一種廢氣處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種廢氣處理裝置。更具體地說，本發(fā)明涉及一種用于處理半導(dǎo)體制造工藝中產(chǎn)生的廢氣的廢氣處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制作工藝中需要使用多種特殊氣體以及大量的酸或堿，在半導(dǎo)體制造的不同工藝中使用并產(chǎn)生大量的廢氣，這些廢氣通過排風(fēng)系統(tǒng)收集并處理，以防止直接排放對(duì)環(huán)境以及人們的身體健康造成的嚴(yán)重后果。
[0003]半導(dǎo)體制作工藝中產(chǎn)生的廢氣一般采取水洗、燃燒、吸附、解離等方法，然而燃燒水洗式去除廢氣的方法能有效處理廢氣中的主要廢棄物PFCs，能處理大流量的廢氣，同時(shí)去除各種可燃性的污染物，對(duì)環(huán)境污染較少，但是燃燒室內(nèi)氣體燃盡的灰燼以及高溫對(duì)燃燒室內(nèi)壁容易造成結(jié)垢，降低燃燒室的使用壽命，一般對(duì)燃燒室進(jìn)行定期清理，但常以刮刀直接在燃燒室的內(nèi)壁上采用強(qiáng)力去除，對(duì)燃燒室的結(jié)構(gòu)造成破壞，仍舊會(huì)降低其使用壽命，同時(shí)，刮刀一般通過軸直接設(shè)置于燃燒室內(nèi)，要求刮刀和軸具有耐火耐高溫的特性，另外，廢氣的處理除了燃燒之外，一般多采用水洗或其他酸堿性液體洗滌，但是一般采用噴嘴使用于洗滌或吸收的液體噴出，噴嘴噴出的液體流量有限，造成廢氣處理的效率較低，且增加了用于洗滌或吸收的液體的用量，造成不必要的資源浪費(fèi)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的一個(gè)目的是解決至少上述問題和/或缺陷，并提供至少后面將說明的優(yōu)點(diǎn)。
[0005]本發(fā)明還有一個(gè)目的是提供一種廢氣處理裝置，在燃燒室的內(nèi)壁設(shè)置光面層，減少燃燒室內(nèi)壁吸附燃燒產(chǎn)生的固體顆粒，設(shè)置隔熱層以防止工作人員被燃燒室燙傷；
[0006]本發(fā)明還有一個(gè)目的是通過設(shè)計(jì)一種帶有夾層的噴淋管，通過在噴淋管內(nèi)壁沿其圓周方向間隔設(shè)置貫通孔，可以充分增加液體的流量，增加液體與氣體的接觸面，從而提高液體水洗對(duì)廢氣的處理能力；
[0007]本發(fā)明還有一個(gè)目的是通過設(shè)置一個(gè)可拆卸的內(nèi)壁清潔裝置，在不使用時(shí)可以取出，降低了對(duì)主軸及刮刀的性能要求，通過在主軸上設(shè)置滑槽，方便更換毛刷和刮刀，提高了主軸的使用壽命，結(jié)合內(nèi)壁的結(jié)垢程度，對(duì)燃燒室內(nèi)壁進(jìn)行處理。
[0008]為了實(shí)現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的這些目的和其它優(yōu)點(diǎn)，提供了一種廢氣處理裝置，包括:
[0009]燃燒室，其為中空的圓柱形筒體，所述燃燒室的上部設(shè)有第一進(jìn)氣口，其與第一進(jìn)氣管連通，其下部設(shè)有第一排氣口，其中，所述燃燒室由外至內(nèi)依次為隔熱層、粘層和光面層；
[0010]第一沉降池，其位于所述燃燒室的下方，所述第一沉降池上方有第一開口，其側(cè)壁靠近所述第一開口的上部設(shè)有第二排氣口，其側(cè)壁靠近所述第一沉降池底部的部位設(shè)有第一排水口 ；
[0011]第一噴淋管，其連接所述第一排氣口與所述第一開口，所述第一噴淋管為中空的圓柱體，其內(nèi)壁與外壁之間設(shè)有一容置空間，所述第一噴淋管的內(nèi)壁上設(shè)有三層沿其圓周方向設(shè)置的多個(gè)間隔排列的圓形通孔，所述第一噴淋管的外壁上設(shè)有一連接控制閥的入水孔；
[0012]第二沉降池，其側(cè)壁的上部設(shè)有第二進(jìn)氣口，所述第二進(jìn)氣口通過一導(dǎo)管與所述第二排氣口連通，所述第二沉降池的上部設(shè)有第二開口，所述第二沉降池的側(cè)壁靠近所述第二沉降池底部的部位設(shè)有第二排水口；
