一種排氣管道氣液分離裝置制造方法
【專利摘要】一種排氣管道氣液分離裝置，其通過彎管的一端與真空泵的出口相連，彎管的另一端連接一個(gè)三通，三通的上方連接尾氣的排放管道，三通的下方依次連接有第一閥門、儲(chǔ)存罐和第二閥門；其中彎管可實(shí)現(xiàn)尾氣的順暢流動(dòng)，儲(chǔ)存罐采用透明耐腐蝕的聚氯乙烯(PVC)等材料制作，以對酸性液體進(jìn)行儲(chǔ)存并方便觀察酸性液體的液位，第一閥門打開并且第二閥門關(guān)閉，可實(shí)現(xiàn)對尾氣中的酸性液體的收集，第一閥門關(guān)閉并且第二閥門打開，可實(shí)現(xiàn)對儲(chǔ)存罐中的酸性液體的排放；該排氣管道氣液分離裝置能方便簡捷的實(shí)現(xiàn)尾氣中殘留酸性液體的收集和排放，避免酸性液體對管道的腐蝕和對環(huán)境的污染。
【專利說明】一種排氣管道氣液分罔裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及集成電路制造技術(shù)中的化工排氣領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種排氣管道氣液分離裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路生產(chǎn)過程中，如半導(dǎo)體刻蝕工藝中，部分工藝尾氣中含有水汽和其他酸性氣體，在經(jīng)過處理并達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)后，這些混合氣體需要經(jīng)過抽氣裝置如真空泵并進(jìn)入排氣管道進(jìn)行排放，以免對環(huán)境造成污染。
[0003]然而，在排放過程中，由于溫度降低，混合氣體中的水汽會(huì)液化，并和尾氣中的其他酸性氣體結(jié)合后，會(huì)形成酸液留存在排氣管道中；這些酸液會(huì)對管道產(chǎn)生腐蝕作用，導(dǎo)致排氣管道泄漏，造成工廠環(huán)境的嚴(yán)重污染；請參照圖1，圖1為原真空泵和排氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖；真空泵I通過排氣管道2把達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)的含有水汽和其他酸性氣體的尾氣排放到廠房之外，但因?yàn)榛旌蠚怏w中的水汽會(huì)和酸性氣體結(jié)合并形成酸液，造成排氣管道2腐蝕泄漏，污染了工廠環(huán)境。
[0004]在現(xiàn)有技術(shù)中，針對酸性氣體在排放過程中的液化問題，目前業(yè)界的先進(jìn)方法是，提高排放氣體的溫度，一般要求排放氣體的溫度達(dá)到150攝氏度以上，則排放氣體中的水汽和其他酸性氣體就不會(huì)結(jié)瘤液化。
[0005]然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員清楚，目前的這種提高排放氣體溫度的方法，會(huì)造成能源的浪費(fèi)，并且排放氣體溫度的提高，排放管道等設(shè)備的耐溫等級(jí)需要提高，則引起了設(shè)備成本的提高，并導(dǎo)致了設(shè)備維護(hù)難度的增加。
[0006]因此，本領(lǐng)域的技術(shù)人員致力于開發(fā)一種有效的排氣管道氣液分離裝置，以方便簡潔的方法對排氣管道中的酸性液體進(jìn)行排除。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]有鑒于現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本實(shí)用新型的目的在于一種有效的排氣管道氣液分離裝置，以方便簡捷的方法對排氣管道中的酸性液體進(jìn)行排除。
[0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種排氣管道氣液分離裝置，其通過彎管的一端與真空泵的出口相連，彎管的另一端連接一個(gè)三通，三通的上方連接尾氣的排放管道，三通的下方依次連接有第一閥門、儲(chǔ)存罐和第二閥門；其中彎管可實(shí)現(xiàn)尾氣的順暢流動(dòng)，儲(chǔ)存罐采用透明耐腐蝕的聚氯乙烯(PVC)等材料制作，以對酸性液體進(jìn)行儲(chǔ)存并方便觀察酸性液體的液位，第一閥門打開并且第二閥門關(guān)閉，可實(shí)現(xiàn)對尾氣中的酸性液體的收集，第一閥門關(guān)閉并且第二閥門打開，可實(shí)現(xiàn)對儲(chǔ)存罐中的酸性液體的排放；該排氣管道氣液分離裝置能方便簡捷的實(shí)現(xiàn)尾氣中殘留酸性液體的收集和排放，避免酸性液體對管道的腐蝕和對環(huán)境的污染。