一種用于物理氣相沉積鍍膜的基片自動裝卸系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于物理氣相沉積鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種用于物理氣相沉積鍍膜的基片自動裝卸系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前采用物理氣相沉積(Physial Vapor Deposit1n, PVD)對基片進行鍍膜時，小尺寸(355*406mm)的基片有的采用人工上、下片，有的采用小吸盤點吸或者非接觸式吸取基片鍍膜面來完成上、下片；大規(guī)格、工業(yè)化規(guī)格的基片大部分都采用翻片機配套X/Y軸傳輸?shù)姆绞?；大?guī)格超薄玻璃大部分都米用非接觸式上、下片。
[0003]但是采用翻片機配套X/Y軸傳輸?shù)姆绞降臋C械機構(gòu)比較復(fù)雜，信號、到位等都也比較復(fù)雜，一旦發(fā)生跑偏后容易造成玻璃破碎，系統(tǒng)穩(wěn)定性不高；非接觸式上片(通過正吸氣>正吹氣方式)只能針對玻璃較輕的可以實現(xiàn)，一旦玻璃較重或者變形較大時則無法實現(xiàn)。
[0004]其次目前翻片機配套X/Y軸傳輸?shù)姆绞接捎诓襟E較多，穩(wěn)定翻轉(zhuǎn)過程中需要的時間比較長，無法滿足PVD鍍膜段的高節(jié)拍的需求。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點與不足，本實用新型的目的在于提供一種用于物理氣相沉積鍍膜的基片自動裝卸系統(tǒng)，特別是在玻璃基片的物理氣相沉積鍍膜過程中，即能實現(xiàn)自動取放基片而不需要手工取放的目的，又可保持鍍膜面的潔凈，同時可實現(xiàn)高效率、高節(jié)拍的效果。
[0006]本實用新型的目的通過下述技術(shù)方案實現(xiàn):
[0007]—種用于物理氣相沉積鍍膜的基片自動裝卸系統(tǒng)，包括依次設(shè)置的用于放置玻璃襯底的上料臺、裝片過渡臺、基片架、PVD上料段及PVD鍍膜段，所述基片架設(shè)置在裝片過渡臺上，所述上料臺與裝片過渡臺之間設(shè)有用于吸取玻璃襯底并放置在基片架內(nèi)的吸盤夾具、所述吸盤夾具連接有第一機器人；所述基片架與PVD上料段之間設(shè)有用于搬運基片架的夾爪夾具，所述夾爪夾具連接有第二機器人。
[0008]具體的，所述上料臺包括一機架和若干歸正氣缸；所述機架為框架結(jié)構(gòu)，所述歸正氣缸相對設(shè)置在機架兩側(cè)；機架用于放置玻璃襯底，歸正氣缸連接有用于將玻璃襯底進行歸正、定位的對位推塊。
[0009]具體的，所述吸盤夾具包括一吸盤底座和若干真空吸盤；所述吸盤底座為框架結(jié)構(gòu)，所述真空吸盤均勻設(shè)置在吸盤底座周邊，所述吸盤底座一端設(shè)有與第一機器人固定連接的第一連接件。
[0010]具體的，所述第一機器人設(shè)有第一機械臂，所述第一機械臂前端設(shè)置有與吸盤夾具固定連接的第二連接件，所述第一連接件與第二連接件鉸接。
[0011]具體的，所述夾爪夾具包括一夾爪支撐座，在相對夾爪支撐座的底部向前突出延伸有氣缸固定軸，所述氣缸固定軸上安裝有偶數(shù)個夾持氣缸，所述夾持氣缸每兩個為一組且每一組夾持氣缸相互對稱地設(shè)置在氣缸固定軸上，所述夾持氣缸的活動端固定設(shè)置有夾持招塊。
[0012]具體的，所述裝片過渡臺包括無痕墊塊以及升降平臺，所述無痕墊塊與升降平臺相連并設(shè)置在升降平臺的上方。
[0013]具體的，所述基片架為鏤空框架結(jié)構(gòu)，包括基片支撐框架，所述基片支撐框架上設(shè)有用于固定玻璃襯底的彈簧夾具，所述彈簧夾具連接有夾具開合氣缸。
