專利名稱：用于制備自組裝結(jié)構(gòu)的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于制備自組裝結(jié)構(gòu)(self-assembled construction)的方
法，更具體而言，本發(fā)明涉及一種用于制備膜形式的自組裝結(jié)構(gòu)的方法。
背景技術(shù)：
近來，在光學(xué)材料和電子材料領(lǐng)域中，日益增加對更高集成密度、更 高密度的信息以及具有更高清晰度的圖像信息的需求。由于該原因，在這 些領(lǐng)域中使用的膜強(qiáng)烈需要形成微結(jié)構(gòu)(下文稱作微圖案結(jié)構(gòu)(structure))。 尤其是，在再生醫(yī)學(xué)研究領(lǐng)域中，在其表面上具有微圖案結(jié)構(gòu)的膜被有效 地用作細(xì)胞培養(yǎng)底物(例如，參見日本專利公開公布2001-157574)。
作為用于在膜表面上形成微圖案結(jié)構(gòu)的技術(shù)，已知并且實(shí)際使用的是 使用掩模的氣相沉積法、使用光化學(xué)反應(yīng)和聚合反應(yīng)的光刻技術(shù)、激光燒 蝕技術(shù)等。
已知的是，具有微尺寸蜂窩結(jié)構(gòu)的膜是在高濕度條件下通過將具有特 定結(jié)構(gòu)的聚合物的稀溶液進(jìn)行流延而獲得的(參見，例如，日本專利公開公 布2002-335949和2002-347107)。此外，在蜂窩結(jié)構(gòu)中含有功能細(xì)粒的膜 被用作光學(xué)和電子材料。例如，如果細(xì)粒是發(fā)光材料，則采用該膜作為顯 示器件(參見，例如，日本專利公開公布2003-128832)。
此外，具有微圖案結(jié)構(gòu)的膜還在偏振濾光片中使用。例如，該膜具有 蛀眼結(jié)構(gòu)，在該蛀眼結(jié)構(gòu)中，為了實(shí)現(xiàn)抗反射功能，規(guī)則地形成大小為幾 個(gè)亞微米到幾十個(gè)微米的微圖案結(jié)構(gòu)。在形成蛀眼結(jié)構(gòu)的主流方法中，通 過使用微處理技術(shù)例如光刻法制備板，并且將膜的結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移給襯底(參見， 例如，日本專利公開公布2003-302532)。
在日本專利公開公布2003-302532中描述的方法被稱作自頂向下方 法。在該自頂向下方法中，板是為形成微結(jié)構(gòu)而制備的。板是通過很多復(fù)雜的步驟制備的，并且成本增加。另外，難于制備具有大面積的板。為了 解決上述問題，提出了自底向上法。在自底向上法中，具有微結(jié)構(gòu)的自組 裝結(jié)構(gòu)，即，自組裝膜，是利用自組裝結(jié)構(gòu)的自組裝制備的，通過所述自 組裝結(jié)構(gòu)的自組裝，自發(fā)形成有規(guī)劃排列的微圖案結(jié)構(gòu)。在自底向上法中 使用的聚合物溶液具有低的粘度。然而，當(dāng)該濕膜通過流延聚合物溶液而 形成時(shí)，濕膜的厚度增加。由于該原因，聚合物溶液在濕膜的鋪展。結(jié)果， 具有均勻結(jié)構(gòu)的自組裝結(jié)構(gòu)的面積，尤其是，均勻的厚度受到了限制。
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種用于制備具有均勻結(jié)構(gòu)的自組裝結(jié)構(gòu) 的方法，尤其是，均勻厚度的自組裝結(jié)構(gòu)的方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)在自組裝結(jié)構(gòu)的微圖案結(jié)構(gòu)中，為降低不均勻區(qū)域尤 其是不均勻厚度，有效的是，提供一種用于防止聚合物溶液鋪展的框架或 在載體上提供具有不同潤濕性的區(qū)域。通過將高濃度的聚合物溶液流延到 載體上，獲得具有均勻微結(jié)構(gòu)尤其是均勻厚度的自組裝結(jié)構(gòu)。此外，通過 使用長度長的載體，連續(xù)獲得具有厚度均勻的微結(jié)構(gòu)的膜。注意，在本發(fā) 明中，具有微結(jié)構(gòu)的膜指的是其中液滴等以自組裝方式排列并且通過液滴 蒸發(fā)而在膜中形成有規(guī)劃結(jié)構(gòu)的膜。
在本發(fā)明的用于自組裝結(jié)構(gòu)的制備方法中，通過將含有機(jī)溶劑和聚合 物化合物的液體流延到載體上，形成流延膜。流延膜中形成液滴，有機(jī)溶 劑和液滴從流延膜上蒸發(fā)，因而在液滴的位置形成孔。液體的粘度在不小
于lxl(T4 Pa.s且不大于10 Pa.s的范圍內(nèi)。將液體流延到載體上之后立即 形成的流延膜的厚度在不小于0.05mm且不大于1.5mm的范圍內(nèi)。
在本發(fā)明的用于自組裝結(jié)構(gòu)的制備方法中，通過將含有有機(jī)溶劑和聚 合物溶液的液體流延到載體上形成流延膜，在流延膜中形成液滴，因而通 過將液滴和有機(jī)溶劑蒸發(fā)，在液體的位置形成孔。在載體上提供用于限定 流延膜邊緣的臺階。
臺階優(yōu)選通過預(yù)先處理載體的表面而在載體上形成。優(yōu)選將框架元件 附著于載體的流延表面上，以形成臺階。臺階的高度優(yōu)選為將所述載體裝 備其內(nèi)的襯底的凹陷部分的深度與所述載體的厚度之間的差。
優(yōu)選在液體或載體移動的同時(shí)流延液體。優(yōu)選在載體上形成多個(gè)流延 區(qū)域。
流延膜的厚度優(yōu)選在不小于0.01mm且不大于2.00mm的范圍內(nèi)。
載體的流延表面具有第一區(qū)域以及第二區(qū)域，將所述液體到流延第一 區(qū)域上，在所述第二區(qū)域中，對所述液體的接觸角大于在所述第一區(qū)域中 對所述液體的接觸角，以防止所述液體的鋪展。
在本發(fā)明的用于自組裝結(jié)構(gòu)的制備方法中，通過將含有機(jī)溶劑和聚合 物化合物的液體流延到載體上而形成流延膜。在流延膜中形成液滴，并且 有機(jī)溶劑和液滴從流延膜上蒸發(fā)，因而在液滴的位置形成孔。載體的流延 表面優(yōu)選具有第一區(qū)域以及第二區(qū)域，將所述液體到流延第一區(qū)域上，在 所述第二區(qū)域中，對所述液體的接觸角大于在所述第一區(qū)域中對所述液休 的接觸角，以防止所述液體的鋪展。