本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0009]一種排氣管道氣液分離裝置，所述排氣管道連接用于排出生產(chǎn)設(shè)備中尾氣的抽氣裝置，所述氣液分離裝置設(shè)于所述抽氣裝置與所述排氣管道之間，包括依次向下連接的第一閥門、儲(chǔ)液罐和第二閥門，所述第一閥門通過一個(gè)三通管分別連接所述排氣管道及所述抽氣裝置，所述排氣管道與所述第一閥門的連接段為可使冷凝尾氣降落的上升管段，所述排氣管道保持在與外界隔離的條件下排出生產(chǎn)設(shè)備中的尾氣。
[0010]優(yōu)選地,所述儲(chǔ)液罐設(shè)有液位指示單元。
[0011 ] 優(yōu)選地，所述液位指示單元是所述儲(chǔ)液罐罐壁的透明觀察窗口。
[0012]優(yōu)選地,所述液位指示單元是所述儲(chǔ)液罐設(shè)有的電容式液位計(jì)。
[0013]優(yōu)選地，還包括一段彎管，所述彎管的一端與所述抽氣裝置的出口相連，所述彎管的另一端連接所述三通的水平連接口。
[0014]優(yōu)選地，還包括一段回流管，所述回流管連接在所述彎管與所述三通之間，所述回流管的內(nèi)徑大于所述彎管的內(nèi)徑，所述回流管水平布置，所述回流管的軸線穿過所述彎管管口的中心點(diǎn)。
[0015]此處設(shè)計(jì)的目的在于，所述抽氣裝置指真空泵等裝置，所述彎管可實(shí)現(xiàn)尾氣的順暢流動(dòng)，儲(chǔ)存罐可以采用透明耐腐蝕的聚氯乙烯(PVC)或聚四氟乙烯(PTFE)或聚丙烯(PP)材料制作，以對酸性液體進(jìn)行儲(chǔ)存并方便觀察酸性液體的液位；排放尾氣時(shí)，第一閥門打開并且第二閥門關(guān)閉，可實(shí)現(xiàn)所述排氣管道保持在與外界隔離的條件下排出生產(chǎn)設(shè)備中的尾氣，并實(shí)現(xiàn)對尾氣中的酸性液體的收集；第一閥門關(guān)閉并且第二閥門打開，可實(shí)現(xiàn)對儲(chǔ)存罐中的酸性液體的排放，并且可以有效的防止出現(xiàn)酸性液體排放時(shí)排氣管道內(nèi)的負(fù)壓把酸性液體吸進(jìn)排氣管道的風(fēng)險(xiǎn)；所述回流管的內(nèi)徑大于所述彎管的內(nèi)徑，所述回流管的軸線穿過所述彎管管口的中心點(diǎn)，以使彎管管口與回流管管口在安裝時(shí)留有高度差，以儲(chǔ)存回流液體，并防止酸性液體回流到彎管內(nèi)。
[0016]優(yōu)選地，所述第一閥門、所述儲(chǔ)存罐和所述第二閥門同軸線，所述軸線垂直于水平面方向。
[0017]優(yōu)選地，還包括一段補(bǔ)充空氣管和一個(gè)單向閥，所述補(bǔ)充空氣管的一端連接在所述排氣管道的靠近與三通管的連接入口處，所述補(bǔ)充空氣管的另一端與所述單向閥的出風(fēng)口端連接。
[0018]優(yōu)選地，所述補(bǔ)充空氣管軸線與垂直的所述排氣管道軸線呈30?80度的夾角設(shè)置，且所述補(bǔ)充空氣管的出口朝向所述排氣管道的上方設(shè)置。
[0019]此處設(shè)計(jì)的目的在于，補(bǔ)充空氣管向排氣管道內(nèi)吹入冷空氣，對尾氣進(jìn)行冷卻，以有效地使尾氣中的水汽和酸性氣體液化并回流至所述儲(chǔ)存罐中。
[0020]從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型一種排氣管道氣液分離裝置，其通過彎管的一端與真空泵的出口相連，彎管的另一端連接一個(gè)三通，三通的上方連接尾氣的排放管道，三通的下方依次連接有第一閥門、儲(chǔ)存罐和第二閥門；其中彎管可實(shí)現(xiàn)尾氣的順暢流動(dòng)，儲(chǔ)存罐采用透明耐腐蝕的聚氯乙烯(PVC)等材料制作，以對酸性液體進(jìn)行儲(chǔ)存并方便觀察酸性液體的液位，第一閥門打開并且第二閥門關(guān)閉，可實(shí)現(xiàn)對尾氣中的酸性液體的收集，第一閥門關(guān)閉并且第二閥門打開，可實(shí)現(xiàn)對儲(chǔ)存罐中的酸性液體的排放；該排氣管道氣液分離裝置能方便簡捷的實(shí)現(xiàn)尾氣中殘留酸性液體的收集和排放，避免酸性液體對管道的腐蝕和對環(huán)境的污染。
