一種低濕儲存箱的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種潔凈室用儲存箱，尤其涉及一種濕度可控的儲存箱。
【背景技術(shù)】
[0002]伴隨著晶元(wafer)生產(chǎn)的微細(xì)化、高集成化的發(fā)展，對制造環(huán)境(潔凈室)的要求越來越高，潔凈室的濕度一般在40%?55% RH之間，如此高的濕度雖然可以有效預(yù)防靜電產(chǎn)生，然后也給部分元器件在生產(chǎn)過程中的儲存帶來極大的不便:(I)如環(huán)氧類樹脂制成的中間產(chǎn)品在高濕度環(huán)境下容易收縮或膨脹，對于高精密的元件，些許膨脹或收縮都可對成品率造成很大的影響；(2)如晶片上的金屬線路在氧氣和濕氣存在環(huán)境下容易被氧化，最常見的就是在焊接區(qū)域的表面產(chǎn)生一層氧化鋁，嚴(yán)重時(shí)，該焊接區(qū)域會變色或銹蝕。
[0003]針對此問題，市面上出現(xiàn)了各式各樣的防潮箱，防潮箱結(jié)構(gòu)各異，普遍采用除濕部件，其濕度僅在一定范圍內(nèi)可調(diào)節(jié)，但難以調(diào)至5% RH以下，如專利號為200810212554.2的中國專利公開了一種片材進(jìn)給器，進(jìn)給器設(shè)置有一個(gè)熱再生型除濕部件來調(diào)節(jié)濕度，其濕度很難降至5% RH以下。為此，開發(fā)了極低濕干燥柜，在柜內(nèi)設(shè)置若干個(gè)除濕主機(jī)，其通過化學(xué)補(bǔ)位吸濕控制柜內(nèi)濕度，濕度可達(dá)到5% RH以下。但是該極低濕干燥柜存在以下問題:
(I)由于柜內(nèi)為微負(fù)壓，一旦打開柜門，外部環(huán)境的高濕度(40%?55% RH)空氣迅速進(jìn)入并充滿柜內(nèi)，柜內(nèi)濕度驟升，恢復(fù)至5% RH以下耗時(shí)長(至少5h以上)；而在晶元(wafer)生產(chǎn)工序中，儲存柜柜門開啟頻繁，開柜門間隔時(shí)間可能為2-3h，如此長的平衡時(shí)間給生產(chǎn)帶來不便；(2)除濕主機(jī)比較昂貴，所以干燥柜也比較昂貴，且除濕主機(jī)使用壽命有限，更換成本較高；(3)該極低濕干燥柜主材為鋼鐵，及其笨重，由于晶元(wafer)行業(yè)使用的除濕柜在生產(chǎn)工序中常需移動，極為不便。綜上原因，該極低濕干燥柜不適于晶元(wafer)行業(yè)應(yīng)用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明為解決現(xiàn)有技術(shù)中儲存箱內(nèi)濕度難以達(dá)到5% RH、可移動性差且平衡時(shí)間長的難題，提供一種濕度可控制在5% RH以下、輕便、且可快速平衡的低濕度儲存箱。
[0005]為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種低濕儲存箱，包括:
[0006]--儲存箱主體；
[0007]—一濕度計(jì)，其用于測量和顯示儲存箱主體內(nèi)的濕度；
[0008]所述低濕度儲存箱設(shè)置有進(jìn)氣孔和排氣孔；
[0009]所述儲存箱主體還連接有氣體供應(yīng)裝置，為儲存箱提供氣源；
[0010]所述儲存箱主體設(shè)置有N扇用于開關(guān)和閉合的箱門；
[0011]所述儲存箱內(nèi)從下往上依次設(shè)置有第一基板……第N基板，N為大于等于I的整數(shù)；
[0012]所述基板按照固定的間隔設(shè)置，優(yōu)選按照等距設(shè)置；
[0013]所述儲存箱主體的內(nèi)壁上以相對的方式設(shè)置有N組成對的支持部件；
