專(zhuān)利名稱(chēng)：閥門(mén)組的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及化學(xué)氣相沉積的設(shè)備，特別是一真空腔室的閥門(mén)組。
背景技術(shù)：
在太陽(yáng)能電池的制造過(guò)程中有一段程序是必須要將玻璃基板置入一真空腔室中進(jìn)行化學(xué)氣相沉積的加工動(dòng)作，目前的做法都是采取一次一片的加工方式，也就是說(shuō)在一片玻璃基板進(jìn)行完化學(xué)氣相沉積的加工動(dòng)作并由真空腔室取出后才會(huì)再放入另一片玻璃基板來(lái)進(jìn)行化學(xué)氣相沉積。這樣的加工效率實(shí)際上并不高，因?yàn)檎婵涨皇乙幸欢ǖ恼婵斩炔拍苓M(jìn)行加工的動(dòng)作，而要保持一定的真空度就必須花時(shí)間在抽氣上，所以真空腔室每打開(kāi)一次就必須要再花一次時(shí)間來(lái)抽氣，使真空腔室內(nèi)的氣壓降低到可以進(jìn)行加工的真空度，并且在加工完成后又必須先充氣使腔室達(dá)到一定的氣壓值才能開(kāi)啟腔室，所以又必須花一次的時(shí)間來(lái)進(jìn)行充氣，這樣的做法從量產(chǎn)的角度來(lái)看并不經(jīng)濟(jì)，因此有其改進(jìn)的必要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一閥門(mén)組，設(shè)置于二真空腔室之間，使該二真空腔室可以透過(guò)該閥門(mén)組連通并且被區(qū)隔成一低真空區(qū)以及一高真空區(qū)，以減少真空腔室抽氣的作業(yè)時(shí)間。
為達(dá)成上述目的，本發(fā)明的技術(shù)解決方案是
一種閥門(mén)組包含有 一殼體，內(nèi)部具有一容置空間，該殼體設(shè)有一貫通部，貫穿該殼體的兩相對(duì)側(cè)面。該殼體的二側(cè)面分別與一真空腔室連接， 并且使各真空腔室與該貫通部相對(duì)。一閥門(mén)板，設(shè)于該殼體的容置空間內(nèi)， 可于該容置空間內(nèi)移動(dòng)并且可以橫斷封閉該殼體的貫通部，該閥門(mén)板一側(cè) 與該殼體之間設(shè)有一止漏件，使該閥門(mén)板在關(guān)閉后可以保持氣密阻隔。一 掣動(dòng)件，設(shè)于該殼體的一側(cè)，該掣動(dòng)件與該閥門(mén)板連接可推動(dòng)該閥門(mén)板沿 一軸向往覆移動(dòng)。
本發(fā)明的閥門(mén)組，可以使得高真空腔室在被開(kāi)啟取放基板時(shí)不會(huì)有太 多的外部氣體的進(jìn)入，如此不但可以減少高真空腔室抽氣的時(shí)間與成本， 以加快制作流程的時(shí)間，也由于進(jìn)入的氣體減少了所以也能降低腔室內(nèi)被 空氣中的懸浮微粒污染的可能，提升產(chǎn)品的質(zhì)量與穩(wěn)定性。


圖1為本發(fā)明與二真空腔室組合后的立體圖； 圖2為圖1的立體分解圖3為本發(fā)明的立體圖。
主要組件符號(hào)說(shuō)明
真空腔室l 殼體io 容置空間ll 貫通部12止漏件20 閥門(mén)板30 止漏件31 掣動(dòng)件40
具體實(shí)施例方式
為了說(shuō)明本發(fā)明的特征及功效，以下茲舉一實(shí)施例配合附圖詳細(xì)說(shuō)明 如后。
如圖所示，本發(fā)明閥門(mén)組是設(shè)置于二真空腔室之間，使該二真空腔室 可以透過(guò)該閥門(mén)組的開(kāi)啟而連通或關(guān)閉而區(qū)隔開(kāi)成二獨(dú)立且密閉的空間，該閥門(mén)組包含有
一殼體IO，內(nèi)部具有一容置空間ll，該殼體設(shè)有一貫通部12，貫穿 該殼體的兩相對(duì)側(cè)面。該殼體10的二側(cè)面分別與一真空腔室1連接，并 且使各真空腔室與該貫通部相對(duì)。
二止漏件20，分別設(shè)于該殼體10的兩相對(duì)側(cè)面并且環(huán)繞于該貫通部12。
一閥門(mén)板30，設(shè)于該殼體10的容置空間內(nèi)，可于該容置空間11內(nèi)移 動(dòng)并且可以橫斷封閉該殼體的貫通部12，使該殼體10的兩側(cè)不連通。該 閥門(mén)板30的一側(cè)與該殼體10之間設(shè)有一止漏件31，使該閥門(mén)板30在關(guān) 閉后可以保持氣密阻隔。
