一種混氣裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別是涉及一種混氣裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體芯片和LED外延片制造的工藝生產(chǎn)過程中，會使用到多種混合氣體，比如H2/N2 —定比例的混合氣。為了保證混氣比例的精度以及連續(xù)生產(chǎn)的要求，需要一種精度可控的混氣裝置。
[0003]目前國內(nèi)有些工廠是直接使用氣體公司的一定比例混合氣成品，這樣相對來說成本較高，而且受制于氣體公司的氣源供應(yīng)狀況。很多工廠是使用手動型混氣裝置，如圖1所示，通過玻璃管浮子流量計手動調(diào)節(jié)兩種工藝氣體流量，來達到混氣目的，但是存在不少缺點?，F(xiàn)有的混氣裝置具有以下缺點:因為受制于浮子流量計的精度和操作人員的人為因素，導(dǎo)致混氣比例誤差很大，只能適用于對混合氣比例要求低的生產(chǎn)中；因為浮子流量計調(diào)節(jié)后，當后端用氣量突然變小時，2個浮子流量計不能實現(xiàn)自動平衡，只能適用于混合氣流量恒定的生產(chǎn)中；當流量極小時，還有可能因為2個減壓閥輸出壓力的差異，導(dǎo)致輸出壓力低的減壓閥有背壓而實際并沒有氣體流過，形成只有一種工藝氣體輸出的情況，嚴重影響工藝生產(chǎn)。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的是提供一種混氣裝置，實現(xiàn)對每一種輸入氣體流量的精確控制，實時調(diào)節(jié)輸出流量的大小，滿足各種生產(chǎn)工藝。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型實施例提供了一種混氣裝置，包括多路進氣管道和混合氣體管道，其中，所述進氣管道的出口與所述混合氣體管道的進口連接；所述進氣管道從進口起依次設(shè)置有第一隔膜閥、減壓閥、第一壓力表和質(zhì)量流量控制器；所述混合氣體管道設(shè)置有第二隔膜閥。
[0006]優(yōu)選的，所述進氣管道還包括單向閥，設(shè)置在所述質(zhì)量流量控制器之后。
[0007]優(yōu)選的，所述進氣管道還包括隔離閥，設(shè)置在所述單向閥之后。
[0008]優(yōu)選的，所述混氣裝置還包括緩沖管，所述緩沖管的直徑大于所述進氣管道的直徑，所述緩沖管的進口與所述進氣管道的出口連接，所述緩沖管的出口與所述混合氣體管道的進口連接。
[0009]優(yōu)選的，所述緩沖管的容積大于等于10L。
[0010]優(yōu)選的，所述混氣裝置還包括壓力傳感器，所述壓力傳感器分別與所述緩沖管和所述質(zhì)量流量控制器連接。
[0011]優(yōu)選的，所述混氣裝置還包括排氣管，所述排氣管的進口與所述緩沖管的出口連接，所述排氣管從進口起依次設(shè)置有第二壓力表和第三隔膜閥。
[0012]本實用新型實施例所提供的混氣裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點:
[0013]本實用新型實施例所提供的混氣裝置，包括多路進氣管道和混合氣體管道，其中，所述進氣管道的出口與所述混合氣體管道的進口連接；所述進氣管道從進口起依次設(shè)置有第一隔膜閥、減壓閥、第一壓力表和質(zhì)量流量控制器；所述混合氣體管道設(shè)置有第二隔膜閥。所述混氣裝置使用質(zhì)量流量控制器，實現(xiàn)對每一種輸入氣體流量的精確控制，并根據(jù)要求實時調(diào)節(jié)輸出流量大小，混氣比例誤差小，容易滿足工況需求。用現(xiàn)有的混氣裝置改造時，只要增加所述質(zhì)量流量控制器即可，改造成本較低。
[0014]綜上所述，本實用新型實施例所提供的混氣裝置，精確控制輸入氣體的流量，混氣比例誤差小，容易滿足工況需求，改造成本較低。
【附圖說明】
[0015]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0016]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的混氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實用新型實施例所提供的混氣裝置的一種【具體實施方式】的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0018]正如【背景技術(shù)】部分所述，現(xiàn)有技術(shù)中的混氣裝置由于受制于浮子流量計的精度和操作人員的人為因素，導(dǎo)致混氣比例誤差較大。
[0019]基于此，本實用新型實施例提供了一種混氣裝置，包括多路進氣管道和混合氣體管道，其中，所述進氣管道的出口與所述混合氣體管道的進口連接；所述進氣管道從進口起依次設(shè)置有第一隔膜閥、減壓閥、第一壓力表和質(zhì)量流量控制器；所述混合氣體管道設(shè)置有第二隔膜閥。
[0020]綜上所述，由于所述混氣裝置使用質(zhì)量流量控制器，可以實現(xiàn)對每一種輸入氣體流量的精確控制，并根據(jù)要求實時調(diào)節(jié)輸出流量大小，因此，混氣比例誤差小，容易滿足工況需求。
[0021]為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】做詳細的說明。
[0022]在以下描述中闡述了具體細節(jié)以便于充分理解本實用新型。但是本實用新型能夠以多種不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實用新型內(nèi)涵的情況下做類似推廣。因此本實用新型不受下面公開的具體實施的限制。
[0023]如參考圖2，圖2為本實用新型所提供的混氣裝置的一種【具體實施方式】的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]在一種【具體實施方式】中，所述混氣裝置，包括多路進氣管道和混合氣體管道，其中，所述進氣管道的出口與所述混合氣體管道的進口連接；所述進氣管道從進口起依次設(shè)置有第一隔膜閥11、減壓閥12、第一壓力表13和質(zhì)量流量控制器14 ;所述混合氣體管道設(shè)置有第二隔膜閥。需要說明的是，本實用新型對不同氣路的所述進氣管道的所述第一隔膜閥11、所述減壓閥12、所述第一壓力表13和所述質(zhì)量流量控制器14不做具體限定，不同氣路起相同作用的器件可以不同，如第一氣路的隔膜閥與第二氣路的隔膜閥可以采用不同的類型，如果不同類型的隔膜閥對不同的輸入氣體的抗腐蝕性不同，即可使用抗腐蝕性較高的器件；也可以采用相同的類型，安裝以及管理較為方便、簡單。
[0025]優(yōu)選的，所述進氣管道還包括單向閥16，設(shè)置在所述質(zhì)量流量控制器14之后。在各路的輸入氣體混合前，安裝所述單向閥16，起到安全隔離作用，防止當側(cè)減壓閥12輸出壓力過低時，氣體回灌的風(fēng)險。需要說明的是，本實用新型對所述單向閥16的類