專利名稱：一種氣流吸酸器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體產(chǎn)品加工生產(chǎn)附屬裝置，尤其涉及吸取廢酸液體的專用裝置。
背景技術(shù)：
電子行業(yè)半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中需用強酸液體，常用的有硫酸、氫氟酸、混合酸等，使用過的廢酸液體回收轉(zhuǎn)移是必不可少的一道工序，目前一般采用導(dǎo)管虹吸導(dǎo)流或手持容器舀取方式。由于強酸液腐蝕性很強，人工舀取方式不安全，酸液若濺到皮膚上會嚴(yán)重?zé)齻∧w，具有很大的危險性；而用導(dǎo)管虹吸方式速度很慢，與半導(dǎo)體制備工藝不適應(yīng)，不配套，影響設(shè)備利用率和加工效率。

發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的，就是提供一種專用吸酸裝置，便于操作，保證使用安全性，改善配套效能，提高設(shè)備利用率和加工生產(chǎn)效率。
本實用新型的任務(wù)是這樣完成的設(shè)計一種氣流吸酸器，由器體與進氣管接頭配
裝組成，器體為帶吸酸管口和排酸管口的立方殼體，吸酸管口開設(shè)在立方殼體側(cè)面，排酸管
口開設(shè)在立方殼體的底面，均為臺階管口，外端細(xì)管口帶外螺紋，器體的內(nèi)腔為封閉圓筒
形，與吸酸管口的吸酸孔、排酸管口的排酸孔連通，器體頂面帶有內(nèi)螺紋的連接孔連通內(nèi)
腔，與進氣管接頭配裝，進氣管接頭為帶中間止口盤的雙頭螺管，伸入內(nèi)腔的內(nèi)端螺管的端
部為帶錐度的錐管。進氣管接頭的進氣孔上段為直圓孔，下段為過渡槽連接細(xì)直孔。器體
的內(nèi)腔下部帶有過渡凹槽，與排酸管口排酸孔上端的細(xì)直孔相連通。器體采用聚四氟乙烯
材料加工制作。器體的頂面連接孔配裝進氣管接頭，通過進氣管與空氣壓縮機相連，在進氣
管路上安裝開關(guān)閥門；在器體側(cè)面的吸酸管口上套裝吸入管，連接酸洗槽；在器體底面的
排酸管口上套裝排出管，直通廢酸回收槽。采用聚四氟乙烯材料制作器體，耐酸防蝕性能
好。使用時，打開進氣管路的開關(guān)閥門，高壓氣通過進氣管和進氣管接頭進入器體的內(nèi)腔，
通過排酸管口的排酸孔及排出管排出。內(nèi)腔在高壓氣流作用下形成負(fù)壓，將酸洗槽內(nèi)的酸
液通過吸入管和吸酸管口吸入器體內(nèi)腔，在高壓氣流壓力下，沿進氣管接頭錐管與內(nèi)腔下
部的過渡凹槽之間的環(huán)錐形空隙進入排酸管口的排酸孔，經(jīng)排出管排至廢酸回收槽。整個
回收過程在密封狀態(tài)下自動進行，操作過程簡單，只需打開進氣管路上的開關(guān)閥門即可，方
便、安全。酸液吸取回收速度很快，與半導(dǎo)體產(chǎn)品制備工藝速率協(xié)調(diào)、配套。 按照上述方案進行試制、試驗，證明本實用新型的結(jié)構(gòu)合理，配套吸酸性能好，操
作使用方便、安全，與半導(dǎo)體制備工藝協(xié)調(diào)、配套，能夠提高設(shè)備利用率和加工效率，較好地
達到了預(yù)定目的。

圖1是本實用新型的外形結(jié)構(gòu)示意圖；[0007] 圖2是圖1的剖面示意圖； 圖3是本實用新型的連接位置示意圖。 圖中，l-進氣管接頭，2-器體，3-吸酸管口，4-排酸管口 ；N-內(nèi)腔，J-進氣孔，Z-止口盤，X-吸酸孔，P-排酸孔，Q-進氣管，K-開關(guān)閥門，Y-空氣壓縮機，R-吸入管，C-排出管，S-酸洗槽，H-廢酸回收槽。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明。 參閱圖1 ，器體2為立方殼體，側(cè)面帶有吸酸管口 3，底面帶有排酸管口 4，頂面與進氣管接頭1配裝.吸酸管口 3與排酸管口 4均為臺階管，外端管口帶有外螺紋，進氣管接頭1止口盤Z外端的管口帶有外螺紋。 