一種玻璃用組合物、鋁硅酸鹽玻璃及其制備方法和應(yīng)用
【專利摘要】本發(fā)明涉及玻璃領(lǐng)域，公開了一種玻璃用組合物、鋁硅酸鹽玻璃及其制備方法和應(yīng)用。以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，該組合物含有65?71mol％的SiO2、11?17mol％的Al2O3、0?6mol％的B2O3、0?9mol％的MgO、2?7mol％的CaO、1?9mol％的SrO+BaO、0.4?3mol％的ZnO、0.01?0.5mol％的Na2O+K2O和0.03?1.5mol％的Nd2O3。本發(fā)明制備得到的玻璃，具有較高的化學(xué)穩(wěn)定性、較高的熱穩(wěn)定性和尺寸穩(wěn)定性、較高的應(yīng)變點(diǎn)、較高的比模量、較高的體積電阻率、較低的熔化溫度、較低的液相線溫度和較低的密度，適合進(jìn)行大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。
【專利說(shuō)明】
_種玻璃用組合物、鍋娃fe?鹽玻璃及其制備方法和應(yīng)用
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及玻璃領(lǐng)域，具體地，涉及一種玻璃用組合物、鋁硅酸鹽玻璃及其制備方 法和應(yīng)用。
【背景技術(shù)】
[0002] 隨著光電行業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)各種顯示器件的需求正在不斷增長(zhǎng)，比如有源矩陣 液晶顯示(AMLCD)、有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)以及應(yīng)用低溫多晶硅技術(shù)的有源矩陣液晶顯示 (LTPS TFT-LCD)器件，這些顯示器件都基于使用薄膜半導(dǎo)體材料生產(chǎn)薄膜晶體管(TFT)技 術(shù)。主流的硅基TFT可分為非晶硅(a-S i) TFT、多晶硅(p-S i) TFT和單晶硅(SCS) TFT，其中非 晶硅(a-Si)TFT為現(xiàn)在主流TFT-LCD應(yīng)用的技術(shù)，其生產(chǎn)制程可以在300-450 °C溫度下完成。 對(duì)于像素密度不超過(guò)300ppi的顯示產(chǎn)品，非晶硅(a-Si)TFT游刃有余;但是當(dāng)像素密度超過(guò) 400ppi后，就需要電子迀移率更高的多晶硅技術(shù)支撐。LTPS(P-Si)TFT在制程過(guò)程中需要在 450-600°C溫度下多次處理，基板必須在多次高溫處理過(guò)程中不能發(fā)生顯著的變形，對(duì)基板 玻璃熱穩(wěn)定性和尺寸穩(wěn)定性提出更高的要求，也即基板必須具有足夠小的"熱收縮"?；?玻璃熱收縮的影響因素主要有三個(gè)：1.基板玻璃在處理溫度下具有較高的粘度（即較高的 應(yīng)變點(diǎn)）；2.基板成型過(guò)程中經(jīng)過(guò)了良好的退火；3.面板制程工藝溫度及處理時(shí)間。對(duì)于玻 璃制造商來(lái)說(shuō)，可控的因素為1和2。針對(duì)LTPS工藝應(yīng)用而言，優(yōu)選的基板玻璃應(yīng)變點(diǎn)高于 650°C，更優(yōu)選的是高于670°C、700°C或720°C。同時(shí)玻璃基板的膨脹系數(shù)需要與硅的膨脹系 數(shù)相近，盡可能減小應(yīng)力和破壞，因此基板玻璃優(yōu)選的線性熱膨脹系數(shù)在28-39X 1(T7/°C之 間。為了利于工業(yè)化生產(chǎn)、提高良率、降低成本，作為顯示器基板用的玻璃應(yīng)該具有較低的 熔化溫度和液相線溫度。大多數(shù)硅酸鹽玻璃的應(yīng)變點(diǎn)隨著玻璃形成體含量的增加和改性劑 含量的減少而增高。但同時(shí)會(huì)造成高溫熔化和澄清困難，造成耐火材料侵蝕加劇，增加能耗 和生產(chǎn)成本。目前(a-Si) TFT-LCD使用的基板玻璃熔化溫度已超過(guò)1600 °C，LTPS適用的無(wú)堿 基板玻璃材料耐熱性能比（a-Si)TFT-LCD有了大幅提升，高溫粘度同樣出現(xiàn)了 10 °C、50 °C， 甚至超過(guò)100 °C的升高。如果再大幅提升熔化溫度，玻璃的制造將會(huì)變得愈加困難，料方的 實(shí)用性將會(huì)大打折扣。因此，通過(guò)組分改良，使得低溫粘度增大的同時(shí)保持高溫粘度不會(huì)出 現(xiàn)大的提升，甚至降低才是提高應(yīng)變點(diǎn)的最佳突破口。
