或者是能根據(jù)需要調(diào)節(jié)的控制閥，該控制閥具有能在某個(gè)限度內(nèi)自由調(diào)節(jié)的流動(dòng)截面。流過(guò)閥的介質(zhì)優(yōu)選是氣體，或者是液體。該真空閥具有閥殼體，該閥殼體將真空閥的內(nèi)部區(qū)域以氣密方式與真空閥外部的大氣區(qū)域分離。流道穿過(guò)真空閥的內(nèi)部區(qū)域延伸。閥殼體可以是單件，或者包括多個(gè)彼此連接的單獨(dú)部件，使得內(nèi)部區(qū)域以真空密封方式與大氣區(qū)域分離。閥殼體優(yōu)選具有至少兩個(gè)連接部，所述至少兩個(gè)連接部形成通向真空閥內(nèi)部區(qū)域的開(kāi)口，并且流道穿過(guò)所述開(kāi)口引入。通過(guò)真空閥，所述連接部穿過(guò)所述真空閥的內(nèi)部區(qū)域引入，因此能夠中斷并釋放，或者在調(diào)節(jié)或控制閥的情況下，通過(guò)改變流動(dòng)截面而調(diào)節(jié)可在至少兩個(gè)連接部之間形成的介質(zhì)流。另外，所述真空閥具有閥驅(qū)動(dòng)裝置，該閥驅(qū)動(dòng)裝置可產(chǎn)生大氣區(qū)域(也就是說(shuō)，內(nèi)部區(qū)域的外部)中的運(yùn)動(dòng)。所述閥驅(qū)動(dòng)裝置可被設(shè)計(jì)為電力、氣動(dòng)或液壓電機(jī)，特別是步進(jìn)電機(jī)或者氣動(dòng)缸單元，或者用于產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)或平移(即線(xiàn)性)運(yùn)動(dòng)的一些其它裝置。通常指定給真空閥的閥驅(qū)動(dòng)裝置聯(lián)接到閥殼體，至少部分地結(jié)合在其中或者與其隔離。軸桿聯(lián)接到閥驅(qū)動(dòng)裝置，使得由驅(qū)動(dòng)裝置在大氣區(qū)域中產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)引起軸桿的運(yùn)動(dòng)，或者構(gòu)成該運(yùn)動(dòng)。軸桿通常被理解為是用于傳遞旋轉(zhuǎn)或平移運(yùn)動(dòng)的機(jī)械機(jī)構(gòu)，例如是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)或者不是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的線(xiàn)性軸桿或者推桿，其中該運(yùn)動(dòng)優(yōu)選是圍繞軸桿的縱向軸線(xiàn)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，或者是沿著軸桿的縱向軸線(xiàn)的線(xiàn)性滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)。該軸桿具有幾何軸桿軸線(xiàn)，該幾何軸桿軸線(xiàn)具體地由軸桿的縱向幾何軸線(xiàn)形成，并且具體地穿過(guò)幾何截面中心點(diǎn)延伸。所述軸桿通過(guò)密封軸桿貫通部以氣密方式從大氣區(qū)域?qū)腴y殼體的真空密閉內(nèi)部區(qū)域。軸桿貫通部具有動(dòng)力密封特性，即，不僅在軸桿的靜止?fàn)顟B(tài)下，而且在軸桿運(yùn)動(dòng)時(shí)確保軸桿貫通部的密封。由閥驅(qū)動(dòng)裝置產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)可通過(guò)軸桿從大氣區(qū)域傳遞至內(nèi)部區(qū)域中。軸桿貫通部防止大氣區(qū)域與內(nèi)部區(qū)域之間的氣體連接，并且確保靜態(tài)閥殼體與動(dòng)態(tài)軸桿之間的直接或間接連接，該連接是氣密的，但是允許相對(duì)運(yùn)動(dòng)。在真空閥的內(nèi)部區(qū)域的流道中布置閥關(guān)閉件，該內(nèi)部區(qū)域在向外方向上是真空密閉的。