專利名稱：洗滌塔進(jìn)氣結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工業(yè)中的排氣系統(tǒng)(Exhaust System),特別是涉及 洗滌塔(Scrubber)的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)。
M狄
在半導(dǎo)體制造過程中，所使用機(jī)臺(tái)的種類相當(dāng)繁多，各種排放物質(zhì)的種類 更是不勝枚舉，其中不乏對(duì)環(huán)境產(chǎn)生污染，甚至對(duì)人體具有危害的物質(zhì)。因此， 排氣系統(tǒng)(Exhaust System)雖非半導(dǎo)體制造生產(chǎn)設(shè)備，但卻是在生產(chǎn)區(qū)域營(yíng)造 一個(gè)安全環(huán)境所必不可少的設(shè)備。其中用以處理有毒氣體或酸、堿性氣體的洗 滌塔的正常運(yùn)轉(zhuǎn)對(duì)于晶片生產(chǎn)品質(zhì)以及操作人員的工作環(huán)境更是起著十分重要 的作用。
具體請(qǐng)參考圖1,其示出了排氣系統(tǒng)中現(xiàn)有的洗滌塔的結(jié)構(gòu)。如圖所示，在 真空泵10的作用下，廢氣經(jīng)過通道20進(jìn)入到洗滌塔30內(nèi)，通常洗滌塔30內(nèi) 設(shè)計(jì)有進(jìn)氣結(jié)構(gòu)31，以控制廢氣進(jìn)入反應(yīng)室33內(nèi)，以在其內(nèi)實(shí)現(xiàn)對(duì)廢氣的處理。 進(jìn)氣結(jié)構(gòu)31包括進(jìn)氣閥311以及旁路閥312，其中進(jìn)氣閥311控制廢氣至反應(yīng) 室33這條支路，而旁路閥312控制廢氣至其他洗滌塔的支路，以便于預(yù)防保養(yǎng) (PM)。現(xiàn)有的進(jìn)氣閥311與旁路閥312為常閉閥，其在壓縮干燥空氣的控制下 實(shí)現(xiàn)開啟，而壓縮干燥空氣通常由電磁閥(solenoidvalve)313和314加以控制。 即當(dāng)電磁閥313開啟，壓縮干燥空氣進(jìn)入進(jìn)氣閥311，從而進(jìn)氣閥311由常閉狀 態(tài)進(jìn)入開啟狀態(tài)，廢氣^_可進(jìn)入反應(yīng)室33內(nèi)；同樣，在完成廢氣處理后，需對(duì) 設(shè)備進(jìn)行預(yù)防保養(yǎng)，此時(shí)，開啟電磁閥314，壓縮干燥空氣便進(jìn)入旁路閥312, 從而旁路閥312由常閉狀態(tài)進(jìn)入開啟狀態(tài)，廢氣便可iiX其他洗滌塔內(nèi)。然而 這種進(jìn)氣結(jié)構(gòu)31在系統(tǒng)發(fā)生故障時(shí)，極易導(dǎo)致真空泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)，廢氣回流，造 成對(duì)晶片的污染，導(dǎo)致晶片報(bào)廢。例如，在實(shí)際操作中，遇到電磁閥313失靈， 此對(duì)進(jìn)氣閥311無法實(shí)現(xiàn)開啟，而旁路閥312又處于關(guān)閉狀態(tài)，于是整個(gè)氣體通路受阻，真空泵IO過載而停止運(yùn)轉(zhuǎn)。此時(shí)，廢氣極易回流而造成晶片污染， 導(dǎo)致晶片報(bào)廢，如未能及早發(fā)現(xiàn)，損失將十分嚴(yán)重。在操作中，就曾出現(xiàn)過150 片晶圓報(bào)廢的結(jié)果。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型.
