一種太陽能電池片拋光液及其制備方法
【專利摘要】本發(fā)明提出了一種太陽能電池片拋光液及其制備方法。太陽能電池片拋光液以質(zhì)量百分比計，包括：1%～10%的四甲基氫氧化銨、0.5%～5%的膽堿、1%～10%的無水乙醇、0.5%～5%的異丙醇。制備方法包括：分別通過預(yù)處理無水乙醇及異丙醇以提高無水乙醇及異丙醇的純度；以上述組份中的比例精密混合四甲基氫氧化銨、膽堿、無水乙醇及異丙醇；采用多級循環(huán)膜過濾經(jīng)精密混合的四甲基氫氧化銨、膽堿、無水乙醇及異丙醇；分裝獲得制品。采用本發(fā)明可以獲得較高純度太陽能電池片拋光液，以提高硅片的效能。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種太陽能電池片拋光液及其制備方法。 -種太陽能電池片拋光液及其制備方法

【背景技術(shù)】
[0002] 電子化學(xué)品一般是指為電子工業(yè)配套的專用化學(xué)品，本項目電子化學(xué)品主要包括 集成電路和分立器件用化學(xué)品、晶體硅太陽能用化學(xué)品和平板顯示用化學(xué)品等，其具有質(zhì) 量要求高、功能性強(qiáng)、對生產(chǎn)及使用環(huán)境潔凈度要求高和產(chǎn)品更精純。
[0003] 近幾年，中國集成電路行業(yè)隨著產(chǎn)品由低端向高端延伸發(fā)展的新階段，產(chǎn)業(yè)規(guī)模 大幅提高，以國際國內(nèi)知名企業(yè)如中芯國際、海力士、臺積電、華潤微電子等為代表的集成 電路電路企業(yè)已經(jīng)將中國擠身到國際主要的微電子制造大國。目前，在全世界太陽能綠色 能源產(chǎn)業(yè)的帶動下，我國的太陽能產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，中國已經(jīng)成為全球第一大光伏產(chǎn)品生產(chǎn) 國。在《可再生能源中長期發(fā)展規(guī)劃》發(fā)布后，未來將進(jìn)入全速發(fā)展期。中國TFT-LCD產(chǎn)業(yè) 的發(fā)展之路，主要有以下幾點因素。第一，上游產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和突破。第二，產(chǎn)業(yè)核心技術(shù)和 關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)能力的提升，特別是自主能力的提升。第三，投資環(huán)境和產(chǎn)業(yè)配套政策的完 善，關(guān)于上游等其他的一些配套政策的出臺及投資環(huán)境的改善，會吸引上游整個產(chǎn)業(yè)鏈的 形成。第四，產(chǎn)業(yè)規(guī)模的形成和擴(kuò)大。第五，產(chǎn)業(yè)相關(guān)人才的培養(yǎng)。在這幾方面發(fā)展的前提 條件下才有可能共同努力，打造具有整體競爭力的中國TFT-IXD產(chǎn)業(yè)。以上種種形勢表明 我國在太陽能、1C、TFT-IXD等行業(yè)的發(fā)展迎來新一輪的發(fā)展，與之相配套的超高純濕法電 子化學(xué)品--超凈高純試劑、光刻膠及其配套試劑也迎來了新的機(jī)遇和挑戰(zhàn)。
[0004] 有鑒于此，如何設(shè)計一種太陽能電池片拋光液，以減少金屬的比例，提高太陽能電 池片拋光液的純度，從而提高硅片的性能，是業(yè)內(nèi)人士亟需解決的問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 針對現(xiàn)有技術(shù)中，太陽能電池片拋光液中金屬含量較高，影響了太陽能電池片拋 光液的純度這一缺陷，本發(fā)明提供了一種太陽能電池片拋光液及其制備方法。
[0006] 根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種太陽能電池片拋光液，其中，以質(zhì)量百分比 計，包括：
[0007] 1%?10%的四甲基氫氧化銨；
[0008] 0· 5% ?5% 的膽堿；
[0009] 1%?10%的無水乙醇；以及
[0010] 0· 5%?5%的異丙醇。
[0011] 優(yōu)選的，所述無水乙醇的質(zhì)量濃度大于99%，所述無水乙醇中的金屬含量小于 lppb。
[0012] 優(yōu)選的，所述異丙醇的質(zhì)量濃度大于99%，所述異丙醇中的金屬含量小于lppb。
[0013] 根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，提供了一種上述太陽能電池片拋光液的制備方法，其 中，包括以下步驟：
[0014] (a)分別通過預(yù)處理無水乙醇及異丙醇以提純所述無水乙醇及所述異丙醇；
[0015] (b)以權(quán)利要求1至3任一項所述的太陽能電池片拋光液的比例精密混合所述四 甲基氫氧化銨、所述膽堿、所述無水乙醇及所述異丙醇；以及
[0016] (c)采用多級循環(huán)膜過濾所述步驟（b)中的所述四甲基氫氧化銨、所述膽堿、所述 無水乙醇及所述異丙醇；以及
[0017] (d)分裝獲得制品。
[0018] 優(yōu)選的，所述步驟（a)中，包括：
[0019] (al)將所述無水乙醇和所述異丙醇分別經(jīng)過高效精餾、離子交換；
[0020] (a2)對所述步驟（al)中的所述無水乙醇和所述異丙醇分別進(jìn)行濃度及成分的調(diào) 配；