該閥關(guān)閉件聯(lián)接到所述軸桿，因此由閥驅(qū)動(dòng)裝置產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)通過(guò)軸桿引起閥關(guān)閉件運(yùn)動(dòng)，其中閥驅(qū)動(dòng)裝置、軸桿、軸桿貫通部、閥關(guān)閉件、閥座和閥殼體被設(shè)計(jì)成使得可通過(guò)該運(yùn)動(dòng)進(jìn)行中斷、釋放或調(diào)節(jié)沿著流道流動(dòng)的介質(zhì)流的操作。軸桿貫通部具有第一密封環(huán)，第一密封環(huán)由在熱的作用下膨脹的材料構(gòu)成，特別是由彈性體制成的0形環(huán)。該材料可以是含氟彈性體，例如是以下名稱(chēng)的商業(yè)可用的材料中的一種Viton 含氟彈性體，例如Viton A、Viton B ；Dai-el 含氟彈性體，例如Dai- el G 902 等；Tecnof Ion 或 Tecnof Ion 含氟彈性體。第一密封環(huán)沿徑向以氣密密封同心地包圍所述軸桿。換言之，第一密封環(huán)以帶狀方式圍繞所述軸桿，其中在第一密封環(huán)的內(nèi)表面與所述軸桿的外表面之間存在密封接觸。 第一密封環(huán)的接觸壓力相對(duì)于軸桿軸線(xiàn)沿徑向作用，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，該力使得所述軸桿能相對(duì)于第一密封環(huán)執(zhí)行圍繞軸桿軸線(xiàn)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，以及/或者沿著軸桿軸線(xiàn)的線(xiàn)性滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)，并且在第一密封環(huán)與所述軸桿之間基本真空密閉接觸。另外，軸桿貫通部具有支承表面，該支承表面直接或間接聯(lián)接到閥殼體，并且圍繞并包圍所述軸桿。例如，支承表面由閥殼體中的孔的肩部形成，其中所述軸桿通過(guò)所述孔導(dǎo)入，并且所述孔中的肩部包圍所述軸桿。這里，支承表面可以由閥殼體的一部分形成，或者由聯(lián)接到閥殼體的一些其它元件，例如套環(huán)或軸套形成。第一密封環(huán)以氣密密封抵靠在支承表面上，這樣沿著平行于軸桿的方向，從而沿著平行于軸桿軸線(xiàn)的方向，即沿軸桿向固定密封環(huán)。為此，支承表面相對(duì)于軸桿軸向定向， 因此密封環(huán)沿著平行于軸桿的方向軸向固定。支承表面優(yōu)選基本在所述軸桿軸線(xiàn)對(duì)其形成法線(xiàn)的平面中延伸。換言之，這里，支承表面的法線(xiàn)平行于所述軸桿軸線(xiàn)延伸。然而，支承表面的這些法線(xiàn)還可以沿著這樣的方向延伸，這些方向盡管不平行于所述軸桿軸線(xiàn)，但也不垂直于所述軸桿軸線(xiàn)。換言之，支承表面不需要必須形成幾何上的精確平面，而是可以具體地是錐形部分的向內(nèi)或者向外傾斜的表面，為此本發(fā)明指的是“基本”沿上述平面延伸的支承表面。因此，在第一密封環(huán)與支承表面之間至少部分地沿軸向存在氣密接觸，其中第一密封環(huán)沿軸向氣密密封地抵靠在支承表面上，并且沿徑向以氣密密封包圍所述軸桿。因此第一密封環(huán)引起支承表面與軸桿之間的氣密接觸。另外，軸桿貫通部包括支撐環(huán)，該支撐環(huán)圍繞所述軸桿同心布置，并且與支承表面軸向相對(duì)。支撐環(huán)由基本剛性的材料構(gòu)成。應(yīng)理解，這意味著支撐環(huán)假如與第一密封環(huán)相
