凈化車間的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種凈化車間，其包括車間和設于車間外頂部的凈化空調(diào)機組，車間設有穿過車間墻壁的排風管，排風管的排風出口通過回風管與凈化空調(diào)機組的回風口連通，凈化空調(diào)機組還設有與新風管連通的新風口，凈化空調(diào)機組的送風口連通穿過車間墻壁的送風管，送風管位于車間內(nèi)的送風口處設有高效過濾器；回風管、新風管以及送風管的管路上分別設有用于控制風量的回風調(diào)節(jié)閥、新風調(diào)節(jié)閥以及送風調(diào)節(jié)閥，車間內(nèi)設有靜壓檢測儀，其電連接控制器，控制器電連接回風調(diào)節(jié)閥、回風調(diào)節(jié)閥以及送風調(diào)節(jié)閥。該凈化車間適合電子化學品、光學構造產(chǎn)品等對車間凈化程度有嚴格要求的產(chǎn)品生產(chǎn)、裝配。
【專利說明】凈化車間

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及化工領域，具體涉及一種可用于液體電子化學品生產(chǎn)的凈化車間。

【背景技術】
[0002]超凈高純試劑產(chǎn)品是一類微粒雜質(zhì)有嚴格要求的試劑產(chǎn)品，如微電子行業(yè)中的稀釋劑、剝離液、清洗劑、蝕刻劑等電子化學品均屬于這類試劑。電子化學品按照純度主要分為UP-S級、UP級、EL三個等級。其中，以UP-S級為例，UP-S級電子化學品適用于
0.35、.8 μ m集成電路加工工藝，需要控制金屬雜質(zhì)含量小于lppb、^ 0.5 μ m粒子數(shù)量在5個/mL以內(nèi)、彡0.2μπι粒子數(shù)量在200個/mL以內(nèi)。為此，這類產(chǎn)品需要在具有凈化環(huán)境的車間中進行生產(chǎn)，一般要求達到100級甚至1000級環(huán)境，即> 0.5 μ m顆粒不超過100或1000個/mm3空氣。此外，還要求:車間具有l(wèi)(Tl5mm汞柱的正壓，以避免車間外環(huán)境中的粉塵等進入車間，造成污染；車間溫度維持為恒溫，以避免溫度對物質(zhì)的溶解點等物性參數(shù)造成影響。
[0003]為凈化車間，需要裝配一臺用于過濾車間環(huán)境內(nèi)空氣、并使車間內(nèi)空氣恒溫的凈化空調(diào)機組。為了方便安裝，目前的凈化空調(diào)機組安裝于地面，其送風管從地面的凈化空調(diào)機組一直延伸至車間頂部再送入車間。這種凈化車間的缺點之一是，送風管長，管道熱能損失大，故為保持凈化車間的25±3°C的恒溫環(huán)境，控制主機需要增加能源消耗，尤其是凈化車間需要一天24小時不間斷地保持恒溫環(huán)境，其能源消耗更是巨大。其二是，送風管的管道一般采用鍍鋅鐵皮，其在不斷的使用過程中，其內(nèi)管壁會發(fā)生金屬顆粒的脫落，隨著抽送的空氣進入車間，造成對車間的二次污染；送風管長度大，更增加了這種二次污染的可能性。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術中存在的缺陷，提供一種耗能少、且能有效克服風管對車間二次污染的凈化車間。
[0005]為此，本實用新型是一種凈化車間，其包括車間和設于車間外頂部的凈化空調(diào)機組，車間設有穿過車間墻壁的排風管，排風管的排風出口通過回風管與凈化空調(diào)機組的回風口連通，凈化空調(diào)機組還設有與新風管連通的新風口，凈化空調(diào)機組的送風口連通穿過車間墻壁的送風管，送風管位于車間內(nèi)的送風口處設有高效過濾器；回風管、新風管以及送風管的管路上分別設有用于控制風量的回風調(diào)節(jié)閥、新風調(diào)節(jié)閥以及送風調(diào)節(jié)閥，車間內(nèi)設有靜壓檢測儀，其電連接控制器，控制器電連接回風調(diào)節(jié)閥、回風調(diào)節(jié)閥以及送風調(diào)節(jié)閥。