[0014]具體的，所述基片架還設(shè)有磁導(dǎo)桿和下導(dǎo)桿，所述PVD上料段包括上料機架，所述上料機架上設(shè)有磁導(dǎo)軌、V型輪及伸縮氣缸，所述伸縮氣缸設(shè)置在上料機架的頂部，所述伸縮氣缸的活塞桿與磁導(dǎo)軌連接，所述V型輪與基片架的下導(dǎo)桿相連接，所述的磁導(dǎo)軌與基片架的磁導(dǎo)桿相連接。
[0015]本實用新型相對于現(xiàn)有技術(shù)具有如下的優(yōu)點及效果:
[0016]本實用新型通過機器人與夾爪夾具連接，夾爪夾具對基片架進行搬運取代了目前常用的機器人通過吸盤對玻璃襯底鍍膜面進行搬運的方式，穩(wěn)定性高、節(jié)拍快、可兼容不同基片規(guī)格，并且對玻璃襯底鍍膜面無影響、不受玻璃變形影響；通過機器人吸盤夾具吸住襯底背面搬運襯底進行基片架的上下片避免了吸盤等對襯底鍍膜面的影響；可以完全取代現(xiàn)有的平移段、翻片機及X/Y軸上下料傳輸系統(tǒng)。
【附圖說明】
[0017]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2為上料臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖3為吸盤夾具的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖4為第一機器人的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖5為夾爪夾具的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖6為裝片過渡臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖7為基片架的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖8為PVD上料段的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0025]下面結(jié)合實施例對本實用新型作進一步詳細的描述，但本實用新型的實施方式不限于此。
[0026]實施例
[0027]如圖1所示，本實施例提供一種用于物理氣相沉積鍍膜的基片自動裝卸系統(tǒng)，包括依次設(shè)置的用于放置玻璃襯底的上料臺1、裝片過渡臺2、基片架3、PVD上料段4及PVD鍍膜段5，所述基片架3設(shè)置在裝片過渡臺4上，所述上料臺1與裝片過渡臺2之間設(shè)有用于吸取玻璃襯底并放置在基片架內(nèi)的吸盤夾具6、所述吸盤夾具6連接有第一機器人7 ;所述基片架3與PVD上料段4之間設(shè)有用于搬運基片架3的夾爪夾具8，所述夾爪夾具8連接有第二機器人9。
[0028]本實施例中，所述PVD鍍膜段5之后還設(shè)有PVD下料段10 ;為了節(jié)省提高機臺稼動率，所述上料臺1的一側(cè)還設(shè)有下料臺11。
[0029]如圖2，所述上料臺1包括一機架101和若干歸正氣缸102 ;所述機架101為框架結(jié)構(gòu)，所述歸正氣缸102相對設(shè)置在機架兩側(cè)；機架101用于放置玻璃襯底，歸正氣缸102連接有用于將玻璃襯底進行歸正、定位的對位推塊103。通過上述結(jié)構(gòu)，在玻璃襯底輸送到機架內(nèi)時，歸正氣缸驅(qū)動對位推塊將玻璃襯底歸正，使吸盤夾具可準確吸取玻璃襯底。
[0030]如圖3，所述吸盤夾具6包括一吸盤底座601和若干真空吸盤602 ;所述吸盤底座601為框架結(jié)構(gòu)，所述真空吸盤602均勻設(shè)置在吸盤底座601周邊，所述吸盤底座601 —端設(shè)有與第一機器人7固定連接的第一連接件603。
[0031]如圖4，所述第一機器人7設(shè)有第一機械臂701，所述第一機械臂701前端設(shè)置有與吸盤夾具6固定連接的第二連接件702，所述第一連接