關(guān)閉狀態(tài)，而導(dǎo)致真空泵過載而停止運(yùn)轉(zhuǎn)的情況出現(xiàn)，進(jìn)而降低廢氣回流的可 能性，減少由此造成的晶片損失。
為此，本實(shí)用新型提供一種洗滌塔進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，包括進(jìn)氣閥和旁路閥，其中 進(jìn)氣閥控制廢氣至洗滌塔反應(yīng)室的支路，旁路岡控制廢氣至其他洗滌塔的支路， 其中所述進(jìn)氣閥為常開閥，且所述旁路閥為常閉閥。
進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣閥與旁路閥的狀態(tài)改變受控于同一電》茲閥。
進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣閥與旁路閥為氣動(dòng)閥，且狀態(tài)改變受控于同一路干燥 壓縮空氣，且所述干燥壓縮空氣受控于所述電^f茲閥。
本實(shí)用新型另提供一種洗滌塔進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，包括進(jìn)氣閥和旁路閥，其中進(jìn)氣 閥控制廢氣至洗滌塔反應(yīng)室的支路，旁路閥控制廢氣至其他洗滌塔的支路，其 中所述進(jìn)氣閥為常閉閥，且所述旁路閥為常開閥。
進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣閥與旁路閥的狀態(tài)改變受控于同一電磁閥。
進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣閥與旁路閥為氣動(dòng)閥，且狀態(tài)改變受控于同一路干燥 壓縮空氣，且所述干燥壓縮空氣受控于所述電^f茲閥。
可見，以上所提供的洗滌塔進(jìn)氣結(jié)構(gòu)中，進(jìn)氣閥和旁路閥為通常狀態(tài)相反 的兩種閥，從而減小了兩者同時(shí)關(guān)閉的可能性。進(jìn)一步利用同一電磁閥控制進(jìn) 氣閥和旁路閥的狀態(tài)改變，可以保證兩者中總有一個(gè)是處于開啟狀態(tài)。因此采 用這種設(shè)計(jì)，可以在出現(xiàn)意外事件時(shí)(例如干燥壓縮空氣消失、電磁閥失靈或 系統(tǒng)異常關(guān)閉)極大的減少真空泵過載而停止運(yùn)轉(zhuǎn)的可能性，進(jìn)而避免廢氣回 流所造成的損失。


圖1為排氣系統(tǒng)中現(xiàn)有洗滌塔的結(jié)構(gòu)框圖;圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例所提供的洗滌塔的結(jié)構(gòu)框圖； 圖3為本實(shí)用新型另一實(shí)施例所提供的洗滌^^的結(jié)構(gòu)框圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的技術(shù)特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖與實(shí)施例，對(duì)本實(shí) 用新型做進(jìn)一步的描述。
在背景技術(shù)中已經(jīng)提及，現(xiàn)有的洗滌塔進(jìn)氣結(jié)構(gòu)中，進(jìn)氣閥與旁路閥均為 常閉狀態(tài)，且分別受控于各自的電磁閥，故只要其中一個(gè)電磁閥出現(xiàn)故障，就 會(huì)極大的增加進(jìn)氣閥與旁路閥同時(shí)關(guān)閉的狀況出現(xiàn)。于是，在以下實(shí)施例中， 利用通常狀態(tài)相反的兩種閥來實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣閥與旁路閥的設(shè)計(jì)，這樣即使控制進(jìn)氣 閥與旁路閥的電磁閥出現(xiàn)故障，也會(huì)有一個(gè)閥處于開啟狀態(tài)，從而避免了真空
泵過載的情況出現(xiàn)。
