分片裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種分片裝置，包括進(jìn)料單元、吸取單元、感應(yīng)單元，所述的進(jìn)料單元設(shè)置在一水槽內(nèi)，感應(yīng)單元包括感應(yīng)擋塊、活動(dòng)桿和感應(yīng)開關(guān)，感應(yīng)擋塊位于水槽內(nèi)，感應(yīng)開關(guān)位于水面上，感應(yīng)擋塊通過活動(dòng)桿將動(dòng)作傳遞至感應(yīng)開關(guān)。通過進(jìn)料單元推送基片堆，以便吸附單元逐個(gè)吸附并輸送，實(shí)現(xiàn)分片，在輸送帶上初始吸附基片的位置設(shè)置能夠移動(dòng)的感應(yīng)擋塊，其通過活動(dòng)桿觸發(fā)位于水面上的感應(yīng)開關(guān)，并且，每吸附一片基片時(shí)，感應(yīng)開關(guān)被觸發(fā)一次，利用該感應(yīng)開關(guān)的信號(hào)來進(jìn)行一些控制或?qū)M(jìn)行計(jì)數(shù)，感應(yīng)開關(guān)設(shè)置在水面以上，避免遇水失靈的情況，保證工作效率的同時(shí)，節(jié)省了使用成本，在這種在水中進(jìn)行分片的情況下，本裝置的設(shè)計(jì)具有極高的優(yōu)勢。
【專利說明】分片裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種分片裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片分片是插片的前續(xù)工序，而為了順利分片，一般選用在水中進(jìn)行分片，即在水中進(jìn)行分片，然后在從水中傳輸出來，這樣，對(duì)分片的實(shí)時(shí)監(jiān)控等只能在水下進(jìn)行，而一般傳感器不適于水下工作，所以亟需一種能夠解決該技術(shù)問題的方案。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)上述存在的技術(shù)不足，本發(fā)明的目的是提供一種分片裝置，其通過進(jìn)料單元推送基片堆，通過吸取單元逐個(gè)吸附和輸送基片，通過活動(dòng)桿將感應(yīng)擋塊的動(dòng)作傳遞至感應(yīng)開關(guān)并觸發(fā)其開啟，進(jìn)行監(jiān)控或計(jì)數(shù)等，感應(yīng)開關(guān)位于水面之上，能夠靈敏、高效地工作。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
一種分片裝置，包括進(jìn)料單元、吸取單元、感應(yīng)單元，所述的進(jìn)料單元設(shè)置在一水槽內(nèi)，所述的進(jìn)料單元中放置有包括沿水平方向疊放有多個(gè)基片的基片堆，每個(gè)所述的基片沿大致豎直面布置；所述的吸取單元包括輸送帶，所述的輸送帶上設(shè)置有若干與一真空源相連通的真空吸附孔，所述的輸送帶有部分設(shè)置在所述的水槽內(nèi)并且該部分延伸至所述的進(jìn)料單元，當(dāng)所述的基片堆沿進(jìn)給方向進(jìn)給時(shí)，所述的基片堆中的基片能夠逐個(gè)被所述的輸送帶上的真空吸附孔吸附并隨輸送帶移動(dòng)；所述的感應(yīng)單元用于對(duì)所述的吸取單元每吸附一個(gè)基片作一次感應(yīng)，所述的感應(yīng)單元包括感應(yīng)擋塊、活動(dòng)桿、感應(yīng)開關(guān)，所述的感應(yīng)擋塊沿所述的基片堆進(jìn)給方向能夠往復(fù)移動(dòng)地設(shè)置在所述的吸取單元上與所述的基片堆相對(duì)的位置，所述的感應(yīng)擋塊具有第一位置和第二位置，當(dāng)所述的感應(yīng)擋塊處于第一位置時(shí)，所述的感應(yīng)擋塊至少部分突出于所述的輸送帶表面之外；當(dāng)所述的感應(yīng)擋塊處于第二位置時(shí)，所述的感應(yīng)擋塊縮進(jìn)于所述的輸送帶表面之內(nèi)；所述的活動(dòng)桿具有第一端部和第二端部，所述的活動(dòng)桿的第一端部與所述的感應(yīng)擋塊相固定或傳動(dòng)連接、第二端部與所述的感應(yīng)開關(guān)相鄰，所述的活動(dòng)桿的第二端部以及感應(yīng)開關(guān)均位于所述水槽的最高液位面的上方，當(dāng)所述的感應(yīng)擋塊處于第一位置時(shí)，所述的第二端部與所述的感應(yīng)開關(guān)相不接觸；當(dāng)所述的感應(yīng)擋塊處于第二位置時(shí)，所述的第二端部抵緊在所述的感應(yīng)開關(guān)上而將其觸發(fā)開啟。
