耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝的制作方法
【專利摘要】耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝，屬于不銹鋼電解拋光工藝技術領域。具體步驟為：首先對不銹鋼材料工件進行手動拋光打磨處理，要求Ra<0.1；對潔凈工件直接進行電解拋光處理，即：將手動拋光后的工件脫脂清洗干凈，保濕放入電拋槽后，立刻通電，進行電解拋光；電拋光亮的工件進行鈍化后，取出清洗吹干。從而得到表面光亮且具有較高的耐腐蝕性能，采用臨界點蝕溫度測試(CPT)，觀察工件隨溫度升高表面耐腐蝕性能變化，溫度可達到80℃。本發(fā)明耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝可有效提高工件的耐腐蝕性能，本發(fā)明可得到光亮美觀的電拋表面，且電解拋光深度強，耐腐蝕性能優(yōu)異，電解拋光后可在溫度較高且具有腐蝕性的環(huán)境中保持光澤長久不變。
【專利說明】
耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝
技術領域
[0001]本發(fā)明屬于不銹鋼電解拋光工藝技術領域，特別是涉及一種耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝。適于IC裝配晶圓加工及處理，環(huán)境要求耐腐蝕和外觀要求較高的環(huán)境。
【背景技術】
[0002]耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝，有其特別的重要性。不銹鋼電解拋光工藝由于其特殊性能在工業(yè)生產中有著廣泛的應用，IC領域中對不銹鋼電解拋光工藝能要求越來越高，由于IC裝配晶圓加工及處理環(huán)境要求具有較高的耐腐蝕和溫度管控，因此開發(fā)具有較高耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝，提高設備性能及使用壽命有重要意義。

【發(fā)明內容】

[0003]針對上述存在的技術問題，本發(fā)明提供一種耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝，通過對不銹鋼材料工件進行電解拋光處理，控制電解拋光過程中溶液濃度，反應溫度，反應電壓，陰陽極板面積比例，鈍化控制等。從而得到具有較高的耐腐蝕性能的光亮美觀金屬表面，采用臨界點蝕溫度測試(CPT)，溫度可達到80°C。
[0004]本發(fā)明的目的是通過以下技術方案來實現(xiàn)的:
[0005]本發(fā)明一種耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝，包括如下步驟:
[0006](I)對不銹鋼材料工件進行手動拋光打磨處理，要求Ra〈0.1;
[0007](2)對潔凈工件直接進行電解拋光處理，S卩:將步驟(I)中手動拋光后的工件脫脂清洗干凈，保濕放入電拋槽后，立刻通電，進行電解拋光；
[0008](3)將步驟(2)電拋光亮的工件進行鈍化后，取出清洗吹干；
[0009](4)對步驟(3)處理后的工件進行臨界點蝕溫度測試測試，觀察工件隨溫度升高耐腐蝕性能變化，觀察其臨界點蝕溫>80°C，因此具有較高耐腐蝕性能。
[0010]進一步地，所述不銹鋼材料工件選擇316/316L不銹鋼材料。
[0011 ] 進一步地，所述電解拋光前經過手動拋光打磨處理，要求Ra〈0.1
[0012]進一步地，所述電解拋光的溶液為40 % wt磷酸、50 % wt硫酸及1 % wt濃縮液電解拋光藥水，過程工藝參數(shù)為:溫度:50-600C，恒定電壓:8-12V，電解拋光:40-120s，電流密度控制在5-7A/dm2。
[0013]進一步地，所述電拋槽的陰極為鈦板，陰極極板面積為零件面積的1/3-1/5。
[0014]進一步地，所述鈍化在50%硝酸中進行，鈍化溫度20-30 V，鈍化時間60_75min。
[0015]本發(fā)明的有益效果為:
[0016]1.本發(fā)明耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝可有效提高工件的耐腐蝕性能，對工件進行臨界點蝕溫度測試(CPT)，觀察其臨界點蝕溫可達到80°C。
