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致動器、微機電結(jié)構(gòu)以及電子設(shè)備的制作方法

文檔序號:39713219發(fā)布日期:2024-10-22 12:59閱讀:52來源:國知局
致動器、微機電結(jié)構(gòu)以及電子設(shè)備的制作方法

本申請涉及致動器,具體是涉及一種致動器、微機電結(jié)構(gòu)以及電子設(shè)備。


背景技術(shù):

1、隨著電子設(shè)備的不斷普及,電子設(shè)備已經(jīng)成為人們?nèi)粘I钪胁豢苫蛉钡纳缃还ぞ吆蛫蕵饭ぞ撸藗儗τ陔娮釉O(shè)備的要求也越來越高。以手機為例,為了滿足人們的拍照需求,相關(guān)技術(shù)中通常采用vcm(voice?coil?motor)馬達來驅(qū)動鏡頭運動從而實現(xiàn)手機攝像頭的防抖功能。然而在具體使用過程中,常常會因為手抖導(dǎo)致鏡頭發(fā)生一定的抖動,直接影響拍攝效果。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請?zhí)峁┮环N結(jié)構(gòu)新穎的致動器、微機電結(jié)構(gòu)以及電子設(shè)備,以實現(xiàn)光學(xué)器件在所需自由度上的傾斜或偏轉(zhuǎn)。

2、為達到上述目的,本申請實施例一方面提供了一種致動器。該致動器包括:框架,包括第一支撐面并且限定與所述第一支撐面平行延伸的收容空間;第一膜,包括壓電材料層并且設(shè)置在所述第一支撐面上;襯墊,設(shè)置在所述收容空間內(nèi)并且包括第二支撐面;第二膜,設(shè)置在所述第二支撐面上;和運動控制結(jié)構(gòu),設(shè)置在所述收容空間內(nèi)并且連接在所述第一膜和所述第二膜之間,用于將所述第一膜在形變時所產(chǎn)生的作用力在所需的自由度上傳遞給所述第二膜,并由所述第二膜帶動所述襯墊運動,使得所述第二支撐面相對于所述第一支撐面傾斜。

3、在一些實施例中,所述第一膜為包括多層不同材料的多形態(tài)薄膜;優(yōu)選地,所述材料選自金屬、多晶硅、氧化物和陶瓷中的至少一種。

4、在一些實施例中,所述第一膜包括應(yīng)變儀;優(yōu)選地,所述第一膜包括多晶硅薄膜層,并且所述多晶硅薄膜層作為所述應(yīng)變儀。

5、在一些實施例中,所述第二膜為單一材料層;或者所述第二膜為包括多層不同材料的多形態(tài)薄膜;優(yōu)選地,所述第二膜中包括壓電材料層。

6、在一些實施例中,所述襯墊包括中間部和自所述中間部朝所述框架延伸的支撐部;所述第二膜設(shè)置在所述中間部上,所述支撐部上粘結(jié)一隔板,所述隔板上用于粘結(jié)光學(xué)器件。

7、在一些實施例中,所述襯墊還包括自所述支撐部朝所述框架延伸的緩沖部;在所述第一膜未產(chǎn)生形變時,所述緩沖部和所述框架之間具有間隙。

8、在一些實施例中,所述運動控制結(jié)構(gòu)包括多個懸臂,所述多個懸臂構(gòu)造成承受與所述第一支撐面平行的作用力,并且傳遞與所述第一支撐面垂直的作用力。

9、在一些實施例中,所述框架為方形框,其包括四個邊框;所述致動器包括四個所述第一膜、四個所述運動控制結(jié)構(gòu)和四個所述第二膜;各邊框上設(shè)置有一個所述第一膜,并且各所述第一膜通過一個所述運動控制結(jié)構(gòu)與一個所述第二膜連接。