[0013]第二噴淋管，其一端與所述第二開口連通，另一端與大氣連通。
[0014]優(yōu)選的是，所述的廢氣處理裝置，還包括內(nèi)壁清潔裝置，其包括:
[0015]主軸，其可拆卸地豎直設(shè)置在所述燃燒室內(nèi)，所述主軸沿其軸向方向上相對(duì)設(shè)有兩個(gè)滑槽；
[0016]電機(jī)，其連接所述主軸并驅(qū)動(dòng)所述主軸沿所述燃燒室的圓周方向運(yùn)動(dòng)；
[0017]毛刷，其通過所述兩個(gè)滑槽的其中一個(gè)滑槽與所述主軸可拆卸連接；
[0018]刮刀，其通過另一個(gè)滑槽與所述主軸可拆卸連接。
[0019]優(yōu)選的是，所述的廢氣處理裝置，所述主軸沿其軸向方向上設(shè)有竹節(jié)伸縮結(jié)構(gòu)。
[0020]優(yōu)選的是，所述的廢氣處理裝置，所述第二噴淋管與所述第二沉降池之間設(shè)有與兩者相連通的第三噴淋管。
[0021]優(yōu)選的是，所述的廢氣處理裝置，所述第二噴淋管與所述第三噴淋管均為中空的圓柱體，其內(nèi)壁與外壁之間均設(shè)有一容置空間，所述第二噴淋管和所述第三噴淋管的外壁上設(shè)有一連接控制閥的入水孔，其中，所述第三噴淋管的內(nèi)壁上設(shè)有兩層沿其圓周方向設(shè)置的多個(gè)間隔排列的圓形通孔，所述第二噴淋管的內(nèi)壁上設(shè)有一層沿其圓周方向設(shè)置的多個(gè)間隔排列的圓形通孔。
[0022]優(yōu)選的是，所述的廢氣處理裝置，所述圓形通孔的孔徑為0.5-1.5mm。
[0023]優(yōu)選的是，所述的廢氣處理裝置，所述第一沉降池的第一排水口與所述第二沉降池的第二排水口均連接有流量控制閥。
[0024]優(yōu)選的是，所述的廢氣處理裝置，所述第二噴淋管、所述第三噴淋管和所述第二沉降池均通過耐腐蝕材料制成。
[0025]本發(fā)明至少包括以下有益效果:
[0026]I)在燃燒室的內(nèi)壁設(shè)置光面層，減少燃燒室內(nèi)壁吸附燃燒產(chǎn)生的固體顆粒，設(shè)置隔熱層以防止工作人員被燃燒室燙傷；
[0027]2)通過設(shè)計(jì)一種帶有夾層的噴淋管，通過在噴淋管內(nèi)壁沿其圓周方向間隔設(shè)置貫通孔，可以充分增加液體的流量，增加液體與氣體的接觸面，從而提高液體水洗對(duì)廢氣的處理能力；
[0028]3)通過設(shè)置一個(gè)可拆卸的內(nèi)壁清潔裝置，在不使用時(shí)可以取出，降低了對(duì)主軸及刮刀的性能要求，通過在主軸上設(shè)置滑槽，方便更換毛刷和刮刀，提高了主軸的使用壽命，結(jié)合內(nèi)壁的結(jié)垢程度，對(duì)燃燒室內(nèi)壁進(jìn)行處理；
[0029]4)通過設(shè)置第二噴淋管和第三噴淋管，對(duì)廢氣進(jìn)一步通過水洗的方式處理，提高氣體的凈化率，降低對(duì)環(huán)境的污染；
[0030]5)噴淋管上圓形通孔的孔徑為0.5-1.5mm，孔徑過大，液體沿噴淋管的內(nèi)壁流下，無法以流線射出，與氣體接觸少，對(duì)氣體的處理能力較差，孔徑過小，水流量太小，無法將氣體中攜帶的固體顆粒吸附，也無法將氣體中的有害成分去除。
[0031]本發(fā)明的其它優(yōu)點(diǎn)、目標(biāo)和特征將部分通過下面的說明體現(xiàn)，部分還將通過對(duì)本發(fā)明的研宄和實(shí)踐而為本領(lǐng)域的技術(shù)人員所理解。
【附圖說明】
[0032]圖1為本發(fā)明的廢氣處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0033]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說明，以令本領(lǐng)域技術(shù)人員參照說明書文字能夠據(jù)以實(shí)施。
[0034]應(yīng)當(dāng)理解，本文所使用的諸如“具有”、“包含”以及“包括”術(shù)語并不配出一個(gè)或多個(gè)其它元件或其組合的存在或添加。
[0035]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)現(xiàn)形式，一種廢氣處理裝置，包括:
[0036]燃燒室1，其為中空的圓柱形筒體