具體請(qǐng)參考圖2，其為本實(shí)用新型一實(shí)施例所提供的洗滌塔的結(jié)構(gòu)框圖。如 圖所示，在真空泵10的作用下，廢氣經(jīng)過通道20進(jìn)入到洗滌塔30，內(nèi)，通常洗 滌塔30，內(nèi)設(shè)計(jì)有進(jìn)氣結(jié)構(gòu)31，，以控制廢氣進(jìn)入反應(yīng)室33內(nèi)，以在其內(nèi)實(shí)現(xiàn)對(duì) 廢氣的處理。而所述進(jìn)氣結(jié)構(gòu)包括進(jìn)氣閥311，和旁路閥312，，其中進(jìn)氣閥311， 控制廢氣至洗滌塔反應(yīng)室33的支路，旁路閥312，控制廢氣至其他洗滌塔的支路， 且進(jìn)氣閥311，為常開閥，旁路閥312，為常閉閥。通常進(jìn)氣閥311，與旁路閥312， 的狀態(tài)改變受控于同一電磁閥313，，例如，進(jìn)氣閥311，與旁路閥312，均為氣動(dòng) 閥，且狀態(tài)改變受控于同一路干燥壓縮空氣，且該干燥壓縮空氣受控于電磁閥 313，。其于使用時(shí)的情況如下
由于進(jìn)氣閥311，為常開閥，在無需先利用電磁閥313，控制其開啟的情況下， 廢氣流經(jīng)進(jìn)氣閥311，進(jìn)入反應(yīng)室33并于其內(nèi)實(shí)現(xiàn)廢氣處理。在完成廢氣處理后， 需對(duì)設(shè)備進(jìn)行預(yù)防保養(yǎng)，此時(shí)，電磁閥314控制產(chǎn)生壓縮干燥空氣，其同時(shí)控 制進(jìn)氣閥311，與旁路閥312，，由于進(jìn)氣閥311，與旁路閥312，分別為常開閥和常
閉閥，故在同一壓縮干燥空氣的作用下，進(jìn)氣閥變3lr為關(guān)閉狀態(tài)，而旁路閥
312，由常閉狀態(tài)進(jìn)入開啟狀態(tài)，廢氣便可進(jìn)入其他洗滌塔內(nèi)?？梢?，在同一電磁 閥314的作用下，進(jìn)氣閥311，與旁路閥312，中總有一個(gè)處于開啟狀態(tài)，從而不 會(huì)出現(xiàn)真空泵過載而停止運(yùn)轉(zhuǎn)的情況。
5進(jìn)一步參考圖3,其為本實(shí)用新型另一實(shí)施例所提供的洗滌塔的結(jié)構(gòu)框圖。 如圖，當(dāng)進(jìn)氣閥311，為常閉閥，且旁路閥312，為常開閥時(shí)，同樣可以保證其中 一個(gè)處于開啟狀態(tài)。此外，進(jìn)氣閥311，與旁路閥312，的狀態(tài)改變可以受控于同 一電磁閥313'，例如，進(jìn)氣閥311，與旁路閥312，均為氣動(dòng)閥，且狀態(tài)改變受控 于同一路干燥壓縮空氣，且該干燥壓縮空氣受控于電^ 茲閥313，。具體如下
由于進(jìn)氣閥311，為常閉閥，需先利用電磁閥313，控制其開啟后，廢氣才可 流經(jīng)進(jìn)氣閥311，進(jìn)入反應(yīng)室33內(nèi)，并于其內(nèi)實(shí)現(xiàn)廢氣處理。此時(shí)，若電磁閥313， 故障，雖然廢氣無法進(jìn)入反應(yīng)室33內(nèi)，但是旁路閥312，為常開閥，從而處于開 啟狀態(tài)，故而不會(huì)出現(xiàn)真空泵過載而停止運(yùn)轉(zhuǎn)的情況。當(dāng)然，如果不出現(xiàn)以上 故障，電磁閥313，便可控制進(jìn)氣閥311，開啟的同時(shí)，控制旁路閥312，關(guān)閉，從 而使得廢氣流經(jīng)進(jìn)氣閥311，進(jìn)入反應(yīng)室33內(nèi)實(shí)現(xiàn)廢氣處理。在完成廢氣處理后， 電磁閥314控制進(jìn)氣閥311，關(guān)閉，同時(shí)控制旁路閥312，開啟，同樣，即使此時(shí) 電磁閥313，故障，進(jìn)氣閥311，已是開啟狀態(tài)，仍然不會(huì)出現(xiàn)真空泵過載而停止 運(yùn)轉(zhuǎn)的情況。
可見，在同一電磁閥313，的作用下，通常狀態(tài)相反的進(jìn)氣閥311，與旁路閥 312，中，總有一個(gè)處于開啟狀態(tài)，進(jìn)而大大避免了真空泵過載而停止運(yùn)轉(zhuǎn)的情況。