[0003] 隨著智能手機(jī)與平板電腦的普及，開啟了智能移動(dòng)的時(shí)代。以往的手機(jī)局限在通 訊功能，但目前包括智能手機(jī)與平板電腦的智能設(shè)備的性能已與筆記本接近，使得讓人們 憑借無(wú)線通信的方便性無(wú)時(shí)無(wú)刻不在執(zhí)行及享受較高層次的商務(wù)及娛樂(lè)活動(dòng)。在這樣的趨 勢(shì)下，對(duì)顯示器性能要求也不斷提高，尤其是對(duì)移動(dòng)智能設(shè)備的畫面質(zhì)量、在戶外的可視性 能要求也正在提升，同時(shí)為了減輕手持式設(shè)備的使用負(fù)擔(dān)，重量變輕、厚度變薄成為不可避 免的大趨勢(shì)。在這種發(fā)展潮流引導(dǎo)下，顯示面板正在向輕薄化、超高清顯示的方向發(fā)展，面 板制程工藝向更高處理溫度發(fā)展；同時(shí)單片玻璃經(jīng)過(guò)工藝處理，厚度達(dá)到0.25mm、0.2mm、 0.1 mm甚至更薄。使玻璃變薄的方式目前主要是化學(xué)減薄，具體的說(shuō)，使用氫氟酸或氫氟酸 緩沖液對(duì)玻璃基板進(jìn)行腐蝕，其薄化原理如下：
[0004] 主要化學(xué)反應(yīng):4HF+Si〇2 = SiF4+2H20
[0005] 次要化學(xué)反應(yīng):如+2礦=1?2++!120(1?代表堿土金屬等）
[0006] 研發(fā)高化學(xué)穩(wěn)定性的TFT-LCD基板玻璃，可以更加有效的控制減薄過(guò)程及工藝，減 少二次拋光等生產(chǎn)成本，提升產(chǎn)品品質(zhì)和良品率，對(duì)于大型工業(yè)化生產(chǎn)有較大益處。
[0007] 隨著輕薄化趨勢(shì)的發(fā)展，在G5代、G6代、G7代、G8代等更高世代玻璃基板生產(chǎn)中，水 平放置的玻璃基板由于自重產(chǎn)生的下垂、翹曲成了重要研究課題。對(duì)玻璃基板生產(chǎn)者而言， 玻璃板材成型后要經(jīng)過(guò)退火、切割、加工、檢驗(yàn)、清洗等多種環(huán)節(jié)，大尺寸玻璃基板的下垂將 影響在加工點(diǎn)之間運(yùn)送玻璃的箱體中裝入、取出和分隔的能力。對(duì)面板制造商來(lái)講，類似的 問(wèn)題同樣存在。較大的垂度或翹曲會(huì)導(dǎo)致碎片率提高以及CF制程工藝報(bào)警，嚴(yán)重影響產(chǎn)品 良率。如果在兩端支撐基板兩邊時(shí)，玻璃基板的最大下垂量(S)可以表示如下：
[0008]
[0009] k為常數(shù)，P為密度，E為彈性模量，1為支撐間隔，t為玻璃基板厚度。其中，（ρ/Ε)為 比模數(shù)的倒數(shù)。比模數(shù)是指材料彈性模量與密度的比值，亦稱為"比彈性模量"或"比剛度"， 是結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)對(duì)材料的重要要求之一。比模數(shù)較高說(shuō)明相同剛度下材料重量更輕，或相同質(zhì) 量下剛度更大。由上式可見，當(dāng)l、t一定時(shí)，P變小E加大后可以降低下垂量，因此應(yīng)該使基板 玻璃具有盡量低的密度和盡量高的彈性模量，即具有盡量大的比模數(shù)。減薄后的玻璃由于 厚度的急劇減小而出現(xiàn)機(jī)械強(qiáng)度降低，更容易變形。因此，降低密度、增大比模數(shù)和強(qiáng)度成 為玻璃生產(chǎn)者需要重點(diǎn)考慮的因素。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010] 本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷，提供一種玻璃用組合物、鋁硅 酸鹽玻璃及其制備方法和應(yīng)用，本發(fā)明的鋁硅酸鹽玻璃符合環(huán)保要求，不含As 2〇3、Sb2〇3及 其化合物等有毒物質(zhì)，具有較高的化學(xué)穩(wěn)定性、較高的熱穩(wěn)定性和尺寸穩(wěn)定性、較高的應(yīng)變 點(diǎn)、較高的體積電阻率、較高的比模量、較低的熔化溫度、較低的液相線溫度和較低的密度。
