本申請涉及致動器，具體是涉及一種致動器、微機電結(jié)構(gòu)以及電子設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、隨著電子設(shè)備的不斷普及，電子設(shè)備已經(jīng)成為人們?nèi)粘Ｉ钪胁豢苫蛉钡纳缃还ぞ吆蛫蕵饭ぞ撸藗儗τ陔娮釉O(shè)備的要求也越來越高。以手機為例，為了滿足人們的拍照需求，相關(guān)技術(shù)中通常采用vcm(voice?coil?motor)馬達來驅(qū)動鏡頭運動從而實現(xiàn)手機攝像頭的防抖功能。然而在具體使用過程中，常常會因為手抖導(dǎo)致鏡頭發(fā)生一定的抖動，直接影響拍攝效果。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請?zhí)峁┮环N結(jié)構(gòu)新穎的致動器、微機電結(jié)構(gòu)以及電子設(shè)備，以實現(xiàn)光學(xué)器件在所需自由度上的傾斜或偏轉(zhuǎn)。

2、為達到上述目的，本申請實施例一方面提供了一種致動器。該致動器包括：框架，包括第一支撐面并且限定與所述第一支撐面平行延伸的收容空間；第一膜，包括壓電材料層并且設(shè)置在所述第一支撐面上；襯墊，設(shè)置在所述收容空間內(nèi)并且包括第二支撐面；第二膜，設(shè)置在所述第二支撐面上；和運動控制結(jié)構(gòu)，設(shè)置在所述收容空間內(nèi)并且連接在所述第一膜和所述第二膜之間，用于將所述第一膜在形變時所產(chǎn)生的作用力在所需的自由度上傳遞給所述第二膜，并由所述第二膜帶動所述襯墊運動，使得所述第二支撐面相對于所述第一支撐面傾斜。

3、在一些實施例中，所述第一膜為包括多層不同材料的多形態(tài)薄膜；優(yōu)選地，所述材料選自金屬、多晶硅、氧化物和陶瓷中的至少一種。

4、在一些實施例中，所述第一膜包括應(yīng)變儀；優(yōu)選地，所述第一膜包括多晶硅薄膜層，并且所述多晶硅薄膜層作為所述應(yīng)變儀。

5、在一些實施例中，所述第二膜為單一材料層；或者所述第二膜為包括多層不同材料的多形態(tài)薄膜；優(yōu)選地，所述第二膜中包括壓電材料層。

6、在一些實施例中，所述襯墊包括中間部和自所述中間部朝所述框架延伸的支撐部；所述第二膜設(shè)置在所述中間部上，所述支撐部上粘結(jié)一隔板，所述隔板上用于粘結(jié)光學(xué)器件。

7、在一些實施例中，所述襯墊還包括自所述支撐部朝所述框架延伸的緩沖部；在所述第一膜未產(chǎn)生形變時，所述緩沖部和所述框架之間具有間隙。

8、在一些實施例中，所述運動控制結(jié)構(gòu)包括多個懸臂，所述多個懸臂構(gòu)造成承受與所述第一支撐面平行的作用力，并且傳遞與所述第一支撐面垂直的作用力。

9、在一些實施例中，所述框架為方形框，其包括四個邊框；所述致動器包括四個所述第一膜、四個所述運動控制結(jié)構(gòu)和四個所述第二膜；各邊框上設(shè)置有一個所述第一膜，并且各所述第一膜通過一個所述運動控制結(jié)構(gòu)與一個所述第二膜連接。

10、本申請實施例另一方面還提供一種微機電結(jié)構(gòu)，該微機電結(jié)構(gòu)包括：基板；保護殼，設(shè)置在所述基板上并且與所述基板圍成保護空間，所述保護殼形成有與所述保護空間連通的保護口；任一如上所述的致動器；其中，所述致動器至少部分地設(shè)置在所述保護空間內(nèi)，所述致動器的框架在所述保護空間內(nèi)連接在所述基板上；和光學(xué)器件，與所述襯墊連接，并至少部分覆蓋所述保護口。

11、在一些實施例中，所述基板包括電路板，所述致動器與所述電路板電連接。

12、在一些實施例中，所述光學(xué)器件為反射鏡或棱鏡。

13、在一些實施例中，所述光學(xué)器件設(shè)于所述第二支撐面，且基于所述第二支撐面相對于所述第一支撐面傾斜，所述光學(xué)器件能夠在所需的自由度上傾斜或偏轉(zhuǎn)。

14、本申請實施例另一方面還提供一種電子設(shè)備，該電子設(shè)備包括：圖像傳感器，具有光軸；任一如上所述的微機電結(jié)構(gòu)；其中，所述微機電結(jié)構(gòu)設(shè)置成使所述光學(xué)器件將光線朝著所述圖像傳感器反射，并且所述光學(xué)器件能夠相對于所述光軸傾斜或偏轉(zhuǎn)。

15、區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)，在本申請?zhí)峁┑闹聞悠鞯慕Y(jié)構(gòu)設(shè)計中，將第一膜設(shè)置為包括壓電材料層，當電場/電壓施加于第一膜時，壓電材料層因受到電場/電壓的作用而產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力，使得第一膜發(fā)生彎曲變形并產(chǎn)生作用力，并通過運動控制結(jié)構(gòu)將作用力在所需的自由度上傳遞給第二膜，即：通過第一膜、第二膜以及運動控制結(jié)構(gòu)的共同配合，將第一膜發(fā)生形變時產(chǎn)生的作用力通過運動控制結(jié)構(gòu)依次傳遞給第二膜。與此同時，由于第二膜連接襯墊和運動控制結(jié)構(gòu)，則第二膜同時被動產(chǎn)生相反的力矩以平衡第一膜產(chǎn)生的力矩，從而使襯墊在所需自由度上相對邊框平動，即：第二膜帶動襯墊運動，從而使得第二支撐面相對于第一支撐面傾斜。

技術(shù)特征：

1.一種致動器，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的致動器，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項所述的致動器，其特征在于，

9.一種微機電結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微機電結(jié)構(gòu)，其特征在于，

11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的微機電結(jié)構(gòu)，其特征在于，

12.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的微機電結(jié)構(gòu)，其特征在于，

13.一種電子設(shè)備，其特征在于，包括：

技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種致動器、微機電結(jié)構(gòu)以及電子設(shè)備。該致動器包括：框架，包括第一支撐面并且限定與第一支撐面平行延伸的收容空間；第一膜，包括壓電材料層并且設(shè)置在第一支撐面上；襯墊，設(shè)置在收容空間內(nèi)并且包括第二支撐面；第二膜，設(shè)置在第二支撐面上；和運動控制結(jié)構(gòu)，設(shè)置在收容空間內(nèi)并且連接在第一膜和第二膜之間，用于將第一膜在形變時所產(chǎn)生的作用力在所需的自由度上傳遞給第二膜，并由第二膜帶動襯墊運動，使得第二支撐面相對于第一支撐面傾斜。當壓電材料層產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力時，第一膜發(fā)生形變而產(chǎn)生作用力，并通過運動控制結(jié)構(gòu)將作用力在所需的自由度上傳遞給第二膜，第二膜帶動襯墊運動，從而使得第二支撐面相對于第一支撐面傾斜。

技術(shù)研發(fā)人員：王桂芹,劉小雷
受保護的技術(shù)使用者：麥斯卓微電子（南京）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21