[0017]2.本發(fā)明耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝，可得到光亮美觀金屬表面，且電解拋光深度強，耐腐蝕性能優(yōu)異，電解拋光后可在溫度較高且具有腐蝕性的環(huán)境中保持光澤長久不變。
【具體實施方式】
[0018]下面結合實施例對本發(fā)明進行詳細描述。
[0019]實施例1:本發(fā)明一種耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝，包括如下步驟:
[0020](I)選擇316/316不銹鋼材料工件進行手動拋光打磨處理，要求Ra〈0.1;
[0021](2)對潔凈工件直接進行電解拋光處理，S卩:將步驟(I)中手動拋光后的工件脫脂清洗干凈，保濕放入電拋槽后，立刻通電，進行電解拋光；
[0022](3)將步驟(2)電拋光亮的工件進行鈍化后，取出清洗吹干；
[0023](4)對步驟(3)處理后的工件進行CPT測試，觀察其臨界點蝕溫>80°C。
[0024]所述電解拋光前經過手動拋光打磨處理，要求Ra〈0.1
[0025]所述電解拋光的溶液為40 % Wt磷酸、50 % Wt硫酸及1 % wt濃縮液電解拋光藥水，過程工藝參數(shù)為:溫度:55°C，恒定電壓:1V，電解拋光:80s，電流密度控制在6A/dm2。
[0026]所述電拋槽的陰極為鈦板，陰極極板面積為零件面積的1/4。
[0027]所述鈍化在50%硝酸中進行，鈍化溫度25°C，鈍化時間70min。
[0028]實施例2:本例與實施例1不同的是:本例中所述電解拋光的過程工藝參數(shù)為:溫度:50°C，恒定電壓:8V，電解拋光:40s，電流密度控制在5A/dm2。
[0029]所述電拋槽的陰極為鈦板，陰極極板面積為零件面積的1/3。
[0030]所述鈍化在50%硝酸中進行，鈍化溫度20°C，鈍化時間60min。
[0031]實施例3:本例與實施例1不同的是:本例中所述電解拋光的過程工藝參數(shù)為:溫度:60 °C，恒定電壓:12V，電解拋光:120s，電流密度控制在7A/dm2。
[0032]所述電拋槽的陰極為鈦板，陰極極板面積為零件面積的1/5。
[0033]所述鈍化在50%硝酸中進行，鈍化溫度30°C，鈍化時間75min。
【主權項】
1.一種耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝，其特征在于:包括如下步驟: (1)對不銹鋼材料工件進行手動拋光打磨處理，要求Ra<0.1; (2)對潔凈工件直接進行電解拋光處理，S卩:將步驟(I)中手動拋光后的工件脫脂清洗干凈，保濕放入電拋槽后，立刻通電，進行電解拋光； (3)將步驟(2)電拋光亮的工件進行鈍化后，取出清洗吹干； (4)對步驟(3)處理后的工件進行臨界點蝕溫度測試測試，觀察工件隨溫度升高耐腐蝕性能變化，觀察其臨界點蝕溫>80°C，因此具有較高耐腐蝕性能。2.如權利要求1所述耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝，其特征在于:所述不銹鋼材料工件選擇316/316L不銹鋼材料。3.如權利要求1所述耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝，其特征在于:所述電解拋光前經過手動拋光打磨處理，要求Ra<0.1。4.如權利要求1所述耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝，其特征在于:所述電解拋光的溶液為40%wt磷酸、50%wt硫酸及10%wt濃縮液電解拋光藥水，過程工藝參數(shù)為:溫度:50-600C，恒定電壓:8-12V，電解拋光:40-120s，電流密度控制在5_7A/dm2。5.按照權利要求1所述耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝，其特征在于:所述電拋槽的陰極為鈦板，陰極極板面積為零件面積的1/3-1/5。6.按照權利要求1所述的耐腐蝕性不銹鋼電解拋光工藝，其特征在于:所述鈍化在50%硝酸中進行，鈍化溫度20-30 0C，鈍化時間60-75min。
【文檔編號】C25F3/24GK105926027SQ201610341843
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年5月23日
【發(fā)明人】張少杰
【申請人】沈陽富創(chuàng)精密設備有限公司