8比幾乎沒(méi)有彈性，并且假如與第一密封環(huán)相比在熱的作用下幾乎不膨脹。支撐環(huán)優(yōu)選由金屬、合金、陶瓷材料或者一些其它剛性材料構(gòu)成，該剛性材料與第一密封環(huán)的彈性體或者一些其它密封材料相比，幾乎不表現(xiàn)出任何熱膨脹的趨勢(shì)。支撐環(huán)可相對(duì)于支承表面、閥殼體并且平行于軸桿軸線(xiàn)并從而平行于軸桿以有限程度軸向運(yùn)動(dòng)。因此，可以在某個(gè)范圍內(nèi)改變支承表面與支撐環(huán)之間的距離。支撐環(huán)在朝向支承表面定向的部分上具有內(nèi)錐形段，該內(nèi)錐形段圍繞軸桿同心延伸并包圍該軸桿。換言之，支撐環(huán)具有內(nèi)錐形部分，其中該錐形部分的中心軸線(xiàn)與所述軸桿軸線(xiàn)重合。錐形段沿著支承表面的方向以一錐形開(kāi)口角加寬。換言之，支撐環(huán)的內(nèi)徑沿支承表面的方向增加，特別是連續(xù)增加。錐形段通常理解為表示支撐環(huán)的一部分。支撐環(huán)的內(nèi)錐形段沿支承表面例如以45°至135°，特別是60°至120°，特別是80°至100°的錐形開(kāi)口角加寬，其中錐形開(kāi)口角應(yīng)理解為表示由錐形段限定的錐形的虛擬頂部的內(nèi)角。第一密封環(huán)至少部分被支撐環(huán)的錐形段包圍，并且?jiàn)A在錐形段與支承表面之間。 彈性彈簧，例如圍繞軸桿的螺旋彈簧沿支承表面的方向向支撐環(huán)軸向施力，使得錐形段以彈性柔順的方式并且基本在恒定的接觸壓力下將第一密封環(huán)緊壓在支承表面和軸桿上。這里，錐形段使第一密封環(huán)受到相對(duì)于軸桿沿徑向的力和平行于軸桿沿支承表面方向的力。 如果第一密封環(huán)膨脹，那么其外徑增加，第一密封環(huán)與支撐環(huán)之間的軸向和徑向作用力也增加。然而，支撐環(huán)屈服于該力，因?yàn)槠淇梢匝剡h(yuǎn)離支承表面的軸向被調(diào)節(jié)，此時(shí)彈簧被壓縮。換言之，第一密封環(huán)的徑向膨脹被支撐環(huán)及其內(nèi)錐形構(gòu)造轉(zhuǎn)化為支撐環(huán)的軸向運(yùn)動(dòng)。彈簧以柔順的方式抵消該軸向運(yùn)動(dòng)。因此錐形開(kāi)口角使得由受到熱作用的第一密封環(huán)引起的該第一密封環(huán)的徑向膨脹導(dǎo)致支撐環(huán)沿遠(yuǎn)離支承表面的方向軸向運(yùn)動(dòng)。這里，彈性彈簧被設(shè)計(jì)成使得其屈服于由徑向膨脹引起的支撐環(huán)的軸向運(yùn)動(dòng)。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，第一密封環(huán)被設(shè)計(jì)為第一 0形環(huán)。在沿軸向觀看時(shí)， 在第一 0形環(huán)與支承表面之間存在基本環(huán)形的氣密接觸。在沿徑向觀看時(shí)，在第一 0形環(huán)與軸桿之間存在基本環(huán)形的氣密接觸。在第一 0形環(huán)與支撐環(huán)的內(nèi)錐形段之間存在支撐接觸，優(yōu)選同樣是環(huán)形接觸，因此相對(duì)于軸桿和支承表面傾斜地支撐第一0形環(huán)。因此，第一0 形環(huán)周?chē)哂腥齻€(gè)接觸區(qū)域，即，與支承表面接觸的第一接觸區(qū)域、與軸桿接觸的第二接觸區(qū)域、以及與支撐環(huán)的內(nèi)錐形段接觸的第三接觸區(qū)域。在沿第一 0形環(huán)的截面觀看時(shí)，三個(gè)接觸區(qū)域形成三角形，接觸區(qū)域布置在三角形的角部。與支撐環(huán)的內(nèi)錐形段接觸的接觸區(qū)域優(yōu)選與另兩個(gè)接觸區(qū)域相對(duì)定位，因此內(nèi)錐形段均勻地將第一 0形環(huán)緊壓在支承表面和軸桿上。在本發(fā)明的第一可行實(shí)施方式中，支撐環(huán)的朝著支承表面定向的部分指向內(nèi)部區(qū)域，支撐環(huán)和彈簧布置在大氣區(qū)域中。本實(shí)施方式的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于內(nèi)部區(qū)域不容納產(chǎn)生微粒的元件，特別是彈簧。在本發(fā)明的第二可行實(shí)施方式中，支撐環(huán)的遠(yuǎn)離支承表面定向的部分指向內(nèi)部區(qū)域，支撐環(huán)和彈簧布置在內(nèi)部區(qū)域中。根據(jù)一個(gè)可行實(shí)施方式，閥驅(qū)動(dòng)裝置被設(shè)計(jì)用于產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。這里，軸桿貫通部是旋轉(zhuǎn)軸桿貫通部。