一種低溫真空泵的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種低溫真空泵，包括法蘭、泵體、第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組，所述法蘭設(shè)在泵體頂端，所述法蘭與泵體焊接，所述第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組設(shè)在泵體內(nèi)，所述第一冷凝翅片組成水平分布，所述第二冷凝翅片組成垂直分布，所述第二冷凝翅片組外側(cè)安裝有真空罩，所述真空罩與泵體固定連接，所述泵體底部設(shè)置有制冷機(jī)，所述第一冷凝翅片組中部安裝有第二級(jí)冷頭，所述真空罩下方安裝有第一級(jí)冷頭，所述第二級(jí)冷頭、第一級(jí)冷頭和制冷機(jī)依次密封連通，所述制冷機(jī)一側(cè)安裝有泄壓閥和制冷機(jī)驅(qū)動(dòng)器，該低溫真空泵能夠獲得和維持潔凈無油的高真空及超高真空，結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便可靠，維護(hù)方便。
【專利說明】
一種低溫真空泵
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及一種栗體技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種低溫真空栗。
【背景技術(shù)】
[0002]低溫真空栗指的是利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空栗。隨著微電子技術(shù)、半導(dǎo)體工業(yè)和空間模擬技術(shù)等現(xiàn)代科技和工業(yè)的發(fā)展，對(duì)高潔凈度的無污染工作環(huán)境的要求越加迫切。電子工業(yè)和真空鍍膜工業(yè)，尤其是半導(dǎo)體微電子技術(shù)，半導(dǎo)體和集成電路工藝技術(shù)要求能獲得無油的真空環(huán)境。
[0003]傳統(tǒng)的“油栗”真空系統(tǒng)，無論從潔凈的要求還是極限真空度的要求來看，都不能滿足要求。研究指出，在現(xiàn)有可用的獲得高真空的方法中，離子栗的理論真空極限為10-9Pa，分子栗為10-8 Pa，低溫栗為10-18 Pa?？梢姡蜏乩跏撬姓婵绽踔心塬@得真空度最高的也是最清潔的真空栗。
[0004]低溫冷凝真空栗的工作原理就是當(dāng)氣體分子入射到溫度足夠低的固體表面時(shí)，會(huì)被冷凝吸附于該低溫表面，以至蒸氣壓力降得很低，從而獲得高真空(10-7-10-llPa)。早在上世紀(jì)50年代末期，由于空間模擬、高速風(fēng)洞和高能加速器等研究的需要，使采用低溫液體冷源的低溫真空栗獲得發(fā)展。1965年以后，小型封閉循環(huán)低溫制冷機(jī)的問世，為低溫栗的進(jìn)一步發(fā)展和應(yīng)用開辟了新路。從此，采用低溫制冷機(jī)作為冷卻源的低溫冷凝真空栗走向大規(guī)模的工業(yè)應(yīng)用。低溫抽氣就是在低溫下使被抽空間內(nèi)的氣體被低溫表面冷凝凝聚、捕集吸附，從而使被抽空間的壓強(qiáng)降低的過程。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠獲得和維持潔凈無油的高真空及超高真空，結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便可靠，維護(hù)方便的低溫真空栗。
