本發(fā)明涉及慣性傳感器和具備該慣性傳感器的慣性測量裝置。

背景技術：

1、近年來，開發(fā)了利用mems(micro?electro?mechanical?system：微電子機械系統(tǒng))結構的慣性傳感器。作為這樣的慣性傳感器，在專利文獻1中記載有檢測z軸方向的加速度的加速度傳感器。

2、專利文獻1記載的加速度傳感器具備：第一導電部、被保持在第一導電部的第一電極、第二導電部、以及被保持在第二導電部的第二電極，第一電極的高度方向的長度比第一導電部的高度方向的長度短，第二電極的高度方向的長度比第二導電部的高度方向的長度短。

3、專利文獻1：日本特開2021-32819號公報

4、在對這樣的加速度傳感器施加了過度的加速度的情況下，有可能在第一導電部、第一電極等mems結構中產(chǎn)生龜裂或缺口等。

技術實現(xiàn)思路

1、本申請的一個方案的慣性傳感器具有：基板；蓋，與所述基板對置設置；可動框架，設置在所述基板與所述蓋之間；梳齒可動電極，設置在所述可動框架；以及突起，設置在所述基板或所述蓋中的至少一方，俯視時與所述梳齒可動電極的前端或根部重疊。

2、本申請的一個方式的慣性測量裝置具備上述記載的慣性傳感器。

技術特征：

1.一種慣性傳感器，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權利要求1所述的慣性傳感器，其中，

3.根據(jù)權利要求1所述的慣性傳感器，其中，

4.根據(jù)權利要求1所述的慣性傳感器，其中，

5.根據(jù)權利要求1所述的慣性傳感器，其中，

6.根據(jù)權利要求2所述的慣性傳感器，其中，

7.根據(jù)權利要求1所述的慣性傳感器，其中，

8.根據(jù)權利要求7所述的慣性傳感器，其中，

9.根據(jù)權利要求7所述的慣性傳感器，其中，

10.根據(jù)權利要求7所述的慣性傳感器，其中，

11.根據(jù)權利要求7所述的慣性傳感器，其中，

12.根據(jù)權利要求1所述的慣性傳感器，其中，

13.根據(jù)權利要求1所述的慣性傳感器，其中，

14.一種慣性測量裝置，其特征在于，

技術總結
提供慣性傳感器和慣性測量裝置，能夠降低由過度的加速度導致的MEMS結構的破損。慣性傳感器(100)包括：支承基板(1)，作為基板；蓋(2)，與支承基板(1)對置設置；可動框架(21)，設置在支承基板(1)與蓋(2)之間；第一梳齒可動電極(22a)和/或第二梳齒可動電極(22b)，作為設置在可動框架(21)的梳齒可動電極；以及突起(31)和/或突起(30)，設置在支承基板(1)或蓋(2)中的至少一方，俯視時與第一梳齒可動電極(22a)和/或第二梳齒可動電極(22b)的前端或根部重疊。

技術研發(fā)人員：小林知永
受保護的技術使用者：精工愛普生株式會社
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/10/17