本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種冷氫化工藝中四氯化硅渣漿的干燥攪拌器、處理系統(tǒng)及處理方法。

背景技術(shù)：

冷氫化是將多晶硅生產(chǎn)中還原爐內(nèi)反應(yīng)產(chǎn)生的大量副產(chǎn)物四氯化硅(STC)轉(zhuǎn)化為合成多晶硅的原料三氯氫硅(TCS)的工藝系統(tǒng)；該工藝系統(tǒng)的原料有硅粉、STC、氫氣、HCl等，反應(yīng)產(chǎn)物是氫氣、STC和TCS的混合物、金屬氯化物和未反應(yīng)的硅粉，涉及到的反應(yīng)方程式有Si+2H₂+3SiCl₄＝4SiHCl₃；Si+3HCl＝SiHCl₃+H₂。該系統(tǒng)通過(guò)急冷器將大部分TCS、STC、氫氣等有用物料的分離，冷氫化工藝系統(tǒng)急冷后的濕漿料(即四氯化硅渣漿，主要包括硅粉、金屬氯化物、液態(tài)氯硅烷及氫氣)排至漿料干燥裝置；漿料干燥裝置用于對(duì)濕漿料進(jìn)行干燥加熱，將氯硅烷氣體及氫氣蒸發(fā)出來(lái)用以回收，并將干燥后的固體和堿液進(jìn)行中和處理。

現(xiàn)有的干燥裝置，使用過(guò)程中存在以下問(wèn)題：漿料沒(méi)有形成循環(huán)流動(dòng)，干燥攪拌過(guò)程會(huì)產(chǎn)生盲區(qū)，存在受熱不均勻的現(xiàn)象。因此，有必要提供一種適用于冷氫化工藝中四氯化硅渣漿的全新干燥系統(tǒng)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種漿料循環(huán)流動(dòng)性好、攪拌干燥均勻的干燥攪拌器，適用于冷氫化工藝中四氯化硅渣漿的干燥攪拌，本發(fā)明還提供了一種四氯化硅渣漿的處理系統(tǒng)及處理方法。

第一方面，本發(fā)明提供了一種冷氫化工藝中四氯化硅渣漿的干燥攪拌器，所述干燥攪拌器包括殼體、攪拌軸、傳動(dòng)裝置，所述殼體圍設(shè)形成干燥腔，所述殼體的頂部和底部分別設(shè)有進(jìn)料口和出料口；所述攪拌軸水平放置在所述干燥腔內(nèi)用于在所述傳動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下對(duì)所述干燥腔內(nèi)的漿料進(jìn)行攪拌；其中，所述攪拌軸的兩端均由軸承座支撐，所述攪拌軸包括軸頭、空心軸管、攪拌槳葉、支撐桿、第一螺帶和第二螺帶，所述軸頭與所述空心軸管焊接在一起，所述空心軸管上設(shè)有攪拌槳葉，所述第一螺帶和第二螺帶通過(guò)支撐桿固定在所述空心軸管上，并盤旋在所述空心軸管的周圍；所述第一螺帶與所述第二螺帶各自在所述空心軸管的左右兩側(cè)上的螺旋方向相反，且所述第一螺帶與所述第二螺帶的螺旋方向相反；在所述攪拌軸的轉(zhuǎn)動(dòng)下，所述第一螺帶將漿料從干燥腔的兩邊向中間推進(jìn)，所述第二螺帶將漿料從所述干燥腔的中間向兩邊推進(jìn)。

優(yōu)選地，所述殼體的側(cè)壁設(shè)有端座，所述攪拌軸的一端穿過(guò)所述殼體的端座與所述傳動(dòng)裝置相連接，所述攪拌軸的另一端與殼體的另一端座相連接。

本申請(qǐng)中，所述第一螺帶與所述第二螺帶各自在所述空心軸管的左右兩側(cè)上的螺旋方向相反。具體地，以所述攪拌軸的豎直方向的對(duì)稱軸為界，在所述對(duì)稱軸的左側(cè)，所述第一螺帶的螺旋方向?yàn)樽笮?，所述第二螺帶的螺旋方向?yàn)橛倚?；在所述?duì)稱軸的右側(cè)，所述第一螺帶的螺旋方向?yàn)橛倚龅诙輲У穆菪较驗(yàn)樽笮?/p>

優(yōu)選地，所述第一螺帶距所述攪拌軸的軸線的徑向距離大于所述第二螺帶距所述攪拌軸的軸線的徑向距離。即，所述第一螺帶大于所述第二螺帶的軸向投影面積；所述第一螺帶距所述干燥攪拌器筒壁的距離較所述第二螺帶近。

優(yōu)選地，所述第一螺帶與所述第二螺帶的螺距相同。

優(yōu)選地，所述第一螺帶與所述第二螺帶的螺旋方向總是相反，所述第一螺帶沒(méi)有位于所述第二螺帶的外圍，兩者在交叉點(diǎn)處焊接。

優(yōu)選地，所述支撐桿與所述第一螺帶、第二螺帶具有同步的螺旋分布。

優(yōu)選地，所述攪拌槳葉環(huán)繞所述空心軸管螺旋布置。

優(yōu)選地，所述干燥攪拌器還包括夾套，所述夾套圍設(shè)在所述殼體的外周，并與所述殼體之間形成一加熱空腔，所述加熱空腔內(nèi)充有導(dǎo)熱油，所述夾套上設(shè)置有與所述加熱空腔連通的導(dǎo)熱油入口、導(dǎo)熱油出口。

優(yōu)選地，所述導(dǎo)熱油入口設(shè)置在所述殼體底部的夾套處，所述導(dǎo)熱油出口設(shè)置在所述殼體頂部的夾套處。

本發(fā)明中，在所述干燥攪拌器的殼體上設(shè)有溫度傳感器(優(yōu)選在殼體的左上部和右下部均設(shè)置)用于監(jiān)測(cè)殼體內(nèi)物料的溫度，本發(fā)明同時(shí)還設(shè)置用于監(jiān)測(cè)干燥過(guò)程中導(dǎo)熱油的進(jìn)口溫度和出口溫度的溫度傳感器。

優(yōu)選地，所述導(dǎo)熱油的進(jìn)口油溫穩(wěn)定在120-125℃(優(yōu)選成125℃)。所述導(dǎo)熱油通過(guò)泵輸送，以實(shí)現(xiàn)在干燥攪拌器的夾套內(nèi)循環(huán)流動(dòng)。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述導(dǎo)熱油可以為T66高溫導(dǎo)熱油或L-QD330導(dǎo)熱油。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述殼體上還設(shè)有保溫層，所述保溫層的材質(zhì)為巖棉。

本發(fā)明第一方面提供的所述干燥攪拌器，在傳動(dòng)裝置帶動(dòng)所述攪拌軸旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，水平放置的攪拌軸有利于將物料進(jìn)行上下翻動(dòng)，再在旋向相反的第一螺帶、第二螺帶的配合下，物料在干燥腔內(nèi)形成了循環(huán)流動(dòng)，攪拌物料徹底無(wú)死角，使被干燥物料混合均勻，不易粘壁，也不易結(jié)塊。另外，即使是有部分結(jié)塊的物料，攪拌槳葉還可以在漿料移動(dòng)的過(guò)程中將部分結(jié)塊的物料進(jìn)行打碎，使?jié){料更加細(xì)小。待干燥循環(huán)結(jié)束后，固液態(tài)的物料在第一螺帶的攪動(dòng)下通過(guò)所述出料口排出。所述干燥攪拌器可以使冷氫化工藝中四氯化硅渣漿形成循環(huán)流動(dòng)、攪拌干燥均勻，以便進(jìn)一步的工藝應(yīng)用。

優(yōu)選地，所述攪拌軸的兩端軸頭與所述殼體的端座之間還設(shè)有軸端密封組件，所述軸端密封組件用于以密封所述攪拌軸與所述殼體之間的間隙。

優(yōu)選地，所述軸端密封組件包括螺旋軸套，端座襯套、密封襯套，密封襯套內(nèi)的密封迷宮腔、填料密封腔、填料，液態(tài)四氯化硅密封、氮?dú)饷芊夂吞盍蠅荷w，其中，所述螺旋軸套套設(shè)在攪拌軸上，所述螺旋軸套在與所述端座的配合處設(shè)有外螺紋；所述端座襯套、密封襯套依次固定在所述端座的內(nèi)側(cè)壁、外側(cè)壁上，且均套設(shè)在所述螺旋軸套上，所述端座襯套、所述密封襯套均與所述螺旋軸套間隙配合；所述端座襯套上設(shè)有與所述螺旋軸套上的外螺紋旋向相反的內(nèi)螺紋，所述密封襯套與所述螺旋軸套的配合面間由內(nèi)向外依次形成有迷宮密封腔、填料密封腔；所述填料密封腔內(nèi)裝有填料，所述填料壓蓋套接在所述螺旋軸套上，并與所述密封襯套的外端定位連接以將填料壓緊；所迷宮密封腔內(nèi)間隔設(shè)有多個(gè)密封片，所述螺旋軸套上還設(shè)有用于裝配所述密封片的凹槽；所述密封襯套上分別依次開設(shè)有四氯化硅(STC)入口、氮?dú)馊肟?，用于分別向所述迷宮密封腔內(nèi)輸送STC、向所述填料密封腔內(nèi)通入氮?dú)庖苑謩e形成STC密封、氮?dú)饷芊狻?/p>