[0005]優(yōu)選地，所述的活動(dòng)桿為一桿杠，所述的活動(dòng)桿的第一端部與所述的感應(yīng)擋塊相固定。
[0006]優(yōu)選地，所述的進(jìn)料單元包括一用于支撐所述的基片堆的基片籃、帶動(dòng)所述的基片籃沿進(jìn)給方向移動(dòng)的推送機(jī)構(gòu)，所述的基片籃在靠近吸取單元的一端為敞口端。
[0007]優(yōu)選地，所述的推送機(jī)構(gòu)為絲杠螺母機(jī)構(gòu)。
[0008]優(yōu)選地，所述的吸取單元的下端部設(shè)置在所述的水槽內(nèi)。
[0009]本發(fā)明的有益效果在于:通過設(shè)置在水中的進(jìn)料單元推送基片堆，以便吸附單元逐個(gè)吸附并輸送，實(shí)現(xiàn)分片，在輸送帶上初始吸附基片的位置設(shè)置能夠移動(dòng)的感應(yīng)擋塊，其通過活動(dòng)桿觸發(fā)位于水面上的感應(yīng)開關(guān)，并且，每吸附一片基片時(shí)，感應(yīng)開關(guān)被觸發(fā)一次，可以利用該感應(yīng)開關(guān)的信號(hào)來進(jìn)行一些控制或?qū)M(jìn)行計(jì)數(shù)，感應(yīng)開關(guān)設(shè)置在水面以上，避免遇水失靈的情況，保證工作效率的同時(shí)，節(jié)省了使用成本，在這種在水中進(jìn)行分片的情況下，本裝置的設(shè)計(jì)具有極高的優(yōu)勢。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]附圖1為本發(fā)明的分片裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]附圖中:
10、進(jìn)料單元;101、水槽;102、基片堆;103、基片籃;104、推送機(jī)構(gòu)；
20、吸取單元；201、輸送帶；
30、感應(yīng)單元；301、感應(yīng)擋塊；302、活動(dòng)桿；3021、第一端部；3022、第二端部；303、感應(yīng)開關(guān)。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖所示的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作以下詳細(xì)描述:
如附圖1所示，一種分片裝置，包括進(jìn)料單元10、吸取單元20及感應(yīng)單元30,進(jìn)料單元10設(shè)置在一水槽101內(nèi)，進(jìn)料單元10中放置有包括沿水平方向疊放有多個(gè)基片的基片堆102，每個(gè)基片沿大致豎直面布置，基片完全位于水槽101中的水面以下；吸取單元20包括輸送帶201，輸送帶201上設(shè)置有若干與一真空源相連通的真空吸附孔，輸送帶201有部分設(shè)置在水槽101內(nèi)并且該部分延伸至進(jìn)料單元10，一般選擇自下而上的輸送方式，所以吸取單元20的下端部設(shè)置在水槽101內(nèi)，即基片從輸送帶201的相對(duì)下端輸送至相對(duì)上端，當(dāng)基片堆102沿進(jìn)給方向進(jìn)給時(shí)，基片堆102中的基片能夠逐個(gè)被輸送帶201上的真空吸附孔吸附并隨輸送帶201移動(dòng)；感應(yīng)單元30用于對(duì)吸取單元20每吸附一個(gè)基片作一次感應(yīng)，感應(yīng)單元30包括感應(yīng)擋塊301、活動(dòng)桿302、感應(yīng)開關(guān)303，感應(yīng)擋塊301沿基片堆102進(jìn)給方向能夠往復(fù)移動(dòng)地設(shè)置在吸取單元20上與基片堆102相對(duì)的位置，感應(yīng)擋塊301具有第一位置和第二位置，當(dāng)感應(yīng)擋塊301處于第一位置時(shí)，感應(yīng)擋塊301至少部分突出于輸送帶201表面之外；當(dāng)感應(yīng)擋塊301處于第二位置時(shí)，感應(yīng)擋塊301縮進(jìn)于輸送帶201表面之內(nèi)；當(dāng)當(dāng)前基片移走后，感應(yīng)擋塊301自動(dòng)復(fù)位至第一位置；活動(dòng)桿302具有第一端部3021和第二端部3022，其以大致中部的一處鉸接在吸取單元20上，活動(dòng)桿302的第一端部3021與感應(yīng)擋塊301相固定或傳動(dòng)連接、第二端部3022與感應(yīng)開關(guān)303相鄰，活動(dòng)桿302的第二端部3022以及感應(yīng)開關(guān)303均位于所述水槽101的最高液位面的上方，當(dāng)感應(yīng)擋塊301處于第一位置時(shí)，第二端部3022與感應(yīng)開關(guān)303相不接觸；當(dāng)感應(yīng)擋塊301處于第二位置時(shí)，第二端部3022抵緊在感應(yīng)開關(guān)303上而將其觸發(fā)開啟。
