鼓泡器的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體外延設備領域，尤其涉及一種鼓泡器。
【背景技術】
[0002]單晶硅外延，是在拋光硅片表面通過化學氣相沉積的方法再生長一層幾微米到幾十微米單晶硅層，硅外延材料是集成電路和分立器件中重要的基礎材料。硅外延片能夠提供拋光片所沒有的電參數(shù)，去除許多在晶體生長和加工成襯底材料過程中形成的表面和近表面缺陷。單晶硅外延片主要用于CMOS邏輯電路、DRAM和分立器件制造。外延技術是解決大直徑單晶硅片表面缺陷的一種重要手段。
[0003]外延爐是硅外延的關鍵設備，外延爐的性能直接影響硅外延片的質量。鼓泡器是單晶硅外延設備中重要的氣體提供部件。參見圖1，鼓泡器通常由一個管本體10、一個氫氣供氣管13、廢液管14組成。管體本體1內裝載三氯氫硅液體，所述氫氣供氣管13插入所述管本體10的三氯氫硅液體中，以將H2通入管本體10中發(fā)生起泡，起泡后的三氯氫硅飽和氣體通過排氣管16排出用于外延生長。所述廢液管14用于將三氯氫硅的廢液排出，所述廢液管14具有閥門15，在不需要排液時，所述閥門15關閉，在需要將廢液排出時，所述閥門15打開。
[0004]現(xiàn)有的鼓泡器存在如下問題:
[0005]一、沒有考慮到因供氫氣供氣管13堵塞而引起供氣不穩(wěn)導致外延片報廢的情況，設備在外延過程中，若供氣不穩(wěn)定，則使得做出來的外延片厚度均一性不好、電阻率不達標。所述鼓泡器的每種氣體只有一個進氣口，在經(jīng)過一段時間的使用后，供氣管管口易出現(xiàn)堵塞，所述供氣管易堵的區(qū)域如圖1中虛線框所標示，所以鼓泡器的使用壽命減短了。
[0006]現(xiàn)有的鼓泡器已經(jīng)很全面的考慮到了安全問題，但存在不足，鼓泡器僅有一個廢液管14，用于排出三氯氫硅，所述廢液管14上的閥門15因長期受到廢液的腐蝕易損壞，從而存在安全隱患。
【實用新型內容】
[0007]本實用新型所要解決的技術問題是，提供一種鼓泡器，起能夠提供穩(wěn)定有效的氣體供應。
[0008]為了解決上述問題，本實用新型提供了一種鼓泡器，包括:一管本體，用于存放液體反應物；一第一進氣管，插入所述管本體中，用于將氣體通入所述管本體的液體反應物中，以進行起泡，形成含有反應物的飽和氣體;一廢液管，與所述管本體連接;還包括一第二進氣管，一端與所述第一進氣管的進氣端連通，另一端與所述廢液管連通，用于在第一進氣管堵塞的情況下將氣體由所述廢液管通入所述管本體中；一第一閥門，設置在廢液管上，位于管本體與第二進氣管連接點之間，用于控制廢液管的開閉；一流量監(jiān)控器，與所述第一進氣管連接，用于監(jiān)控第一進氣管的氣體流量;一閥門控制器，與所述流量監(jiān)控器以及第一閥門連接，用于在流量監(jiān)控器監(jiān)控的第一進氣管的氣體流量小于預設值的情況下，控制第一閥門開啟。
[0009]進一步，所述第一進氣管及第二進氣管均具有一進氣閥門，以控制所述第一進氣管及第二進氣管的開閉。
[0010]進一步，還包括一第二閥門，所述第一閥門及第二閥門依次與所述廢液管連接，用于控制廢液管的開閉。
[0011]進一步，所述第一閥門與所述第二閥門之間設置有流量監(jiān)控器，以監(jiān)測是否有氣體泄露。
[0012]進一步，所述第二進氣管連接點位于所述第一閥門與所述第二閥門之間。
[0013]進一步，所述第二進氣管連接點位于所述第二閥門與所述廢液管的出口之間。
[0014]進一步，所述管本體為一 U型管。
[0015]進一步，還包括一出氣管，設置在所述管本體上方，用于將含有反應物的飽和氣體通入外部反應裝置。
[0016]進一步，還包括液體加注管，用于向所述管本體內加注液體。
[0017]本實用新型的一個優(yōu)點在于，采用第一進氣管及第二進氣管，彼此作為備份，提供穩(wěn)定有效地氣體供應，避免了在外延生長時，因氣體流量不穩(wěn)而導致整爐外延片的報廢，提高效益。另外，充分利用廢液管，該鼓泡器中廢液管一管多用，也可作為第二進氣管的進氣管。
[0018]本實用新型的另一個優(yōu)點在于，第一閥門及第二閥門，雙閥門保險裝置避免了三氯氫硅(TCS)液體泄漏后，才能發(fā)現(xiàn)問題，這樣存在很大的危險系數(shù)，雙閥門裝置可以先發(fā)現(xiàn)問題，在三氯氫硅液體泄漏前修理好設備，降低危險系數(shù)。
【附圖說明】
[0019]圖1是現(xiàn)有的鼓泡器的結構示意圖；
[0020]圖2是本實用新型鼓泡器的一【具體實施方式】的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0021]下面結合附圖對本實用新型提供的用于半導體外延的鼓泡器的【具體實施方式】做詳細說明。
[0022]參見圖2，本實用新型鼓泡器包括一管本體20，用于存放液體反應物。所述管本體20與現(xiàn)有技術中的管本體相同，本領域技術人員可以從現(xiàn)有技術中獲得其結構，在本【具體實施方式】中，所述管本體20為一U型管。本實用新型鼓泡器還包括液體加注管30，用于向所述管本體20內加注反應物液體，例如，三氯氫硅液體。
[0023]一第一進氣管21插入所述管本體20中，用于將氣體通入所述管本體20中，以進行起泡，形成含有反應物的飽和氣體，例如，氫氣。所述第一進氣管21具有一進氣閥門29，以控制所述第一進氣管21的開閉。所述第一進氣管21的進氣閥門29設置在管本體20之外的氣體進氣口處。進氣閥門29開啟，所述氣體通過第一進氣管21的氣體進氣口進入所述第一進氣管21，通過所述第一進氣管21進入所述管本體20內。所述第一進氣管21的出氣口位于所述管本體20內的液體的液面下，以進行起泡。一出氣管31設置在所述管本體20上方，用于將含有反應物的飽和氣體通入外部反應裝置(附圖中未標示)。
[0024]一廢液管22與所述管本體20連接。所述廢液管22可以與所述管本體20的底部連接，以充分排出廢液。一第一閥門23設置在廢液管22上，位于管本體20與第二進氣管21連接點之間，用于控制廢液管22的開閉。所述第二進氣管21連接點是指第二進氣管2