[0006]優(yōu)選的技術方案是，所述凈化空調(diào)機組包括用于混合新風和回風的混合段、過濾段、加熱冷卻段、風機段和用于向送風口送風的送風段。
[0007]為了提高恒溫效果和過濾效果，優(yōu)選的技術方案是，所述加熱冷卻段設有板式換熱器；所述過濾段包括初效過濾段和中效過濾段，所述加熱冷卻段與所述風機段位于初效過濾段和中效過濾段之間。
[0008]為了避免送風管污染送風管內(nèi)的空氣，優(yōu)選的技術方案是，所述送風管的管壁為復合結構，包括在外的金屬層和在內(nèi)的塑料涂層。也可以將設計所述排風管、回風管和新風管的管壁均為復合結構，包括在外的金屬層和在內(nèi)的塑料涂層。塑料涂層可以起到克服金屬送風管長期使用后脫屑的問題。這里，所述金屬層可以為鍍鋅鐵皮層，所述塑料涂層可以為環(huán)氧樹脂涂層。
[0009]為了使車間的氣流更為均勻平穩(wěn)、循環(huán)進行得更為高效，優(yōu)選的技術方案是，所述送風管包括與所述凈化空調(diào)機組的送風口連通的主送風管和與主送風管連通的、位于車間內(nèi)的若干分送風管。
[0010]為了使車間的氣流更為均勻平穩(wěn)、車間的氣流循環(huán)進行得更為高效，優(yōu)選的技術方案是，所述排風管的排風進口有若干個，且各排風進口設有吸風罩。
[0011]為了提高送風管和高效過濾器的穩(wěn)固性，優(yōu)選的技術方案是，所述送風管以及所述高效過濾器通過凈化的鋼構固定于車間的天花板下方。
[0012]本實用新型的優(yōu)點和有益效果在于:將凈化空調(diào)機組由地面轉移至車間外頂面，縮短了送風管的長度，降低了送風管內(nèi)的熱能損失，進而降低了主機為實現(xiàn)恒溫的能耗；縮短了送風管的長度，也降低了管道內(nèi)金屬顆粒脫落、進而車間二次污染的幾率；另外還在車間內(nèi)設置了靜壓檢測儀控制回風閥、新風閥和送風閥，保證了車間內(nèi)的正壓且壓力恒定，克服了因開門、開關機導致的車間內(nèi)壓力的波動，避免了壓力波動導致的車間污染。為了進一步克服管道內(nèi)顆粒脫落導致車間二次污染的問題，采用了對傳統(tǒng)的鍍鋅鐵皮管的內(nèi)壁進行環(huán)氧涂層涂覆處理，有效地保證管道特別是送風管在長時間使用過程中不脫屑。該凈化車間適合電子化學品、光學構造產(chǎn)品等對車間凈化程度有嚴格要求的產(chǎn)品生產(chǎn)、裝配。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型凈化車間的結構示意圖。
[0014]圖中:1、車間；2、凈化空調(diào)機組；3、排風管；4、回風管；5、新風管；6、送風管；7、高效過濾器；8、靜壓檢測儀；9、控制器；10、機臺；11、鋼構；21、混合段；22-1、初效過濾段；22-2、中效過濾段；23、加熱冷卻段；24、風機段；25、送風段；31、吸風罩；41、回風調(diào)節(jié)閥；51、新風調(diào)節(jié)閥；61、送風調(diào)節(jié)閥。

【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖，對本實用新型的【具體實施方式】作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。
[0016]為此，本實用新型是一種凈化車間，如圖1所示，其包括車間I和設于車間外頂部的凈化空調(diào)機組2，車間I內(nèi)設有機臺10，車間I設有穿過車間墻壁的排風管3，排風管3位于車間I外的排風出口通過回風管4與凈化空調(diào)機組2的回風口連通，凈化空調(diào)機組2還設有與新風管5連通的新風口，凈化空調(diào)機組2的送風口連通穿過車間墻壁的送風管6，送風管6位于車間內(nèi)的送風口處設有高效過濾器7 ;回風管4、新風管5以及送風管6的管路上分別設有用于控制風量的回風調(diào)節(jié)閥41、新風調(diào)節(jié)閥51以及送風調(diào)節(jié)閥61，車間I內(nèi)設有靜壓檢測儀8。靜壓檢測儀8電連接控制器9，控制器9電連接回風調(diào)節(jié)閥41、回風調(diào)節(jié)閥51以及送風調(diào)節(jié)閥61。