通過(guò)軸桿和閥關(guān)閉件圍繞軸桿軸線(xiàn)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)可以進(jìn)行關(guān)閉、打開(kāi)或調(diào)節(jié)流道的操作。真空閥例如是蝶形閥、旋轉(zhuǎn)閥、節(jié)流閥、擺閥、百葉閥或人字形閥。根據(jù)另一個(gè)可行實(shí)施方式，閥驅(qū)動(dòng)裝置被設(shè)計(jì)用于產(chǎn)生線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)。因此，軸桿貫通部是滑動(dòng)作用的軸桿貫通部。通過(guò)軸桿和閥關(guān)閉件沿著軸桿軸線(xiàn)的線(xiàn)性滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行關(guān)閉、打開(kāi)或調(diào)節(jié)流道的操作。真空閥例如是滑閥、輸送閥或楔形閥。通過(guò)本發(fā)明，即使在特別高的溫度和第一密封環(huán)的相應(yīng)熱膨脹下，也可以基本恒定地保持軸桿的外表面與第一密封環(huán)的內(nèi)表面之間的徑向接觸壓力，從而產(chǎn)生可用在較大溫度范圍內(nèi)的真空閥。本發(fā)明的改進(jìn)提供了第二密封環(huán)，該第二密封環(huán)布置在例如支撐環(huán)的柱形內(nèi)表面與例如軸桿的柱形外表面之間，位于支撐環(huán)的遠(yuǎn)離支承表面定向的部分上。在沿一個(gè)軸向的第一密封環(huán)、沿另一軸向的第二密封環(huán)、沿徑向向內(nèi)方向的軸桿與沿徑向向外方向的支撐環(huán)之間設(shè)置潤(rùn)滑區(qū)域。該潤(rùn)滑區(qū)域容納潤(rùn)滑劑，該潤(rùn)滑劑由兩個(gè)密封環(huán)防止逸出。潤(rùn)滑劑在軸桿上產(chǎn)生密封油脂膜，從而具體在軸桿與第一密封環(huán)之間產(chǎn)生密封油脂膜。潤(rùn)滑劑增強(qiáng)了第一密封環(huán)的密封，從而增強(qiáng)了軸桿貫通部的密封，并且減少了當(dāng)軸桿運(yùn)動(dòng)時(shí)第一密封環(huán)受到的磨損。而且，潤(rùn)滑劑的增強(qiáng)的熱容量整體增強(qiáng)了軸桿貫通部的熱容量，因此在閥內(nèi)部溫度短暫升高的情況下，第一密封環(huán)的溫度升高，從而其熱膨脹減少。而且，第二密封環(huán)用于支撐環(huán)與軸桿之間的機(jī)械引導(dǎo)。


下面將參照附圖中示意性示出的具體實(shí)施方式
僅通過(guò)實(shí)施例更加詳細(xì)地描述根據(jù)本發(fā)明的真空閥，附圖中圖1通過(guò)具有軸桿貫通部的真空閥的示意性截面示出了總體視圖；并且圖2通過(guò)具有兩個(gè)密封環(huán)的軸桿貫通部的示意性截面示出了細(xì)節(jié)。
具體實(shí)施例方式圖1通過(guò)示意性截面示出了真空閥1的總體視圖，真空閥1適于中斷、釋放和調(diào)節(jié)沿著真空閥1的內(nèi)部區(qū)域3中的流道F流動(dòng)的介質(zhì)流。流道F延伸到圖面內(nèi)，并且由箭頭 F示出。真空閥1具有閥殼體2，閥殼體2以氣密的形式將真空閥1的內(nèi)部區(qū)域3與外部的大氣區(qū)域4分離。閥驅(qū)動(dòng)裝置5聯(lián)接到閥殼體2，該閥驅(qū)動(dòng)裝置可在大氣區(qū)域4中產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)。由于在圖1中示出所謂的旋轉(zhuǎn)閥，因此閥驅(qū)動(dòng)裝置5被設(shè)計(jì)成用于產(chǎn)生由箭頭9所示的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。軸桿6聯(lián)接到閥驅(qū)動(dòng)裝置5，從而能?chē)@幾何軸桿軸線(xiàn)7旋轉(zhuǎn)。軸桿6相對(duì)于軸桿軸線(xiàn)7旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)并且是線(xiàn)性的。