參閱圖2，器體2內(nèi)部為圓筒形內(nèi)腔N，內(nèi)腔N與側(cè)面吸酸管口 3的吸酸孔X、底面排酸管口 4的排酸孔P上端的細(xì)直孔連通，器體2頂面開有帶內(nèi)螺紋的連接孔，與進氣管接頭1配裝，進氣管接頭1為帶中間止口盤Z的雙頭螺管，內(nèi)端螺管與器體2的頂面連接孔相配合，內(nèi)端螺管的下端錐管伸入器體2，與內(nèi)腔N下部的錐形過渡凹槽之間形成環(huán)錐形空隙，進氣管接頭1的進氣孔J上段為直圓孔，下段為過渡槽連通錐管部分的細(xì)直孔。錐管下端面伸入內(nèi)腔N的錐形過渡凹槽內(nèi)，與內(nèi)腔N的底面之間留有空隙。 參閱圖3，本實用新型安裝在酸液回收管路中，進氣管接頭1通過進氣管Q連接空氣壓縮機Y，在進氣管路中設(shè)置開關(guān)閥門K(可以是手動閥門，也可以是電磁閥)，吸酸管口3套裝吸入管R連接酸洗槽S，排酸管口 4套裝排出管C連接廢酸回收槽H。使用時，打開開關(guān)閥門K，空氣壓縮機Y的高壓氣通過進氣管Q和進氣管接頭1進入器體2的內(nèi)腔N，再通過排酸管口 4和排出管C排出。高壓氣流在器體2的內(nèi)腔N中形成負(fù)壓，將酸洗槽S中的酸液通過吸入管R和吸酸管口 3吸入器體2的內(nèi)腔N，在高壓氣流壓力下，酸液通過內(nèi)腔N的錐形過渡凹槽流入排酸管口 4的排酸孔P，經(jīng)由排出管C排到廢酸回收槽H中。當(dāng)酸洗槽S中的酸液全部吸出、排至廢酸回收槽H后，關(guān)閉開關(guān)閥門K，高壓氣停止進入器體2，整個吸酸動作停止，廢酸回收工作完成。全部吸酸過程都在密封狀態(tài)下自動進行，有效防止了酸液對人體的損害，保證了操作使用安全。 采用聚四氟乙烯制作本實用新型，耐酸防蝕性能好，硬質(zhì)材料易于進行機械加工成型，適于制作強酸液回收裝置，便于裝配，使用方便安全，配套性能好，自動吸酸效率高，適用范圍廣，具有良好的推廣應(yīng)用價值。
權(quán)利要求一種氣流吸酸器，其特征在于是由器體(2)與進氣管接頭(1)配裝組成，器體(2)為帶吸酸管口(3)和排酸管口(4)的立方殼體，吸酸管口(3)開設(shè)在立方殼體側(cè)面，排酸管口(4)開設(shè)在立方殼體的底面，均為臺階管口，外端細(xì)管口帶外螺紋，器體(2)的內(nèi)腔(N)為封閉圓筒形，與吸酸管口(3)的吸酸孔(X)、排酸管口(4)的排酸孔(P)連通，器體(2)頂面帶有內(nèi)螺紋的連接孔連通內(nèi)腔(N)，與進氣管接頭(1)配裝，進氣管接頭(1)為帶中間止口盤(Z)的雙頭螺管，伸入內(nèi)腔(N)的內(nèi)端螺管的端部為帶錐度的錐管。
2. 按照權(quán)利要求l所述的氣流吸酸器，其特征在于所說的進氣管接頭(1)的進氣孔 (J)上段為直圓孔，下段為過渡槽連接細(xì)直孔。
3. 按照權(quán)利要求l所述的氣流吸酸器，其特征在于所說的器體(2)的內(nèi)腔(N)下部帶 有過渡凹槽，與排酸管口 (4)排酸孔(P)上端的細(xì)直孔相連通。
4. 按照權(quán)利要求l所述的氣流吸酸器，其特征在于所說的器體(2)采用聚四氟乙烯材 料加工制作。
專利摘要一種氣流吸酸器，器體(2)的側(cè)面開設(shè)吸酸管口(3)，底面開設(shè)排酸管口(4)，器體(2)的內(nèi)腔(N)連通頂面連接孔，與進氣管接頭(1)配裝。進氣管接頭(1)為帶中間止口盤(Z)的雙頭螺管，內(nèi)端螺管的端部為帶錐度的錐管，伸入內(nèi)腔(N)，外端螺管套裝進氣管(Q)連接空氣壓縮機(Y)，吸酸管口(3)套裝吸入管(R)連通酸洗槽(S)，排酸管口(4)套裝排出管(C)連通廢酸回收槽(H)。打開進氣管路上的開關(guān)閥門(K)，高壓氣進入器體(2)內(nèi)腔(N)，形成負(fù)壓，通過吸入管(R)和吸酸管口(3)將酸液吸入器體(2)的內(nèi)腔(N)，再經(jīng)排酸管口(4)和排出管(C)排至廢酸回收槽(H)。全部吸酸過程在密封狀態(tài)下自動進行，使用方便安全，吸酸回收效率高。
文檔編號F04F5/24GK201443540SQ20092003061
公開日2010年4月28日 申請日期2009年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月26日
發(fā)明者姜蘭虎, 張立基, 趙仕慶, 馬玉水 申請人:山東高唐杰盛半導(dǎo)體科技有限公