優(yōu)選將液體連續(xù)或間歇地流延到載體上。
當(dāng)自組裝結(jié)構(gòu)被保存時(shí)，載體優(yōu)選保護(hù)該自組裝結(jié)構(gòu)。
優(yōu)選將液體流延到正在被輸送的長度長的載體上。增濕流延膜以形成 液滴。
優(yōu)選在輸送多個(gè)載體的同時(shí)，將液體流延到載體上。增濕流延膜以形 成液滴。
優(yōu)選將用于保護(hù)自組裝結(jié)構(gòu)的保護(hù)膜附著于自組裝結(jié)構(gòu)上。自組裝結(jié) 構(gòu)優(yōu)選與保護(hù)膜一起從載體上剝離。優(yōu)選在保護(hù)層和自組裝結(jié)構(gòu)之間安置 粘合層。
載體流延表面的表面粗糙度(Ra)為不小于0.05μm且不大于5μm。
優(yōu)選的是，自組裝結(jié)構(gòu)是膜。
根據(jù)本發(fā)明的用于自組裝結(jié)構(gòu)的制備方法，通過將含有機(jī)溶劑和聚合 物化合物的液體流延到載體上，形成流延膜。在流延膜中形成液滴，并且 有機(jī)溶劑和液滴從流延膜上蒸發(fā)，因而在液滴的位置形成孔。由于液體的 粘度在不小于lxl0ˉ4Pa's且不大于lOPa's的范圍內(nèi)，并且在將液體流延 到載體上之后立即形成的流延膜的厚度在不小于0.05mm且不大于 1.5mm的范圍內(nèi)，因此流延膜的厚度變得均勻，并且在自組裝結(jié)構(gòu)中的孔 的結(jié)構(gòu)變得均勻。
根據(jù)本發(fā)明的制備方法，由于將液體流延到帶有限制流延膜邊緣的臺 階的載體上，因此流延膜的厚度變得均勻，并且在自組裝結(jié)構(gòu)中的孔的結(jié) 構(gòu)變得均勻。
根據(jù)本發(fā)明的制備方法，由于載體的流延表面優(yōu)選具有第一區(qū)域以及 第二區(qū)域，將所述液體到流延第一區(qū)域上，在所述第二區(qū)域中，對所述液 體的接觸角大于在所述第一區(qū)域中對所述液體的接觸角，以防止所述液體 的鋪展，因此流延膜的厚度變得均勻，并且在自組裝結(jié)構(gòu)中的孔的結(jié)構(gòu)變 得均勻。
根據(jù)本發(fā)明的制備方法，由于載體具有長的長度，液體被流延到該載 體上，以及在載體被輸送的同時(shí)對流延膜進(jìn)行增濕和干燥，因此制備出長 長度的自組裝結(jié)構(gòu)。此外，通過在載體被輸送的同時(shí)將液體流延到多個(gè)載 體上并且對流延膜進(jìn)行增濕和干燥，獲得多個(gè)自組裝結(jié)構(gòu)。
在本發(fā)明的制備方法中，由于將用于保護(hù)自組裝結(jié)構(gòu)的保護(hù)膜附著于 自組裝結(jié)構(gòu)上，并且將該自組裝結(jié)構(gòu)與保護(hù)模一起從載體上剝離，因此防 止了自組裝結(jié)構(gòu)的污染。
根據(jù)本發(fā)明的用于自組裝結(jié)構(gòu)的制備方法，由于自組裝結(jié)構(gòu)以膜形式 制備，因此獲得具有優(yōu)異撓性的容易處理的結(jié)構(gòu)。
附圖簡述


圖1是本發(fā)明的用于制備具有微圖案結(jié)構(gòu)的自組裝結(jié)構(gòu)的方法的:T.
序流程圖2A、 2B和2C是示出使用載體制備自組裝結(jié)構(gòu)的配置的說明圖； 圖3是說明在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方案中使用的載體的示意圖； 圖4是說明在另一個(gè)實(shí)施方案中使用的載體的示意圖； 圖5是說明在另一個(gè)實(shí)施方案中使用的載體的示意圖； 圖6是沿圖5的線VI-VI截取的截面圖7A、 7B和7C是說明在另一個(gè)實(shí)施方案中使用的載體的示意圖， 并且還是說明制備自組裝結(jié)構(gòu)的另一種配置的說明圖； 圖8是在另一個(gè)實(shí)施方案中使用的載體的示意圖； 圖9是在另一個(gè)實(shí)施方案中使用的載體的示意圖IO是在另一個(gè)實(shí)施方案中使用的載體的示意圖ll是說明在另一個(gè)實(shí)施方案中使用的自組裝結(jié)構(gòu)制備裝置的示意
圖12A、 12B、 12C和12D是說明在另一個(gè)實(shí)施方案中的冷凝工序和 干燥工序的示意圖13是根據(jù)本發(fā)明制備的自組裝結(jié)構(gòu)的截面圖14A、 14B、 14C和14D是根據(jù)本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施方案制備的自組 裝結(jié)構(gòu)的示意圖；和
圖15是說明其中將保護(hù)層附著于本發(fā)明的自組裝結(jié)構(gòu)的實(shí)施方案的 工序流程圖。
實(shí)施本發(fā)明的最佳方式
在圖1中，在液體制備工序13，由聚合物化合物10、有機(jī)溶劑11 和必要時(shí)的添加劑如細(xì)粒12制備聚合物溶液(下文中，液體14)。此外， 在載體形成工序15，制備載體16。在流延工序20，將液體14流延或涂布 到載體16上，以形成流延膜21。在冷凝工序22，在流延膜21中形成水 作為主要組分的液滴。在干燥工序23，在流延膜21中的液滴和有機(jī)溶劑 ll蒸發(fā)，獲得自組裝結(jié)構(gòu)24。注意，有機(jī)溶劑11的蒸發(fā)還包括有機(jī)溶劑 11的揮發(fā)。還可能的是在自組裝結(jié)構(gòu)24中包含功能物質(zhì)，以獲得功能結(jié) 構(gòu)(功能膜)。
作為聚合物化合物IO，即，自組裝結(jié)構(gòu)24的主要組分，優(yōu)選使用可
溶解于水不溶性溶劑中的聚合物化合物(下文稱作親脂性聚合物化合物)， 比如聚-s-己內(nèi)酯、聚-3-羥基丁酸酯、瓊脂糖和聚-2-羥基乙基丙烯酸酯、 聚砜。尤其地，優(yōu)選使用容易以低成本獲得的聚-s-己內(nèi)酯。