通過(guò)密封軸桿貫通部20，軸桿6以氣密的方式從大氣區(qū)域 4穿過(guò)閥殼體2被導(dǎo)入內(nèi)部區(qū)域3，因此由閥驅(qū)動(dòng)裝置產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)從大氣區(qū)域4通過(guò)軸桿6 導(dǎo)入內(nèi)部區(qū)域3。呈可旋轉(zhuǎn)關(guān)閉活板形式的閥關(guān)閉件8布置在內(nèi)部區(qū)域3的流道F中，閥關(guān)閉件聯(lián)接到軸桿6，安裝在其上從而被引導(dǎo)。借助于閥關(guān)閉件8，通過(guò)由箭頭9所示的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行中斷、釋放或調(diào)節(jié)沿著流道F流動(dòng)的介質(zhì)流的操作。在閥關(guān)閉件8的圖示位置，真空閥1 關(guān)閉，因而流道F被中斷。圖2示出了軸桿貫通部20，具體是圖1的示例性實(shí)施方式的軸桿貫通部20或者一些其它類(lèi)型的真空閥的軸桿貫通部。軸桿貫通部20具有呈第一 0形環(huán)形式的第一密封環(huán)21，第一密封環(huán)21由在熱的作用下膨脹的材料，例如彈性體構(gòu)成，并且沿徑向與氣密密封件同心地包圍軸桿6的柱形外表面。第一密封環(huán)21靠在聯(lián)接到閥殼體2的支承表面22 上。應(yīng)理解，支承表面指的是第一密封環(huán)21實(shí)際抵靠的表面。在本實(shí)施例中，支承表面22 形成在閥殼體2中。支承表面22圍繞軸桿6并且相對(duì)于軸桿6軸向定向。換言之，支承表面22的平面22a的法線(xiàn)平行于軸桿軸線(xiàn)7延伸。按另一種說(shuō)法，支承表面22位于平面2 中，軸桿軸線(xiàn)7垂直穿過(guò)平面22a。從而軸桿6的幾何軸線(xiàn)7形成該平面22a的法線(xiàn)。第一密封環(huán)21靠在支承表面22上，沿軸向進(jìn)行氣密密封，使得第一密封環(huán)21沿平行于軸桿 6的方向軸向固定。在本情況下，該方向朝向內(nèi)部區(qū)域3延伸。而且，軸桿貫通部20包括支撐環(huán)23，支撐環(huán)23由剛性材料構(gòu)成，特別是由合金構(gòu)成，并且圍繞軸桿6同心布置，與支承表面22軸向相對(duì)。支撐環(huán)23可相對(duì)于支承表面22 和軸桿6在有限程度上軸向運(yùn)動(dòng)，也就是說(shuō)平行于軸桿軸線(xiàn)7運(yùn)動(dòng)。朝向支承表面22定向的部分沈在其上形成內(nèi)錐形段24，內(nèi)錐形段M圍繞軸桿6同心延伸并包圍軸桿6。內(nèi)錐形段M沿支承表面22和內(nèi)部區(qū)域3的方向加寬。第一密封環(huán)21至少部分地由內(nèi)錐形段 24包圍。在所示的示例性實(shí)施方式中，支撐環(huán)23的繞軸桿軸線(xiàn)7旋轉(zhuǎn)地對(duì)稱(chēng)的內(nèi)錐形段M 沿支承表面22的方向以90°的錐形開(kāi)口角α加寬。如圖2的虛線(xiàn)所示，錐形開(kāi)口角α應(yīng)該理解為指的是由內(nèi)錐形段M限定的虛擬圓錐30的頂部的內(nèi)角。圍繞軸桿6延伸的螺旋彈性彈簧25沿支承表面22的方向向支撐環(huán)23軸向施力， 使得錐形段M以彈性柔順的方式并且基本在恒定的接觸壓力下將第一密封環(huán)21緊壓在支承表面22和軸桿6上。如果第一密封環(huán)21然后發(fā)生熱膨脹，那么支撐環(huán)23通過(guò)沿大氣區(qū)域4的方向平行于軸桿軸線(xiàn)7的線(xiàn)性軸向運(yùn)動(dòng)而屈服于該膨脹，因此第一密封環(huán)21與軸桿 6的外表面之間的徑向接觸壓力僅在某個(gè)限度內(nèi)以不明顯的程度增大。換言之，錐形開(kāi)口角 α使得由受到熱作用的第一密封環(huán)21引起的該第一密封環(huán)21的徑向膨脹導(dǎo)致支撐環(huán)23 沿遠(yuǎn)離支承表面22的方向軸向運(yùn)動(dòng)，其中彈性彈簧25被設(shè)計(jì)成使其屈服于由徑向膨脹引起的支撐環(huán)23的軸向運(yùn)動(dòng)。