優(yōu)選地，所述螺旋軸套與所述攪拌軸過(guò)渡配合，所述螺旋軸套通過(guò)螺釘固定在所述攪拌軸上。

優(yōu)選地，所述端座襯套上的內(nèi)螺紋與所述螺旋軸套上的外螺紋有0.2-0.6mm的間隙。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述外螺紋為梯形多頭外螺紋；所述內(nèi)螺紋為梯形多頭內(nèi)螺紋。

優(yōu)選地，所述密封片豎直設(shè)置在所述迷宮密封腔內(nèi)，所述密封片未觸及所述迷宮密封腔的腔體頂部，所述密封片在所述迷宮密封腔內(nèi)形成節(jié)流間隙與膨脹空腔。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述密封片為環(huán)形密封片，所述環(huán)形密封片通過(guò)彈性卡環(huán)固定在所述凹槽內(nèi)。

優(yōu)選地，所述填料為材質(zhì)為聚四氟乙烯，所述填料的形狀為方形。

優(yōu)選地，在靠近所述填料壓蓋的一側(cè)，所述填料密封腔內(nèi)還設(shè)有填料壓環(huán)。

優(yōu)選地，所述密封襯套上焊接有第一氣體分配套和第二氣體分配套，所述密封襯套通過(guò)所述四氯化硅入口與所述第一氣體分配套上的第一開孔相通，所述密封襯套通過(guò)所述氮?dú)馊肟谂c所述第二氣體分配套上的第二開孔相通。

優(yōu)選地，所述第一氣體分配套和第二氣體分配套上分別焊接有第一法蘭座及第二法蘭座；所述第一法蘭座用于通過(guò)第一法蘭接管與四氯化硅(STC)管道連接，所述第二法蘭座用于通過(guò)第二法蘭接管與氮?dú)夤艿肋B接。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述第一氣體分配套、第二氣體分配套為焊接在所述密封襯套圓周方向的套筒。

更優(yōu)選地，所述第一法蘭接管還與一氮?dú)夤艿老噙B，以便將四氯化硅通過(guò)低壓氮?dú)?0.4MPa)輸送至所述迷宮密封腔內(nèi)。

本申請(qǐng)中，所述四氯化硅密封為向迷宮密封腔內(nèi)采用低壓氮?dú)?0.4MPa)輸送四氯化硅。這樣可以防止干燥后的氣體泄露，密封用的所述四氯化硅可以由位于所述干燥攪拌器外部的四氯化硅儲(chǔ)罐供給。四氯化硅在輸送時(shí)(在四氯化硅儲(chǔ)罐、四氯化硅管道和第一法蘭接管內(nèi))為液態(tài)，當(dāng)其到達(dá)密封襯套(迷宮密封腔)時(shí)，因溫度升高(干燥攪拌器有導(dǎo)熱油加熱)而變?yōu)闅鈶B(tài)。所述氮?dú)饷芊夥謩e為向填料密封腔內(nèi)輸入低壓氮?dú)?0.4MPa)，其目的是防止四氯化硅密封不徹底。

如前所述，所述攪拌軸的軸頭的兩端分別與所述殼體的端座相連，部分軸頭穿出所述殼體。其中攪拌軸上套有螺旋軸套，其在與端座配合處，與固定在端座上的端座襯套之間為間隙配合，螺旋軸套與所述端座襯套上的螺紋相反，在所述攪拌軸的轉(zhuǎn)動(dòng)下，物料在相反的螺旋間發(fā)生渦流摩擦，產(chǎn)生壓力來(lái)克服泄露，構(gòu)成所述干燥攪拌器的第一道密封。在遠(yuǎn)離所述殼體端座的方向上，穿出所述殼體的部分?jǐn)嚢栎S上還具有迷宮密封、四氯化硅密封、填料密封和氮?dú)饷芊狻Ｂ菪S套在固定有密封片的區(qū)域與固定在端座上的密封襯套形成帶曲折間隙的迷宮密封腔，可以有效將漿料，以及在干燥攪拌過(guò)程中產(chǎn)生的氣體密封在此，阻止顆粒進(jìn)一步進(jìn)入填料密封腔，形成第二道密封，同時(shí)與迷宮密封腔相連通的STC密封，輸送的STC進(jìn)入腔體依靠壓力可以進(jìn)一步減少氣體的泄露，形成第三道密封，填料密封，以及與其連通的氮?dú)饷芊庖来涡纬傻谒?、第五道密封，?dāng)微量粉塵與氣體進(jìn)入填料密封腔時(shí)，利用填料的密封阻擋、氮?dú)獯祾呖梢詫⑺鼈兺苹刂粮稍飻嚢杵鲀?nèi)。

優(yōu)選地，所述殼體的頂部還設(shè)有一氣體出口。所述氣體出口用于連接一過(guò)濾器，所述過(guò)濾器用于對(duì)所述漿料在攪拌過(guò)程中產(chǎn)生的氣體進(jìn)行過(guò)濾、純化。

本發(fā)明中，在所述干燥攪拌器的氣體出口處還設(shè)置有一壓力傳感器，用于監(jiān)控干燥過(guò)程中的壓力。

優(yōu)選地，當(dāng)所述干燥攪拌器的殼體內(nèi)溫度與所述導(dǎo)熱油的出口溫度相差5℃以內(nèi)(例如可以是0.2℃、0.5℃、1℃、2℃、3℃或4℃)，且所述干燥攪拌器內(nèi)的壓力在0.1～0.5bar范圍內(nèi)時(shí)，完成一個(gè)干燥周期。

進(jìn)一步優(yōu)選地，完成一個(gè)干燥周期時(shí)，所述殼體內(nèi)溫度與導(dǎo)熱油出口溫度相差1-3℃。更優(yōu)選為相差1℃以內(nèi)。

完成一個(gè)干燥周期時(shí)，所述干燥攪拌器內(nèi)的壓力可以是在0.1-0.3bar范圍內(nèi)，也可以是在0.2-0.4bar范圍內(nèi)，也可以是在0.2-0.45bar范圍內(nèi)。進(jìn)一步優(yōu)選地，所述干燥攪拌器內(nèi)的壓力在0.2～0.3bar范圍內(nèi)。

本發(fā)明中對(duì)干燥過(guò)程中的指標(biāo)細(xì)分量化，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)干燥周期的調(diào)節(jié)，可以節(jié)省能源、降低儀器損耗。本發(fā)明一實(shí)施例中，所述干燥周期為4-7小時(shí)，例如可以是4、5、5.5或6小時(shí)。

本申請(qǐng)中所述干燥攪拌器的軸端密封組件，其密封效果好，減少干燥攪拌器的泄露風(fēng)險(xiǎn)，可以有效延長(zhǎng)所述干燥攪拌器的使用壽命。即使干燥物料中含有易燃、腐蝕性等成份，也不易發(fā)生安全事故，不會(huì)對(duì)環(huán)境產(chǎn)生污染。

綜上，本發(fā)明第一方面提供的干燥攪拌器，可以使被干燥物料形成循環(huán)流動(dòng)，干燥攪拌過(guò)程不存在攪拌盲區(qū)，攪拌受熱較均勻；其干燥攪拌器軸端密封組件的密封效果好，干燥攪拌器內(nèi)物料的泄露風(fēng)險(xiǎn)小。

第二方面，本發(fā)明提供了一種冷氫化工藝中的四氯化硅渣漿處理系統(tǒng)，包括干燥攪拌器、過(guò)濾器，氯硅烷回收罐和洗滌包。

其中，所述干燥攪拌器為本發(fā)明第一方面所提供，所述干燥攪拌器用于對(duì)冷氫化工藝產(chǎn)生的四氯化硅渣漿進(jìn)行加熱、攪拌，分離出氯硅烷氣體和渣漿固體物。

所述過(guò)濾器用于對(duì)分離出的所述氯硅烷氣體進(jìn)行過(guò)濾，并將所述氯硅烷氣體帶出的粉塵吸附在所述過(guò)濾器的濾袋上，得到氯硅烷潔凈氣體，所述過(guò)濾器還用于對(duì)吸附在濾袋上的粉塵進(jìn)行噴吹，使所述粉塵落入所述干燥攪拌器中。

進(jìn)一步地，所述過(guò)濾器包括罐體，所述罐體上方設(shè)有封頭，所述罐體內(nèi)設(shè)有花板，所述花板將罐體的內(nèi)腔分隔為上下分布的潔凈室和過(guò)濾室，所述花板上安裝有籠骨，所述籠骨上套有濾袋；所述潔凈室的側(cè)壁設(shè)有凈氣出口和氮?dú)膺M(jìn)口，所述罐體的底部開設(shè)有氣體粉塵進(jìn)口，所述過(guò)濾室與所述氣體粉塵進(jìn)口相通；其中，所述過(guò)濾器還包括氮?dú)饷}沖噴吹裝置，以及控制所述氮?dú)饷}沖噴吹裝置的脈沖控制儀，所述氮?dú)饷}沖噴吹裝置包括氮?dú)膺M(jìn)管、電磁閥、多個(gè)噴吹管和噴嘴；所述氮?dú)饷}沖噴吹裝置安裝有多個(gè)電磁閥，每個(gè)所述電磁閥用于控制一根噴吹管上氮?dú)獾拈_閉，所述噴吹管通過(guò)所述電磁閥的筒體連接至所述氮?dú)膺M(jìn)管，所述噴吹管上設(shè)有多個(gè)噴嘴，所述噴嘴的嘴口位于所述濾袋開口的正上方，所述電磁閥與所述脈沖控制儀電連接。