自組裝結(jié)構(gòu)24可以只由一種或多種親脂性聚合物化合物形成。然而， 優(yōu)選添加兩親性材料，例如，兩親性聚合物化合物，如兩親性聚丙烯酰胺。 親脂性聚合物化合物和兩親性聚丙烯酰胺的混合比按重量比計(jì)優(yōu)選為5:1 至20:1。
作為將聚合物化合物10溶解其中以制備液體14的有機(jī)溶劑11，有 氯仿、二氯甲垸、四氯化碳、環(huán)己烷、乙酸甲酯等。然而，有機(jī)溶劑11 沒有特別限制，只要聚合物化合物10溶解其中即可。在流延時(shí)的聚合物 濃度可以在能夠形成流延膜的范圍內(nèi)，具體地在不小于0.1重量％且不大
于30重量％的范圍內(nèi)。如果聚合物濃度低于0.1重量％，則自組裝結(jié)構(gòu) 24的生產(chǎn)率可能降低，這使得自組裝結(jié)構(gòu)24不適合于工業(yè)大規(guī)模生產(chǎn)。 如果聚合物濃度超過30重量％，則在液滴在冷凝工序22中生長成合適大 小之前，流延膜在干燥工序23中被干燥。結(jié)果，可能變得難于形成所需 的結(jié)構(gòu)，例如蜂窩結(jié)構(gòu)。
細(xì)粒]
在本發(fā)明中，通過將細(xì)粒12包含到液體14中，促進(jìn)了聚合物化合 物在流延膜21中的聚集。細(xì)粒的種類和大小(平均粒徑)沒有特別的限制。
為了賦予在自組裝結(jié)構(gòu)24中的功能性，可以預(yù)先在液體14中加入 發(fā)揮功能性的添加劑。作為該添加劑，添加劑的種類和數(shù)量沒有特別的限 制。
用于在液體制備工序13中制備液體14的方法沒有特別的限制，可 以使用已知的液體制備方法。具體地，將室溫的有機(jī)溶劑11進(jìn)行攪拌， 同時(shí)將粉末形式的聚合物化合物IO加入其中。由此，聚合物化合物10溶 解于有機(jī)溶劑ll，形成聚合物溶液。之后，在聚合物溶液中，加入所需的 添加劑，攪拌并溶解，以獲得溶液。將細(xì)粒添加到溶液中并攪拌，以獲得 細(xì)粒在其中均勻分散的液體14。液體14的粘度優(yōu)選在不小于lxl(T4Pa-S 且不大于10Pa's的范圍內(nèi)。注意，在本發(fā)明中，液體14至少包含有機(jī)溶 劑11和聚合物化合物10。
在下列實(shí)施方案中，通過使用A＆D Co.,Ltd生產(chǎn)的音叉類型的粘度 計(jì)，測量液體14的粘度。液體14在測量時(shí)的溫度為20°C±1°C。測量在 室溫即15。C-2(TC進(jìn)行。注意，在本發(fā)明中，用于測量粘度的方法并不限 制于上述方法，其它方法也可以使用。如果使用其它方法，則預(yù)先確定所 得數(shù)據(jù)與上述方法所得數(shù)據(jù)之間的關(guān)系，以計(jì)算相應(yīng)于由上述方法測量的在不小于1x10—Apa's且不大于lOPa's的范圍內(nèi)的粘度范圍。
當(dāng)液體14的粘度低于lx10—4 Pa's時(shí)，內(nèi)聚力太弱，因而液體14可 能流過遇到區(qū)域。當(dāng)液體14的粘度超過10Pa's時(shí)，粘度可能太高。在這 種情況下，可能變得難于在流延工序20中使流延膜21的表面均勻。注意， 液體14中可以不一定包含添加劑。還可以將添加劑加入到所制備的自組 裝結(jié)構(gòu)24中，以獲得具有所需功能性的自組裝結(jié)構(gòu)24。
在載體形成工序15中，預(yù)先將框架31安置在載體16的襯底30上。 將框架31所包圍的襯底30的表面稱作流延區(qū)域30a。由此，在流延區(qū)域 30a內(nèi)提供限定流延膜21的邊緣的臺階。框架31的高度tl (mm)沒有特 別的限制。然而，當(dāng)高度tl (mm)太低時(shí)，流延液體14可能溢流過框架 31，因而不能獲得所需形狀的自組裝結(jié)構(gòu)24。當(dāng)高度tl(mm)太高時(shí)，可 能必需要特定工具以使在流延工序20中的流延膜21的表面平滑，這在成 本方面是不利的。
襯底30的材料沒有特別的限制。可以使用具有耐溶劑性的玻璃、金 屬和塑料。此外，框架31的材料沒有特別限制。然而，優(yōu)選使用與襯底 30相同的材料。用于將框架31附著于襯底30上的方法沒有特別的限制。 例如，可以使用具有優(yōu)異耐溶劑性的粘合劑。當(dāng)采用金屬作為襯底和框架 31的材料時(shí)，還可以使用焊接。
注意，液體14流延到其上的載體16的表面粗糙度(Ra)優(yōu)選不小于 0.05//m且不大于5pm。當(dāng)表面粗糙度(Ra)小于0.05//m時(shí)，液體14可 能由于其表面張力而不能鋪展到載體16的表面上。當(dāng)表面粗糙度(Ra)超過 5^m時(shí)，自組裝結(jié)構(gòu)的形成可能變得困難。
如圖2A所示，通過使用流延裝置32，將預(yù)定量的液體14流延到流 延區(qū)域30a上。然后，如圖2B和2C所示，使用刮刀33將流延液體14 的表面變平，以使流延膜21的表面平滑。流延膜21的邊緣由框架31限 定。此時(shí)，流延膜21的厚度(下文稱作濕膜厚度)優(yōu)選為不小于0.05mm且 不大于1.5mm。當(dāng)濕膜厚度小于0.05mm時(shí)，變得難于在冷凝工序22期 間在流延膜21中形成液滴。當(dāng)濕膜厚度超過1.5mm時(shí)，形成液滴所需要
的時(shí)間可能變得太長，這樣可能降低自組裝結(jié)構(gòu)24的生產(chǎn)率。此外，液
滴的形狀可能改變。結(jié)果，在自組裝結(jié)構(gòu)24中的結(jié)構(gòu)例如蜂窩結(jié)構(gòu)可能 變得不規(guī)則。在本發(fā)明中，注意，用于使液體14的表面變平的裝置并不 限制于刮刀。例如，可以使用輥等。此外，濕膜厚度還可以為不小于0.01mm 且不大于2.0mm。
此外，還可以使用這樣的方法將粘度不小于lxl0-4Pa's且不大于 10 Pa's的液體14流延到具有限定膜邊緣的臺階的載體上。
如圖3所示，通過切割載體40的中心部分，可以形成流延區(qū)域41。 在這種情況下，臺階40的高度t2(mm)優(yōu)選在預(yù)定范圍內(nèi)。此外，作為用 于載體40的材料，使用容易被切割并且在成本方面有利的材料。
