一種pump監(jiān)測(cè)方法及裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種PUMP監(jiān)測(cè)方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路的制造中，LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposit1n,低壓化學(xué)氣相沉積)爐管廣泛應(yīng)用于當(dāng)前國內(nèi)集成電路生產(chǎn)線。LPCVD爐管中氣體流量、溫度、持續(xù)時(shí)間等條件將直接影響到產(chǎn)品的良率，尤其是LPCVD爐管中的低壓環(huán)境，一旦低壓環(huán)境遭到破壞將會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品的最終相關(guān)參數(shù)超出設(shè)計(jì)范圍而報(bào)廢。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，通常通過PUMP (泵)來制造并維持低壓環(huán)境。在實(shí)際運(yùn)行過程中，PUMP的老化、保養(yǎng)不佳等不確定因素影響，會(huì)導(dǎo)致PUMP在運(yùn)行過程中存在異常，甚至跳電。而通常技術(shù)人員是無法發(fā)現(xiàn)PUMP的運(yùn)行是否穩(wěn)定。當(dāng)發(fā)現(xiàn)PUMP已跳電的時(shí)候，產(chǎn)品只能返工或報(bào)廢，設(shè)備人員需要花費(fèi)大量的時(shí)間才能使機(jī)臺(tái)恢復(fù)，從而導(dǎo)致人力物力浪費(fèi)。
[0004]可見，現(xiàn)有技術(shù)中存在無法監(jiān)測(cè)PUMP運(yùn)行狀態(tài)的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明實(shí)施例提供一種PUMP監(jiān)測(cè)方法及電子設(shè)備，用于實(shí)現(xiàn)對(duì)PUMP運(yùn)行狀態(tài)的監(jiān)測(cè)，減少PUMP跳電的概率。
[0006]本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種PUMP監(jiān)測(cè)方法，所述方法包括:
[0007]通過電流互感器檢測(cè)獲得PUMP的當(dāng)前電流值；
[0008]根據(jù)所述當(dāng)前電流值，輸出用于表征所述PUMP當(dāng)前運(yùn)行狀態(tài)的指示信息。
[0009]可選的，所述根據(jù)所述當(dāng)前電流值，輸出用于表征所述PUMP當(dāng)前運(yùn)行狀態(tài)的指示信息，具體包括:
[0010]判斷所述當(dāng)前電流值是否大于一上限電流值，獲得第一判斷結(jié)果；
[0011]當(dāng)所述第一判斷結(jié)果表明所述當(dāng)前電流值大于所述上限電流值時(shí)，輸出用于表征所述當(dāng)前電流值高于所述上限電流值的第一指示信息。
[0012]可選的，在所述輸出用于表征所述當(dāng)前電流值高于所述上限電流值的第一指示信息之后，所述方法還包括:
[0013]檢測(cè)是否存在復(fù)位操作；
[0014]若存在所述復(fù)位操作，停止輸出所述第一指示信息；
[0015]若不存在所述復(fù)位操作，持續(xù)輸出所述第一指示信息。
[0016]可選的，所述根據(jù)所述當(dāng)前電流值，輸出用于表征所述PUMP當(dāng)前運(yùn)行狀態(tài)的指示信息，具體包括:
[0017]判斷所述當(dāng)前電流值是否大于零，獲得第二判斷結(jié)果；
[0018]當(dāng)所述第二判斷結(jié)果表明所述當(dāng)前電流值不大于零時(shí)，輸出用于表征所述PUMP跳電的第二指示信息；
[0019]當(dāng)所述第二判斷結(jié)果表明所述當(dāng)前電流值大于零時(shí)，判斷所述當(dāng)前電流值是否小于下限電流值，獲得第三判斷結(jié)果；
[0020]當(dāng)所述第三判斷結(jié)果表明所述當(dāng)前電流值小于所述下限電流值時(shí)，輸出用于表征所述當(dāng)前電流值低于所述下限電流值的第三指示信息。
[0021]可選的，在所述輸出用于表征所述當(dāng)前電流值低于所述下限電流值的第三指示信息之后，所述方法還包括:
[0022]檢測(cè)是否存在復(fù)位操作；
[0023]若存在所述復(fù)位操作，停止輸出所述第三指示信息；
[0024]若不存在所述復(fù)位操作，持續(xù)輸出所述第三指示信息。
[0025]本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種PUMP監(jiān)測(cè)裝置，所述裝置包括:
[0026]輸出單元，用于根據(jù)所述當(dāng)前電流值，輸出用于表征所述PUMP當(dāng)前運(yùn)檢測(cè)單元，用于通過電流互感器檢測(cè)獲得PUMP的當(dāng)前電流值；
[0027]行狀態(tài)的指示信息。
[0028]可選的，所述輸出單元包括:
[0029]第一判斷子單元，用于判斷所述當(dāng)前電流值是否大于一上限電流值，獲得第一判斷結(jié)果；
[0030]第一輸出子單元，用于當(dāng)所述第一判斷結(jié)果表明所述當(dāng)前電流值大于所述上限電流值時(shí)，輸出用于表征所述當(dāng)前電流值高于所述上限電流值的第一指示信息。
[0031]可選的，所述輸出單元還用于:
[0032]在所述輸出用于表征所述當(dāng)前電流值高于所述上限電流值的第一指示信息之后，檢測(cè)是否存在復(fù)位操作；若存在所述復(fù)位操作，停止輸出所述第一指示信息；若不存在所述復(fù)位操作，持續(xù)輸出所述第一指示信息。
