一種半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體烘箱裝置，尤其涉及一種半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在半導(dǎo)體生產(chǎn)時(shí)，需要對(duì)半導(dǎo)體半成品進(jìn)行干燥，半導(dǎo)體半成品在空氣中干燥極容易發(fā)生氧化，因此，工業(yè)生產(chǎn)時(shí)，在烘箱內(nèi)加入氮?dú)庖苑乐拱雽?dǎo)體半成品氧化，傳統(tǒng)烘箱氮?dú)膺M(jìn)氣量無(wú)法調(diào)節(jié)，且氮?dú)庠诤嫦鋬?nèi)分布不均勻，不能有效保護(hù)半導(dǎo)體半成品。鑒于上述缺陷，實(shí)有必要設(shè)計(jì)一種半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于:提供一種半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置，來(lái)解決傳統(tǒng)烘箱氮?dú)膺M(jìn)氣量無(wú)法調(diào)節(jié)，且氮?dú)庠诤嫦鋬?nèi)分布不均勻的問(wèn)題。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案是:
[0005]一種半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置，包括箱體、前門(mén)、支架、內(nèi)膽、進(jìn)氣接口、氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥、進(jìn)氣管、出氣接口、出氣管、風(fēng)機(jī)、托盤(pán)，所述的前門(mén)位于箱體前端，所述的前門(mén)與箱體鉸鏈相連，所述的支架位于箱體外壁底部，所述的支架與箱體焊接相連，所述的內(nèi)膽位于箱體內(nèi)部，所述的內(nèi)膽與箱體焊接相連，所述的進(jìn)氣接口位于箱體外壁底部中心，所述的進(jìn)氣接口與箱體焊接相連，所述的氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥位于進(jìn)氣接口下端，所述的氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥與進(jìn)氣接口螺紋相連，所述的進(jìn)氣管位于氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥下端，所述的進(jìn)氣管與氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥螺紋相連，所述的出氣接口位于內(nèi)膽外壁中心處，所述出氣接口與內(nèi)丹焊接相連，所述的出氣管位于出氣接口上端，所述的出氣管與出氣接口螺紋相連，所述的風(fēng)機(jī)位于出氣管末端，所述的風(fēng)機(jī)與出氣管螺紋相連，所述的托盤(pán)位于內(nèi)膽內(nèi)部，所述的托盤(pán)與內(nèi)膽滑動(dòng)相連。
[0006]本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)如下:
[0007]進(jìn)一步的，所述的內(nèi)膽內(nèi)壁左右兩側(cè)還設(shè)有氮?dú)獯等肟?，所述的氮?dú)獯等肟诪槿舾杉?，均布與內(nèi)膽內(nèi)壁，均勻分布在內(nèi)膽內(nèi)壁的氮?dú)獯等肟?，使得?nèi)膽內(nèi)部氮?dú)饩鶆蚍植肌?br>[0008]進(jìn)一步的，所述的托盤(pán)數(shù)量為若干件，所述的托盤(pán)數(shù)量?jī)?yōu)選為3件，均布與內(nèi)膽內(nèi)壁，所述托盤(pán)用于放置半導(dǎo)體。
[0009]進(jìn)一步的，所述的托盤(pán)還設(shè)有半導(dǎo)體放置槽，所述半導(dǎo)體放置槽貫穿托盤(pán)主體，所述半導(dǎo)體放置槽為若干件，均布于托盤(pán)表面，半導(dǎo)體放置在半導(dǎo)體放置槽中，氮?dú)饽軐雽?dǎo)體全部包裹，有效保護(hù)半導(dǎo)體。
[0010]進(jìn)一步的，所述的氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥還包括第一閥體、第二閥體、直線電機(jī)、絲杠、閥芯，所述的第二閥體位于第一閥體上端，所述的第二閥體與第一閥體螺紋相連，所述的直線電機(jī)位于第一閥體上端且位于第二閥體上端，所述的直線電機(jī)與第一閥體螺紋相連且與第二閥體螺紋相連，所述的絲杠貫穿直線電機(jī)，所述的絲杠與直線電機(jī)螺紋相連，所述的閥芯位于絲杠一端，所述的閥芯與絲杠緊配相連。
