一種加熱型蒸發(fā)罐的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及特殊氣體輸送技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種加熱型蒸發(fā)罐。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著全球電子和光伏產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體和光伏制造業(yè)也得到了迅猛的發(fā)展。據(jù)2006年中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告指出:“2006年底，中國(guó)國(guó)內(nèi)有近50家晶圓制造廠，112家IC封裝和IC裝配廠，450家IC設(shè)計(jì)公司。2006年中國(guó)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值807億元人民幣，大約為100億美元，其中封測(cè)350億元，晶圓制造242億元，IC設(shè)計(jì)215億元。中國(guó)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體市場(chǎng)的規(guī)模在2006年超過600億美元。其中前20大廠家就占有300億美元以上?！惫夥a(chǎn)業(yè)在近兩年快速發(fā)展，是未來新能源產(chǎn)業(yè)的主力軍。
[0003]目前，在半導(dǎo)體和光伏相關(guān)產(chǎn)業(yè)中，一般需要使用帶許多特殊氣體，其中一些是液態(tài)性氣體，并且在使用時(shí)需要轉(zhuǎn)化為氣態(tài)性氣體再進(jìn)行使用。
[0004]蒸發(fā)罐是一種用于半導(dǎo)體和光伏產(chǎn)業(yè)中為工藝機(jī)臺(tái)連續(xù)配送工藝氣體的設(shè)備。然而，現(xiàn)有的蒸發(fā)罐結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，且蒸發(fā)效果并不理想，從而導(dǎo)致氣體的傳輸成本較高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種加熱型蒸發(fā)罐，具備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、供氣穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
[0006]上述的一種加熱型蒸發(fā)罐，包括罐體，該罐體的頂部設(shè)置有液態(tài)性氣體入口、氣態(tài)性氣體出口、壓力傳感器、液位傳感器、液位開關(guān)以及導(dǎo)向磁條；所述罐體的側(cè)壁設(shè)置有第一硅橡膠加熱帶，所述罐體的底部設(shè)置有第二硅橡膠加熱帶和排放口。
[0007]上述設(shè)備中，所述罐體為密封結(jié)構(gòu)。
[0008]上述設(shè)備中，所述第一硅橡膠加熱帶為500W加熱帶。
[0009]上述設(shè)備中，所述第二硅橡膠加熱帶為300W加熱帶。
[0010]上述設(shè)備中，所述第一硅橡膠加熱帶和第二硅橡膠加熱帶的內(nèi)部均設(shè)置有A級(jí)鉑熱電阻。
[0011]上述設(shè)備中，所述罐體還設(shè)置有溫控表。
[0012]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:本實(shí)用新型提供了一種加熱型蒸發(fā)罐，通過在罐體的側(cè)面和底部設(shè)置了硅橡膠加熱帶，并利用該兩個(gè)硅橡膠加熱帶分別自罐體的側(cè)部和底部進(jìn)行加熱，從而將液態(tài)性氣體轉(zhuǎn)化為氣態(tài)性氣體；同時(shí)，由于罐體本身具有一定的儲(chǔ)存量，從而可以相對(duì)穩(wěn)定的供應(yīng)氣體，并最終實(shí)現(xiàn)了便于氣體傳輸和控制傳輸成本的目的。
【附圖說明】
[0013]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0014]圖1是本實(shí)用新型中加熱型蒸發(fā)罐的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2是本實(shí)用新型中加熱型蒸發(fā)罐的俯視圖；
[0016]圖3是圖2中加熱型蒸發(fā)罐的A-A剖面示意圖；
[0017]圖4是圖2中加熱型蒸發(fā)罐的B-B剖面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而不能以此來限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0019]如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型記載了一種加熱型蒸發(fā)罐，包括罐體1，且該罐體I的頂部設(shè)置有液態(tài)性氣體入口 2、氣態(tài)性氣體出口 3、壓力傳感器4、液位傳感器5、液位開關(guān)6以及導(dǎo)向磁條7 ；