[0013]至于上述的吸取單元20的具體結(jié)構(gòu)參見中國專利2012204184566的原理和結(jié)構(gòu)，本設(shè)計(jì)與之的不同在于負(fù)壓腔呈圓弧狀，但本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠根據(jù)該專利的記載內(nèi)容結(jié)合公知常識(shí)得到本設(shè)計(jì)所需的吸附單元(即對(duì)應(yīng)上述專利中的“負(fù)壓吸附系統(tǒng)”)的具體結(jié)構(gòu)，此處不再贅述。
[0014]更具體地，活動(dòng)桿302為一桿杠，且活動(dòng)桿302的第一端部3021與感應(yīng)擋塊301相固定，進(jìn)料單元10包括一用于支撐基片堆102的基片籃103、帶動(dòng)基片籃103沿進(jìn)給方向移動(dòng)的推送機(jī)構(gòu)104，基片籃103在靠近吸取單元20的一端為敞口端，推送機(jī)構(gòu)104為絲杠螺母機(jī)構(gòu)或其他能夠?qū)崿F(xiàn)此功能的本領(lǐng)域常用結(jié)構(gòu)，由于本領(lǐng)域有很多相關(guān)的常規(guī)技術(shù)手段，此處不再贅述。
[0015]上述的基片堆102是硅棒或硅錠在切割后經(jīng)脫膠得到的，這些基片相平行地沿水平方向排列在上述的基片籃103內(nèi)，且每片基片大致沿豎直面分布，即側(cè)面面向具有真空吸附孔的輸送帶201。
[0016]推送機(jī)構(gòu)104驅(qū)動(dòng)基片籃103向吸取單元20的方向移動(dòng)而進(jìn)料，當(dāng)前基片被吸附后，為了避免與當(dāng)前基片相鄰的基片同時(shí)被帶走，控制基片籃103后退一個(gè)設(shè)定距離，而基片被吸附的同時(shí)感應(yīng)開關(guān)303會(huì)相應(yīng)被觸發(fā)，這是通過與感應(yīng)開關(guān)303信號(hào)連接的控制器即可控制驅(qū)動(dòng)推送機(jī)構(gòu)104的部件反向帶動(dòng)基片籃103，待當(dāng)前基片離開了被吸附的位置后，即該控制信號(hào)消失后，再正向帶動(dòng)基片籃103進(jìn)給，進(jìn)行下一片基片的吸附及輸送，依此循環(huán)；同時(shí)，若需要對(duì)被吸附、輸送的基片進(jìn)行計(jì)數(shù)，也可以通過感應(yīng)開關(guān)303的輸出信號(hào)來實(shí)現(xiàn)，由于每吸附一片基片，感應(yīng)開關(guān)303被觸發(fā)一次,故感應(yīng)開關(guān)303輸出信號(hào)中的對(duì)應(yīng)開的信號(hào)重復(fù)數(shù)即為基片的數(shù)量。
[0017]工作過程:開啟裝置的各部分，推送機(jī)構(gòu)104動(dòng)作使基片籃103向靠近吸取單元20的方向移動(dòng)，直至當(dāng)前的基片在真空源的作用下被真空吸附孔吸附，此時(shí)感應(yīng)擋塊301發(fā)生位移，使活動(dòng)桿302的第二段抵緊在感應(yīng)開關(guān)303上而被觸發(fā)開啟，與該感應(yīng)開關(guān)303信號(hào)連接的相關(guān)控制器或計(jì)數(shù)器即可接受到該信號(hào)，從而進(jìn)行相關(guān)的動(dòng)作，當(dāng)該基片隨輸送帶201移走時(shí)，感應(yīng)擋塊301隨之復(fù)位至第一位置，活動(dòng)桿302的第二端部3022與感應(yīng)開關(guān)303相脫離，推送機(jī)構(gòu)104再次動(dòng)作使基片籃103向靠近吸取單元20的方向移動(dòng)，依此重復(fù)上述的過程。