在圖4中，載體45的流延區(qū)域45a由其對液體14的接觸角小的材 料，即，液體14容易鋪展到其上的材料形成(下文中，將這種材料稱作用 于流延區(qū)域的材料)。然而，圍繞流延區(qū)域45a的區(qū)域45b(下文稱作周圍 區(qū)域45b)由其接觸角大的材料，即，液體14不容易鋪展到其上的材料形 成。由此，當(dāng)將液體14流延到流延區(qū)域45a上時(shí)，將液體14鋪展到流延 區(qū)域45a，但是防止鋪展到周圍區(qū)域45b。
為了形成流延區(qū)域45a，可以將上述用于流延區(qū)域的材料附著于載體 襯底50上，或者可以將載體襯底的一部分加工成具有將用于流延區(qū)域的 材料裝備其內(nèi)的凹陷部分。還可以對載體襯底的表面進(jìn)行處理，以降低其 接觸角，從而形成流延區(qū)域45a。
在圖5和6中，通過將載體51裝備在載體襯底50的凹陷部分，形 成流延區(qū)域52。至于用于載體襯底50的材料，優(yōu)選使用低成本的具有優(yōu) 異強(qiáng)度和耐溶劑性的材料。作為載體51的材料，優(yōu)選使用低成本的具有 優(yōu)異撓性和耐溶劑性的材料。在這個(gè)實(shí)施例中，臺階51的高度為凹陷部 分的深度和載體51a的厚度之間的差。臺階51的高度t3優(yōu)選在預(yù)定范圍 內(nèi)。
在本發(fā)明中，在載體上形成的流延區(qū)域的數(shù)量并不限于1個(gè)。如圖 7A所示，在載體55上形成9個(gè)流延區(qū)域56。注意，在一個(gè)載體上形成的 流延區(qū)域的數(shù)量并不限于9個(gè)。如圖7B所示，在將液體14流延到每一個(gè)
流延區(qū)域56之后，將刮刀57橫向移動。如圖7C所示，在每一個(gè)流延區(qū) 域56中，形成流延膜21。在本發(fā)明中，除上述方法之外，代替的是，可 以將刮刀57固定，并且可以使載體55橫向移動。此外，可以采用輥等代 替刮刀57。
刮刀57的移動方向由箭頭58表示。在載體55的表面上形成的流延 區(qū)域由臺階限定。至少在所需流延區(qū)域的外圓周的一部分上形成臺階。即 使當(dāng)載體而不是刮刀37移動時(shí)，也可以以同樣的方式形成臺階。
在圖8中，在載體65中形成橢圓形的流延區(qū)域66。因此，在本發(fā)明 的載體中形成的流延區(qū)域的形狀并不限于矩形形狀。可以使用其它形狀， 比如近似圓形、近似橢圓形、多邊形等。此外，流延區(qū)域66的數(shù)量并不 限于9個(gè)。
在圖9中，在載體70上安置了 9個(gè)矩形流延區(qū)域71。在圖10中， 在載體75上形成了 9個(gè)橢圓形流延區(qū)域76。通過以與圖45所示的載體利相同的方式降低表面對液體14的接觸角，形成在載體70， 75中的流延區(qū)域 71,76。在本實(shí)施方案中，流延區(qū)域71,76的數(shù)量并不限于9個(gè)。
通過使用載體16、 40、 45、 51、 55、 65、 70和75中的任一個(gè)，間 歇地形成流延膜。然后，將自組裝結(jié)構(gòu)進(jìn)行冷凝工序22和干燥工序23， 以形成自組裝結(jié)構(gòu)。通過將多個(gè)屬于上述類型中的一種的載體放置在皮帶 上并且使皮帶連續(xù)移動，還可以連續(xù)地形成自組裝結(jié)構(gòu)。此外，在形成自 組裝結(jié)構(gòu)之后，可以采用載體作為保護(hù)層。即，保護(hù)層保護(hù)自組裝結(jié)構(gòu)免 受外部環(huán)境的影響，直到該自組裝結(jié)構(gòu)被投入實(shí)際的使用，所述外部環(huán)境 的影響例如水的吸附、操作員的接觸所導(dǎo)致的污染等。僅僅在使用自組裝 結(jié)構(gòu)之前，才將載體即保護(hù)層剝離。因而，在沒有另外工序的情況下，自 組裝結(jié)構(gòu)24的保護(hù)成為可能。注意，冷凝工序22和干燥工序23將在下 面進(jìn)行詳細(xì)地描述。
在圖11中，在用于連續(xù)制備本發(fā)明的自組裝結(jié)構(gòu)24的自組裝結(jié)構(gòu) 制備裝置80中，將液體14儲存在儲罐81中。在儲罐81中安置有攪拌葉 片82。通過旋轉(zhuǎn)攪拌葉片82，使液體均勻混合。液體14通過泵83送入 到流延模84。在流延模84的下面，皮帶85跨接通過可旋轉(zhuǎn)輥86，87。驅(qū) 動裝置(未示出)使輥86, 87旋轉(zhuǎn)，以使皮帶88連續(xù)地繞著這些輥86， 87運(yùn)行。將溫度控制裝置88附著于輥86， 87上。輥86, 87的溫度由溫度控制 裝置88調(diào)節(jié)，以控制與每個(gè)輥接觸的皮帶85的溫度。
在這個(gè)實(shí)施方案中，在連續(xù)載體(下文稱作基材(web)) 100中，連續(xù) 形成上述流延區(qū)域之一。此外，安置用于將基材100連續(xù)輸送給皮帶85 的供給裝置IOI。此外，安置剝離輥89和巻繞裝置90。當(dāng)在形成自組裝 結(jié)構(gòu)之后將基材100從皮帶85上剝離時(shí)，剝離輥89支撐基材100。剝離 出的基材100通過巻繞裝置卯巻繞。
將用于吹送含大量水蒸汽的空氣(下文稱作冷凝空氣)的排氣口 91安 置在皮帶85在上游方向之上。將用于吹送使流延膜21預(yù)干燥的干空氣的 排氣口 92安置皮帶85在下游方向之上。將用于吹送使流延膜21干燥的 干燥空氣的排氣口 93安置在皮帶85的下面。安置排氣口 91的部分被稱 作冷凝區(qū)A，在該冷凝區(qū)A，在流延膜21中形成液滴。將安置排氣口92 的部分稱作預(yù)干燥區(qū)B，在該預(yù)干燥區(qū)B，有機(jī)溶劑在液滴之前蒸發(fā)。安 置排氣口 93的部分被稱作干燥區(qū)C，在該干燥區(qū)C，在流延膜21中的液 滴以水蒸汽形式蒸發(fā)。注意，排氣口 91-93的位置并不限于圖11所示的位 置。
在流延模84的下面，安置刮刀94，以刮除多余的液體14。