[0021] (a3)對所述步驟（a2)中的所述無水乙醇和所述異丙醇分別進(jìn)行多級循環(huán)膜過濾； 以及
[0022] (a4)分裝，獲得所述無水乙醇和所述異丙醇。
[0023] 優(yōu)選的，所述步驟（al)中，采用的填料為石英填料或聚四氟乙烯填料。
[0024] 優(yōu)選的，所述步驟（b)中，通過磁力泵進(jìn)行循環(huán)混合。
[0025] 優(yōu)選的，所述步驟（a3)中，所述多級循環(huán)膜的材質(zhì)為聚四氟乙烯膜。
[0026] 本發(fā)明的優(yōu)點是：通過對無水乙醇和異丙醇進(jìn)行預(yù)處理，使二者內(nèi)的金屬含量小 于lppb，并將四甲基氫氧化銨（Tetramethylammonium Hydroxide，縮寫為TMAH)、膽喊、無 水乙醇及異丙醇以一定比例混合通過多級循環(huán)膜過濾以提高太陽能電池片拋光液的純度， 從而可以通過硅片的效能。

【具體實施方式】
[0027] 下面對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例 僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通 技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范 圍。
[0028] 實施例1
[0029] 先對無水乙醇和異丙醇進(jìn)行預(yù)處理以提高無水乙醇及異丙醇的純度。具體的是， 將無水乙醇經(jīng)過高效精餾、離子交換，此處采用石英填料，該石英填料為高純低硼硅石英填 料，然后將無水乙醇進(jìn)行濃度調(diào)配及成分調(diào)配，再經(jīng)過多級循環(huán)膜過濾，多級循環(huán)膜的材質(zhì) 采用聚四氟乙烯膜(聚四氟乙烯有稱為特氟龍)，具體的，可以為一般特氟龍膜和帶電荷特 氟龍膜。然后分裝后即可獲得無水乙醇，無水乙醇的質(zhì)量濃度為99. 2%，無水乙醇中的金屬 含量為0. 9ppb。按照上述步驟對異丙醇進(jìn)行預(yù)處理，獲得質(zhì)量濃度為99. 2%，無水乙醇中的 金屬含量為〇. 9ppb的無水乙醇。然后以重量份計，將10重量份的四甲基氫氧化銨、50重量 份的膽堿、10重量份的無水乙醇、50重量份的異丙醇在3M 3內(nèi)襯特氟龍的不銹鋼罐中，通過 不同的管路將上述四種物質(zhì)分別打入罐中，當(dāng)入料至最后時，通過切換更小的管路進(jìn)行微 量添加，達(dá)到精密調(diào)配的目的，在入料的同時，開啟磁力泵進(jìn)行循環(huán)混合，以達(dá)到精密混合 的目的。最后采用多級循環(huán)膜過濾四甲基氫氧化銨、膽堿、無水乙醇及異丙醇。
[0030] 實施例2
【權(quán)利要求】
1. 一種太陽能電池片拋光液，其特征在于，以質(zhì)量百分比計，包括： 1%?10%的四甲基氫氧化銨； 0. 5%?5%的膽堿； 1%?10%的無水乙醇；以及 0. 5%?5%的異丙醇。
2. 如權(quán)利要求1所述的太陽能電池片拋光液，其特征在于，所述無水乙醇的質(zhì)量濃度 大于99%，所述無水乙醇中的金屬含量小于lppb。
3. 如權(quán)利要求1所述的太陽能電池片拋光液，其特征在于，所述異丙醇的質(zhì)量濃度大 于99%,所述異丙醇中的金屬含量小于lppb。
4. 一種太陽能電池片拋光液的制備方法，其特征在于，包括以下步驟： (a) 分別通過預(yù)處理無水乙醇及異丙醇以提純所述無水乙醇及所述異丙醇； (b) 以權(quán)利要求1至3任一項所述的太陽能電池片拋光液的比例精密混合所述四甲基 氫氧化銨、所述膽堿、所述無水乙醇及所述異丙醇；以及 (c) 采用多級循環(huán)膜過濾所述步驟（b)中的所述四甲基氫氧化銨、所述膽堿、所述無水 乙醇及所述異丙醇；以及 (d) 分裝獲得制品。
5. 如權(quán)利要求4所述的太陽能電池片拋光液的制備方法，其特征在于，所述步驟（a) 中，包括： (al)將所述無水乙醇和所述異丙醇分別經(jīng)過高效精餾、離子交換； (a2)對所述步驟（al)中的所述無水乙醇和所述異丙醇分別進(jìn)行濃度及成分的調(diào)配； (a3)對所述步驟（a2)中的所述無水乙醇和所述異丙醇分別進(jìn)行多級循環(huán)膜過濾；以 及 (a4)分裝，獲得所述無水乙醇和所述異丙醇。
6. 如權(quán)利要求5所述的太陽能電池片拋光液的制備方法，其特征在于，所述步驟（al) 中，采用的填料為石英填料或聚四氟乙烯填料。
7. 如權(quán)利要求4所述的太陽能電池片拋光液的制備方法，其特征在于，所述步驟（b) 中，通過磁力泵進(jìn)行循環(huán)混合。
8. 如權(quán)利要求5所述的太陽能電池片拋光液的制備方法，其特征在于，所述步驟（a3) 中，所述多級循環(huán)膜的材質(zhì)為聚四氟乙烯膜。
【文檔編號】C09G1/18GK104109483SQ201310135100
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2013年4月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月17日
【發(fā)明者】殷福華, 邵勇, 朱龍, 欒成, 季文慶 申請人:江陰江化微電子材料股份有限公司