[0018]本設(shè)計(jì)的分片裝置通過設(shè)置在水中的進(jìn)料單元10推送基片堆102，以便吸附單元逐個(gè)吸附并輸送，實(shí)現(xiàn)分片，在輸送帶201上初始吸附基片的位置設(shè)置能夠移動(dòng)的感應(yīng)擋塊301，其通過活動(dòng)桿302觸發(fā)位于水面上的感應(yīng)開關(guān)303，并且,每吸附一片基片時(shí),感應(yīng)開關(guān)303被觸發(fā)一次，可以利用該感應(yīng)開關(guān)303的信號(hào)來進(jìn)行一些控制或?qū)M(jìn)行計(jì)數(shù)，感應(yīng)開關(guān)303設(shè)置在水面以上，避免遇水失靈的情況，保證工作效率的同時(shí)，節(jié)省了使用成本，在這種在水中進(jìn)行分片的情況下，本裝置的設(shè)計(jì)具有極高的優(yōu)勢。
[0019]上述實(shí)施例只為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種分片裝置，其特征在于:該裝置包括: 進(jìn)料單元，其設(shè)置在一水槽內(nèi)，所述的進(jìn)料單元中放置有包括沿水平方向疊放有多個(gè)基片的基片堆，每個(gè)所述的基片沿大致豎直面布置； 吸取單元，其包括輸送帶，所述的輸送帶上設(shè)置有若干與一真空源相連通的真空吸附孔，所述的輸送帶有部分設(shè)置在所述的水槽內(nèi)并且該部分延伸至所述的進(jìn)料單元，當(dāng)所述的基片堆沿進(jìn)給方向進(jìn)給時(shí)，所述的基片堆中的基片能夠逐個(gè)被所述的輸送帶上的真空吸附孔吸附并隨輸送帶移動(dòng)； 感應(yīng)單元，其用于對(duì)所述的吸取單元每吸附一個(gè)基片作一次感應(yīng)，所述的感應(yīng)單元包括感應(yīng)擋塊、活動(dòng)桿、感應(yīng)開關(guān)，所述的感應(yīng)擋塊沿所述的基片堆進(jìn)給方向能夠往復(fù)移動(dòng)地設(shè)置在所述的吸取單元上與所述的基片堆相對(duì)的位置，所述的感應(yīng)擋塊具有第一位置和第二位置，當(dāng)所述的感應(yīng)擋塊處于第一位置時(shí)，所述的感應(yīng)擋塊至少部分突出于所述的輸送帶表面之外；當(dāng)所述的感應(yīng)擋塊處于第二位置時(shí)，所述的感應(yīng)擋塊縮進(jìn)于所述的輸送帶表面之內(nèi)；所述的活動(dòng)桿具有第一端部和第二端部，所述的活動(dòng)桿的第一端部與所述的感應(yīng)擋塊相固定或傳動(dòng)連接、第二端部與所述的感應(yīng)開關(guān)相鄰，所述的活動(dòng)桿的第二端部以及感應(yīng)開關(guān)均位于所述水槽的最高液位面的上方，當(dāng)所述的感應(yīng)擋塊處于第一位置時(shí)，所述的第二端部與所述的感應(yīng)開關(guān)相不接觸；當(dāng)所述的感應(yīng)擋塊處于第二位置時(shí)，所述的第二端部抵緊在所述的感應(yīng)開關(guān)上而將其觸發(fā)開啟。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分片裝置，其特征在于:所述的活動(dòng)桿為一桿杠，所述的活動(dòng)桿的第一端部與所述的感應(yīng)擋塊相固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1 所述的分片裝置，其特征在于:所述的進(jìn)料單元包括一用于支撐所述的基片堆的基片籃、帶動(dòng)所述的基片籃沿進(jìn)給方向移動(dòng)的推送機(jī)構(gòu)，所述的基片籃在靠近吸取單元的一端為敞口端。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分片裝置，其特征在于:所述的推送機(jī)構(gòu)為絲杠螺母機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分片裝置，其特征在于:所述的吸取單元的下端部設(shè)置在所述的水槽內(nèi)。
【文檔編號(hào)】B65H3/12GK104016153SQ201410274571
【公開日】2014年9月3日 申請(qǐng)日期:2014年6月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月19日
【發(fā)明者】陳宏
申請(qǐng)人:張家港市超聲電氣有限公司