[0006]為解決上述問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0007]—種低溫真空栗，包括法蘭、栗體、第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組，所述法蘭設(shè)在栗體頂端，所述法蘭與栗體焊接，所述第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組設(shè)在栗體內(nèi)，所述第一冷凝翅片組成水平分布，所述第二冷凝翅片組成垂直分布，所述第二冷凝翅片組外側(cè)安裝有真空罩，所述真空罩與栗體固定連接，所述栗體底部設(shè)置有制冷機(jī)，所述第一冷凝翅片組中部安裝有第二級(jí)冷頭，所述真空罩下方安裝有第一級(jí)冷頭，所述第二級(jí)冷頭、第一級(jí)冷頭和制冷機(jī)依次密封連通，所述制冷機(jī)一側(cè)安裝有泄壓閥和制冷機(jī)驅(qū)動(dòng)器。
[0008]進(jìn)一步的，所述法蘭上設(shè)置有螺紋孔，方便進(jìn)行安裝。
[0009]進(jìn)一步的，所述第一冷凝翅片組冷卻溫度為80k，能夠進(jìn)行預(yù)冷卻。
[0010]進(jìn)一步的，所述第二冷凝翅片組冷卻溫度為15k，可實(shí)現(xiàn)氫的凝結(jié)，獲得高真空環(huán)境。
[0011]進(jìn)一步的，所述制冷機(jī)驅(qū)動(dòng)器與制冷機(jī)電性連接，保持制冷機(jī)驅(qū)動(dòng)方便快捷。
[0012]進(jìn)一步的，所述真空罩按質(zhì)量份數(shù)配比由以下材料制成:聚氨酯硬泡15-20份、膨脹珍珠巖25-30份、礦物棉8-12份、碳纖維4-6份、硬脂酸鋁16-20份、硬脂酸鉀6-10份、硅油2-8份、脂肪酸酰胺15-20份和鄰苯二甲酸二乙酯22-28份。
[0013]一種低溫真空栗的真空罩的加工工藝，將聚氨酯硬泡15-20份、膨脹珍珠巖25-30份、礦物棉8-12份、碳纖維4-6份、硬脂酸鋁16-20份、硬脂酸鉀6-10份、硅油2-8份、脂肪酸酰胺15-20份和鄰苯二甲酸二乙酯22-28份混合投入反應(yīng)釜中，保持轉(zhuǎn)速為1500-1600r/min，溫度為330-340 V，反應(yīng)30-35分鐘，再將得到的原料熱擠壓成型，即可。
[0014]本實(shí)用新型的有益效果是:設(shè)置的第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組能夠?qū)χ评錂C(jī)進(jìn)行散熱，保持超低溫制冷，使得被抽空間內(nèi)的氣體被低溫表面冷凝凝聚、捕集吸附，從而使被抽空間的壓強(qiáng)降低，達(dá)到抽真空的狀態(tài)，第二級(jí)冷頭和第一級(jí)冷頭方便冷凝的液體排出，泄壓閥方便調(diào)節(jié)制冷機(jī)的壓強(qiáng)，保持使用安全，采用的真空罩材料和加工方便能夠保持結(jié)構(gòu)強(qiáng)度高，使用壽命長，能夠耐受較大的壓力。
【附圖說明】
[0015]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0016]圖1為本實(shí)用新型的一種低溫真空栗的結(jié)構(gòu)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]實(shí)施例1
[0018]參閱圖1所示，一種低溫真空栗，包括法蘭1、栗體2、第一冷凝翅片組3和第二冷凝翅片組4，所述法蘭I設(shè)在栗體2頂端，所述法蘭I與栗體2焊接，所述第一冷凝翅片組3和第二冷凝翅片組4設(shè)在栗體2內(nèi)，所述第一冷凝翅片組3成水平分布，所述第二冷凝翅片組4成垂直分布，所述第二冷凝翅片組4外側(cè)安裝有真空罩5，所述真空罩5與栗體2固定連接，所述栗體2底部設(shè)置有制冷機(jī)6，所述第一冷凝翅片組3中部安裝有第二級(jí)冷頭7，所述真空罩5下方安裝有第一級(jí)冷頭8，所述第二級(jí)冷頭7、第一級(jí)冷頭8和制冷機(jī)6依次密封連通，所述制冷機(jī)6—側(cè)安裝有泄壓閥9和制冷機(jī)驅(qū)動(dòng)器10。