在流延工序20中，液體14從流延模84流延到在皮帶85上的基材 100的表面上。多余的液體14用刮刀94刮除。然后，進(jìn)行冷凝工序22 和干燥工序23，所述冷凝工序22和干燥工序23將在下面與圖12A至12D 一起進(jìn)行描述。注意，在圖12A至12D中，省略了支撐基材100的皮帶 85。如圖12A所示，在基材100上形成流延膜21。流延膜21的表面溫度 (下文稱作膜表面溫度)優(yōu)選為(TC或更高。當(dāng)膜表面溫度低于0℃時(shí)，由 于液滴在流延膜21中固化，不能形成具有所需尺寸的均勻結(jié)構(gòu)。
更優(yōu)選的是，通過使用溫度控制裝置88，控制經(jīng)過輥86, 87的皮帶 85的溫度。例如，在輥86,87的內(nèi)側(cè)安置流動通道，以供給通過其內(nèi)的熱 傳遞介質(zhì)。優(yōu)選將皮帶85的最低溫度設(shè)置在0℃及更高。此外，優(yōu)選將 皮帶85的最高溫度設(shè)置為低于液體14中的有機(jī)溶劑11的沸點(diǎn)，更優(yōu)選 為(有機(jī)溶劑的沸點(diǎn)-3yC。由此，防止了冷凝水分的凝固和液體14中的有 機(jī)溶劑ll的急劇蒸發(fā)。因此，獲得均勻結(jié)構(gòu)的自組裝結(jié)構(gòu)24。此外，流延膜21的溫度分布在寬度方向上在±3。C之內(nèi)。相應(yīng)地，膜表面溫度的溫度分布也在±3。C之內(nèi)。通過減小流延膜21在寬度方向上的溫度分布，在 自組裝結(jié)構(gòu)24中形成孔時(shí)防止各向異性。
皮帶85的輸送方向優(yōu)選設(shè)置在相對于水平方向的±10°之內(nèi)。通過調(diào) 節(jié)輸送方向，控制液滴112的形狀和狀態(tài)。通過控制液滴112的形狀和狀 態(tài)，控制孔的形狀和狀態(tài)。
空氣110從排氣口 91送出?？諝?10的露點(diǎn)TD1 (℃)和流延膜21 通過冷凝區(qū)A時(shí)的表面溫度TL (℃)滿足下列條件0℃≤(TD1-TL)。此外， 露點(diǎn)TD1和表面溫度TL優(yōu)選滿足下列條件0°C ≤(TD1-TL) ≤ 80°C，特 別是5°C ≤ (TDl-TL) ≤ 60°C，尤其是10°C ≤(TDl-TL) ≤ 40℃。如果(TD1-TL) 低于0℃，則冷凝可能難于產(chǎn)生。如果(TDl-TL)超過80°C，則由于急劇冷 凝和干燥，變得難于控制孔的尺寸或其均勻性。盡管空氣IIO的溫度沒W 特別的限制，但是優(yōu)選在不小于5°C且不大于100℃的范圍內(nèi)。當(dāng)空氣 110的溫度低于5℃時(shí)，液滴112不大可能蒸發(fā)，因而不能獲得均勻結(jié)構(gòu) 的自組裝結(jié)構(gòu)24。當(dāng)空氣110的溫度超過100℃時(shí)，則在流延膜21中的 水分可能在形成液滴21之前蒸發(fā)。
如圖12A所示，在冷凝區(qū)A中，在空氣110中的水分lll(按模型示 出)在流延膜21上冷凝，形成液滴112。然后，如圖12B所示，由于液滴 112的成核作用，水分連續(xù)冷凝以使液滴112生長。如圖12C所示，在預(yù) 干燥區(qū)B中，當(dāng)將干燥空氣吹送到流延膜21上時(shí)，有機(jī)溶劑116從流延 膜21中蒸發(fā)。此時(shí)，在液滴112中的水分也蒸發(fā)。然而，有機(jī)溶劑116 的蒸發(fā)速度比水分的蒸發(fā)速度快。由于該原因，液滴的形狀和狀態(tài)由于有 機(jī)溶劑116的蒸發(fā)所產(chǎn)生的表面張力而變得均勻，因此，液滴自發(fā)以有規(guī) 劃形式排列。此外，在流延膜21中的聚合物化合物容易聚集在包含于流 延膜21中的細(xì)粒(未示出)周圍。如圖12D所示，當(dāng)干燥在干燥區(qū)C中得 到促進(jìn)時(shí)，在液滴112中的水分以水蒸汽117的形式蒸發(fā)。此時(shí)，也促進(jìn) 了聚合物化合物在細(xì)粒周圍的聚集，從而形式孔的圓周。因此，孔的形狀 變得非常均勻。
當(dāng)液滴112從流延膜21中蒸發(fā)時(shí)，其中形成液滴112的部分變成孔 120，因此獲得如圖13所示的自組裝結(jié)構(gòu)24。在孔120周圍形成其主要組分為聚合物化合物的壁121。如上所述，在壁121中包含多個(gè)細(xì)粒12。然
而，作為實(shí)際的量，包含痕量的細(xì)粒12。(注意，在圖13中，為了說明， 將細(xì)粒12進(jìn)行了放大)。因此，細(xì)粒12并不影響自組裝結(jié)構(gòu)24的性質(zhì)。 在本發(fā)明中，自組裝結(jié)構(gòu)24的形狀沒有特別的限制。
在本發(fā)明中，空氣110以并流形式從平行于流延膜21的移動方向供 給。當(dāng)空氣110以逆流形式供給時(shí)，可能不能均勻地形成膜表面。結(jié)果， 液滴的生長可能受到抑制。此外，空氣110的吹送速度與流延膜21的移 動速度的相對速度優(yōu)選為不小于0.1m/s且不大于20m/s，特別為不小于 0.5m/s且不大于15m/s，尤其為不小于2m/s且不大于10m/s。如果該相 對速度小于0.1m/s，則液滴112在流延膜21中生長成足夠大小之前，流 延膜21可能提前到了干燥區(qū)B。如果該相對速度大于20m/s，則流延脫 21的表面可能變得不均勻，和/或冷凝可能不適當(dāng)?shù)靥崆啊?br> 在本發(fā)明中，流延膜21穿過冷凝區(qū)A所經(jīng)過的時(shí)間優(yōu)選為不短于 O.l秒且不長于100秒。如果該通過時(shí)間為短于0.1秒，則孔在液滴44生 長為足夠尺寸之前形成。因此，可能難于獲得想要尺寸的孔。如果該通過 時(shí)間長于100秒，則液滴112的尺寸變得太大。結(jié)果，不可能獲得所需結(jié) 構(gòu)，例如，蜂窩結(jié)構(gòu)。
在預(yù)干燥區(qū)B和干燥區(qū)C中，用于干燥流延膜21的干燥空氣115 和流延膜21的相對速度優(yōu)選為不小于0.1 m/s且不大于20 m/s，特別為 不小于0.5m/s且不大于15m/s，尤其為不小于2m/s且不大于10m/s。 如果相對速度低于0.1m/s，則液滴112的蒸發(fā)可能不適當(dāng)?shù)靥崆埃虼丝?能降低生產(chǎn)率。如果該相對速度大于20m/s，則液滴112快速蒸發(fā)，因而 孔120的形狀可能不均勻。