所述過(guò)濾器的氣體粉塵進(jìn)口與上述干燥攪拌器的氣體出口相連。含塵氣體從所述攪拌干燥器進(jìn)入所述過(guò)濾器；所述過(guò)濾器噴吹濾袋時(shí)吹落下的灰塵也掉落至所述干燥攪拌器中。

優(yōu)選地，所述氮?dú)饷}沖噴吹裝置還包括安裝在所述罐體外部的氮?dú)饧訜崞?，所述氮?dú)膺M(jìn)管通過(guò)所述氮?dú)膺M(jìn)口連接所述氮?dú)饧訜崞鳌?/p>

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述氮?dú)庀扔伤龅獨(dú)饧訜崞骷訜嶂令A(yù)設(shè)溫度后才開始噴吹清灰。所述預(yù)設(shè)溫度優(yōu)選為90-130℃。

優(yōu)選地，所述封頭與所述罐體之間設(shè)有法蘭。

優(yōu)選地，所述電磁閥設(shè)在所述封頭上，所述噴吹管的一端與所述電磁閥的筒體之間通過(guò)所述法蘭連接。

優(yōu)選地，所述濾袋為聚四氟乙烯覆膜濾袋。

優(yōu)選地，所述濾袋的孔徑為800-1200目。

優(yōu)選地，所述凈氣出口與所述氮?dú)膺M(jìn)口位于所述潔凈室不同側(cè)的側(cè)壁上。所述凈氣出口、所述氮?dú)膺M(jìn)口均位于所述籠骨的上方。

優(yōu)選地，所述氮?dú)膺M(jìn)口距所述罐體的底部的距離大于所述凈氣出口距罐體的底部的距離，即所述氮?dú)饪诘奈恢酶哂谒鰞魵獬隹凇?/p>

優(yōu)選地，所述罐體的外周還圍設(shè)有夾套，所述夾套具有加熱空腔，所述夾套的加熱空腔內(nèi)充有導(dǎo)熱油，用于將所述過(guò)濾器維持在一定溫度。

所述夾套上設(shè)置有與所述加熱空腔連通的導(dǎo)熱油入口、導(dǎo)熱油出口。優(yōu)選地，所述封頭處的夾套上設(shè)有導(dǎo)熱油出口，所述過(guò)濾器罐體底部的夾套上設(shè)有導(dǎo)熱油進(jìn)口。

優(yōu)選地，所述潔凈室和所述過(guò)濾室均安裝有壓力傳感器，用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)壓力。

優(yōu)選地，所述封頭上還具有緊急排放口。

優(yōu)選地，所述封頭上還具有水分檢測(cè)口和氣體成分檢測(cè)口。

四氯化硅渣漿經(jīng)干燥攪拌后分離得到氯硅烷氣體和渣漿固體物，其中氯硅烷氣體可以被所述過(guò)濾器進(jìn)一步過(guò)濾以除去夾帶的粉塵，并通過(guò)氮?dú)饷}沖噴吹裝置的吹掃將粉塵再返回至干燥攪拌器中，連同所述渣漿固體物一起在洗滌包中進(jìn)行中和處理，使固態(tài)廢渣得到有效處理；而過(guò)濾后的潔凈氣體可以被冷凝回收，再進(jìn)入冷氫化工藝中重新利用。所述過(guò)濾器的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)行壓降最大為800Pa，過(guò)濾效果好，對(duì)濾袋的吹掃效果也較好、濾袋的更換不頻繁，大約為180天更換一次。

所述氯硅烷回收罐，用于回收所述氯硅烷潔凈氣體，并將其冷凝成氯硅烷液體，所述氯硅烷液體用于輸送至冷氫化工藝中進(jìn)行回收利用。所述氯硅烷回收罐與所述過(guò)濾器的凈氣出口連接。

所述洗滌包用于通過(guò)堿液對(duì)所述渣漿固體物和落入干燥攪拌器的所述粉塵進(jìn)行水解中和反應(yīng)，并將該中和反應(yīng)后的固液混合物排出。

優(yōu)選地，還包括轉(zhuǎn)運(yùn)罐，所述轉(zhuǎn)運(yùn)罐與所述干燥攪拌器的出料口連接，所述轉(zhuǎn)運(yùn)罐接收所述渣漿固體物，并采用氮?dú)庾鳛檩d體將所述渣漿固體物運(yùn)送至洗滌包內(nèi)。

優(yōu)選地，所述氯硅烷回收罐的頂部具有一冷凝器，所述冷凝器將所述氯硅烷潔凈氣體冷凝成氯硅烷液體，冷凝后的氯硅烷液體流至回收罐內(nèi)；所述氯硅烷回收罐的底部還具有一輸送泵，所述輸送泵用于將所述氯硅烷液體輸送至冷氫化工藝中的急冷器中。

本發(fā)明第二方面提供的冷氫化工藝中的四氯化硅渣漿處理系統(tǒng)，可以將四氯化硅渣漿進(jìn)行充分的循環(huán)流動(dòng)，有效分離得到氯硅烷氣體和渣漿固體物，氯硅烷氣體可以被進(jìn)一步過(guò)濾以除去夾帶的粉塵，并通過(guò)脈沖吹掃將粉塵再返回至干燥攪拌器中，連同所述渣漿固體物一起在洗滌包中進(jìn)行中和處理，使固態(tài)廢渣得到有效處理；而過(guò)濾后的潔凈氣體可以被冷凝回收，再進(jìn)入冷氫化工藝中重新利用。所述處理系統(tǒng)可以有效解決四氯化硅渣漿的排放問(wèn)題，節(jié)約能源、保護(hù)環(huán)境。

第三方面，本發(fā)明提供了一種冷氫化工藝中的四氯化硅渣漿處理方法，包括以下步驟：

(1)將冷氫化工藝產(chǎn)生的四氯化硅渣漿導(dǎo)入干燥攪拌器，在所述干燥攪拌器中對(duì)所述四氯化硅渣漿進(jìn)行加熱、攪拌，分離出氯硅烷氣體和渣漿固體物，其中，所述干燥攪拌器為本發(fā)明第一方面所提供；

(2)所述氯硅烷氣體進(jìn)入所述干燥攪拌器頂部的過(guò)濾器內(nèi)，所述過(guò)濾器對(duì)所述氯硅烷氣體進(jìn)行過(guò)濾，所述氯硅烷氣體帶出的粉塵被吸附在所述過(guò)濾器的濾袋上，得到氯硅烷潔凈氣體，在所述過(guò)濾器的噴吹下，吸附在濾袋上的所述粉塵落入所述干燥攪拌器中；

(3)所述氯硅烷潔凈氣體進(jìn)入與所述過(guò)濾器相連接的氯硅烷回收罐，并被冷凝成氯硅烷液體，所述氯硅烷液體用于輸送至冷氫化工藝中進(jìn)行回收利用；

(4)將所述渣漿固體物和落入干燥攪拌器的所述粉塵排出至洗滌包內(nèi)，在所述洗滌包中，所述渣漿固體物和所述粉塵與堿液進(jìn)行水解中和反應(yīng)，并將該中和反應(yīng)后的固液混合物排出。

優(yōu)選地，所述渣漿固體物和落入干燥攪拌器的所述粉塵先排出至一轉(zhuǎn)運(yùn)罐中，所述轉(zhuǎn)運(yùn)罐與所述干燥攪拌器的出料口連接，所述轉(zhuǎn)運(yùn)罐采用氮?dú)庾鳛檩d體將所述渣漿固體物和所述粉塵運(yùn)送至洗滌包內(nèi)。

優(yōu)選地，所述氯硅烷回收罐的頂部具有一冷凝器，所述冷凝器將所述氯硅烷潔凈氣體冷凝成氯硅烷液體，冷凝后的氯硅烷液體流至回收罐內(nèi)；所述氯硅烷回收罐的底部還具有一輸送泵，所述輸送泵用于將所述氯硅烷液體輸送至冷氫化工藝中的急冷器中。

本發(fā)明第三方面提供的冷氫化工藝中的四氯化硅渣漿處理方法，工藝流程簡(jiǎn)單，能耗低、對(duì)有用物料的回收率高。

本發(fā)明的有益效果包括以下幾個(gè)方面：

1、干燥攪拌器中水平放置的攪拌軸上設(shè)有特定結(jié)構(gòu)的旋向相反的第一螺帶、第二螺帶，可以使四氯化硅渣漿形成循環(huán)流動(dòng)、不粘壁、不結(jié)塊，攪拌干燥均勻；

2、干燥攪拌器的軸端密封組件的密封效果好，可以減少干燥攪拌器的泄露風(fēng)險(xiǎn)，可以有效延長(zhǎng)所述干燥攪拌器的使用壽命；

3、與干燥攪拌器相連的過(guò)濾器的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，對(duì)四氯化硅渣漿經(jīng)干燥攪拌后分離得到的氯硅烷氣體的過(guò)濾效果較好，所述過(guò)濾器中的氮?dú)饷}沖噴吹裝置對(duì)濾袋的吹掃效果也較好、濾袋的更換不頻繁；