[0033]可選的，所述輸出單元還包括:
[0034]第二判斷子單元，用于判斷所述當(dāng)前電流值是否大于零，獲得第二判斷結(jié)果；
[0035]第二輸出子單元，用于當(dāng)所述第二判斷結(jié)果表明所述當(dāng)前電流值不大于零時(shí)，輸出用于表征所述PUMP跳電的第二指示信息；
[0036]第三判斷子單元，用于當(dāng)所述第二判斷結(jié)果表明所述當(dāng)前電流值大于零時(shí)，判斷所述當(dāng)前電流值是否小于下限電流值，獲得第三判斷結(jié)果；
[0037]第三輸出子單元，用于當(dāng)所述第三判斷結(jié)果表明所述當(dāng)前電流值小于所述下限電流值時(shí)，輸出用于表征所述當(dāng)前電流值低于所述下限電流值的第三指示信息。
[0038]可選的，所述輸出單元還用于:
[0039]在所述輸出用于表征所述當(dāng)前電流值低于所述下限電流值的第三指示信息之后，檢測(cè)是否存在復(fù)位操作；若存在所述復(fù)位操作，停止輸出所述第三指示信息；若不存在所述復(fù)位操作，持續(xù)輸出所述第三指示信息。
[0040]本申請(qǐng)實(shí)施例中的上述一個(gè)或多個(gè)技術(shù)方案，至少具有如下技術(shù)效果:
[0041]通過電流互感器檢測(cè)獲得PUMP運(yùn)行時(shí)的當(dāng)前電流值，根據(jù)PUMP的當(dāng)前電流值輸出用于表征PUMP當(dāng)前運(yùn)行狀態(tài)的指示信息，從而提示技術(shù)人員PUMP的當(dāng)前運(yùn)行狀態(tài)，以便于技術(shù)人員盡早的發(fā)現(xiàn)PUMP的異常情況從而及時(shí)的進(jìn)行修復(fù)，進(jìn)而減少PUMP跳電的概率。
【附圖說明】
[0042]圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例一提供的一種PUMP監(jiān)測(cè)方法的流程示意圖；
[0043]圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例一提供的電流互感器監(jiān)測(cè)電路示意圖；
[0044]圖3為本申請(qǐng)實(shí)施例一提供的根據(jù)當(dāng)前電流值輸出指示信息的流程圖；
[0045]圖4為本申請(qǐng)實(shí)施例一提供的PUMP指示信息輸出的電路示意圖；
[0046]圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例一提供的指示信息輸出的示例示意圖；
[0047]圖6為本申請(qǐng)實(shí)施例二提供的一種裝置的結(jié)構(gòu)方框圖。
【具體實(shí)施方式】
[0048]在本申請(qǐng)實(shí)施例提供的技術(shù)方案中，通過電流互感器對(duì)PUMP運(yùn)行時(shí)的電流值進(jìn)行檢測(cè)，并根據(jù)檢測(cè)獲得的電流值輸出用于表征PUMP當(dāng)前運(yùn)行狀態(tài)的指示信息，以幫助技術(shù)人員了解PUMP的運(yùn)行狀態(tài)并在其出現(xiàn)異常時(shí)進(jìn)行修改，進(jìn)而減少PUMP跳電的概率。
[0049]下面結(jié)合附圖對(duì)本申請(qǐng)實(shí)施例技術(shù)方案的主要實(shí)現(xiàn)原理、【具體實(shí)施方式】及其對(duì)應(yīng)能夠達(dá)到的有益效果進(jìn)行詳細(xì)的闡述。
[0050]實(shí)施例一
[0051]請(qǐng)參考圖1，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種PUMP監(jiān)測(cè)方法，該方法包括:
[0052]SlOl:通過電流互感器檢測(cè)獲得PUMP的當(dāng)前電流值；
[0053]S102:根據(jù)所述當(dāng)前電流值，輸出用于表征所述PUMP的當(dāng)前運(yùn)行狀態(tài)的指示信肩、O
[0054]在具體實(shí)施過程中，PUMP的電流大小是PUMP運(yùn)行狀況真實(shí)直觀的反應(yīng)，因此在PUMP運(yùn)行時(shí)執(zhí)行SlOl通過電流互感器檢測(cè)獲得PUMP的當(dāng)前電流值。電流互感器能夠在不接入PUMP電路的情況下，通過電磁感應(yīng)原理檢測(cè)獲得PUMP運(yùn)行時(shí)的當(dāng)前電流值，避免檢測(cè)電路對(duì)PUMP的運(yùn)行造成不必要的影響。具體的，可以采用穿心式電流互感器來檢測(cè)獲得PUMP的當(dāng)前電流值。請(qǐng)參考圖2，將PUMP的線路穿過穿心式電流互感器，并將穿心式電流互感器的輸入輸出端接入一電流表，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)PUMP的當(dāng)前電流值的檢測(cè)，其中，電流表可以選擇I秒至少采集一次電流的四位雙顯示電流表，以更準(zhǔn)確的檢測(cè)獲得PUMP的當(dāng)前電流值。
[0055]在SlOl檢測(cè)獲得PUMP的當(dāng)前電流值時(shí)，進(jìn)一步執(zhí)行S102根據(jù)該當(dāng)前電流值輸出用于表征PUMP當(dāng)前運(yùn)行狀態(tài)的指示信息。具體的，表征PUMP當(dāng)前運(yùn)行狀態(tài)的指示信息可以是當(dāng)前電流值；也可以是當(dāng)前電流值對(duì)應(yīng)的運(yùn)行狀態(tài)如運(yùn)行異常、運(yùn)行正常、運(yùn)行不穩(wěn)定等；還