物品運輸設備及頂棚運輸車的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及通過沿著設置在設備的頂棚附近的運輸路行駛的頂棚運輸車進行物品的運輸?shù)奈锲愤\輸設備、及其頂棚運輸車。
【背景技術】
[0002]在半導體裝置的制造設備等中，采用如下的物品運輸設備的方式，該方式構(gòu)成為，運輸車(頂棚運輸車)沿著設置在設備的頂棚附近的運輸路(行進軌道)行進，通過由該頂棚運輸車懸掛下方的物品(收容有多個半導體晶片、制作過程中的半導體裝置的容器、鐵環(huán)、箱子等)，使得物品沿著運輸路而運輸。
[0003]在這樣的物品運輸設備中使用的頂棚運輸車通常在車體的左右分別具備用于在左右一對行進軌道上行進的車輪(驅(qū)動輪)，關于向該左右的驅(qū)動輪傳遞旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力的車軸，多數(shù)形成為使用左右共用的車軸的結(jié)構(gòu)。此時，在運輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間，即行進軌道形狀為曲線的區(qū)間中，由于驅(qū)動輪需要通過的距離在左右不同(產(chǎn)生內(nèi)外輪差)，如果使其以與在直行區(qū)間相同的方式行進，則頂棚運輸車的姿勢會相對于需要行進的方向在左右發(fā)生偏離。由此，會發(fā)生頂棚運輸車卡在轉(zhuǎn)彎區(qū)間而停止行進，甚至在最壞的情況下會產(chǎn)生頂棚運輸車從行進軌道翻落的情形，為了防止這樣的情況發(fā)生，需要采用通過差動齒輪對左右驅(qū)動輪的轉(zhuǎn)速進行調(diào)整等涉及內(nèi)外輪差的對策。
[0004]然而，如果頂棚運輸車除了用于物品懸掛的控制裝置等之外還具備差動齒輪等用于使左右驅(qū)動輪的轉(zhuǎn)速不同的復雜的機構(gòu)，則會使頂棚運輸車的尺寸變得過大，不得不為了運輸而確保大的空間，而且會使頂棚運輸車的制造成本升高。
[0005]對此，在專利文獻I記載的發(fā)明中，在運輸臺車的驅(qū)動輪上準備了大徑部分和小徑部分，在轉(zhuǎn)彎區(qū)間中，小徑部分在內(nèi)周側(cè)與行進軌道接觸，大徑部分在外周側(cè)與行進軌道接觸，據(jù)此，即使通過共用的驅(qū)動軸來驅(qū)動左右的驅(qū)動輪，也能夠不使用差動齒輪等機構(gòu)而能夠順利地轉(zhuǎn)彎行進。
[0006]在先技術文獻
[0007]專利文獻
[0008]專利文獻1:日本特開2008-044400

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]發(fā)明所要解決的課題
[0010]然而，專利文獻I記載的運輸臺車存在只能根據(jù)與大徑部分同小徑部分的直徑之比相對應的曲率半徑進行轉(zhuǎn)彎的問題。
[0011]S卩，雖然能夠順利地進行特定的曲率半徑的轉(zhuǎn)彎，但對于除此以外的曲率半徑的轉(zhuǎn)彎則因為產(chǎn)生了內(nèi)外輪差而不能順利地行進。因此，能夠在轉(zhuǎn)彎區(qū)間中采用的曲率半徑僅限于一種特定規(guī)格，限制了行進軌道的布局。
[0012]另外，在使用頂棚運輸車的物品運輸設備中，根據(jù)用于懸掛物品的機構(gòu)的形狀，存在該機構(gòu)與外周側(cè)的行進軌道在轉(zhuǎn)彎區(qū)間中碰撞的可能性。即，由于外周側(cè)的部分在轉(zhuǎn)彎區(qū)間內(nèi)大范圍地移動，如果在其移動范圍內(nèi)存在行進軌道，則會發(fā)生其與行進軌道碰撞的冋題。
[0013]對此，能夠通過在有可能發(fā)生碰撞的范圍中設置成不鋪設外周側(cè)行進軌道，設置外周側(cè)行進軌道中斷的區(qū)間，由此防止上述問題。
[0014]然而，如果設置外周側(cè)行進軌道中斷的區(qū)間，則在該區(qū)間中只有內(nèi)周側(cè)的車輪相對于行進軌道接觸，因而在該區(qū)間中頂棚運輸車停止行進的情況下，需要預先設置成能夠只通過內(nèi)周側(cè)的車輪提供起動轉(zhuǎn)矩。
