專利名稱：廢氣處理反應(yīng)爐的進(jìn)氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型有關(guān)一種進(jìn)氣裝置，旨在提供一種尤適用于廢氣處理反應(yīng)爐的進(jìn)氣裝置。
背景技術(shù)：
按，在半導(dǎo)體制程中所排出的廢氣(gas)中，因?yàn)楹形捶磻?yīng)的SiH2Cl2、SiHCl3、 Si2H6, TEOS(四乙氧基硅炕，tetraethoxysilane)等對(duì)人體或環(huán)境有害的Si化合物，以及 SiH4、PH3、B2H6等具有可燃性、爆炸性的氫化物。故必需利用大量氮?dú)庥枰韵♂?，使該排氣?度在爆炸下限以下，以及使用半導(dǎo)體排氣處理裝置，至少將有毒氣體的濃度降低至容許值 以下。就半導(dǎo)體排氣的處理方法而言，目前大致分為濕式法、吸附法、加熱分解法及燃燒 法等4種方法；其中，加熱分解法尤其在反應(yīng)爐內(nèi)配設(shè)棒狀的電熱加熱器，藉由該加熱器所 發(fā)出的高熱，將半導(dǎo)體排氣導(dǎo)入形成在反應(yīng)爐內(nèi)的加熱區(qū)域，且將該氣體進(jìn)行熱分解的電 熱加熱分解法極為符合作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)的需求，而在多數(shù)現(xiàn)場(chǎng)予以采用。再者，加熱分解法的于進(jìn)行熱分解的過(guò)程中，必須提供反應(yīng)爐內(nèi)部足夠的空氣供 該處理氣體進(jìn)行熱分解，傳統(tǒng)的作法利用送風(fēng)機(jī)持續(xù)輸入反應(yīng)爐中；惟，當(dāng)反應(yīng)爐停機(jī)時(shí)， 其進(jìn)氣系統(tǒng)亦隨的停止對(duì)反應(yīng)爐供應(yīng)空氣，而無(wú)法讓積存于反應(yīng)爐內(nèi)部的排氣完成分解反 應(yīng)，故仍有造成環(huán)境污染的疑慮。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種送風(fēng)機(jī)故障的狀態(tài)下或維修的狀態(tài) 下，仍然可持續(xù)對(duì)反應(yīng)爐內(nèi)部提供空氣，以供積存于反應(yīng)爐內(nèi)部的排氣繼續(xù)完成分解反應(yīng) 的進(jìn)氣裝置。本實(shí)用新型的技術(shù)方案為一種廢氣處理反應(yīng)爐的進(jìn)氣裝置，包括有至少一對(duì) 反應(yīng)爐內(nèi)部提供干凈壓縮干空氣的送風(fēng)機(jī)，透過(guò)管路與反應(yīng)爐連接，并與反應(yīng)爐所屬的供 電系統(tǒng)電性連接；至少一 CDA空氣壓縮機(jī)，透過(guò)管路與反應(yīng)爐連接；至少一偵測(cè)系統(tǒng)，設(shè)于 各送風(fēng)機(jī)與該反應(yīng)爐所屬的供電系統(tǒng)之間，用以構(gòu)成各送風(fēng)機(jī)與該反應(yīng)爐所屬的供電系統(tǒng) 的電性連接；以及當(dāng)該反應(yīng)爐所屬的送風(fēng)機(jī)停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，由該至少一 CDA空氣壓縮機(jī)提供 反應(yīng)爐所需的進(jìn)氣裝置。其中，各CDA空氣壓縮機(jī)與反應(yīng)爐之間的管路處設(shè)有調(diào)壓閥。各送風(fēng)機(jī)機(jī)與反應(yīng)爐之間的管路處設(shè)有調(diào)壓閥。該其中各CDA空氣壓縮機(jī)與反應(yīng)爐之間的管路處，以及送風(fēng)機(jī)機(jī)與反應(yīng)爐之間的 管路處設(shè)有調(diào)壓閥。本實(shí)用新型的有益效果為廢氣處理反應(yīng)爐的進(jìn)氣裝置包括有至少一送風(fēng)機(jī)、至 少一 CDA空氣壓縮機(jī)；其中，各送風(fēng)機(jī)及各CDA空氣壓縮機(jī)透過(guò)管路與反應(yīng)爐連接，各送風(fēng) 機(jī)與反應(yīng)爐所屬的供電系統(tǒng)電性連接，各CDA空氣壓縮機(jī)則透過(guò)偵測(cè)系統(tǒng)與不斷電系統(tǒng)或發(fā)電機(jī)與反應(yīng)爐所屬的供電系統(tǒng)電性連接。據(jù)以，當(dāng)供電系統(tǒng)因?yàn)殡娏χ袛嗷蛩惋L(fēng)機(jī)故障及其它因素而停止供電時(shí)，各CDA 空氣壓縮機(jī)可利用偵測(cè)系統(tǒng)連結(jié)至另一供電系統(tǒng)所提供的電力運(yùn)轉(zhuǎn)，以持續(xù)對(duì)反應(yīng)爐內(nèi)部 提供空氣，供積存于反應(yīng)爐內(nèi)部的排氣繼續(xù)完成分解反應(yīng)，降低可能對(duì)環(huán)境造成污染的疑
慮 ο

圖1為本實(shí)用新型進(jìn)氣裝置的基本組成架構(gòu)示意圖。圖號(hào)說(shuō)明10CDA空氣壓縮機(jī)20送風(fēng)機(jī)30偵測(cè)系統(tǒng)40管路41調(diào)壓閥50反應(yīng)爐