一掣動(dòng)件40，設(shè)于該殼體10的一側(cè)，該掣動(dòng)件40與該閥門(mén)板30連 接可推動(dòng)該閥門(mén)板30沿一軸向往覆移動(dòng)。該掣動(dòng)件40可以是一油壓缸、 一氣壓缸或其它可線(xiàn)性動(dòng)作的裝置。
本發(fā)明是以該殼體10的兩側(cè)與二真空腔室1分別接合，并且用該等 止漏件20來(lái)與真空腔室1貼合氣密。以本發(fā)明的結(jié)構(gòu)可以使得原本二真 空腔室1透過(guò)該閥門(mén)組而可以被連通或被區(qū)隔成二相鄰但獨(dú)立的密閉空 間，借此，該二密閉空間便可被區(qū)隔成一低真空腔室與一高真空腔室，而 使該高真空腔室與外部空間之間如同形成一緩沖區(qū)(低真空腔室)。在進(jìn) 行加工時(shí)，待加工料件可由低真空腔室這一端先進(jìn)入該低真空腔室內(nèi)，在 關(guān)閉低真空腔室的腔門(mén)后進(jìn)行初步的抽氣動(dòng)作， 一段時(shí)間之后，再打開(kāi)該 閥門(mén)板30使二真空腔室1連通，再將加工料件送入到高真空腔室內(nèi)，由 于此時(shí)該二真空腔室內(nèi)的存留氣體己被大量的抽出，所以該高真空腔室在 關(guān)閉該閥門(mén)板30后所需的抽氣時(shí)間便可以減少。然后，因?yàn)樵诘驼婵涨?室內(nèi)仍有余留氣體，所以在加工完成后高真空腔室在回充氣體的時(shí)間也不 需太長(zhǎng)即能夠到可以開(kāi)啟該二真空腔室間閥門(mén)板30的狀態(tài)，等到待加工 料件回到低真空腔室后，關(guān)閉該閥門(mén)板30再于該低真空腔室內(nèi)充氣至一定的壓力即可開(kāi)啟低真空腔室的腔門(mén)，取出加工料件。
通過(guò)本發(fā)明閥門(mén)組的設(shè)置可以使得高真空腔室在被開(kāi)啟取放基板時(shí) 不會(huì)有太多的外部氣體的進(jìn)入，如此不但可以減少高真空腔室抽氣的時(shí)間 與成本，以加快制作流程的時(shí)間，也由于進(jìn)入的氣體減少了所以也能降低 腔室內(nèi)被空氣中的懸浮微粒污染的可能，提升產(chǎn)品的質(zhì)量與穩(wěn)定性。
權(quán)利要求
1.一種閥門(mén)組，設(shè)置于二真空腔室之間，其特征在于，包含有一殼體，內(nèi)部具有一容置空間，該殼體設(shè)有一貫通部，貫穿該殼體的兩相對(duì)側(cè)面，該殼體的二側(cè)面分別與一真空腔室連接，并且使各真空腔室與該貫通部相對(duì)；一閥門(mén)板，設(shè)于該殼體的容置空間內(nèi)，可于該容置空間內(nèi)移動(dòng)并且以橫斷封閉該殼體的貫通部，使該殼體的兩側(cè)不連通，該閥門(mén)板一側(cè)與該殼體之間設(shè)有一止漏件，使該閥門(mén)板在關(guān)閉后可以保持氣密阻隔；一掣動(dòng)件，設(shè)于該殼體的一側(cè)，該掣動(dòng)件與該閥門(mén)板連接可推動(dòng)該閥門(mén)板沿一軸向往覆移動(dòng)。
2. 依據(jù)權(quán)利要求1所述的閥門(mén)組，其特征在于，所述殼體包含有二止 漏件，分別設(shè)于該殼體的兩相對(duì)側(cè)面并且環(huán)繞于該貫通部。
3. 依據(jù)權(quán)利要求1所述的閥門(mén)組，其特征在于，所述掣動(dòng)件為一油壓缸。
4. 依據(jù)權(quán)利要求1所述的閥門(mén)組，其特征在于，所述掣動(dòng)件為一氣壓缸。
全文摘要
本發(fā)明一種閥門(mén)組，是關(guān)于設(shè)置于二真空腔室之間的閥門(mén)組，包含有一殼體，內(nèi)部具有一容置空間，殼體設(shè)有一貫通部，貫穿殼體的兩相對(duì)側(cè)面。殼體的二側(cè)面分別與一真空腔室連接，并且使各真空腔室與貫通部相對(duì)。一閥門(mén)板，設(shè)于容置空間內(nèi)，可于容置空間內(nèi)移動(dòng)并且可以橫斷封閉貫通部，閥門(mén)板一側(cè)與殼體之間設(shè)有一止漏件，使閥門(mén)板在關(guān)閉后可以保持氣密阻隔。一掣動(dòng)件，設(shè)于殼體的一側(cè)，掣動(dòng)件與閥門(mén)板連接可推動(dòng)閥門(mén)板沿一軸向往覆移動(dòng)。
文檔編號(hào)F16K27/04GK101539221SQ200810087339
公開(kāi)日2009年9月23日 申請(qǐng)日期2008年3月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月21日
發(fā)明者何建立, 葉公旭, 楊正安, 黃明鴻 申請(qǐng)人:東捷科技股份有限公司