[0015]因此，在本發(fā)明中，具有如下目的:頂棚運輸車設置成能夠以各種的曲率的轉(zhuǎn)彎行進而提高行進軌道的布局自由度；并且能夠防止頂棚運輸車的機構(gòu)與行進軌道碰撞；并且即使頂棚運輸車在任一區(qū)間停止行進時都能確保用于再起動的轉(zhuǎn)矩。
[0016]用于解決課題的方案
[0017]本發(fā)明中的物品運輸設備是通過沿著運輸路行進的頂棚運輸車而運輸物品的物品運輸設備，在物品運輸設施的頂棚側(cè)，沿著所述運輸路敷設有左右一對行進軌道，所述頂棚運輸車具備:由所述行進軌道支承而通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動使頂棚運輸車沿著所述行進軌道行進的驅(qū)動輪；與所述驅(qū)動輪相獨立地旋轉(zhuǎn)的從動輪；所述頂棚運輸車的所述驅(qū)動輪及所述從動輪分別設置在相對于運輸方向的左方和右方的兩側(cè)，構(gòu)成為，在所述運輸路的直行區(qū)間中，所述頂棚運輸車的左右兩側(cè)的驅(qū)動輪分別由左右一對所述行進軌道支承，在所述運輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間中，所述頂棚運輸車的內(nèi)周側(cè)的從動輪由內(nèi)周側(cè)的行進軌道支承，所述頂棚運輸車的外周側(cè)的驅(qū)動輪由外周側(cè)的行進軌道支承。
[0018]根據(jù)該物品運輸設備，由于從動輪在轉(zhuǎn)彎區(qū)間的內(nèi)周側(cè)由行進軌道支承，驅(qū)動輪在外周側(cè)由行進軌道支承，所以內(nèi)周側(cè)的車輪(從動輪)的轉(zhuǎn)速根據(jù)外周側(cè)的車輪(驅(qū)動輪)的轉(zhuǎn)速和內(nèi)周側(cè)的行進軌道的曲率而自動地調(diào)節(jié)。因此，即使不使用差動齒輪那樣的復雜的機構(gòu)，也能夠使頂棚運輸車的左右的車輪的轉(zhuǎn)速不同。
[0019]另外，也可以構(gòu)成為:在運輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間的一部分設置有外周側(cè)的行進軌道中斷了的外周行進軌道中斷區(qū)間，在相對于頂棚運輸車的運輸方向的左方和右方的兩側(cè)，設置有直徑比驅(qū)動輪小且與驅(qū)動輪共同旋轉(zhuǎn)的輔助驅(qū)動輪，在所述運輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間中，在所述外周行進軌道中斷區(qū)間中，所述頂棚運輸車的內(nèi)周側(cè)的所述輔助驅(qū)動輪由內(nèi)周側(cè)的行進軌道支承。
[0020]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在頂棚運輸車通過懸掛方式而運輸物品的情況下，能夠防止由于頂棚運輸車而導致的用于懸掛的機構(gòu)在轉(zhuǎn)彎區(qū)間與外周行進軌道的碰撞，而且形成了無論在哪一個區(qū)間中內(nèi)周側(cè)和外周側(cè)的哪一方的驅(qū)動輪或者輔助驅(qū)動輪都一定由行進軌道支承的狀態(tài)。
[0021]另外，也可以設置為:驅(qū)動輪與從動輪的直徑不同，在運輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間中的左右一對行進軌道在行進軌道表面上設置有高低差，以便在內(nèi)周側(cè)形成為一邊支承從動輪一邊從驅(qū)動輪離開的形狀，在外周側(cè)形成為支承驅(qū)動輪的形狀。
[0022]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，隨著頂棚運輸車沿著行進軌道行進，對于驅(qū)動輪與從動輪中的哪一方由行進軌道支承，能夠根據(jù)行進軌道形狀而自動地選擇。
[0023]另外，也可以設置成:在頂棚運輸車具有輔助驅(qū)動輪的形態(tài)中，驅(qū)動輪、從動輪、輔助驅(qū)動輪的直徑不同，在運輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間之中在外周行進軌道中斷區(qū)間以外的左右一對行進軌道在行進軌道表面上設置高低差，以便在內(nèi)周側(cè)形成為一邊支承從動輪一邊從驅(qū)動輪及輔助驅(qū)動輪離開的形狀，在外周側(cè)形成為一邊支承驅(qū)動輪一邊從輔助驅(qū)動輪離開的形狀，在外周行進軌道中斷區(qū)間中的內(nèi)周側(cè)的行進軌道在行進軌道表面上設置高低差，以便形成為一邊支承輔助驅(qū)動輪一邊從驅(qū)動輪離開的形狀。