綜上所述，釆用以上設(shè)計(jì)的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，可以在干燥壓縮空氣消失、電磁閥 失靈或系統(tǒng)異常關(guān)閉等意外事件出現(xiàn)時(shí)，極大的減少真空泵過載而停止運(yùn)轉(zhuǎn)的 可能性，進(jìn)而避免廢氣回流所造成的損失。
以上僅為舉例，并非用以限定本實(shí)用新型，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以 權(quán)利要求書所涵蓋的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種洗滌塔進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，包括進(jìn)氣閥和旁路閥，其中進(jìn)氣閥控制廢氣至洗滌塔反應(yīng)室的支路，旁路閥控制廢氣至其他洗滌塔的支路，其特征是，所述進(jìn)氣閥為常開閥，且所述旁路閥為常閉閥。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的洗滌塔進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征是，其中所述進(jìn)氣閥與 旁路閥的狀態(tài)改變受控于同一電磁閥。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的洗滌塔進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征是，其中所述進(jìn)氣閥與 旁路閥為氣動(dòng)閥，且狀態(tài)改變受控于同一路干燥壓縮空氣，且所述千燥壓縮空 氣受控于所述電^茲閥。
4. 一種洗滌塔進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，包括進(jìn)氣閥和旁路閥，其中進(jìn)氣閥控制廢氣至洗 滌塔反應(yīng)室的支路，旁路閥控制廢氣至其他洗滌塔的支路，其特征是，所述進(jìn) 氣閥為常閉閥，且所述旁路閥為常開閥。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的洗滌塔進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征是，其中所述進(jìn)氣閥與 旁路閥的狀態(tài)改變受控于同 一 電磁閥。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的洗滌塔進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征是，其中所述進(jìn)氣閥與 旁路閥為氣動(dòng)閥，且狀態(tài)改變受控于同一路干燥壓縮空氣，且所述干燥壓縮空 氣受控于所述電》茲閥。
專利摘要本實(shí)用新型揭露了一種洗滌塔進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，包括進(jìn)氣閥和旁路閥，其中進(jìn)氣閥控制廢氣至洗滌塔反應(yīng)室的支路，旁路閥控制廢氣至其他洗滌塔的支路，且所述進(jìn)氣閥為常開閥，所述旁路閥為常閉閥(或者所述進(jìn)氣閥為常閉閥，所述旁路閥為常開閥)?？梢姡鋵⑦M(jìn)氣閥和旁路閥設(shè)計(jì)為通常狀態(tài)相反的兩種閥，從而減小兩者同時(shí)關(guān)閉的可能性。進(jìn)一步利用同一電磁閥控制進(jìn)氣閥和旁路閥的狀態(tài)改變，可以保證兩者中總有一個(gè)是處于開啟狀態(tài)。因此采用這種設(shè)計(jì)，可以在出現(xiàn)意外情況時(shí)極大的減少真空泵過載而停止運(yùn)轉(zhuǎn)的可能性，進(jìn)而避免廢氣回流所造成的損失。
文檔編號(hào)B01D53/78GK201320446SQ20082015535
公開日2009年10月7日 申請(qǐng)日期2008年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月13日
發(fā)明者張衛(wèi)民, 皓 徐, 施訓(xùn)志 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司