[0019]所述法蘭I上設(shè)置有螺紋孔11。
[0020]所述第一冷凝翅片組3冷卻溫度為80k。
[0021 ]所述第二冷凝翅片組4冷卻溫度為15k。
[0022 ]所述制冷機(jī)驅(qū)動(dòng)器1與制冷機(jī)6電性連接。
[0023]所述真空罩5按質(zhì)量份數(shù)配比由以下材料制成:聚氨酯硬泡15份、膨脹珍珠巖25份、礦物棉8份、碳纖維4份、硬脂酸鋁16份、硬脂酸鉀6份、硅油2份、脂肪酸酰胺15份和鄰苯二甲酸二乙酯22份。
[0024]一種低溫真空栗的真空罩5的加工工藝，將聚氨酯硬泡15份、膨脹珍珠巖25份、礦物棉8份、碳纖維4份、硬脂酸鋁16份、硬脂酸鉀6份、硅油2份、脂肪酸酰胺15份和鄰苯二甲酸二乙酯22份混合投入反應(yīng)釜中，保持轉(zhuǎn)速為1500-1600r/min，溫度為330-340°C，反應(yīng)30-35分鐘，再將得到的原料熱擠壓成型，即可。
[0025]實(shí)施例2
[0026]參閱圖1所示，一種低溫真空栗，包括法蘭1、栗體2、第一冷凝翅片組3和第二冷凝翅片組4，所述法蘭I設(shè)在栗體2頂端，所述法蘭I與栗體2焊接，所述第一冷凝翅片組3和第二冷凝翅片組4設(shè)在栗體2內(nèi)，所述第一冷凝翅片組3成水平分布，所述第二冷凝翅片組4成垂直分布，所述第二冷凝翅片組4外側(cè)安裝有真空罩5，所述真空罩5與栗體2固定連接，所述栗體2底部設(shè)置有制冷機(jī)6，所述第一冷凝翅片組3中部安裝有第二級(jí)冷頭7，所述真空罩5下方安裝有第一級(jí)冷頭8，所述第二級(jí)冷頭7、第一級(jí)冷頭8和制冷機(jī)6依次密封連通，所述制冷機(jī)6—側(cè)安裝有泄壓閥9和制冷機(jī)驅(qū)動(dòng)器10。
[0027]所述法蘭I上設(shè)置有螺紋孔11。
[0028]所述第一冷凝翅片組3冷卻溫度為80k。
[0029]所述第二冷凝翅片組4冷卻溫度為15k。
[0030]所述制冷機(jī)驅(qū)動(dòng)器10與制冷機(jī)6電性連接。
[0031 ]所述真空罩5按質(zhì)量份數(shù)配比由以下材料制成:聚氨酯硬泡17.5份、膨脹珍珠巖27.5份、礦物棉10份、碳纖維5份、硬脂酸鋁18份、硬脂酸鉀8份、硅油5份、脂肪酸酰胺17.5份和鄰苯二甲酸二乙酯25份。
[0032]—種低溫真空栗的真空罩5的加工工藝，將聚氨酯硬泡17.5份、膨脹珍珠巖27.5份、礦物棉10份、碳纖維5份、硬脂酸鋁18份、硬脂酸鉀8份、硅油5份、脂肪酸酰胺17.5份和鄰苯二甲酸二乙酯25份混合投入反應(yīng)釜中，保持轉(zhuǎn)速為1500-160(^/1^11，溫度為330-340°(:，反應(yīng)30-35分鐘，再將得到的原料熱擠壓成型，即可。
[0033]實(shí)施例3
[0034]參閱圖1所示，一種低溫真空栗，包括法蘭1、栗體2、第一冷凝翅片組3和第二冷凝翅片組4，所述法蘭I設(shè)在栗體2頂端，所述法蘭I與栗體2焊接，所述第一冷凝翅片組3和第二冷凝翅片組4設(shè)在栗體2內(nèi)，所述第一冷凝翅片組3成水平分布，所述第二冷凝翅片組4成垂直分布，所述第二冷凝翅片組4外側(cè)安裝有真空罩5，所述真空罩5與栗體2固定連接，所述栗體2底部設(shè)置有制冷機(jī)6，所述第一冷凝翅片組3中部安裝有第二級(jí)冷頭7，所述真空罩5下方安裝有第一級(jí)冷頭8，所述第二級(jí)冷頭7、第一級(jí)冷頭8和制冷機(jī)6依次密封連通，所述制冷機(jī)6—側(cè)安裝有泄壓閥9和制冷機(jī)驅(qū)動(dòng)器10。
[0035]所述法蘭I上設(shè)置有螺紋孔11。
[0036]所述第一冷凝翅片組3冷卻溫度為80k。