還設(shè)置有第二密封環(huán)觀，第二密封環(huán)28徑向布置在支撐環(huán)23的內(nèi)槽31與軸桿6 的外表面之間，位于支撐環(huán)23的遠(yuǎn)離支承表面22定向的一部分27上。在第一密封環(huán)21、 第二密封環(huán)觀、軸桿6與支撐環(huán)23之間形成潤(rùn)滑區(qū)域四，該潤(rùn)滑區(qū)域被設(shè)計(jì)為用于容納潤(rùn)滑劑，該潤(rùn)滑劑用于在軸桿6與第一密封環(huán)21之間產(chǎn)生密封油脂膜。該油脂膜增強(qiáng)了第一密封環(huán)21與軸桿6之間的密封。而且，第一密封環(huán)21受到的磨損減少，并在潤(rùn)滑劑中收集不期望的材料微粒。根據(jù)本發(fā)明的圖2所示的真空閥1的該軸桿貫通部20可以用作旋轉(zhuǎn)軸桿貫通部和滑動(dòng)作用軸桿貫通部。在旋轉(zhuǎn)軸桿貫通部的情況下，閥驅(qū)動(dòng)裝置5被設(shè)計(jì)成用于產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，通過(guò)軸桿6和閥關(guān)閉件8圍繞軸桿軸線(xiàn)7的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)可進(jìn)行關(guān)閉、打開(kāi)和調(diào)節(jié)流道 F的操作。在滑動(dòng)作用軸桿貫通部的情況下，閥驅(qū)動(dòng)裝置5被設(shè)計(jì)成用于產(chǎn)生線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)，并且通過(guò)軸桿6和閥關(guān)閉件8沿著軸桿軸線(xiàn)7的線(xiàn)性滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行關(guān)閉、打開(kāi)和調(diào)節(jié)流道F 的操作。即使在圖1和2的實(shí)施方式中，支撐環(huán)23的朝向支承表面22定向的部分沈指向內(nèi)部區(qū)域3，并且支撐環(huán)23和彈簧25布置在大氣區(qū)域4中，但作為選擇，也可以提供另一種方式的布置，其中支撐環(huán)23的遠(yuǎn)離支承表面22定向的部分27指向內(nèi)部區(qū)域3，并且支撐環(huán) 23和彈簧25布置在內(nèi)部區(qū)域3中，也就是說(shuō)，內(nèi)部區(qū)域3和大氣區(qū)域4在圖2中交換。
權(quán)利要求
1.一種真空閥(1)，該真空閥用于中斷、釋放或調(diào)節(jié)沿著所述真空閥(1)的內(nèi)部區(qū)域 (3)中的流道(F)流動(dòng)的介質(zhì)流，該真空閥具有閥殼體O)，該閥殼體將所述真空閥(1)的所述內(nèi)部區(qū)域C3)以氣密方式與所述真空閥 ⑴外部的大氣區(qū)域⑷分離；閥驅(qū)動(dòng)裝置(5)，該閥驅(qū)動(dòng)裝置用于產(chǎn)生所述大氣區(qū)域中的運(yùn)動(dòng)； 軸桿(6)，該軸桿聯(lián)接到所述閥驅(qū)動(dòng)裝置(5)，具有幾何軸桿軸線(xiàn)(7)，并且通過(guò)密封軸桿貫通部00)以氣密方式從所述大氣區(qū)域穿過(guò)所述閥殼體( 導(dǎo)入所述內(nèi)部區(qū)域 (3)，通過(guò)該軸桿，所述運(yùn)動(dòng)可從所述大氣區(qū)域(4)傳遞至所述內(nèi)部區(qū)域(3)中； 以及閥關(guān)閉件(8)，該閥關(guān)閉件布置在所述內(nèi)部區(qū)域(3)的所述流道(F)中，并且聯(lián)接到所述軸桿(6)，借助于該閥關(guān)閉件，可通過(guò)所述運(yùn)動(dòng)進(jìn)行中斷、釋放或調(diào)節(jié)沿著所述流道(F) 流動(dòng)的介質(zhì)流的操作，所述真空閥的特征在于， 