[0014]所述支持部件可為內(nèi)嵌在主體內(nèi)壁上的凹槽；
[0015]所述基板上設(shè)置有至少一個(gè)通孔；
[0016]所述進(jìn)氣孔設(shè)置在儲存箱主體的后壁或側(cè)壁的一端，其水平位置低于第一基板；所述進(jìn)氣孔通過進(jìn)氣管連接氣體供應(yīng)裝置；
[0017]優(yōu)選所述氣體供應(yīng)裝置和進(jìn)氣孔之間設(shè)置有調(diào)節(jié)閥；進(jìn)一步優(yōu)選所述調(diào)節(jié)閥和進(jìn)氣孔之間還設(shè)置有壓力計(jì)；
[0018]離進(jìn)氣孔較遠(yuǎn)的所述側(cè)壁上設(shè)置有氣流夾層，其通過側(cè)壁上的通孔與儲存箱主體聯(lián)通。
[0019]優(yōu)選所述氣流夾層為豎直設(shè)置，進(jìn)一步優(yōu)選所述氣流夾層的下端不高于第一基板的水平位置，上端高于儲存箱主體I的頂壁；
[0020]所述儲存箱主體的頂壁以上設(shè)置有一氣流通道，所述氣流通道和氣流夾層通過通孔聯(lián)通；
[0021]所述排氣孔設(shè)置在氣流通道的后壁或未設(shè)置通孔的側(cè)壁上，所述排氣孔連接排氣管；
[0022]優(yōu)選所述排氣管末端設(shè)置有回止閥和流量計(jì)；
[0023]所述氣流通道內(nèi)設(shè)置有濕度計(jì)，優(yōu)選所述氣流通道的側(cè)壁上設(shè)置有門；
[0024]所述儲存箱主體材料為丙烯酸樹脂。
[0025]所述儲存箱可設(shè)置車輪，也可放置在推車上，輕便可移動。
[0026]首先，本發(fā)明采用干燥的氣體(惰性氣體)置換濕度高的空氣，能迅速降低箱體內(nèi)的濕度，并長期將箱內(nèi)濕度控制在5% RH以下。其次，本發(fā)明通過設(shè)置通孔、氣流夾層和氣流通道，給箱內(nèi)設(shè)計(jì)了一個(gè)合理的氣流路線，使得儲存箱主體內(nèi)無死角。不但可有效降低儲存箱運(yùn)轉(zhuǎn)過程中的氣流阻力，而且在較低正壓的條件下即可快速地置換空氣，密封件不易老化。再者，本發(fā)明相互獨(dú)立設(shè)置的箱門賦予儲存箱相互獨(dú)立的空間，開啟其中任意箱門，箱內(nèi)其他空間的濕度幾乎不受影響；本發(fā)明的儲存箱不需要通電使用，氣源可采用潔凈室的高純氮?dú)?，較電子式干燥柜，其成本低廉；最后，本發(fā)明采用吸水性低的丙烯酸樹脂為箱主體材料，不僅輕便、剛性高，還具有內(nèi)部可視性，操作方便。
【附圖說明】
[0027]圖1是本發(fā)明實(shí)施例的立體示意圖
【具體實(shí)施方式】
[0028]如圖1所示，一種低濕度儲藏箱包括儲存箱主體1、用于供應(yīng)氣體的氣體供應(yīng)裝置2和用于測量和顯示儲存箱主體I內(nèi)濕度的濕度計(jì)3。
[0029]儲存箱主體I設(shè)置有N扇用于開關(guān)和閉合的箱門4(從下往上依次為41、42、43……4N)，箱門4和儲存箱主體接觸處可設(shè)置密封部件，使得兩者之間形成一個(gè)密封良好的封閉空間。儲存箱內(nèi)設(shè)置有基板5，基板5用于放置元器件，可設(shè)置為一塊或多塊，如果設(shè)置為多塊時(shí)，從下往上依次為第一基板51、第二基板52、第三基板53……第N基板5N。儲存箱主體I的內(nèi)壁上以相對的方式設(shè)置有N組成對的支持部件，支持部件可為內(nèi)嵌在主體內(nèi)壁上的凹槽?；?按照固定的間隔設(shè)置，基板上設(shè)置有通孔61，每塊基板上的通孔61至少一個(gè)。儲存箱主體1的壁上設(shè)置有至少一個(gè)進(jìn)氣孔71，進(jìn)氣孔71的水平位置應(yīng)當(dāng)?shù)?