[0037]所述第二冷凝翅片組4冷卻溫度為15k。
[0038]所述制冷機(jī)驅(qū)動(dòng)器10與制冷機(jī)6電性連接。
[0039]所述真空罩5按質(zhì)量份數(shù)配比由以下材料制成:聚氨酯硬泡20份、膨脹珍珠巖30份、礦物棉12份、碳纖維6份、硬脂酸鋁20份、硬脂酸鉀10份、硅油8份、脂肪酸酰胺20份和鄰苯二甲酸二乙酯28份。
[0040]一種低溫真空栗的真空罩5的加工工藝，將聚氨酯硬泡20份、膨脹珍珠巖30份、礦物棉12份、碳纖維6份、硬脂酸鋁20份、硬脂酸鉀10份、硅油8份、脂肪酸酰胺20份和鄰苯二甲酸二乙酯28份混合投入反應(yīng)釜中，保持轉(zhuǎn)速為1500-1600r/min，溫度為330-340°C，反應(yīng)30-35分鐘，再將得到的原料熱擠壓成型，即可。
[0041]本實(shí)用新型的有益效果是:設(shè)置的第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組能夠?qū)χ评錂C(jī)進(jìn)行散熱，保持超低溫制冷，使得被抽空間內(nèi)的氣體被低溫表面冷凝凝聚、捕集吸附，從而使被抽空間的壓強(qiáng)降低，達(dá)到抽真空的狀態(tài)，第二級(jí)冷頭和第一級(jí)冷頭方便冷凝的液體排出，泄壓閥方便調(diào)節(jié)制冷機(jī)的壓強(qiáng)，保持使用安全，采用的真空罩材料和加工方便能夠保持結(jié)構(gòu)強(qiáng)度高，使用壽命長，能夠耐受較大的壓力。
[0042]以上所述，僅為本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何不經(jīng)過創(chuàng)造性勞動(dòng)想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)，因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書所限定的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種低溫真空栗，其特征在于:包括法蘭、栗體、第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組，所述法蘭設(shè)在栗體頂端，所述法蘭與栗體焊接，所述第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組設(shè)在栗體內(nèi)，所述第一冷凝翅片組成水平分布，所述第二冷凝翅片組成垂直分布，所述第二冷凝翅片組外側(cè)安裝有真空罩，所述真空罩與栗體固定連接，所述栗體底部設(shè)置有制冷機(jī)，所述第一冷凝翅片組中部安裝有第二級(jí)冷頭，所述真空罩下方安裝有第一級(jí)冷頭，所述第二級(jí)冷頭、第一級(jí)冷頭和制冷機(jī)依次密封連通，所述制冷機(jī)一側(cè)安裝有泄壓閥和制冷機(jī)驅(qū)動(dòng)器。2.如權(quán)利要求1所述的低溫真空栗，其特征在于:所述法蘭上設(shè)置有螺紋孔。3.如權(quán)利要求2所述的低溫真空栗，其特征在于:所述第一冷凝翅片組冷卻溫度為80k。4.如權(quán)利要求3所述的低溫真空栗，其特征在于:所述第二冷凝翅片組冷卻溫度為15k。5.如權(quán)利要求4所述的低溫真空栗，其特征在于:所述制冷機(jī)驅(qū)動(dòng)器與制冷機(jī)電性連接。
【文檔編號(hào)】F04B39/06GK205478178SQ201620149494
【公開日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2016年2月29日
【發(fā)明人】張?zhí)焖? 胡仁農(nóng)
【申請(qǐng)人】蕪湖環(huán)球汽車配件有限公司