[0011]進(jìn)一步的，所述的第一閥體還設(shè)有凹槽，所述的第一閥體凹槽內(nèi)粘接密封圈，所述的密封圈有效密封閥芯與第一閥體接觸面。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，該半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置，工作時(shí)，直線電機(jī)通過(guò)絲杠帶動(dòng)閥芯做直線運(yùn)動(dòng)，使得氮?dú)馔ㄟ^(guò)氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥進(jìn)入內(nèi)膽與箱體之間的空腔內(nèi)，由于內(nèi)膽設(shè)置有氮?dú)獯等肟?，氮?dú)馔ㄟ^(guò)氮?dú)獯等肟走M(jìn)入內(nèi)膽內(nèi)部，同時(shí)風(fēng)機(jī)工作，使得氮?dú)庠趦?nèi)膽內(nèi)部由下而上經(jīng)過(guò)每個(gè)半導(dǎo)體后被排出箱體。該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，調(diào)節(jié)直線電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)角度可以調(diào)劑氮?dú)膺M(jìn)氣量，從而實(shí)現(xiàn)氮?dú)膺M(jìn)氣量調(diào)節(jié)，均勻分布在內(nèi)膽內(nèi)壁左右兩側(cè)的氮?dú)獯等肟资沟脙?nèi)膽內(nèi)氮?dú)饩鶆蚍植?，有效保護(hù)半導(dǎo)體，大大提高成品合格率，提高經(jīng)濟(jì)效益。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1示出本發(fā)明主視圖
[0014]圖2示出本發(fā)明箱體軸測(cè)圖
[0015]圖3示出本發(fā)明氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥爆炸圖
[0016]箱體I 前門(mén)2
[0017]支架3 內(nèi)膽4
[0018]進(jìn)氣接口 5 氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥6
[0019]進(jìn)氣管7 出氣接口8
[0020]出氣管9 風(fēng)機(jī)10
[0021]托盤(pán)11 氮?dú)獯等肟?01
[0022]半導(dǎo)體放置槽1101第一閥體601
[0023]第二閥體 602直線電機(jī)603
[0024]絲杠604 閥芯605
[0025]密封圈606
【具體實(shí)施方式】
[0026]如圖1、圖2、圖3所示，一種半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置，包括箱體1、前門(mén)2、支架3、內(nèi)膽4、進(jìn)氣接口 5、氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥6、進(jìn)氣管7、出氣接口 8、出氣管9、風(fēng)機(jī)10、托盤(pán)11，所述的前門(mén)2位于箱體I前端，所述的前門(mén)2與箱體I鉸鏈相連，所述的支架3位于箱體I外壁底部，所述的支架3與箱體I焊接相連，所述的內(nèi)膽4位于箱體I內(nèi)部，所述的內(nèi)膽4與箱體I焊接相連，所述的進(jìn)氣接口 5位于箱體I外壁底部中心，所述的進(jìn)氣接口 5與箱體I焊接相連，所述的氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥6位于進(jìn)氣接口 5下端，所述的氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥6與進(jìn)氣接口 5螺紋相連，所述的進(jìn)氣管7位于氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥6下端，所述的進(jìn)氣管7與氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥6螺紋相連，所述的出氣接口 8位于內(nèi)膽4外壁中心處，所述出氣接口 8與內(nèi)膽4焊接相連，所述的出氣管9位于出氣接口 8上端，所述的出氣管9與出氣接口 8螺紋相連，所述的風(fēng)機(jī)10位于出氣管末端，所述的風(fēng)機(jī)10與出氣管9螺紋相連，所述的托盤(pán)11位于內(nèi)膽4內(nèi)部，所述的托盤(pán)11與內(nèi)膽4滑動(dòng)相連，所述的內(nèi)膽4內(nèi)壁左右兩側(cè)還設(shè)有氮?dú)獯等肟?01，所述的氮?dú)獯等肟?01為若干件，均布與內(nèi)膽4內(nèi)壁，均勾分布在內(nèi)膽4內(nèi)壁的氮?dú)獯等肟?01，使得內(nèi)膽4內(nèi)部氮?dú)饩鶆蚍植?