[0011] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，第一方面，本發(fā)明提供了一種玻璃用組合物，以各組分的總摩 爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，該組合物含有65-71mol %的Si〇2、I l-17mol %的Al2〇3、〇-6mol % 的8203、0-9111〇1%的]\^0、2-7111〇1%的〇&0、1-9111〇1%的510+8&0、0.4-3111〇1%的2110、0.01-0.5111〇1%的恥2〇+1(2〇和0.03-1.5111〇1%的恥2〇3 〇
[00?2] 優(yōu)選地，以摩爾百分比計(jì)，Si〇2+Al2〇3>80mol %。
[0013] 優(yōu)選地，以摩爾百分比計(jì)，Sr0/Ba0〈0.7，進(jìn)一步優(yōu)選地，Sr0/Ba0〈0.5。
[0014]優(yōu)選地，以摩爾百分比計(jì)，Nd2〇3/R '0〈0.12,其中，R' 0 = Mg0+Ca0+Sr0+Ba0+Zn0+ Nd2〇3〇
[0015] 優(yōu)選地，以摩爾百分比計(jì)，A1203/R' 0>0.8。
[0016]優(yōu)選地，以摩爾百分比計(jì)，（MgO+ZnO )/R'0>0.2,其中，R'O = Mg0+Ca0+Sr0+Ba0+Zn0 +Nd2〇3 〇
[0017] 優(yōu)選地，以摩爾百分比計(jì)，Nd203/(Na20+K20) 2 3。
[0018] 優(yōu)選地，以摩爾百分比計(jì)，K2O/ (Na20+K20) >0.7。
[0019]優(yōu)選地，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，B2O3的含量為2-5mol %。
[0020] 優(yōu)選地，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，Nd2O3的含量為0.06-lmol %。
[0021] 優(yōu)選地，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，SiO2的含量為67-70.5mol %。
[0022] 優(yōu)選地，所述組合物還含有澄清劑，所述澄清劑進(jìn)一步優(yōu)選為硫酸鹽、氯化物、氧 化鈰和氧化亞錫中的至少一種；以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，澄清劑的含量為0.01-0.2mol % 〇
[0023] 第二方面，本發(fā)明提供了一種制備鋁硅酸鹽玻璃的方法，該方法包括將本發(fā)明所 述的玻璃用組合物依次進(jìn)行熔融處理、成型處理、退火處理和機(jī)械加工處理。
[0024]第三方面，本發(fā)明提供了上述方法制備得到的鋁硅酸鹽玻璃。
[0025] 優(yōu)選地，所述鋁硅酸鹽玻璃的彈性模量高于80GPa，密度低于2.7g/cm3，50-350°C 范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)介于29 X 10_V°C_38 X 10_7/°C之間，比模數(shù)大于30GPa/g/cm3，應(yīng)變點(diǎn) 溫度高于750°C，退火點(diǎn)高于800°C，粘度為200泊時(shí)對(duì)應(yīng)的溫度低于1620°C，液相線溫度不 高于1170°C，體積電阻率(500°C/lKHz)大于91g( Q*cm)，22°C下10重量％HF酸腐蝕20min的 腐蝕速率不大于4.4mg/cm2,經(jīng)過(guò)熱處理后的熱收縮率小于8ppm，所述熱處理的方法包括： 將玻璃從25°C以10°C/min的升溫速率升溫至500°C并在500°C保溫lh，然后以10°C/min的降 溫速率降溫至25 °C。