[0017]凈化空調(diào)機組2包括用于混合新風和回風的混合段21、過濾段、加熱冷卻段23、風機段24和用于向送風口送風的送風段25。加熱冷卻段23設有板式換熱器；過濾段包括初效過濾段22-1和中效過濾段22-2，加熱冷卻段23與風機段24位于初效過濾段22_1和中效過濾段22-2之間。
[0018]為了避免送風管6污染送風管6內(nèi)的空氣，送風管6的管壁為復合結構，包括在外的金屬層和在內(nèi)的塑料涂層。也可以將設計排風管3、回風管4和新風管5的管壁均為復合結構，包括在外的金屬層和在內(nèi)的塑料涂層。塑料涂層可以起到克服金屬送風管長期使用后脫屑的問題。這里，金屬層可以為鍍鋅鐵皮層，塑料涂層可以為環(huán)氧樹脂涂層。
[0019]為了使車間的氣流更為均勻平穩(wěn)、氣流循環(huán)進行得更為高效，送風管6包括與凈化空調(diào)機組2的送風口連通的主送風管62和與主送風管62連通的、位于車間內(nèi)的若干分送風管63;排風管3位于車間I內(nèi)的排風進口有若干個，且各排風進口設有吸風罩31。
[0020]為了提高安裝穩(wěn)定性，可以通過凈化的鋼構11將送風管6以及高效過濾器7固定于車間I的天花板下方。
[0021]以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種凈化車間，其特征在于，包括車間和設于車間外頂部的凈化空調(diào)機組，車間設有穿過車間墻壁的排風管，排風管的排風出口通過回風管與凈化空調(diào)機組的回風口連通，凈化空調(diào)機組還設有與新風管連通的新風口，凈化空調(diào)機組的送風口連通穿過車間墻壁的送風管，送風管位于車間內(nèi)的送風口處設有高效過濾器；回風管、新風管以及送風管的管路上分別設有用于控制風量的回風調(diào)節(jié)閥、新風調(diào)節(jié)閥以及送風調(diào)節(jié)閥，車間內(nèi)設有靜壓檢測儀，其電連接控制器，控制器電連接回風調(diào)節(jié)閥、回風調(diào)節(jié)閥以及送風調(diào)節(jié)閥。
2.根據(jù)權利要求1所述的凈化車間，其特征在于，所述凈化空調(diào)機組包括用于混合新風和回風的混合段、過濾段、加熱冷卻段、風機段和用于向送風口送風的送風段。
3.根據(jù)權利要求2所述的凈化車間，其特征在于，所述加熱冷卻段設有板式換熱器；所述過濾段包括初效過濾段和中效過濾段，所述加熱冷卻段和所述風機段位于初效過濾段和中效過濾段之間。
4.根據(jù)權利要求1所述的凈化車間，其特征在于，所述送風管的管壁為復合結構，包括在外的金屬層和在內(nèi)的塑料涂層。
5.根據(jù)權利要求4所述的凈化車間，其特征在于，所述排風管、回風管和新風管的管壁均為復合結構，包括在外的金屬層和在內(nèi)的塑料涂層。
6.根據(jù)權利要求4或5所述的凈化車間，其特征在于，所述金屬層為鍍鋅鐵皮層，所述塑料涂層為環(huán)氧樹脂涂層。
7.根據(jù)權利要求1所述的凈化車間，其特征在于，所述送風管包括與所述凈化空調(diào)機組的送風口連通的主送風管和與主送風管連通的、位于車間內(nèi)的若干分送風管。
8.根據(jù)權利要求7所述的凈化車間，其特征在于，所述排風管的排風進口有若干個，且各排風進口設有吸風罩。
9.根據(jù)權利要求7所述的凈化車間，其特征在于，所述送風管以及所述高效過濾器通過凈化的鋼構固定于車間的天花板下方。
【文檔編號】F24F3/16GK204006436SQ201420344711
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年6月26日 優(yōu)先權日:2014年6月26日
【發(fā)明者】殷福華, 朱永剛, 朱龍, 趙文虎 申請人:江陰江化微電子材料股份有限公司