10、本申請實施例另一方面還提供一種微機電結(jié)構(gòu),該微機電結(jié)構(gòu)包括:基板;保護殼,設(shè)置在所述基板上并且與所述基板圍成保護空間,所述保護殼形成有與所述保護空間連通的保護口;任一如上所述的致動器;其中,所述致動器至少部分地設(shè)置在所述保護空間內(nèi),所述致動器的框架在所述保護空間內(nèi)連接在所述基板上;和光學(xué)器件,與所述襯墊連接,并至少部分覆蓋所述保護口。

11、在一些實施例中,所述基板包括電路板,所述致動器與所述電路板電連接。

12、在一些實施例中,所述光學(xué)器件為反射鏡或棱鏡。

13、在一些實施例中,所述光學(xué)器件設(shè)于所述第二支撐面,且基于所述第二支撐面相對于所述第一支撐面傾斜,所述光學(xué)器件能夠在所需的自由度上傾斜或偏轉(zhuǎn)。

14、本申請實施例另一方面還提供一種電子設(shè)備,該電子設(shè)備包括:圖像傳感器,具有光軸;任一如上所述的微機電結(jié)構(gòu);其中,所述微機電結(jié)構(gòu)設(shè)置成使所述光學(xué)器件將光線朝著所述圖像傳感器反射,并且所述光學(xué)器件能夠相對于所述光軸傾斜或偏轉(zhuǎn)。

15、區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù),在本申請?zhí)峁┑闹聞悠鞯慕Y(jié)構(gòu)設(shè)計中,將第一膜設(shè)置為包括壓電材料層,當電場/電壓施加于第一膜時,壓電材料層因受到電場/電壓的作用而產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力,使得第一膜發(fā)生彎曲變形并產(chǎn)生作用力,并通過運動控制結(jié)構(gòu)將作用力在所需的自由度上傳遞給第二膜,即:通過第一膜、第二膜以及運動控制結(jié)構(gòu)的共同配合,將第一膜發(fā)生形變時產(chǎn)生的作用力通過運動控制結(jié)構(gòu)依次傳遞給第二膜。與此同時,由于第二膜連接襯墊和運動控制結(jié)構(gòu),則第二膜同時被動產(chǎn)生相反的力矩以平衡第一膜產(chǎn)生的力矩,從而使襯墊在所需自由度上相對邊框平動,即:第二膜帶動襯墊運動,從而使得第二支撐面相對于第一支撐面傾斜。



技術(shù)特征:

1.一種致動器,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器,其特征在于,

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器,其特征在于,

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器,其特征在于,

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器,其特征在于,

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的致動器,其特征在于,

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器,其特征在于,

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項所述的致動器,其特征在于,

9.一種微機電結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微機電結(jié)構(gòu),其特征在于,

11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的微機電結(jié)構(gòu),其特征在于,

12.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的微機電結(jié)構(gòu),其特征在于,

13.一種電子設(shè)備,其特征在于,包括:


技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種致動器、微機電結(jié)構(gòu)以及電子設(shè)備。該致動器包括:框架,包括第一支撐面并且限定與第一支撐面平行延伸的收容空間;第一膜,包括壓電材料層并且設(shè)置在第一支撐面上;襯墊,設(shè)置在收容空間內(nèi)并且包括第二支撐面;第二膜,設(shè)置在第二支撐面上;和運動控制結(jié)構(gòu),設(shè)置在收容空間內(nèi)并且連接在第一膜和第二膜之間,用于將第一膜在形變時所產(chǎn)生的作用力在所需的自由度上傳遞給第二膜,并由第二膜帶動襯墊運動,使得第二支撐面相對于第一支撐面傾斜。當壓電材料層產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力時,第一膜發(fā)生形變而產(chǎn)生作用力,并通過運動控制結(jié)構(gòu)將作用力在所需的自由度上傳遞給第二膜,第二膜帶動襯墊運動,從而使得第二支撐面相對于第一支撐面傾斜。

技術(shù)研發(fā)人員:王桂芹,劉小雷
受保護的技術(shù)使用者:麥斯卓微電子(南京)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/10/21
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