[0020]進(jìn)一步的，本實(shí)用新型中加熱型蒸發(fā)罐的內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖3和圖4所示，其中液態(tài)性氣體入口 2用于接入液態(tài)性氣體，而氣態(tài)性氣體出口 3則負(fù)責(zé)輸出加熱后的氣態(tài)性氣體，且排放口 8主要用于清理剩余的氣體。
[0021]至于壓力傳感器4則負(fù)責(zé)檢測(cè)罐體I內(nèi)的壓力，當(dāng)壓力傳感器4的壓力達(dá)到補(bǔ)液前壓力排放設(shè)定值后，蒸發(fā)罐開始補(bǔ)液；而液位傳感器5則負(fù)責(zé)檢測(cè)液位并控制液位開關(guān)6的動(dòng)作，使得當(dāng)液體達(dá)到設(shè)定液位時(shí)(補(bǔ)液完成時(shí))，罐體I會(huì)自動(dòng)切換至準(zhǔn)備狀態(tài)，從而為后續(xù)的加熱工藝做好準(zhǔn)備；如此便實(shí)現(xiàn)了整個(gè)蒸發(fā)罐設(shè)備的自動(dòng)化操作，從而大大的節(jié)省了人力，同時(shí)有效的提高了傳輸效率。
[0022]優(yōu)選的，為了增加供氣的穩(wěn)定性，上述的罐體I采用了密封結(jié)構(gòu)。
[0023]同時(shí)，在罐體I的側(cè)壁設(shè)置有第一硅橡膠加熱帶(未在圖中標(biāo)出)，且在罐體I的底部還設(shè)置有第二硅橡膠加熱帶(未在圖中標(biāo)出)和排放口 8 ;
[0024]優(yōu)選的，由于實(shí)際加熱時(shí)需要第一硅橡膠加熱帶和第二硅橡膠加熱帶的相互配合，所以上述的第一娃橡膠加熱帶為500W加熱帶，而第二娃橡膠加熱帶為300W加熱帶，同時(shí)在第一硅橡膠加熱帶和第二硅橡膠加熱帶的內(nèi)部均設(shè)置有A級(jí)鉑熱電阻，從而在對(duì)罐體I的側(cè)部和底部進(jìn)行加熱時(shí)，可以在保證加熱效果的同時(shí)，最大化的節(jié)省能源，進(jìn)而避免能源的浪費(fèi)。
[0025]此外，為了更好的對(duì)罐體I進(jìn)行操作和控制，所以罐體I還設(shè)置有溫控表(未在圖中標(biāo)出)。
[0026]在實(shí)際加熱中，使用者先在溫控表上設(shè)定所要加熱的溫度值，然而溫控表將第一硅橡膠加熱帶和第二硅橡膠加熱帶內(nèi)置的A級(jí)鉑熱電阻所傳送回來的溫度值與設(shè)定值進(jìn)行比較，再通過輸出控制固態(tài)繼電器的通斷來控制兩條硅橡膠加熱帶的加熱狀態(tài)，從而使得全程僅需要基礎(chǔ)的電路控制，即可具備提高穩(wěn)定性、縮短穩(wěn)定時(shí)間以及輔助的高溫報(bào)警等功能，并使得整個(gè)加熱系統(tǒng)變得更加安全。
[0027]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種加熱型蒸發(fā)罐，包括罐體，其特征在于，所述罐體的頂部設(shè)置有液態(tài)性氣體入口、氣態(tài)性氣體出口、壓力傳感器、液位傳感器、液位開關(guān)以及導(dǎo)向磁條；所述罐體的側(cè)壁設(shè)置有第一硅橡膠加熱帶，所述罐體的底部設(shè)置有第二硅橡膠加熱帶和排放口。2.如權(quán)利要求1所述的一種加熱型蒸發(fā)罐，其特征在于，所述罐體為密封結(jié)構(gòu)。3.如權(quán)利要求1所述的一種加熱型蒸發(fā)罐，其特征在于，所述第一硅橡膠加熱帶為500W加熱帶。4.如權(quán)利要求1所述的一種加熱型蒸發(fā)罐，其特征在于，所述第二硅橡膠加熱帶為300W加熱帶。5.如權(quán)利要求3或4所述的一種加熱型蒸發(fā)罐，其特征在于，所述第一硅橡膠加熱帶和第二硅橡膠加熱帶的內(nèi)部均設(shè)置有A級(jí)鉑熱電阻。6.如權(quán)利要求1所述的一種加熱型蒸發(fā)罐，其特征在于，所述罐體還設(shè)置有溫控表。
【專利摘要】本實(shí)用新型記載了一種加熱型蒸發(fā)罐，包括罐體，該罐體的頂部設(shè)置有液態(tài)性氣體入口、氣態(tài)性氣體出口、壓力傳感器、液位傳感器、液位開關(guān)以及導(dǎo)向磁條；在罐體的側(cè)壁設(shè)置有第一硅橡膠加熱帶，同時(shí)在罐體的底部還設(shè)置有第二硅橡膠加熱帶和排放口。由于采用了上述技術(shù)，本實(shí)用新型通過在罐體的側(cè)面和底部設(shè)置了硅橡膠加熱帶，并利用該兩個(gè)硅橡膠加熱帶分別自罐體的側(cè)部和底部進(jìn)行加熱，從而將液態(tài)性氣體轉(zhuǎn)化為氣態(tài)性氣體；同時(shí)，由于罐體本身具有一定的儲(chǔ)存量，從而可以相對(duì)穩(wěn)定的供應(yīng)氣體，并最終實(shí)現(xiàn)了便于氣體傳輸和控制傳輸成本的目的。
【IPC分類】B01D1/30, B01D1/00
【公開號(hào)】CN204865014
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520253665
【發(fā)明人】甘萬
【申請(qǐng)人】上海盛韜半導(dǎo)體科技有限公司
【公開日】2015年12月16日
【申請(qǐng)日】2015年4月23日