[0021]以下將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的構(gòu)思、具體流程及產(chǎn)生的技術(shù)效果作進(jìn)一步說明，以充分地了解本實(shí)用新型的目的、特征和效果。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1為原真空泵和排氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2為本實(shí)用新型的氣液分離裝置連接在原真空泵和排氣管道上的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖中，I為真空泵，2為排氣管道，3為彎管，4為回流管，5為補(bǔ)充空氣管，6為三通，7為法蘭，8為第一閥門，9為儲(chǔ)存罐，10為第二閥門，11為單向閥。

【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖2，對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0026]需要說明的是，在下述實(shí)施例中，以處理半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的尾氣為例進(jìn)行說明。
[0027]請參閱圖2，圖2為本實(shí)用新型的氣液分離裝置連接在原真空泵和排氣管道上的結(jié)構(gòu)示意圖；其說明了一種排氣管道氣液分離裝置，所述分離裝置連接在真空泵I的出口與排氣管道2的入口之間，所述分離裝置包括彎管3、三通6、法蘭7、第一閥門8、儲(chǔ)存罐9和第二閥門10 ;所述彎管3的一端與所述真空泵I的出口相連，所述彎管3的另一端連接所述三通6的水平接口，所述三通6的上方連接所述排放管道，所述三通6的下方連接所述法蘭7，所述法蘭7下方依次連接所述第一閥門8、所述儲(chǔ)存罐9和所述第二閥門10 ;在實(shí)施例中，所述第一閥門8、所述儲(chǔ)存罐9和所述第二閥門10的材質(zhì)為透明耐腐蝕的聚氯乙烯(PVC)材質(zhì)；所述三通6和所述法蘭7的材質(zhì)為不銹鋼的材質(zhì)；在實(shí)施例中，所述法蘭7、所述第一閥門8、所述儲(chǔ)存罐9和所述第二閥門10同軸線，所述軸線垂直于水平面方向；所述儲(chǔ)存罐9內(nèi)腔的上部為圓柱形結(jié)構(gòu)，下部為錐形結(jié)構(gòu)，所述錐形結(jié)構(gòu)的小直徑一端與第二閥門10的入口連接。
[0028]彎管3可實(shí)現(xiàn)尾氣的順暢流動(dòng)，儲(chǔ)存罐9采用透明耐腐蝕的聚氯乙烯(PVC)材料制作，以對酸性液體進(jìn)行儲(chǔ)存并方便觀察酸性液體的液位，排放尾氣時(shí)，第一閥門8打開并且第二閥門10關(guān)閉，可實(shí)現(xiàn)對尾氣中的酸性液體的收集；而當(dāng)?shù)谝婚y門8關(guān)閉并且第二閥門10打開時(shí)，可實(shí)現(xiàn)對儲(chǔ)存罐9中的酸性液體的排放，并且可以有效的防止出現(xiàn)酸性液體排放時(shí)排氣管道2內(nèi)的負(fù)壓把酸性液體吸進(jìn)排氣管道2的風(fēng)險(xiǎn)；所述儲(chǔ)存罐9內(nèi)腔的上部為圓柱形結(jié)構(gòu)，下部為錐形結(jié)構(gòu)，所述錐形結(jié)構(gòu)的小直徑一端與第二閥門10的入口連接，以起到導(dǎo)流作用，并提高儲(chǔ)存罐9儲(chǔ)存酸性液體的能力。
[0029]在實(shí)施例中，還包括一段回流管4、一段補(bǔ)充空氣管5和一個(gè)單向閥11，所述回流管4連接在所述彎管3與所述三通6之間，所述回流管4的內(nèi)徑大于所述彎管3的內(nèi)徑，所述回流管4的軸線穿過所述彎管3管口的中心點(diǎn)，以使彎管3管口與回流管4管口在安裝時(shí)留有高度差，以儲(chǔ)存回流液體；所述補(bǔ)充空氣管5的一端連接于所述三通6上方的所述排氣管道2的入口處，避免補(bǔ)充空氣吹向彎管，所述補(bǔ)充空氣管5的另一端與所述單向閥11的出風(fēng)口端連接；所述補(bǔ)充空氣管5軸線與垂直的所述排氣管道2軸線呈30度的夾角設(shè)置，且所述補(bǔ)充空氣管5的出口朝向所述排氣管道2的上方設(shè)置。
[0030]所述回流管4的內(nèi)徑大于所述彎管3的內(nèi)徑，所述回流管4的軸線穿過所述彎管3管口的中心點(diǎn)，以使彎管3管口與回流管4管口在安裝時(shí)留有高度差，以儲(chǔ)存回流液體，并防止酸性液體回流到彎管3內(nèi)；補(bǔ)充空氣管5向排氣管道2內(nèi)吹入冷空氣，對尾氣進(jìn)行冷卻，以有效地使尾氣中的水汽和酸性氣體液化并回流至所述儲(chǔ)存罐9中。