所述軸桿貫通部OO)具有第一密封環(huán)(21)，該第一密封環(huán)由在熱的作用下膨脹的材料構(gòu)成，并且以沿徑向氣密密封的方式同心地包圍所述軸桿(6)；支承表面(22)，該支承表面聯(lián)接到所述閥殼體O)，圍繞所述軸桿(6)，相對(duì)于所述軸桿(6)軸向定向，并且基本在將所述軸桿(6)的所述幾何軸線(xiàn)(7)作為法線(xiàn)的平面(22a) 中延伸，所述第一密封環(huán)以氣密密封抵靠在該支承表面上，使得所述第一密封環(huán)沿著平行于所述軸桿(6)的方向軸向固定，其中所述第一密封環(huán)以沿軸向氣密密封的方式抵靠在所述支承表面0 上，并且所述第一密封環(huán)引起所述支承表面0 與所述軸桿(6)之間氣密接觸；支撐環(huán)(23)，該支撐環(huán)由基本剛性材料構(gòu)成，圍繞所述軸桿(6)同心布置，并且與所述支承表面02)軸向相對(duì)，該支撐環(huán)可相對(duì)于所述支承表面(22)、所述閥殼體( 和所述軸桿(6)以有限程度軸向運(yùn)動(dòng)，并且在朝向所述支承表面0 定向的部分06)上，該支撐環(huán)具有內(nèi)錐形段(M)，該內(nèi)錐形段圍繞所述軸桿(6)同心延伸并包圍所述軸桿(6)，該內(nèi)錐形段沿著所述支承表面02)的方向以一錐形開(kāi)口角(α)加寬，并且至少部分地包圍所述第一密封環(huán)； 以及彈性彈簧(25)，該彈性彈簧沿所述支承表面02)的方向向所述支撐環(huán)軸向施力， 使得所述錐形段04)以彈性柔順的方式并且基本在恒定的接觸壓力下將所述第一密封環(huán) (21)緊壓在所述支承表面0 和所述軸桿(6)上，其中，所述錐形開(kāi)口角(α)使得由受到熱作用的所述第一密封環(huán)引起的該第一密封環(huán)的徑向膨脹導(dǎo)致所述支撐環(huán)沿遠(yuǎn)離所述支承表面0 的方向軸向運(yùn)動(dòng)， 并且其中所述彈性彈簧0 被設(shè)計(jì)成使得該彈性彈簧0 屈服于由所述徑向膨脹引起的所述支撐環(huán)的軸向運(yùn)動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的真空閥(1)，其特征在于，第二密封環(huán)( )，該第二密封環(huán)布置在所述支撐環(huán)與所述軸桿(6)之間，位于所述支撐環(huán)的遠(yuǎn)離所述支承表面0 定向的部分(XT)上，以及潤(rùn)滑區(qū)域(四)，該潤(rùn)滑區(qū)域形成在所述第一密封環(huán)(21)、所述第二密封環(huán)(28)、所述軸桿(6)與所述支撐環(huán)(23)之間，用于容納潤(rùn)滑劑，該潤(rùn)滑劑用于在所述軸桿(6)與所述第一密封環(huán)之間產(chǎn)生密封油脂膜。
3.如權(quán)利要求1或2所述的真空閥(1)，其特征在于， 所述第一密封環(huán)被設(shè)計(jì)為第一 O形環(huán)(21)，在沿軸向觀看時(shí)，在所述第一O形環(huán)與所述支承表面(22)之間存在基本環(huán)形的密封接觸，當(dāng)沿徑向觀看時(shí)，在所述第一 O形環(huán)與所述軸桿(6)之間存在基本環(huán)形的密封接觸，并且在沿相對(duì)于所述支承表面0 和所述軸桿(6)傾斜的方向觀看時(shí)，在所述第一 O形環(huán) (21)與所述支撐環(huán)的所述內(nèi)錐形段04)之間存在支撐接觸。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的真空閥(1)，其特征在于，所述支撐環(huán)的朝向所述支承表面(0)22向的所述部分(26)指向所述內(nèi)部區(qū)域 ⑶，并且所述支撐環(huán)和所述彈簧0 布置在所述大氣區(qū)域中。
5.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的真空閥(1)，其特征在于，所述支撐環(huán)的遠(yuǎn)離所述支承表面0 定向的所述部分(XT)指向所述內(nèi)部區(qū)域 ⑶，并且所述支撐環(huán)和所述彈簧(22)布置在所述內(nèi)部區(qū)域(3)中。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的真空閥(1)，其特征在于，所述支撐環(huán)的所述內(nèi)錐形段04)沿所述支承表面0 的方向以45°至135°， 特別是60°至120°，更特別是80°至100°的錐形開(kāi)口角(α)加寬。