4、干燥攪拌器和過(guò)濾器的夾套內(nèi)均采用導(dǎo)熱油加熱，加熱無(wú)死區(qū)、流速高、傳熱效果高、安全性高；

5、所述四氯化硅渣漿的處理系統(tǒng)可有效解決四氯化硅渣漿的排放問(wèn)題，節(jié)約能源、保護(hù)環(huán)境；所述四氯化硅渣漿的處理方法，工藝流程簡(jiǎn)單，能耗低、對(duì)有用物料的回收率高。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例中干燥攪拌器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例中攪拌軸的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例中第一螺帶在攪拌軸上的分布示意圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例中第二螺帶在攪拌軸上的分布示意圖；

圖5為本發(fā)明實(shí)施例中攪拌軸在攪拌中形成的循環(huán)區(qū)域的示意圖；

圖6為圖1中干燥攪拌器的傳動(dòng)部分、軸承座部分、軸軸端密封部分的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為圖1中軸端密封組件的放大結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為圖7中螺旋軸套的示意圖；

圖9為圖7中端座襯套的示意圖；

圖10為圖7中密封襯套上的迷宮密封腔的放大示意圖；

圖11為圖7中密封襯套的示意圖；

圖12為本發(fā)明實(shí)施例中過(guò)濾器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖13為本發(fā)明實(shí)施例中過(guò)濾器的電磁閥未通電閉合狀態(tài)(A)和通電開啟狀態(tài)(B)的示意圖；

圖14為本發(fā)明實(shí)施例中過(guò)濾器的封頭的俯視圖；

圖15為本發(fā)明實(shí)施例中四氯化硅渣漿處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施方式中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。

請(qǐng)一并參閱圖1-圖11，為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例提供的一種冷氫化工藝中四氯化硅渣漿的干燥攪拌器100的結(jié)構(gòu)示意圖。

所述干燥攪拌器100包括殼體1、攪拌軸2、傳動(dòng)裝置3(圖1中未示出標(biāo)號(hào))，所述殼體1圍設(shè)形成干燥腔，所述殼體1的頂部和底部分別設(shè)有進(jìn)料口11和出料口12，作為優(yōu)選，所述出料口12位于所述殼體1底部的中心。所述攪拌軸2水平放置在所述干燥腔內(nèi)用于在所述傳動(dòng)裝置3的驅(qū)動(dòng)下對(duì)所述干燥腔內(nèi)的漿料進(jìn)行攪拌。所述攪拌軸2的左右兩端均由軸承座5支撐，所述軸承座5是通過(guò)軸承及支座實(shí)現(xiàn)攪拌軸兩端的旋轉(zhuǎn)及支撐。

如圖2所示，所述攪拌軸2包括軸頭21、空心軸管22、攪拌槳葉23、支撐桿24、第一螺帶25和第二螺帶26，所述軸頭21與所述空心軸管22焊接在一起，所述空心軸管22上設(shè)有攪拌槳葉23，所述第一螺帶25和第二螺帶26通過(guò)支撐桿24固定在所述空心軸管22上，并盤旋在所述空心軸管22的周圍；所述第一螺帶25在所述空心軸管22的左右兩側(cè)上的螺旋方向相反，與所述第二螺帶26在所述空心軸管22的左右兩側(cè)上的螺旋方向相反，且所述第一螺帶25與所述第二螺帶26的螺旋方向相反；在所述攪拌軸2的轉(zhuǎn)動(dòng)下，所述第一螺帶25將漿料從干燥腔的兩邊向中間推進(jìn)，所述第二螺帶26將漿料從所述干燥腔的中間向兩邊推進(jìn)。

所述第一螺帶25與所述第二螺帶26各自在所述空心軸管22的左右兩側(cè)上的螺旋方向相反。具體地，如圖3和圖4所示，以所述攪拌軸2的豎直方向的對(duì)稱軸(圖2中的虛線)為界，在所述對(duì)稱軸的左側(cè)，所述第一螺帶25的螺旋方向?yàn)樽笮?，所述第二螺?6的螺旋方向?yàn)橛倚?；在所述?duì)稱軸的右側(cè)，所述第一螺帶25的螺旋方向?yàn)橛倚?，所述第二螺?6的螺旋方向?yàn)樽笮?/p>

本申請(qǐng)中，空心軸管22左右兩側(cè)旋向相反的第一螺帶25，均旋向攪拌軸2中心，將漿料同時(shí)從干燥腔的兩側(cè)向中間推進(jìn)；空心軸管22左右兩邊旋向相反的第二螺帶26，將漿料從所述干燥腔的中間向兩邊推進(jìn)；由于第一螺帶25和第二螺帶26在空心軸管22上的螺旋方向相反，第一螺帶25和第二螺帶26推動(dòng)漿料運(yùn)動(dòng)的方向不同，便于料液進(jìn)行充分混合。

如圖3和圖4所示，所述第一螺帶25距所述攪拌軸2的軸線的徑向距離D1大于所述第二螺帶26距所述攪拌軸2的軸線的徑向距離D2。即，所述第一螺帶25的直徑(軸向投影面積)大于所述第二螺帶26的直徑(軸向投影面積)；所述第一螺帶25距所述干燥攪拌器100筒壁的距離較所述第二螺帶26近?？梢岳斫獾氖?，第一螺帶25、第二螺帶26均與所述干燥攪拌器100的筒壁有一定的距離。

本實(shí)施方式中，所述第一螺帶25的螺距L1與所述第二螺帶26的螺距L2相同。

本申請(qǐng)中，所述第一螺帶25與所述第二螺帶26的螺距相同，兩者的旋向相反，軸向投影面積不相等。所述第一螺帶25與所述第二螺帶26均環(huán)繞所述空心軸管22，但所述第一螺帶25并沒(méi)有位于所述第二螺帶26的外圍，兩者在交叉點(diǎn)處焊接。

所述第一螺帶25、第二螺帶26均是由帶狀鋼帶彎曲成螺旋線形狀。本發(fā)明實(shí)施例中，所述攪拌槳葉23是焊接在所述空心軸管22上。所述第一螺帶25、第二螺帶26都是通過(guò)支撐桿24連接在空心軸管22上。

本實(shí)施方式中，所述支撐桿24與所述第一螺帶25、第二螺帶26具有同步的螺旋分布。這樣可以對(duì)所述第一螺帶25、第二螺帶26起到更好的支撐作用。

本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述攪拌槳葉23環(huán)繞所述空心軸管22螺旋布置。

所述干燥攪拌器100還包括夾套4，所述夾套4圍設(shè)在所述殼體1的外周，并與所述殼體1之間形成一加熱空腔，所述加熱空腔內(nèi)充有導(dǎo)熱油，所述夾套4上設(shè)置有與所述加熱空腔連通的導(dǎo)熱油入口13、導(dǎo)熱油出口14。

作為優(yōu)選，導(dǎo)熱油入口13設(shè)置在所述殼體1的底部，所述導(dǎo)熱油出口14設(shè)置在所述殼體1的頂部。

本申請(qǐng)中，濕漿料—四氯化硅渣漿在干燥攪拌器100的攪拌下與夾套4內(nèi)的導(dǎo)熱油間接進(jìn)行熱量交換而將濕漿料中的氯硅烷氣體蒸發(fā)出來(lái)，加熱無(wú)短路、死區(qū)，流速高，傳熱效率高，可以分離出氯硅烷氣體和渣漿固體物。相對(duì)于采用蒸汽作為加熱介質(zhì)而言，所述導(dǎo)熱油的傳熱效率高，而且導(dǎo)熱油的安全性好，惰性低，不會(huì)與氯硅烷反應(yīng)，且導(dǎo)熱油的溫度恒定，便于操控。

本發(fā)明中，在所述干燥攪拌器的殼體上設(shè)有溫度傳感器(優(yōu)選在殼體的左上部和右下部均設(shè)置)用于監(jiān)測(cè)殼體內(nèi)物料的溫度，本發(fā)明同時(shí)還設(shè)置用于監(jiān)測(cè)干燥過(guò)程中導(dǎo)熱油的進(jìn)口溫度和出口溫度的溫度傳感器。

優(yōu)選地，所述導(dǎo)熱油的進(jìn)口油溫穩(wěn)定在120-125℃(優(yōu)選成125℃)。所述導(dǎo)熱油通過(guò)泵輸送，以實(shí)現(xiàn)在干燥攪拌器的夾套內(nèi)循環(huán)流動(dòng)。

在本發(fā)明實(shí)施方式中，所述導(dǎo)熱油可以為T66高溫導(dǎo)熱油或L-QD330導(dǎo)熱油。

在本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述殼體1外還設(shè)有保溫層(圖未示)?？蓽p少所述夾套4內(nèi)導(dǎo)熱油的揮發(fā)，所述保溫層的材質(zhì)可以為巖棉。圖1中殼體1上的圓點(diǎn)為焊接在筒體上的小圓柱體，這些凸起的小圓柱體是為了便于將保溫層包覆在殼體上。

其中，所述殼體的側(cè)壁設(shè)有端座16，所述軸頭21的一端在穿過(guò)所述殼體1上的端座16之后與所述傳動(dòng)裝置3相連接。

在本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述傳動(dòng)裝置3安裝在所述殼體1的側(cè)壁。所述傳動(dòng)裝置3與所述攪拌軸2相連接，將動(dòng)力傳送至攪拌軸2，以驅(qū)動(dòng)所述攪拌軸2轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而對(duì)干燥腔內(nèi)的物料進(jìn)行攪拌，便于將干燥腔內(nèi)的物料進(jìn)行充分干燥。