[0024]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，隨著頂棚運輸車沿著行進軌道行進，對于驅(qū)動輪、從動輪、輔助驅(qū)動輪的哪一方由行進軌道支承，能夠根據(jù)行進軌道形狀而自動地選擇。
[0025]另外，也可以設置成:在頂棚運輸車具有輔助驅(qū)動輪的形態(tài)中，驅(qū)動輪、從動輪、輔助驅(qū)動輪的旋轉(zhuǎn)軸為同軸，在驅(qū)動輪與輔助驅(qū)動輪之間配置有從動輪。
[0026]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，僅通過對只具備驅(qū)動輪的頂棚運輸車進行稍微改造(相對于驅(qū)動輪同軸地固定追加的輔助驅(qū)動輪，在該追加車輪的輪軸上經(jīng)由軸承安裝從動輪)，就能夠獲得具備驅(qū)動輪、從動輪、輔助驅(qū)動輪的頂棚運輸車。
[0027]另外，在本發(fā)明中的頂棚運輸車是沿著左右一對行進軌道行進的頂棚運輸車，該行進軌道在物品運輸設施的頂棚側(cè)沿著運輸路而敷設，在相對于運輸方向的左方和右方的兩側(cè)分別具備:為了沿著所述行進軌道行進而由所述行進軌道支承并旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的驅(qū)動輪；與所述驅(qū)動輪相獨立地旋轉(zhuǎn)的從動輪；在所述運輸路的直行區(qū)間中，所述驅(qū)動輪左右兩側(cè)都分別由左右一對所述行進軌道支承，在所述運輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間中，只有所述驅(qū)動輪外周側(cè)由外周側(cè)的行進軌道支承，在所述運輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間所述從動輪的內(nèi)周側(cè)由內(nèi)周側(cè)的行進軌道支承。
[0028]根據(jù)該頂棚運輸車，由于在轉(zhuǎn)彎區(qū)間的內(nèi)周側(cè)中從動輪由行進軌道支承，在外周側(cè)驅(qū)動輪由進軌道支承，因而內(nèi)周側(cè)的從動輪的轉(zhuǎn)速能夠根據(jù)外周側(cè)的驅(qū)動輪的轉(zhuǎn)速和內(nèi)周側(cè)的行進軌道的曲率而自動地調(diào)節(jié)。因此，即使不使用差動齒輪這樣復雜的機構(gòu)，也能夠使左右的車輪的轉(zhuǎn)速不同。
[0029]發(fā)明效果
[0030]根據(jù)本發(fā)明，因為即使不使用復雜的機構(gòu)也能夠使頂棚運輸車的左右的車輪的轉(zhuǎn)速不同，所以頂棚運輸車能夠相對于任何曲率的轉(zhuǎn)彎順利地行進。因此，無論運輸路的路徑形成為何種形狀，都能夠比較自由地選擇行進軌道的布局，提高物品運輸設備的設計自由度。
[0031]另外，除了通過設置外周行進軌道中斷區(qū)間以消除頂棚運輸車機構(gòu)相對行進軌道發(fā)生碰撞的可能性之外，還能夠通過在外周行進軌道中斷區(qū)間由行進軌道支承內(nèi)周側(cè)的輔助驅(qū)動輪而實現(xiàn)如下效果:即使在頂棚運輸車在外周行進軌道中斷區(qū)間停止行進的情況下，也能夠通過由行進軌道支承的輔助驅(qū)動輪獲得足夠的起動轉(zhuǎn)矩。
[0032]另外，對于驅(qū)動輪、從動輪、以及輔助驅(qū)動輪中的哪一方由行進軌道支承這一問題，由于其能夠隨著頂棚運輸車的行進而根據(jù)行進軌道形狀而自動地選擇，因而即使不準備使車輪升降的復雜的機構(gòu)，也能夠?qū)τ尚羞M軌道支承的車輪進行切換。
[0033]另外，因為通過對只具備驅(qū)動輪的頂棚運輸車進行稍微的改造就能得到具備驅(qū)動輪、從動輪、輔助驅(qū)動輪的頂棚運輸車，所以本發(fā)明也能夠容易通過后續(xù)安裝而應用至既存的物品運輸設備。
【附圖說明】
[0034]圖1是表示本發(fā)明的實施方式的一例中物品運輸設備之中，運輸路的轉(zhuǎn)