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慣性傳感器和慣性測量裝置的制作方法

文檔序號:39685080發(fā)布日期:2024-10-18 13:37閱讀:76來源:國知局
慣性傳感器和慣性測量裝置的制作方法

本發(fā)明涉及慣性傳感器和具備該慣性傳感器的慣性測量裝置。


背景技術:

1、近年來,開發(fā)了利用mems(micro?electro?mechanical?system:微電子機械系統(tǒng))結構的慣性傳感器。作為這樣的慣性傳感器,在專利文獻1中記載有檢測z軸方向的加速度的加速度傳感器。

2、專利文獻1記載的加速度傳感器具備:第一導電部、被保持在第一導電部的第一電極、第二導電部、以及被保持在第二導電部的第二電極,第一電極的高度方向的長度比第一導電部的高度方向的長度短,第二電極的高度方向的長度比第二導電部的高度方向的長度短。

3、專利文獻1:日本特開2021-32819號公報

4、在對這樣的加速度傳感器施加了過度的加速度的情況下,有可能在第一導電部、第一電極等mems結構中產(chǎn)生龜裂或缺口等。


技術實現(xiàn)思路

1、本申請的一個方案的慣性傳感器具有:基板;蓋,與所述基板對置設置;可動框架,設置在所述基板與所述蓋之間;梳齒可動電極,設置在所述可動框架;以及突起,設置在所述基板或所述蓋中的至少一方,俯視時與所述梳齒可動電極的前端或根部重疊。

2、本申請的一個方式的慣性測量裝置具備上述記載的慣性傳感器。



技術特征:

1.一種慣性傳感器,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權利要求1所述的慣性傳感器,其中,

3.根據(jù)權利要求1所述的慣性傳感器,其中,

4.根據(jù)權利要求1所述的慣性傳感器,其中,

5.根據(jù)權利要求1所述的慣性傳感器,其中,

6.根據(jù)權利要求2所述的慣性傳感器,其中,

7.根據(jù)權利要求1所述的慣性傳感器,其中,

8.根據(jù)權利要求7所述的慣性傳感器,其中,

9.根據(jù)權利要求7所述的慣性傳感器,其中,

10.根據(jù)權利要求7所述的慣性傳感器,其中,

11.根據(jù)權利要求7所述的慣性傳感器,其中,

12.根據(jù)權利要求1所述的慣性傳感器,其中,

13.根據(jù)權利要求1所述的慣性傳感器,其中,

14.一種慣性測量裝置,其特征在于,


技術總結
提供慣性傳感器和慣性測量裝置,能夠降低由過度的加速度導致的MEMS結構的破損。慣性傳感器(100)包括:支承基板(1),作為基板;蓋(2),與支承基板(1)對置設置;可動框架(21),設置在支承基板(1)與蓋(2)之間;第一梳齒可動電極(22a)和/或第二梳齒可動電極(22b),作為設置在可動框架(21)的梳齒可動電極;以及突起(31)和/或突起(30),設置在支承基板(1)或蓋(2)中的至少一方,俯視時與第一梳齒可動電極(22a)和/或第二梳齒可動電極(22b)的前端或根部重疊。

技術研發(fā)人員:小林知永
受保護的技術使用者:精工愛普生株式會社
技術研發(fā)日:
技術公布日:2024/10/17
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