進(jìn)一步地，所述傳動(dòng)裝置3包括電機(jī)31、聯(lián)軸器32、減速器33、小鏈輪34、大鏈輪35。所述電機(jī)31通過(guò)聯(lián)軸器32、減速器33、小鏈輪34、大鏈輪35與所述攪拌軸2連接傳動(dòng)。

該干燥攪拌器100的具體運(yùn)行如下，通電后電機(jī)31轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)聯(lián)軸器32傳動(dòng)至減速器33，減速器33實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)速的降低，減速器33與小鏈輪(主動(dòng)鏈輪)34通過(guò)軸連接。小鏈輪34通過(guò)鏈條(圖未示)傳動(dòng)至大鏈輪(被動(dòng)鏈輪)35(大、小鏈輪的轉(zhuǎn)速比為1：3)，大鏈輪35再通過(guò)圓頭平鍵連接帶動(dòng)攪拌軸2旋轉(zhuǎn)。

在準(zhǔn)備進(jìn)行攪拌時(shí)，將導(dǎo)熱油通入干燥攪拌器100的夾套4中，干燥攪拌器100開始升溫，當(dāng)溫度達(dá)到工藝要求的溫度后，將濕漿料由進(jìn)料口11加入到干燥腔內(nèi)，在攪拌軸2的轉(zhuǎn)動(dòng)下，濕漿料在干燥腔內(nèi)不斷的循環(huán)，被通入到夾套4的導(dǎo)熱油間接加熱，同時(shí)在螺帶和攪拌槳葉23的攪拌下充分混合，干燥后的固態(tài)殘?jiān)鼜母稍餀C(jī)中間的出料口12排出至洗滌包處理，濕漿料中蒸發(fā)出的氣體可從干燥攪拌器100上的氣體出口進(jìn)入過(guò)濾器，并到達(dá)回收單元被回收。

在本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述干燥攪拌器100還包括機(jī)架6，所述殼體1與所述傳動(dòng)裝置3均安裝在所述機(jī)架6上。所述機(jī)架6用以固定和支撐殼體1、電機(jī)31、聯(lián)軸器32、減速器33等部件，所述機(jī)架6可以是由槽鋼、角鋼焊接的鋼結(jié)構(gòu)平臺(tái)。

本申請(qǐng)中，在傳動(dòng)裝置3帶動(dòng)所述攪拌軸2旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，水平放置的攪拌軸2有利于將物料進(jìn)行上下翻動(dòng)，再在旋向相反的第一螺帶25、第二螺帶26的配合下，物料在干燥腔內(nèi)形成了循環(huán)流動(dòng)，攪拌物料徹底無(wú)死角，使被干燥物料混合均勻，不易粘壁，也不易結(jié)塊，同時(shí)也大大縮短干燥周期(加料、干燥攪拌、卸料)。另外，即使是有部分結(jié)塊的物料，攪拌槳葉23還可以在漿料移動(dòng)的過(guò)程中將部分結(jié)塊的物料進(jìn)行打碎，使?jié){料更加細(xì)小。待干燥循環(huán)結(jié)束后，固液態(tài)的物料在第一螺帶25的攪動(dòng)下通過(guò)所述出料口12排出。

此外，本申請(qǐng)中采用圖2所示的攪拌軸可以將漿料形成4個(gè)循環(huán)區(qū)域(如圖5)，因此，本發(fā)明提供的干燥攪拌器對(duì)漿料的攪拌更充分均勻、攪拌效率更高。還能節(jié)省漿料干燥后的排料時(shí)間。

在本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述攪拌軸2的兩端軸頭21與所述殼體1的端座16之間還設(shè)有軸端密封組件200，所述軸端密封組件200用于以密封所述攪拌軸2與所述殼體1之間的間隙?？梢岳斫獾氖?，所述攪拌軸的傳動(dòng)裝置3、軸承座5和軸端密封組件200在所述攪拌軸2上是不相連的單獨(dú)部分(如圖6，圖6是圖1中殼體左側(cè)的放大圖)。圖1中干燥攪拌器100的殼體左右兩側(cè)均有軸承座5和軸端密封組件200，只是沒(méi)有對(duì)左邊進(jìn)行剖視，看到的只是外表；對(duì)右邊進(jìn)行了剖視，可以看到內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

請(qǐng)一并參見(jiàn)圖7-圖11，所述軸端密封組件200包括螺旋軸套211，與所述端座16依次連接的端座襯套212、密封襯套213，密封襯套213內(nèi)的迷宮腔密封214、填料密封腔215、填料216，填料壓蓋217、液態(tài)四氯化硅(STC)密封和氮?dú)饷芊狻?/p>

所述螺旋軸套211套設(shè)在所述攪拌軸2的軸頭上。優(yōu)選地，所述螺旋軸套211與所述攪拌軸2過(guò)渡配合，所述螺旋軸套211通過(guò)螺釘固定在所述攪拌軸2上。所述螺旋密封套211在與所述端座16的配合處設(shè)有外螺紋230。所述螺旋軸套211上還設(shè)有用于裝配密封片218的凹槽219(參見(jiàn)圖8)。

所述端座襯套軸套212與密封襯套213依次固定安裝在所述端座16的內(nèi)側(cè)壁、外側(cè)壁上，所述端座襯套212、所述密封襯套213均套設(shè)在所述螺旋軸套211上。

所述端座襯套212與所述螺旋軸套211間隙配合，所述端座襯套212上設(shè)有與所述螺旋軸套上的外螺紋230旋向相反的內(nèi)螺紋231(參見(jiàn)圖9)。作為優(yōu)選，所述外螺紋230為梯形多頭外螺紋；所述內(nèi)螺紋231為梯形多頭內(nèi)螺紋。梯形斷面的多頭螺紋所產(chǎn)生的壓頭較高，且梯形多頭螺紋產(chǎn)生的壓頭隨間隙變化較小。

所述端座襯套212上的內(nèi)螺紋231與所述螺旋軸套211上的外螺紋230有0.2-0.6mm的間隙。在所述攪拌軸2的轉(zhuǎn)動(dòng)下，螺旋軸套211和端座襯套212之間的物料在相反的螺旋間發(fā)生渦流摩擦，產(chǎn)生壓頭以克服物料的泄漏量。攪拌軸的轉(zhuǎn)速越高，泄露量越少。

所述密封襯套213與所述螺旋軸套211間隙配合，所述密封襯套213與所述螺旋軸套211的配合面間由內(nèi)向外依次形成有迷宮密封腔214、填料密封腔215。

可以理解的是，迷宮密封腔214、填料密封腔215的形成，是由于密封襯套213在相應(yīng)位置設(shè)有凹槽，當(dāng)其與螺旋軸套211相套設(shè)時(shí)，就形成了這2個(gè)腔體。

請(qǐng)參見(jiàn)圖10，所迷宮密封腔214內(nèi)間隔設(shè)有多個(gè)密封片218，所述螺旋軸套211上還設(shè)有用于裝配所述密封片218的凹槽219。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述密封片218為環(huán)形密封片，所述環(huán)形密封片218通過(guò)彈性卡環(huán)220固定在所述螺旋軸套211的凹槽219內(nèi)。

本申請(qǐng)中，迷宮密封腔214內(nèi)間隔設(shè)有多個(gè)密封片218。密封片218可以是豎直或與豎直方向呈一定角度地設(shè)置在迷宮密封腔214內(nèi)。作為優(yōu)選，所述密封片218豎直設(shè)置在所述迷宮密封腔214內(nèi)，所述密封片218未觸及所述迷宮密封腔214的腔體頂部。這樣，所述密封片218在所述迷宮密封腔214內(nèi)形成節(jié)流間隙與膨脹空腔。其中，所述節(jié)流間隙是指密封片218與所述迷宮密封腔214的腔體頂部之間的空隙，所述膨脹空腔，指的是被密封介質(zhì)在穿過(guò)節(jié)流間隙后，所到達(dá)相鄰密封片218之間的空隙。被密封介質(zhì)(少量漿料及漿料攪拌過(guò)程中產(chǎn)生的氣體)可能通過(guò)螺旋軸套與端座襯套之間的間隙到達(dá)迷宮密封腔。它們要穿過(guò)迷宮密封腔就要經(jīng)過(guò)圖10中箭頭所示的路線，彎彎曲曲好似迷宮一般。被密封介質(zhì)在通過(guò)曲折的迷宮密封腔214內(nèi)的間隙時(shí)產(chǎn)生節(jié)流效應(yīng)而達(dá)到阻止泄漏的目的。

所述填料密封腔215內(nèi)裝有填料216，所述填料壓蓋217套接在所述螺旋軸套211上，并與所述密封襯套213的外端定位連接以將填料216壓緊。

在本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述填料216為材質(zhì)為聚四氟乙烯，所述填料216的形狀為方形。

在本發(fā)明一實(shí)施方式中，在靠近所述填料壓蓋217的一側(cè)，所述填料密封腔215內(nèi)還設(shè)有填料壓環(huán)221。

所述密封襯套213上分別依次開設(shè)有四氯化硅(STC)入口、氮?dú)馊肟?，用于向所述迷宮密封腔214內(nèi)輸送STC、向所述填料密封腔215內(nèi)通入氮?dú)庖苑謩e形成STC密封、氮?dú)饷芊狻?/p>