，所述的托盤(pán)11數(shù)量為若干件，所述的托盤(pán)11數(shù)量?jī)?yōu)選為3件，均布與內(nèi)膽4內(nèi)壁，所述托盤(pán)11用于放置半導(dǎo)體，所述的托盤(pán)11還設(shè)有半導(dǎo)體放置槽1101，所述半導(dǎo)體放置槽1101貫穿托盤(pán)主體，所述半導(dǎo)體放置槽1101為若干件，均布于托盤(pán)11表面，半導(dǎo)體放置在半導(dǎo)體放置槽1101中，氮?dú)饽軐雽?dǎo)體全部包裹，有效保護(hù)半導(dǎo)體，所述的氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥6還包括第一閥體601、第二閥體602、直線電機(jī)603、絲杠604、閥芯605，所述的第二閥體602位于第一閥體601上端，所述的第二閥體602與第一閥體601螺紋相連，所述的直線電機(jī)603位于第一閥體601上端且位于第二閥體602上端，所述的直線電機(jī)603與第一閥體601螺紋相連且與第二閥體602螺紋相連，所述的絲杠604貫穿直線電機(jī)603，所述的絲杠604與直線電機(jī)603螺紋相連，所述的閥芯605位于絲杠604 —端，所述的閥芯605與絲杠604緊配相連，所述的第一閥體601還設(shè)有凹槽，所述的第一閥體601凹槽內(nèi)粘接密封圈606，所述的密封圈606有效密封閥芯605與第一閥體601接觸面，該半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置，工作時(shí)，直線電機(jī)603通過(guò)絲杠604帶動(dòng)閥芯605做直線運(yùn)動(dòng)，使得氮?dú)馔ㄟ^(guò)氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥6進(jìn)入內(nèi)膽4與箱體I之間的空腔內(nèi)，由于內(nèi)膽4設(shè)置有氮?dú)獯等肟?01，氮?dú)馔ㄟ^(guò)氮?dú)獯等肟?01進(jìn)入內(nèi)膽4內(nèi)部，同時(shí)風(fēng)機(jī)10工作，使得氮?dú)庠趦?nèi)膽4內(nèi)部由下而上經(jīng)過(guò)每個(gè)半導(dǎo)體后被排出箱體I。該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，調(diào)節(jié)直線電機(jī)603轉(zhuǎn)動(dòng)角度可以調(diào)劑氮?dú)膺M(jìn)氣量，從而實(shí)現(xiàn)氮?dú)膺M(jìn)氣量調(diào)節(jié)，均勻分布在內(nèi)膽4內(nèi)壁左右兩側(cè)的氮?dú)獯等肟?01使得內(nèi)膽4內(nèi)氮?dú)饩鶆蚍植迹行ПＷo(hù)半導(dǎo)體，大大提高成品合格率，提高經(jīng)濟(jì)效益。
[0027]本發(fā)明不局限于上述具體的實(shí)施方式，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員從上述構(gòu)思出發(fā)，不經(jīng)過(guò)創(chuàng)造性的勞動(dòng)，所做出的種種變換，均落在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置，包括箱體、前門(mén)、支架，其特征在于還包括內(nèi)膽、進(jìn)氣接口、氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥、進(jìn)氣管、出氣接口、出氣管、引風(fēng)機(jī)、托盤(pán)，所述的前門(mén)位于箱體前端，所述的前門(mén)與箱體鉸鏈相連，所述的支架位于箱體外壁底部，所述的支架與箱體焊接相連，所述的內(nèi)膽位于箱體內(nèi)部，所述的內(nèi)膽與箱體焊接相連，所述的進(jìn)氣接口位于箱體外壁底部中心，所述的進(jìn)氣接口與箱體焊接相連，所述的氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥位于進(jìn)氣接口下端，所述的氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥與進(jìn)氣接口螺紋相連，所述的進(jìn)氣管位于氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥下端，所述的進(jìn)氣管與氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥螺紋相連，所述的出氣接口位于內(nèi)膽外壁中心處，所述出氣接口與內(nèi)膽焊接相連，所述的出氣管位于出氣接口上端，所述的出氣管與出氣接口螺紋相連，所述的引風(fēng)機(jī)位于出氣管末端，所述的引風(fēng)機(jī)與出氣管螺紋相連，所述的托盤(pán)位于內(nèi)膽內(nèi)部，所述的托盤(pán)與內(nèi)膽滑動(dòng)相連。