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的特點(diǎn)，可參閱本案圖式及實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明而獲得清楚地了解。如圖1所示，本實(shí)用新型廢氣處理反應(yīng)爐的進(jìn)氣裝置，包括有至少一送風(fēng)機(jī)20、 至少一 CDA空氣壓縮機(jī)10，以及至少一偵測(cè)系統(tǒng)30 ；其中各送風(fēng)機(jī)20透過(guò)管路40與反應(yīng)爐50連接，于各送風(fēng)機(jī)20與反應(yīng)爐50之間的管 路40處設(shè)有調(diào)壓閥41供調(diào)整進(jìn)入反應(yīng)爐50的空氣流量，各送風(fēng)機(jī)20并與反應(yīng)爐50所屬 的供電系統(tǒng)(圖略)電性連接，使當(dāng)反應(yīng)爐50運(yùn)作時(shí)，可對(duì)反應(yīng)爐內(nèi)部提供干凈的壓縮干 空氣(Compress Dry Air, CDA)供該反應(yīng)爐50內(nèi)部的處理氣體進(jìn)行熱分解。各送風(fēng)機(jī)20透過(guò)管路40與反應(yīng)爐50連接，于各送風(fēng)機(jī)20與反應(yīng)爐50之間的管 路40處設(shè)有調(diào)壓閥41供調(diào)整進(jìn)入反應(yīng)爐50的空氣流量。至于，該至少一偵測(cè)系統(tǒng)30設(shè)于各CDA空氣壓縮機(jī)10與該反應(yīng)爐50所屬的供 電系統(tǒng)(圖略)之間，用以構(gòu)成各CDA空氣壓縮機(jī)10與該反應(yīng)爐50所屬的供電系統(tǒng)(圖 略)的電性連接，以及當(dāng)該反應(yīng)爐50所屬的供電系統(tǒng)因?yàn)殡娏χ袛嗷蛩惋L(fēng)機(jī)故障而停止運(yùn) 轉(zhuǎn)時(shí)，可由該至少一偵測(cè)系統(tǒng)30啟動(dòng)另一供電系統(tǒng)提供各CDA空氣壓縮機(jī)10運(yùn)轉(zhuǎn)所需的 電力。據(jù)以，當(dāng)反應(yīng)爐50啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，即由各送風(fēng)機(jī)20對(duì)該反應(yīng)爐50內(nèi)部提供干凈的 壓縮干空氣(Compress Dry Air, CDA)供該反應(yīng)爐50內(nèi)部的處理氣體進(jìn)行熱分解。尤其，當(dāng)該反應(yīng)爐50所屬的供電系統(tǒng)因?yàn)殡娏χ袛嗷蛩惋L(fēng)機(jī)故障而停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)， 偵測(cè)系統(tǒng)30偵測(cè)異常狀態(tài)進(jìn)而啟動(dòng)另一供電系統(tǒng)提供各CDA空氣壓縮機(jī)10各CDA空氣壓 縮機(jī)10即運(yùn)轉(zhuǎn)，以持續(xù)對(duì)該反應(yīng)爐50內(nèi)部提供空氣，供積存于反應(yīng)爐50內(nèi)部的排氣繼續(xù) 完成分解反應(yīng)，降低可能對(duì)環(huán)境造成污染的疑慮。
權(quán)利要求一種廢氣處理反應(yīng)爐的進(jìn)氣裝置，其特征在于，包括有至少一對(duì)反應(yīng)爐內(nèi)部提供干凈壓縮干空氣的送風(fēng)機(jī)，透過(guò)管路與反應(yīng)爐連接，并與反應(yīng)爐所屬的供電系統(tǒng)電性連接；至少一CDA空氣壓縮機(jī)，透過(guò)管路與反應(yīng)爐連接；至少一偵測(cè)系統(tǒng)，設(shè)于各送風(fēng)機(jī)與該反應(yīng)爐所屬的供電系統(tǒng)之間，用以構(gòu)成各送風(fēng)機(jī)與該反應(yīng)爐所屬的供電系統(tǒng)的電性連接。
2.如權(quán)利要求1所述廢氣處理反應(yīng)爐的進(jìn)氣裝置，其特征在于，各CDA空氣壓縮機(jī)與反 應(yīng)爐之間的管路處設(shè)有調(diào)壓閥。
3.如權(quán)利要求1所述廢氣處理反應(yīng)爐的進(jìn)氣裝置，其特征在于，各送風(fēng)機(jī)機(jī)與反應(yīng)爐 之間的管路處設(shè)有調(diào)壓閥。
4.如權(quán)利要求1所述廢氣處理反應(yīng)爐的進(jìn)氣裝置，其特征在于，該其中各CDA空氣壓縮 機(jī)與反應(yīng)爐之間的管路處，以及送風(fēng)機(jī)機(jī)與反應(yīng)爐之間的管路處設(shè)有調(diào)壓閥。
專利摘要本實(shí)用新型廢氣處理反應(yīng)爐的進(jìn)氣裝置包括有至少一送風(fēng)機(jī)、至少一CDA空氣壓縮機(jī)；其中，各送風(fēng)機(jī)與反應(yīng)爐所屬的供電系統(tǒng)電性連接。而當(dāng)送風(fēng)機(jī)故障或其它因素而停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，CDA空氣壓縮機(jī)仍可繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，以持續(xù)對(duì)反應(yīng)爐內(nèi)部提供空氣，供積存于反應(yīng)爐內(nèi)部的排氣繼續(xù)完成分解反應(yīng)，降低可能對(duì)環(huán)境造成污染的疑慮。
文檔編號(hào)B01J4/00GK201658969SQ200920350378
公開(kāi)日2010年12月1日 申請(qǐng)日期2009年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月25日
發(fā)明者田少郎 申請(qǐng)人:華宣科技股份有限公司