請(qǐng)參見(jiàn)圖11(圖上未示出填料腔215內(nèi)的填料、迷宮密封腔214內(nèi)的密封片及卡環(huán))，所述密封襯套213上焊接有第一氣體分配套222和第二氣體分配套223，所述第一氣體分配套222設(shè)有第一開孔224，所述第二氣體分配套223設(shè)有第二開孔225。所述密封襯套213通過(guò)所述液態(tài)四氯化硅入口與所述第一氣體分配套222上的第一開孔224相通，所述密封襯套213通過(guò)所述氮?dú)馊肟谂c所述第二氣體分配套223上的第二開孔225相通。作為優(yōu)選，密封襯套213上設(shè)有4-6個(gè)均勻分布的氮?dú)馊肟?、四氯化硅入口以分別與第一氣體分配套222和第二氣體分配套223相相通。第一氣體分配套222上的第一開孔224的數(shù)目可以是1個(gè)或多個(gè)，優(yōu)選為4-6個(gè)。第二氣體分配套223上的第二開孔225的數(shù)目也可以是1個(gè)或多個(gè)，優(yōu)選為4-6個(gè)。

所述第一氣體分配套222和第二氣體分配套223上分別焊接有第一法蘭座226及第二法蘭座227；所述第一法蘭座226用于通過(guò)第一法蘭接管228與四氯化硅(STC)管道連接，所述第二法蘭座227用于通過(guò)第二法蘭接管229與氮?dú)夤艿肋B接。以氮?dú)饷芊鉃槔芊庥玫牡獨(dú)庖来瓮ㄟ^(guò)氮?dú)夤艿?、第二法蘭座227上的第二法蘭接管(氮?dú)夥ㄌm接管)229至第二氣體分配套223，再通過(guò)所述氮?dú)馊肟谶M(jìn)入填料密封腔215內(nèi)。密封氮?dú)膺M(jìn)入腔體依靠壓力，可以防止被密封介質(zhì)(漿料攪拌過(guò)程中產(chǎn)生的氣體)泄漏。

在本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述第一氣體分配套222、第二氣體分配套223為焊接在所述密封襯套213圓周方向的套筒。

所述第一法蘭接管228還與一氮?dú)夤艿老噙B，以便將四氯化硅通過(guò)低壓氮?dú)?0.4MPa)輸送至所述迷宮密封腔214內(nèi)。

本申請(qǐng)中，所述四氯化硅密封為向迷宮密封腔214內(nèi)采用低壓氮?dú)?優(yōu)選為0.4MPa)輸送四氯化硅。這樣可以防止干燥后的氣體泄露。密封用的所述四氯化硅可以由位于所述干燥攪拌器100外部的四氯化硅儲(chǔ)罐供給。四氯化硅在輸送時(shí)(在四氯化硅儲(chǔ)罐、四氯化硅管道和第一法蘭接管內(nèi))為液態(tài)，當(dāng)其到達(dá)密封襯套(迷宮密封腔)時(shí)，因溫度升高(干燥攪拌器有導(dǎo)熱油加熱)而變?yōu)闅鈶B(tài)。在本申請(qǐng)的另外一種實(shí)施方式中，也可以將這里迷宮密封腔214內(nèi)的四氯化硅密封換成氮?dú)饷芊狻?/p>

所述氮?dú)饷芊夥謩e為向填料密封腔215內(nèi)輸入低壓氮?dú)?優(yōu)選為0.4MPa)，其目的是防止所述四氯化硅密封不徹底。

本申請(qǐng)中所述攪拌軸2的兩端軸頭21分別與所述殼體1的端座16相連，部分軸頭21穿出所述殼體。其中，攪拌軸2上套有螺旋軸套211，其在與端座16配合處，與固定在端座16上的端座襯套212之間為間隙配合，螺旋軸套211與所述端座襯套212上的螺紋相反，在所述攪拌軸的轉(zhuǎn)動(dòng)下，螺旋軸套211和端座襯套212之間的漿料發(fā)生渦流摩擦，產(chǎn)生壓力以克服泄漏量，構(gòu)成所述干燥攪拌器100的第一道密封。在遠(yuǎn)離所述殼體端座16的方向上，穿出所述殼體1的部分?jǐn)嚢栎S上還具有迷宮密封214、四氯化硅密封、填料密封215和氮?dú)饷芊狻Ｂ菪S套211在固定有密封片218的區(qū)域與固定在端座16上的密封襯套213形成帶曲折間隙的迷宮密封腔214，可以有效將漿料，以及在干燥攪拌過(guò)程中產(chǎn)生的氣體密封在此，阻止顆粒進(jìn)一步進(jìn)入填料密封腔215，形成第二道密封，同時(shí)與迷宮密封腔214相連通的STC密封，其依靠壓力輸送的STC進(jìn)入腔體可以進(jìn)一步減少氣體的泄露，形成第三道密封，填料密封腔215及內(nèi)的填料216，以及與填料密封腔215連通的氮?dú)饷芊庖来涡纬傻谒?、第五道密封，?dāng)微量粉塵與氣體進(jìn)入填料密封腔215時(shí)，利用填料的密封阻擋、氮?dú)獯祾呖梢詫⑺鼈兺苹刂粮稍飻嚢杵?00內(nèi)。

本申請(qǐng)中所述干燥攪拌器100的軸端密封組件200，其密封效果好，可以減少干燥攪拌器100的泄露風(fēng)險(xiǎn)，可以有效延長(zhǎng)所述干燥攪拌器100的使用壽命。即使干燥物料中含有易燃、腐蝕性等成份，也不易發(fā)生安全事故，不會(huì)對(duì)環(huán)境產(chǎn)生污染。

所述殼體1的頂部還設(shè)有一氣體出口15。所述氣體出口15用于連接一過(guò)濾器700，所述過(guò)濾器700可用于對(duì)四氯化硅渣漿在攪拌過(guò)程中產(chǎn)生的氣體進(jìn)行過(guò)濾、純化，以便對(duì)過(guò)濾后的氣體進(jìn)行進(jìn)一步利用。

本發(fā)明中，在所述干燥攪拌器的氣體出口15處還設(shè)置有一壓力傳感器，用于監(jiān)控干燥過(guò)程中的壓力。

優(yōu)選地，當(dāng)所述干燥攪拌器的殼體內(nèi)溫度與所述導(dǎo)熱油的出口溫度相差5℃以內(nèi)，且所述干燥攪拌器內(nèi)的壓力在0.1～0.5bar范圍內(nèi)時(shí)，完成一個(gè)干燥周期。

進(jìn)一步優(yōu)選地，當(dāng)所述干燥攪拌器的殼體內(nèi)溫度與所述導(dǎo)熱油的出口溫度相差1℃以內(nèi)，且所述干燥攪拌器內(nèi)的壓力在0.2～0.3bar范圍內(nèi)時(shí)，完成一個(gè)干燥周期。本發(fā)明中對(duì)干燥過(guò)程中的指標(biāo)細(xì)分量化，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)干燥周期的調(diào)節(jié)，可以節(jié)省能源、降低儀器損耗。

請(qǐng)一并參閱圖12-圖14，為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例提供的一種過(guò)濾器700的結(jié)構(gòu)示意圖。所述過(guò)濾器700包括罐體71，所述罐體71上方設(shè)有封頭72，所述罐體內(nèi)設(shè)有花板73，所述花板73將罐體71的內(nèi)腔分隔為上下兩部分，上部為潔凈室，下部為過(guò)濾室，所述花板73上安裝有籠骨74，所述籠骨74上套有濾袋75；所述潔凈室的側(cè)壁設(shè)有凈氣出口711和氮?dú)膺M(jìn)口712，所述罐體71的底部開設(shè)有氣體粉塵進(jìn)口713，所述過(guò)濾室與所述氣體粉塵進(jìn)口713相通；其中，所述過(guò)濾器700還包括氮?dú)饷}沖噴吹裝置，以及控制所述氮?dú)饷}沖噴吹裝置的脈沖控制儀，所述氮?dú)饷}沖噴吹裝置包括氮?dú)膺M(jìn)管80、電磁閥81、多個(gè)噴吹管82和噴嘴83；所述氮?dú)饷}沖噴吹裝置安裝有多個(gè)電磁閥81，每個(gè)所述電磁閥81用于控制一根噴吹管82上氮?dú)獾拈_閉，所述噴吹管82通過(guò)所述電磁閥81的筒體連接至所述氮?dú)膺M(jìn)管80，所述噴吹管82上設(shè)有多個(gè)噴嘴83，所述噴嘴83的嘴口位于所述濾袋75開口的正上方，所述電磁閥81與所述脈沖控制儀電連接。

所述氣體粉塵進(jìn)口713與上述干燥攪拌器100的氣體出口15相連。含塵氣體從所述攪拌干燥器100進(jìn)入所述過(guò)濾器700；所述過(guò)濾器700噴吹濾袋時(shí)吹落下的灰塵也掉落至所述干燥攪拌器100中。

本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述氮?dú)饷}沖噴吹裝置還包括安裝在所述罐體71外部的氮?dú)饧訜崞?，所述氮?dú)膺M(jìn)管80通過(guò)所述氮?dú)膺M(jìn)口712連接所述氮?dú)饧訜崞鳌?/p>

可以理解的是，所述氮?dú)饷}沖噴吹裝置與壓縮氮?dú)庠聪噙B通。噴吹用的氮?dú)庥伤鰤嚎s氮?dú)庠刺峁?/p>

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述氮?dú)庀扔伤龅獨(dú)饧訜崞骷訜嶂猎O(shè)定溫度后才開始噴吹清灰。所述預(yù)設(shè)溫度優(yōu)選為90-130℃。這樣可以防止在噴吹過(guò)程中將金屬氯化物、氯硅烷等冷凝下來(lái)，以免影響噴吹濾袋的效果。