[0026] 第四方面，本發(fā)明提供了本發(fā)明所述的玻璃用組合物或鋁硅酸鹽玻璃在制備顯示 器件和/或太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用，優(yōu)選為在制備平板顯示產(chǎn)品的玻璃基板材料、照明用產(chǎn)品 的玻璃基板材料和光伏器件的玻璃基板材料中的應(yīng)用。
[0027] 本發(fā)明的玻璃用組合物，為一種環(huán)境友好型、性能更完美的玻璃料方，屬于鋁硅酸 鹽玻璃體系，適用于浮法、下拉法等多種薄板玻璃成型制造方法。本發(fā)明的鋁硅酸鹽玻璃符 合環(huán)保要求，不含As 2〇3、Sb203及其化合物等有毒物質(zhì)，具有較高的化學(xué)穩(wěn)定性、較高的熱穩(wěn) 定性和尺寸穩(wěn)定性、較高的應(yīng)變點(diǎn)、較高的體積電阻率、較高的比模量、較低的熔化溫度、較 低的液相線溫度和較低的密度，符合平板顯示行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)，適合進(jìn)行大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。 [0028]本發(fā)明的玻璃料方中含有的較高的SiO 2與Al2O3合量，添加少量B2O3,保證了高應(yīng)變 點(diǎn)，搭配限定含量和比例的Na 20+K20可以有效降低熔化溫度，使得高應(yīng)變點(diǎn)玻璃的工業(yè)化生 產(chǎn)成為可能，對(duì)產(chǎn)線良率提升帶來(lái)較大空間，同時(shí)燃料、電力等生產(chǎn)成本得以降低，特別適 合電熔或電助熔池窯熔融、澄清。同時(shí)引入一定比例的Nd 2O3,搭配適量堿金屬使用，可在不 增加高溫粘度的前提下，提高玻璃的熔融效率、化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性，同時(shí)在低溫區(qū)可抑 制堿金屬離子的擴(kuò)散能力，滿足面板制程要求。
[0029] 根據(jù)本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施方式，玻璃用組合物中含有特定含量的Si02、Al203、 B2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO、Na2O、K 2O和Nd2O3，利用此玻璃用組合物制備得到的玻璃，彈性 模量高于80GPa，密度低于2.7g/cm 3，50-350°C范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)介于29 X 10-V°C_38 X 10_7/°C之間，比模數(shù)大于30GPa/g/cm3,應(yīng)變點(diǎn)溫度高于750°C，退火點(diǎn)高于800°C，粘度為 200泊時(shí)對(duì)應(yīng)的溫度低于1620°C，液相線溫度不高于1170°C，體積電阻率(500°C/lKHz)大于 91g( Ω *cm)，22°C下10重量％冊(cè)酸腐蝕2〇111；[11的腐蝕速率不大于4.411^/01112，經(jīng)過(guò)熱處理后 的熱收縮率小于8ppm，所述熱處理的方法包括:將玻璃從25°C以10°C/min的升溫速率升溫 至500°C并在500°C保溫lh，然后以10°C/min的降溫速率降溫至25°C。
[0030] 本發(fā)明的玻璃用組合物或鋁硅酸鹽玻璃可用于制備顯示器件和/或太陽(yáng)能電池， 尤其用于制備平板顯示產(chǎn)品的玻璃基板材料、照明用產(chǎn)品的玻璃基板材料和光伏器件的玻 璃基板材料以及其他光電器件的玻璃基板、玻纖等。
[0031] 本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的【具體實(shí)施方式】部分予以詳細(xì)說(shuō)明。
【具體實(shí)施方式】