7.如權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的真空閥(1)，其特征在于， 所述支承表面(22)形成在所述閥殼體(2)上。
8.如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的真空閥(1)，其特征在于， 所述閥驅(qū)動(dòng)裝置(2)被設(shè)計(jì)成用于產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，所述軸桿貫通部00)被設(shè)計(jì)為旋轉(zhuǎn)軸桿貫通部，并且通過(guò)所述軸桿(6)和所述閥關(guān)閉件(8)圍繞所述軸桿軸線(xiàn)(7)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)可進(jìn)行關(guān)閉、打開(kāi)或調(diào)節(jié)所述流道(F)的操作。
9.如權(quán)利要求8所述的真空閥(1)，其特征在于， 所述真空閥被設(shè)計(jì)為以下類(lèi)型的閥中的一種 蝶形閥；旋轉(zhuǎn)閥； 節(jié)流閥； 擺閥； 百葉閥； 人字形閥。
10.如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的真空閥(1)，其特征在于， 所述閥驅(qū)動(dòng)裝置(5)被設(shè)計(jì)用于產(chǎn)生線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)，所述軸桿貫通部00)被設(shè)計(jì)為滑動(dòng)作用軸桿貫通部，通過(guò)所述軸桿(6)和所述閥關(guān)閉件(8)沿著所述軸桿軸線(xiàn)(7)的線(xiàn)性滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)可進(jìn)行關(guān)閉、打開(kāi)或調(diào)節(jié)所述流道(F)的操作，并且所述真空閥被設(shè)計(jì)為以下類(lèi)型的閥中的一種 滑閥； 輸送閥； 楔形閥。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種真空閥(1)，該真空閥用于中斷、釋放或控制真空閥(1)的內(nèi)部(3)中的流動(dòng)介質(zhì)。聯(lián)接到閥驅(qū)動(dòng)裝置(5)的軸桿(6)從大氣區(qū)域(4)通過(guò)密封軸桿貫通部(20)穿過(guò)閥殼體(2)氣密地導(dǎo)入內(nèi)部(3)，使得由閥驅(qū)動(dòng)裝置(5)產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)可以從大氣區(qū)域(4)傳遞到內(nèi)部(3)，用于中斷、釋放或控制流動(dòng)。軸桿貫通部(20)包括第一密封環(huán)(21)，該第一密封環(huán)沿徑向以氣體密封方式同心地包圍軸桿(6)；支承表面(22)，該支承表面相對(duì)于軸桿(6)沿軸向面對(duì)，第一密封環(huán)(21)至少部分地以氣密密封方式抵靠所述支承表面；支撐環(huán)(23)；以及彈簧(25)。支撐環(huán)(23)的內(nèi)錐形段(24)至少部分地包圍第一密封環(huán)(21)。彈簧(25)沿朝向支承表面(22)的方向軸向擠壓支撐環(huán)(23)，使得錐形段(24)以基本恒定的壓力將第一密封環(huán)(21)彈性柔順地?cái)D壓在支承表面(22)和軸桿(6)上。
文檔編號(hào)F16K1/226GK102171499SQ200980138875
公開(kāi)日2011年8月31日 申請(qǐng)日期2009年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月5日
發(fā)明者弗洛里安·埃爾內(nèi) 申請(qǐng)人:Vat控股公司