所述封頭72與所述罐體71之間設(shè)有法蘭70。在本申請(qǐng)的一實(shí)施方式中，所述封頭72進(jìn)一步優(yōu)選為球冠型，所述罐體71的中部為圓筒狀。

所述電磁閥81設(shè)在所述封頭上，所述噴吹管82的一端與所述電磁閥81的筒體之間通過(guò)所述法蘭76連接。

參見(jiàn)圖13，圖A、B中最右側(cè)為電磁閥的閥芯813的放大圖。本申請(qǐng)中所述電磁閥81還具有一筒體811，所述電磁閥81的筒體811與過(guò)濾器上的封頭72焊接在一起，形成一整體，電磁閥81的筒體811連接在所述法蘭70上；電磁閥81的閥頭通過(guò)螺釘固定在筒體上。當(dāng)電磁閥81未通電時(shí)，電磁閥81的閥芯813的彈性膜片812與氮?dú)膺M(jìn)管80是處于閉合狀態(tài)，氮?dú)膺M(jìn)管80中的氮?dú)庵辉陔姶砰y81筒體的外側(cè)，氮?dú)馕催M(jìn)入到與電磁閥81的筒體相連的噴吹管82內(nèi)(圖13中A)；當(dāng)電磁閥81通電開啟時(shí)，電磁閥81的彈性膜片812在磁力作用下向上移動(dòng)，氮?dú)獠胚M(jìn)入到與電磁閥81連通的噴吹管82內(nèi)(圖13中B)。

本申請(qǐng)中，所述電磁閥81的筒體與所述氮?dú)膺M(jìn)管80相連接。優(yōu)選地，所述電磁閥81的筒體為兩排交錯(cuò)設(shè)置，優(yōu)選為2個(gè)電磁閥81的筒體直接與所述氮?dú)膺M(jìn)氣管80相連通，剩余電磁閥81的筒體再通過(guò)這2個(gè)電磁閥81的筒體而間接實(shí)現(xiàn)與氮?dú)膺M(jìn)管80的連接。

在本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述噴吹管82、電磁閥81的數(shù)目為4個(gè)，一根噴吹管82上可以延伸出多個(gè)噴嘴83，所述噴嘴83的嘴口垂直向下正對(duì)濾袋75開口。

本申請(qǐng)中，所述花板73上均勻分布有孔，孔內(nèi)安裝有籠骨74，通過(guò)螺絲將所述籠骨74固定在花板73上，籠骨74上套有濾袋75。

本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述濾袋75為聚四氟乙烯覆膜濾袋。聚四氟乙烯的摩擦系數(shù)低、化學(xué)穩(wěn)定性好、能耐高溫、表面光滑，使過(guò)濾壓力大大減少，聚四氟乙烯覆膜濾袋的表面極易清理，使過(guò)濾基本連續(xù)運(yùn)行。此外，聚四氟乙烯的強(qiáng)度較高，壽命較長(zhǎng)。

本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述濾袋75的孔徑為800-1200目。

本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述凈氣出口711與所述氮?dú)膺M(jìn)口712位于所述潔凈室的不同側(cè)的側(cè)壁上。所述凈氣出口711、所述氮?dú)膺M(jìn)口712均位于所述籠骨74的上方。

本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述氮?dú)膺M(jìn)口711距所述罐體71的底部的距離大于所述凈氣出口712距罐體71的底部的距離，即所述氮?dú)饪?11的位置高于所述凈氣出口412。

所述罐體71的外周還圍設(shè)有夾套76，所述夾套76具有加熱空腔，所述夾套76的加熱空腔內(nèi)充有導(dǎo)熱油，用于將所述過(guò)濾器700維持在一定溫度(100℃左右，100-120℃)，以防止進(jìn)入過(guò)濾器700的物料(金屬氯化物、氯硅烷等)冷凝下來(lái)，產(chǎn)生結(jié)晶物，堵塞過(guò)濾器，影響過(guò)濾效果。所述導(dǎo)熱油的傳熱效率高，而且導(dǎo)熱油的安全性好，惰性低，且導(dǎo)熱油的溫度恒定，便于操控。

所述夾套76上設(shè)置有與所述加熱空腔連通的導(dǎo)熱油入口714、導(dǎo)熱油出口715。優(yōu)選地，所述罐體71底部的夾套上設(shè)有導(dǎo)熱油進(jìn)口714，所述封頭72處的夾套上設(shè)有導(dǎo)熱油出口715。

所述潔凈室和所述過(guò)濾室均安裝有壓力傳感器，用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)壓力。

本申請(qǐng)中，所述脈沖控制儀是控制電磁閥81動(dòng)作的脈沖發(fā)生器。脈沖控制儀用電纜連接在PLC(可編程邏輯控制器)上。所述電磁閥81優(yōu)選通過(guò)電纜線與所述脈沖控制儀相連接。

所述氣體粉塵進(jìn)口713與一干燥攪拌器相連。含塵氣體從所述攪拌干燥器進(jìn)入所述過(guò)濾器；所述過(guò)濾器噴吹濾袋時(shí)吹落下的灰塵也掉落至所述干燥攪拌器中。

過(guò)濾狀態(tài)：含塵氯硅烷氣體經(jīng)氣體粉塵進(jìn)口713進(jìn)入到過(guò)濾器700的罐體71內(nèi)后，一部分較粗顆粒塵在初級(jí)沉降及自身重力的作用下，沉降至與所述氣體粉塵進(jìn)口713相連接的干燥攪拌器中。較細(xì)的粉塵進(jìn)入過(guò)濾室后，在濾袋兩側(cè)壓差的作用下，通過(guò)布朗擴(kuò)散和篩濾等組合效應(yīng)，被吸附在濾袋75表面上，凈化后的氣體穿過(guò)濾袋75進(jìn)入潔凈室，經(jīng)由凈氣出口711排出，分離效率可以達(dá)到≥99.9％。

噴吹清灰狀態(tài)：隨著過(guò)濾工況的不斷進(jìn)行，積附在濾袋75表面上的粉塵將不斷增加，該過(guò)濾器700的運(yùn)行壓降增大，過(guò)濾阻力不斷增加，為使所述過(guò)濾器700正常工作，需要對(duì)濾袋75上的積灰進(jìn)行定期清除。當(dāng)該設(shè)備的潔凈室和過(guò)濾室的壓降達(dá)到設(shè)定值時(shí)，關(guān)閉凈氣出口，調(diào)控所述脈沖控制儀來(lái)啟動(dòng)氮?dú)饷}沖噴吹裝置，電磁閥81開啟，氮?dú)馔ㄟ^(guò)所述氮?dú)饧訜崞骷訜嶂令A(yù)設(shè)溫度(例如100℃左右)，經(jīng)由氮?dú)膺M(jìn)口712從氮?dú)膺M(jìn)管80進(jìn)入到所述過(guò)濾器700的罐體71內(nèi)，熱氮?dú)庠诟麟姶砰y81的控制下從相應(yīng)的各噴吹管82連接的噴嘴83噴吹至濾袋75，使積附在濾袋75表面上的所有粉塵掉落，并經(jīng)由所述氣體粉塵進(jìn)口713再掉回到干燥攪拌器中，濾袋75可以重新投入使用。掉落回干燥攪拌器的灰塵可以連同干燥攪拌器攪拌后得到的渣漿固體物一起被排出。

參見(jiàn)圖14，所述封頭72上還具有緊急排放口721，所述緊急排放口721連接有安全閥。當(dāng)凈氣出口711堵塞或因其他導(dǎo)致氣體無(wú)法排出時(shí)，通過(guò)氣體粉塵進(jìn)口713與所述過(guò)濾器700相連的所述干燥攪拌器不斷蒸發(fā)出氣態(tài)氯硅烷，將導(dǎo)致所述過(guò)濾器700超壓，當(dāng)所述過(guò)濾器400超壓后，通過(guò)所述緊急排放口721泄壓，將所述過(guò)濾器700內(nèi)的氣體排至緊急排放系統(tǒng)，以使體系內(nèi)壓力在一定范圍。

所述封頭72上還具有水分檢測(cè)口722和氣體成分檢測(cè)口723。更加完善了過(guò)濾器的功能，使冷氫化工藝系統(tǒng)更環(huán)保、安全。

四氯化硅渣漿經(jīng)干燥攪拌后分離得到的氯硅烷氣體和渣漿固體物，所述過(guò)濾器700可以將氯硅烷氣體進(jìn)行進(jìn)一步過(guò)濾以除去夾帶的粉塵，并通過(guò)氮?dú)饷}沖噴吹裝置的吹掃將粉塵再返回至干燥攪拌器100中，連同所述渣漿固體物一起在洗滌包中進(jìn)行中和處理，使固態(tài)廢渣得到有效處理；而過(guò)濾后的潔凈氣體可以被冷凝回收，再進(jìn)入冷氫化工藝中重新利用。所述過(guò)濾器700的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)行壓降最大為800Pa，過(guò)濾效果好，對(duì)濾袋的吹掃效果也較好、濾袋更換不頻繁，大約為180天更換一次。