當(dāng)干燥空氣115的露點(diǎn)被限定為TD2 fC)時(shí)，TD2 fC)和表面溫度 TL(。C)優(yōu)選滿足下列條件(TL-TD2)^rC。因而，在預(yù)干燥區(qū)B和干燥 區(qū)C中變成可能停止液滴112在流延膜21中的生長，從而液滴112以水 蒸汽117的形式蒸發(fā)。
代替從排氣口 91至93經(jīng)過2D噴嘴(二維噴嘴)供應(yīng)干燥空氣或除此 之外，還能夠通過減壓干燥方法干燥流延膜21。減壓干燥方法能夠控制有 機(jī)溶劑116和液滴112的蒸發(fā)速度。因而，變成能夠在流延膜21中形成液滴112，在與有機(jī)溶劑蒸發(fā)的同時(shí)蒸發(fā)液滴112，并且改變在液滴蒸發(fā)
之后在液滴112的位置形成孔120的尺寸和形狀。
此外，可以將冷凝器安置在離膜的距離為約3 mm至20 mm的位置 處。在冷凝器的表面上形成凹槽，并且冷凝器表面的溫度比膜表面的溫度 低。來自流延膜21的水蒸汽和溶劑蒸氣被冷凝在冷凝器的表面上，從而 流延膜21得到干燥。應(yīng)用上述干燥方法中的至少一種，在膜表面干燥過 程中，降低了對流延膜21的膜表面的動態(tài)影響。因此，變成能夠獲得更 平滑的膜表面。
將進(jìn)行了(advanced)干燥的自組裝結(jié)構(gòu)24和基材100在被剝離裝置 89支持的情況下從皮帶85上剝離，然后，由巻繞裝置90巻繞。盡管自組 裝結(jié)構(gòu)24的輸送速度沒有特別的限制，但是該輸送速度優(yōu)選為不小于0.1 m/min且不大于60m/min。如果輸送速度小于0.1 m/min，則生產(chǎn)率降低， 這在成本方面是不利的。如果輸送速度超過60m/min，則正在輸送的自組 裝結(jié)構(gòu)24被施加過大的張力。結(jié)果，可能出現(xiàn)諸如裂縫、結(jié)構(gòu)不規(guī)則等 之類的缺陷。因此，使用上述方法，連續(xù)制備出自組裝結(jié)構(gòu)24。
圖14A-14D是在另一個(gè)實(shí)施方案中制造備的自組裝結(jié)構(gòu)的示意圖。 自組裝結(jié)構(gòu)130是在液體14中不含細(xì)粒的情況下制備的。圖14A是根據(jù) 本發(fā)明制備的自組裝結(jié)構(gòu)的平面圖。圖14B是沿線b-b截取的圖14A的截 面圖。圖14C是沿線c-c截取的圖14A的截面圖。此外，圖14D是另一個(gè) 實(shí)施方案中的自組裝結(jié)構(gòu)的截面圖。注意，圖14D的平面圖被省略，因?yàn)?其平面圖類似于圖14A的平面圖。自組裝結(jié)構(gòu)130是密集形成多個(gè)孔的膜。 如圖14A所示，在自組裝結(jié)構(gòu)130內(nèi)部的蜂窩結(jié)構(gòu)中形成孔131?？?31 以近似相同的形狀和大小有規(guī)劃地排列。如圖14B和14C所示，孑L 131 可以以通孔形式形成在自組裝結(jié)構(gòu)130之內(nèi)。如圖14D所示，還可以在自 組裝結(jié)構(gòu)133的一個(gè)表面上以凹陷133a形式形成孔130。在本實(shí)施方案中， 在自組裝結(jié)構(gòu)24中的組分，主要是聚合物化合物，被從液滴上移除并且 附聚。由于該原因，在沒有細(xì)粒存在的情況下，通過聚合物化合物的自附 聚制備自組裝結(jié)構(gòu)130。在圖14A-14D的L1和L2的描述被省略，因?yàn)樗?們與圖13類似。
在圖15中，描述用于保護(hù)自組裝結(jié)構(gòu)的方法。在保護(hù)層粘合工序122中，在將自組裝結(jié)構(gòu)140從載體142上剝離之前，將保護(hù)膜141粘附于自 組裝結(jié)構(gòu)140上。注意，將保護(hù)膜141與自組裝結(jié)構(gòu)140接觸載體142的 表面相對粘附。當(dāng)將保護(hù)層141粘附于自組裝結(jié)構(gòu)140上時(shí)，還可以安置 粘合層124。在這種狀態(tài)下，自組裝結(jié)構(gòu)被稱作從載體142上剝離之前并 且涂布有保護(hù)層141的自組裝結(jié)構(gòu)123。
在載體移除工序125中，將自組裝結(jié)構(gòu)123從載體142上剝離。該 剝離膜被稱作涂布有保護(hù)膜141的自組裝結(jié)構(gòu)126。因而，在自組裝結(jié)構(gòu) 中，防止了雜質(zhì)等的沉積。因此，在實(shí)際上使用自組裝結(jié)構(gòu)140時(shí)，防止 了上述缺陷。
在使用自組裝結(jié)構(gòu)之前，在保護(hù)膜剝離工序127中，將保護(hù)膜141 剝離，以獲得自組裝結(jié)構(gòu)140。優(yōu)選的是，將粘合層124的剝離與保護(hù)層 141的剝離同時(shí)進(jìn)行。
下文中，在下列實(shí)施方案中，具體說明本發(fā)明。然而，本發(fā)明的范 圍并沒有限制于下列實(shí)施方案。
在試驗(yàn)1中，將在[化學(xué)式l]中顯示的平均分子量為70,000至100,000 的聚-s-己內(nèi)酯和在[化學(xué)式2]中顯示的兩親性聚丙烯酰胺以10:1的重量比 進(jìn)行混合，以被用作用于液體14的溶質(zhì)。采用二氯甲烷作為溶劑。制備 液體14，使得聚合物化合物的濃度變?yōu)?.2重量％。液體14的粘度通過 已知方法測量為0.05 Pa.s (這等于50cP)。作為載體16，使用在圖2所示的 具有框架31的襯底30。此外，厚度tl為0.5mm。在將液體14流延到流 延區(qū)域30a上之后，移動刮刀33，以形成流延膜21。屬于濕膜的流延脫 的厚度為0.5mm。<formula>see original document page 19</formula>[化學(xué)式2]
<formula>see original document page 20</formula>
(m:n=4:1)