[0031]在另一實(shí)施例中，所述第一閥門8和所述第二閥門10為電磁自動(dòng)控制閥，所述儲(chǔ)存罐9設(shè)置有電容式液位計(jì)，所述第二閥門10的出口連接有排液管道，所述排液管道連接有酸性液體回收裝置；通過電容式液位計(jì)對儲(chǔ)存罐9內(nèi)的液位進(jìn)行檢測，并通過控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)對所述第一閥門8和所述第二閥門10的自動(dòng)控制以達(dá)到自動(dòng)排放酸液的目的。
[0032]從上述實(shí)施方案可以看出，本實(shí)用新型一種排氣管道氣液分離裝置，其通過彎管3的一端與真空泵I的出口相連，彎管3的另一端連接一個(gè)三通6，三通6的上方連接尾氣的排放管道，三通6的下方連接一個(gè)法蘭7，法蘭7下方依次連接有第一閥門8、儲(chǔ)存罐9和第二閥門10 ;其中彎管3可實(shí)現(xiàn)尾氣的順暢流動(dòng)，儲(chǔ)存罐9采用透明耐腐蝕的聚氯乙烯(PVC)材料制作，以對酸性液體進(jìn)行儲(chǔ)存并方便觀察酸性液體的液位，第一閥門8打開并且第二閥門10關(guān)閉，可實(shí)現(xiàn)對尾氣中的酸性液體的收集；第一閥門8關(guān)閉并且第二閥門10打開，可實(shí)現(xiàn)對儲(chǔ)存罐9中的酸性液體的排放；該排氣管道2氣液分離裝置能方便簡捷的實(shí)現(xiàn)尾氣中殘留酸性液體的收集和排放，避免酸性液體對管道的腐蝕和對環(huán)境的污染。
[0033]以上所述的僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本實(shí)用新型的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種排氣管道氣液分離裝置，所述排氣管道連接用于排出生產(chǎn)設(shè)備中尾氣的抽氣裝置，其特征在于，所述氣液分離裝置設(shè)于所述抽氣裝置與所述排氣管道之間，包括依次向下連接的第一閥門、儲(chǔ)液罐和第二閥門，所述第一閥門通過一個(gè)三通管分別連接所述排氣管道及所述抽氣裝置，所述排氣管道與所述第一閥門的連接段為可使冷凝尾氣降落的上升管段，所述排氣管道保持在與外界隔離的條件下排出生產(chǎn)設(shè)備中的尾氣。
2.如權(quán)利要求1所述的排氣管道氣液分離裝置，其特征在于，所述儲(chǔ)液罐設(shè)有液位指示單元。
3.如權(quán)利要求2所述的排氣管道氣液分離裝置，其特征在于，所述液位指示單元是所述儲(chǔ)液罐罐壁的透明觀察窗口。
4.如權(quán)利要求2所述的排氣管道氣液分離裝置，其特征在于，所述液位指示單元是所述儲(chǔ)液罐設(shè)有的電容式液位計(jì)。
5.如權(quán)利要求1所述的排氣管道氣液分離裝置，其特征在于，還包括一段彎管，所述彎管的一端與所述抽氣裝置的出口相連，所述彎管的另一端連接所述三通的水平連接口。
6.如權(quán)利要求5所述的排氣管道氣液分離裝置，其特征在于，還包括一段回流管，所述回流管連接在所述彎管與所述三通之間，所述回流管的內(nèi)徑大于所述彎管的內(nèi)徑，所述回流管水平布置，所述回流管的軸線穿過所述彎管管口的中心點(diǎn)。
7.如權(quán)利要求1所述的排氣管道氣液分離裝置，其特征在于，所述第一閥門、所述儲(chǔ)存罐和所述第二閥門同軸線，所述軸線垂直于水平面方向。
8.如權(quán)利要求1所述的排氣管道氣液分離裝置，其特征在于，還包括一段補(bǔ)充空氣管和一個(gè)單向閥，所述補(bǔ)充空氣管的一端連接在所述排氣管道的靠近與三通管的連接入口處，所述補(bǔ)充空氣管的另一端與所述單向閥的出風(fēng)口端連接。
9.如權(quán)利要求8所述的排氣管道氣液分離裝置，其特征在于，所述補(bǔ)充空氣管軸線與垂直的所述排氣管道軸線呈30?80度的夾角設(shè)置，且所述補(bǔ)充空氣管的出口朝向所述排氣管道的上方設(shè)置。
【文檔編號(hào)】B01D53/00GK203990236SQ201420471467
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年8月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月20日
【發(fā)明者】季高明, 呂煜坤, 朱駿, 張旭升 申請人:上海華力微電子有限公司