本發(fā)明還提供了一種冷氫化工藝中的四氯化硅渣漿處理系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)示意圖如圖15所示，所述四氯化硅渣漿處理系統(tǒng)包括干燥攪拌器100、過(guò)濾器700，氯硅烷回收罐400和洗滌包600。

其中，所述干燥攪拌器100如上述圖1-圖11任一圖所示，其用于對(duì)冷氫化工藝產(chǎn)生的四氯化硅渣漿進(jìn)行加熱、攪拌，分離出氯硅烷氣體和渣漿固體物。

所述過(guò)濾器700如上述圖12-圖14任一圖所示，所述過(guò)濾器700的氣體粉塵進(jìn)口713與所述干燥攪拌器100的氣體出口15連接，所述過(guò)濾器700具有氮?dú)饷}沖噴吹裝置；所述過(guò)濾器700用于對(duì)分離出的所述氯硅烷氣體進(jìn)行過(guò)濾，并將所述氯硅烷氣體帶出的粉塵吸附在所述過(guò)濾器700的濾袋75上，得到氯硅烷潔凈氣體，所述氮?dú)饷}沖噴吹裝置用于對(duì)吸附在濾袋75上的粉塵進(jìn)行噴吹，使所述粉塵落入所述干燥攪拌器100中。

所述氯硅烷回收罐400與所述過(guò)濾器700的凈氣出口711連接，所述氯硅烷回收罐400用于回收所述氯硅烷潔凈氣體，并將其冷凝成氯硅烷液體，所述氯硅烷液體用于輸送至冷氫化工藝中進(jìn)行回收利用。

所述洗滌包600用于通過(guò)堿液對(duì)所述渣漿固體物和落入干燥攪拌器100的所述粉塵進(jìn)行水解中和反應(yīng)，并將該中和反應(yīng)后的固液混合物排出。

其中，四氯化硅渣漿處理系統(tǒng)還包括轉(zhuǎn)運(yùn)罐500，所述轉(zhuǎn)運(yùn)罐500與所述干燥攪拌器100的出料口12連接，所述轉(zhuǎn)運(yùn)罐500接收所述渣漿固體物，并采用氮?dú)庾鳛檩d體將所述渣漿固體物運(yùn)送至洗滌包600內(nèi)?？梢岳斫獾氖?，所述轉(zhuǎn)運(yùn)罐上設(shè)有進(jìn)料口和排料口，所述轉(zhuǎn)運(yùn)罐的出料口與所述洗滌包的出口相連，所述轉(zhuǎn)運(yùn)罐的進(jìn)料口與所述干燥攪拌器的出料口相連接。

在本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述氯硅烷回收罐400的頂部具有一冷凝器，所述冷凝器將所述氯硅烷潔凈氣體冷凝成氯硅烷液體，冷凝后的氯硅烷液體流至回收罐內(nèi)；所述氯硅烷回收罐的底部還具有一輸送泵，所述輸送泵用于將所述氯硅烷液體輸送至冷氫化工藝中的急冷器中。

本申請(qǐng)中，在所述洗滌包600內(nèi)進(jìn)行的水解中和反應(yīng)，為本領(lǐng)域的公知常識(shí)，在所述洗滌包600內(nèi)發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)有：

SiCl₄+2H₂O→SiO₂+4HCl；

SiHCl₃+3H₂O→SiO₂+H₂O+3HCl+H₂；

NaOH+SiO₂+H₂O→Na₂SiO₃·nH₂O。

本發(fā)明第二方面提供的冷氫化工藝中的四氯化硅渣漿處理系統(tǒng)，可以將四氯化硅渣漿進(jìn)行充分的循環(huán)流動(dòng)，有效分離得到氯硅烷氣體和渣漿固體物，氯硅烷氣體可以被進(jìn)一步過(guò)濾以除去夾帶的粉塵，并通過(guò)脈沖吹掃將粉塵再返回至干燥攪拌器中，連同所述渣漿固體物一起在洗滌包中進(jìn)行中和處理，使固態(tài)廢渣得到有效處理；而過(guò)濾后的潔凈氣體可以被冷凝回收，再進(jìn)入冷氫化工藝中重新利用。所述處理系統(tǒng)有效解決四氯化硅渣漿的排放問(wèn)題，節(jié)約了能源，做到了環(huán)保。

本發(fā)明還提供了冷氫化工藝中的四氯化硅渣漿處理方法，包括以下步驟：

(1)將冷氫化工藝產(chǎn)生的四氯化硅渣漿導(dǎo)入上述圖1-圖11任一圖所述的干燥攪拌器100中，在所述干燥攪拌器100中對(duì)所述四氯化硅渣漿進(jìn)行加熱、攪拌，分離出氯硅烷氣體和渣漿固體物；

(2)所述氯硅烷氣體通過(guò)所述干燥攪拌器的氣體出口15進(jìn)入所述干燥攪拌器100頂部的過(guò)濾器700內(nèi)，所述過(guò)濾器700如上述圖12-圖14任一圖所示，但不限于此；所述過(guò)濾器700對(duì)所述氯硅烷氣體進(jìn)行過(guò)濾，所述氯硅烷氣體帶出的粉塵被吸附在所述過(guò)濾器700的濾袋75上，得到氯硅烷潔凈氣體，在所述過(guò)濾器700的氮?dú)饷}沖噴吹裝置的噴吹下，吸附在濾袋75上的所述粉塵落入所述干燥攪拌器100中；

(3)所述氯硅烷潔凈氣體進(jìn)入與所述過(guò)濾器700的凈氣出711口連接的氯硅烷回收罐400，并在氯硅烷回收罐400中被冷凝成氯硅烷液體，所述氯硅烷液體用于輸送至冷氫化工藝中進(jìn)行回收利用；

(4)將所述渣漿固體物和落入干燥攪拌器100的所述粉塵排出至洗滌包600內(nèi)，在所述洗滌包600中，所述渣漿固體物和所述粉塵與堿液進(jìn)行水解中和反應(yīng)，并將該中和反應(yīng)后的固液混合物排出。

優(yōu)選地，當(dāng)所述干燥攪拌器的殼體內(nèi)溫度與所述導(dǎo)熱油的出口溫度相差5℃以內(nèi)，且所述干燥攪拌器內(nèi)的壓力在0.1～0.5bar范圍內(nèi)時(shí)，完成一個(gè)干燥周期。

進(jìn)一步優(yōu)選地，當(dāng)所述干燥攪拌器的殼體內(nèi)溫度與所述導(dǎo)熱油的出口溫度相差1℃以內(nèi)，且所述干燥攪拌器內(nèi)的壓力在0.2～0.3bar范圍內(nèi)時(shí)，完成一個(gè)干燥周期。本發(fā)明中對(duì)干燥過(guò)程中的指標(biāo)細(xì)分量化，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)干燥周期的調(diào)節(jié)，可以節(jié)省能源、降低儀器損耗。

本發(fā)明一實(shí)施例中，所述干燥周期為5-7小時(shí)。具體來(lái)說(shuō)：所述四氯化硅渣漿(濕漿料)進(jìn)入干燥攪拌器后的壓力約0.5bar，經(jīng)干燥攪拌器100的夾套內(nèi)導(dǎo)熱油加熱，部分液態(tài)漿料逐漸蒸發(fā)成氯硅烷氣體，此時(shí)干燥攪拌器100內(nèi)的壓力升高到1～2bar(優(yōu)選成1～1.5bar)，壓力升高階段的時(shí)間為1～2小時(shí)；蒸發(fā)出的氣體進(jìn)入過(guò)濾器700，通過(guò)過(guò)濾器上部的濾袋后，經(jīng)由過(guò)濾器的凈氣出口711進(jìn)入氯硅烷回收罐400，氯硅烷回收罐400通過(guò)其壓力調(diào)節(jié)閥使整個(gè)四氯化硅渣漿處理系統(tǒng)(主要指干燥攪拌器100、過(guò)濾器700、氯硅烷回收罐400)的壓力保持在2bar以下，如壓力調(diào)節(jié)閥失效則通過(guò)干燥機(jī)過(guò)濾器頂部的安全閥泄壓。液態(tài)漿料全部蒸發(fā)成氣體后，所述干燥攪拌器內(nèi)的壓力下降到0.7bar左右(0.6-0.7bar)，再?gòu)?.7bar緩慢下降到0.2～0.3bar，此階段的時(shí)間為4～5小時(shí)，至此，所述干燥攪拌器完成一個(gè)干燥周期。

本發(fā)明實(shí)施例中，所述渣漿固體物和落入干燥攪拌器的所述粉塵先排出至轉(zhuǎn)運(yùn)罐500中，所述轉(zhuǎn)運(yùn)罐500與所述干燥攪拌器100的出料口連接，所述轉(zhuǎn)運(yùn)罐500采用氮?dú)庾鳛檩d體將所述渣漿固體物和所述粉塵運(yùn)送至洗滌包600內(nèi)。

所述氯硅烷回收罐的頂部具有一冷凝器，所述冷凝器將所述氯硅烷潔凈氣體冷凝成氯硅烷液體，冷凝后的氯硅烷液體流至回收罐內(nèi)；所述氯硅烷回收罐的底部還具有一輸送泵，所述輸送泵用于將所述氯硅烷液體輸送至冷氫化工藝中的急冷器中。

本發(fā)明第三方面提供的冷氫化工藝中的四氯化硅渣漿處理方法，工藝流程簡(jiǎn)單，能耗低、對(duì)有用物料的回收率高。

以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。