2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述的內(nèi)膽內(nèi)壁左右兩側(cè)還設(shè)有氮?dú)獯等肟祝龅牡獨(dú)獯等肟诪槿舾杉?，均布與內(nèi)膽內(nèi)壁。3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述的托盤(pán)數(shù)量為若干件，所述的托盤(pán)數(shù)量?jī)?yōu)選為3件，均布與內(nèi)膽內(nèi)壁。4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述的托盤(pán)還設(shè)有半導(dǎo)體放置槽，所述半導(dǎo)體放置槽貫穿托盤(pán)主體，所述半導(dǎo)體放置槽為若干件，均布于托盤(pán)表面。5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述的氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥還包括第一閥體、第二閥體、直線電機(jī)、絲杠、閥芯，所述的第二閥體位于第一閥體上端，所述的第二閥體與第一閥體螺紋相連，所述的直線電機(jī)位于第一閥體上端且位于第二閥體上端，所述的直線電機(jī)與第一閥體螺紋相連且與第二閥體螺紋相連，所述的絲杠貫穿直線電機(jī)，所述的絲杠與直線電機(jī)螺紋相連，所述的閥芯位于絲杠一端，所述的閥芯與絲杠緊配相連。6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述的第一閥體還設(shè)有凹槽，所述的第一閥體凹槽內(nèi)粘接密封圈。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置，包括箱體、前門(mén)、支架、內(nèi)膽、進(jìn)氣接口、氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥、進(jìn)氣管、出氣接口、出氣管、風(fēng)機(jī)、托盤(pán)，工作時(shí)，直線電機(jī)通過(guò)絲杠帶動(dòng)閥芯做直線運(yùn)動(dòng)，使得氮?dú)馔ㄟ^(guò)氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥進(jìn)入內(nèi)膽與箱體之間的空腔內(nèi)，由于內(nèi)膽設(shè)置有氮?dú)獯等肟?，氮?dú)馔ㄟ^(guò)氮?dú)獯等肟走M(jìn)入內(nèi)膽內(nèi)部，同時(shí)風(fēng)機(jī)工作，使得氮?dú)庠趦?nèi)膽內(nèi)部由下而上經(jīng)過(guò)每個(gè)半導(dǎo)體后被排出箱體。該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，調(diào)節(jié)直線電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)角度可以調(diào)劑氮?dú)膺M(jìn)氣量，從而實(shí)現(xiàn)氮?dú)膺M(jìn)氣量調(diào)節(jié)，均勻分布在內(nèi)膽內(nèi)壁左右兩側(cè)的氮?dú)獯等肟资沟脙?nèi)膽內(nèi)氮?dú)饩鶆蚍植?，有效保護(hù)半導(dǎo)體，大大提高成品合格率，提高經(jīng)濟(jì)效益。
【IPC分類(lèi)】F26B21/14, F16K3/32, H01L21/67, F16K3/02
【公開(kāi)號(hào)】CN104896908
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510237039
【發(fā)明人】彭勇, 王明輝, 李宏圖, 趙從壽, 陶佩, 周根強(qiáng), 石永洪
【申請(qǐng)人】池州華鈦半導(dǎo)體有限公司
【公開(kāi)日】2015年9月9日
【申請(qǐng)日】2015年5月11日