通過使用在其上形成流延膜21的載體16，形成冷凝工序22。將空 氣的溫度設(shè)定在3(TC，并且將露點(diǎn)控制為20°C。以3m/s的吹送速度將， 氣吹送到流延膜21的表面上，持續(xù)預(yù)定時(shí)間。之后，進(jìn)行干燥工序23。 首先，將6(TC士3。C的干燥空氣吹送到流延膜21上，以預(yù)干燥流延膜21。 之后，將在11(TC土3。C的干燥空氣吹送到流延膜21上。由此，獲得具有 蜂窩結(jié)構(gòu)的自組裝結(jié)構(gòu)24，該蜂窩結(jié)構(gòu)具有5/im的想要的孔徑Dl以及 5一m的厚度Ll(/im)。
通過掃描電子顯微鏡(SEM)觀察自組裝結(jié)構(gòu)24的微結(jié)構(gòu)，以評價(jià)孔 120的目標(biāo)直徑D1 Qm)的變化。該評價(jià)以下列四個(gè)等級進(jìn)行。
A:目標(biāo)直徑D1的變化為大于-5%和小于5%。
B:目標(biāo)直徑D1的變化在大于-10%且不大于-5%的范圍內(nèi)，或在 不小于5%和小于10%的范圍內(nèi)。
C:目標(biāo)直徑D1的變化在大于-20%和不小于-10°/。的范圍內(nèi)，或 在不小于10%和小于20%的范圍內(nèi)。
F:目標(biāo)直徑D1的變化在不大于-20%，或者不小于20%的范圍內(nèi)。
實(shí)驗(yàn)l中目標(biāo)直徑D1的變化被評價(jià)為B。
除了添加細(xì)粒之外，以與實(shí)驗(yàn)1的相同條件進(jìn)行實(shí)驗(yàn)2。實(shí)驗(yàn)2的 結(jié)果被評價(jià)為A。除了采用沒有框架31的載體之外，以與實(shí)驗(yàn)1的相同 條件進(jìn)行實(shí)驗(yàn)3，該實(shí)驗(yàn)3為實(shí)驗(yàn)1的比較實(shí)驗(yàn)。在實(shí)驗(yàn)3中，在流延膜 邊緣上的形狀是不均勻的。因此，通過SEM的觀察，實(shí)驗(yàn)3的結(jié)果被評 價(jià)為F。工業(yè)可適用性
本發(fā)明可應(yīng)用于制備用作光學(xué)和電子材料的膜形式的自組裝結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種用于自組裝結(jié)構(gòu)的制備方法，包括如下步驟通過將含有機(jī)溶劑和聚合物化合物的液體流延到載體上，形成流延膜，所述液體的粘度在不小于1×10-4Pa·s且不大于10Pa·s的范圍內(nèi)，所述流延膜在形成之后即刻的厚度在不小于0.05mm且不大于1.5mm的范圍內(nèi)；在所述流延膜中形成多個(gè)液滴；將所述有機(jī)溶劑和所述液滴從所述流延膜上蒸發(fā)，以在所述液滴的位置形成孔；以及將其內(nèi)形成所述孔的所述流延膜從所述載體上剝離。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其中所述載體的流延表面具有第 一區(qū)域以及第二區(qū)域，將所述液體到流延第一區(qū)域上，在所述第二區(qū)域中， 對所述液體的接觸角大于在所述第一區(qū)域中對所述液體的接觸角，以防止 所述液體的鋪展。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法，其中所述液體是連續(xù)或間歇流延 到所述載體上的。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法，其中當(dāng)所述自組裝結(jié)構(gòu)被保存 時(shí)，所述載體保護(hù)所述自組裝結(jié)構(gòu)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法，其中所述液體是在所述載體被輸 送的同時(shí)流延到具有長的長度的所述載體上的，并且將所述流延膜增濕以 形成所述液滴。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法，其中所述液體是在所述載體被輸 送的同時(shí)流延到所述多個(gè)載體上的，并且將所述流延膜增濕以形成所述液 滴。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其中將用于保護(hù)所述自組裝結(jié)構(gòu) 的保護(hù)膜附著于所述自組裝結(jié)構(gòu)上，并且將所述自組裝結(jié)構(gòu)與所述保護(hù)膜 一起從所述載體上剝離。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備方法，所述保護(hù)膜和所述自組裝結(jié)構(gòu)是通過粘合材料附著的。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其中所述載體的流延表面的表面粗糙度(Ra)為不小于0.05μm且不大于5μm。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其中所述自組裝結(jié)構(gòu)是膜。
11. 一種用于自組裝結(jié)構(gòu)的制備方法，所述方法包括如下步驟通過將含有機(jī)溶劑和聚合物化合物的液體流延到載體上形成流延膜，所述載體具有用于限定所述流延膜的邊緣的臺階； 在所述流延膜中形成多個(gè)液滴；將所述有機(jī)溶劑和所述液滴從所述流延膜上蒸發(fā)，以在所述液滴的位 置形成孔；以及將在其內(nèi)形成所述孔的所述流延膜從所述載體上剝離。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制備方法，其中所述液體的粘度在不小于 1 x 10-4 Pa's且不大于lOPa's的范圍內(nèi)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制備方法，其中所述臺階是通過預(yù)先處理 所述載體的表面而形成的。
14. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制備方法，其中所述臺階是通過將框架元 件固定在所述載體上而形成的。
15. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制備方法，其中所述臺階的高度是將所述 載體裝備其內(nèi)的襯底的凹陷部分的深度與所述載體的厚度之間的差。
16. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制備方法，所述液體是在將所述液體或所 述載體移動的同時(shí)流延的。
17. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制備方法，其中在所述載體上形成由所述 框架元件限定的多個(gè)流延區(qū)域。
18. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制備方法，其中所述流延膜在形成之后即 刻的厚度在不小于0.01mm且不大于2.0mm的范圍內(nèi)。
19. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制備方法，其中所述的載體的流延表面具 有第一區(qū)域以及第二區(qū)域，將所述液體到流延第一區(qū)域上，在所述第二區(qū) 域中，對所述液體的接觸角大于在所述第一區(qū)域中對所述液體的接觸角， 以防止所述液體的鋪展。
20. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制備方法，其中所述液體是連續(xù)或間歇流延到所述載體上的。
21. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制備方法，其中當(dāng)所述自組裝結(jié)構(gòu)被保存時(shí)，所述載體保護(hù)所述自組裝結(jié)構(gòu)。
22. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制備方法，其中所述液體是在所述載體被輸送的同時(shí)流延到具有長的長度的所述載體上，并且將所述流延膜增濕以形成所述液滴。
23. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制備方法，其中所述液體是在所述載體被輸送的同時(shí)流延到所述多個(gè)載體上的，并且將所述流延膜增濕以形成所述液滴。
24. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制備方法，其中將用于保護(hù)所述自組裝結(jié)構(gòu)的保護(hù)膜附著于所述自組裝結(jié)構(gòu)上，并且將所述自組裝結(jié)構(gòu)與所述保護(hù)膜一起從所述載體上剝離。
25. 根據(jù)權(quán)利要求24所述的制備方法，所述保護(hù)膜和所述自組裝結(jié)構(gòu)是通過粘合材料附著的。
26. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制備方法，其中所述載體的所述流延表面的表面粗糙度(Ra)為不小于0.05μm且不大于5μm。
27. 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的制備方法，其中所述自組裝結(jié)構(gòu)是膜。
28. —種用于制備自組裝結(jié)構(gòu)的方法，包括如下步驟 通過將含有機(jī)溶劑和聚合物化合物的液體流延到載體上形成流延膜，所述載體的流延表面具有第一區(qū)域以及第二區(qū)域，將所述液體到流延第-區(qū)域上，在所述第二區(qū)域中，對所述液體的接觸角大于在所述第一區(qū)域中對所述液體的接觸角，以防止所述液體的鋪展； 在所述流延膜上形成多個(gè)液滴；將所述有機(jī)溶劑和所述液滴從所述流延膜上蒸發(fā)，以在所述液滴的位置形成孔；以及將在其內(nèi)形成所述孔的所述流延膜從所述載體上剝離。
29. 根據(jù)權(quán)利要求28所述的制備方法，其中所述液體是連續(xù)或間歇流延到所述載體上的。
30. 根據(jù)權(quán)利要求28所述的制備方法，其中當(dāng)所述自組裝結(jié)構(gòu)被保存時(shí)，所述載體保護(hù)所述自組裝結(jié)構(gòu)。
31. 根據(jù)權(quán)利要求28所述的制備方法，其中所述液體是流延到正在輸 送的具有長的長度的所述載體上，并且將所述流延膜增濕以形成所述液 滴。
32. 根據(jù)權(quán)利要求28所述的制備方法，其中所述液體是在所述載體被 輸送的同時(shí)流延到所述多個(gè)載體上的，并且將所述流延膜增濕以形成所述 液滴。
33. 根據(jù)權(quán)利要求28所述的制備方法，其中將用于保護(hù)所述自組裝結(jié) 構(gòu)的保護(hù)膜附著于所述自組裝結(jié)構(gòu)上，并且將所述自組裝結(jié)構(gòu)與所述保護(hù) 膜一起從所述載體上剝離。
34. 根據(jù)權(quán)利要求33所述的制備方法，所述保護(hù)膜和所述自組裝結(jié)構(gòu) 是通過粘合材料附著的。
35. 根據(jù)權(quán)利要求28所述的制備方法，其中所述載體的流延表面的表 面粗糙度(Ra)為不小于0.05um且不大于5um。
36. 根據(jù)權(quán)利要求28所述的制備方法，其中所述自組裝結(jié)構(gòu)是膜。
全文摘要
通過將聚-ε-己內(nèi)酯、聚丙烯酰胺和細(xì)粒溶解并分散在氯仿中，以制備液體(14)。調(diào)節(jié)液體(14)的粘度。此外，制備襯底(30)。安置框架(31)，使得厚度t1為0.5mm。將液體(14)流延到框架(31)包圍的流延區(qū)域(30a)上。通過移動刮刀(33)并且使流延液體(14)的表面變平，以形成流延膜(21)。通過在流延膜(21)上的冷凝，在流延膜(21)內(nèi)形成多個(gè)有規(guī)劃排列的液滴。通過干燥使液滴蒸發(fā)，以形成孔。由此，獲得具有蜂窩結(jié)構(gòu)的自組裝結(jié)構(gòu)，該蜂窩結(jié)構(gòu)具有5μm的厚度和5μm的孔徑。
文檔編號C08J9/28GK101175802SQ20068001693
公開日2008年5月7日 申請日期2006年5月26日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月27日
發(fā)明者伊藤晃壽, 山崎英數(shù) 申請人:富士膠片株式會社