[0032] 以下對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的具體 實(shí)施方式僅用于說(shuō)明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0033] 第一方面，本發(fā)明提供了一種玻璃用組合物，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化 物計(jì)，該組合物含有65-71111〇1%的3丨〇2、11-17111〇1%的厶12〇3、〇-6111〇1%的82〇3、〇-9111〇1%的 MgO、2-7mo 1 % 的 CaO、I -9mo 1 % 的 SrO+BaO、0 · 4-3mo 1 % 的 ZnO、0 · 01 -0 · 5mo 1 % 的 Na2OK2O 和 0.03-1.5111〇1%的恥2〇3。
[0034] 本發(fā)明的玻璃用組合物中，優(yōu)選情況下，以摩爾百分比計(jì)，Si02+Al203>80mol%。
[0035] 本發(fā)明的玻璃用組合物中，優(yōu)選情況下，以摩爾百分比計(jì)，Sr0/Ba0〈0.7，進(jìn)一步優(yōu) 選地，Sr0/Ba0〈0.5。
[0036] 本發(fā)明的玻璃用組合物中，優(yōu)選情況下，以摩爾百分比計(jì)，Nd203/R ' 0〈0.12，其中， R ' 0=MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO+Nd2〇3。
[0037]本發(fā)明的玻璃用組合物中，優(yōu)選情況下，以摩爾百分比計(jì)，A1203/R' 0>0.8。
[0038]本發(fā)明的玻璃用組合物中，優(yōu)選情況下，以摩爾百分比計(jì)，（MgO+ZnO)/R' 0>0.2，其 中，R ' 0=MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO+Nd2〇3。
[0039] 本發(fā)明的玻璃用組合物中，優(yōu)選情況下，以摩爾百分比計(jì)，Nd203/(Na20+K 20) 2 3。
[0040] 本發(fā)明的玻璃用組合物中，優(yōu)選情況下，以摩爾百分比計(jì)，K2O/ (Na20+K20) >0.7。
[0041] 本發(fā)明的玻璃用組合物中，SiO2是玻璃形成體，若含量過(guò)低，不利于耐化性腐蝕性 的增強(qiáng)，會(huì)使膨脹系數(shù)太高，玻璃容易失透;提高SiO 2含量有助于玻璃輕量化，熱膨脹系數(shù) 減小，應(yīng)變點(diǎn)增高，耐化學(xué)性增高，但高溫粘度升高，這樣不利于熔解，一般的窯爐難以滿 足。因此，綜合考慮，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，SiO 2的含量為65-71mol%， 優(yōu)選為67-70.5mol%。
[0042] 本發(fā)明的玻璃用組合物中，Al2O3用于提高玻璃結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度，若含量低于llmol%， 玻璃容易失透，也容易受到外界水氣及化學(xué)試劑的侵蝕。高含量的Al 2O3有助于玻璃應(yīng)變點(diǎn)、 抗彎強(qiáng)度的增高，但過(guò)高玻璃容易出現(xiàn)析晶現(xiàn)象，同時(shí)會(huì)使得玻璃難以熔解。因此，綜合考 慮，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，Al 2〇3的含量為11 -17mo 1 %。
[0043]本發(fā)明的玻璃用組合物中，B2O3能單獨(dú)生成玻璃，是一種很好的助熔劑，高溫熔化 條件下B2O3難于形成[BO4]，可降低高溫粘度，低溫時(shí)B有奪取游離氧形成[BO 4]的趨勢(shì)，使結(jié) 構(gòu)趨于緊密，提高玻璃的低溫粘度，防止析晶現(xiàn)象的發(fā)生。但是過(guò)多的B2O 3會(huì)使玻璃應(yīng)變點(diǎn) 大幅降低。因此，綜合考慮，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，B2O 3的含量為0-6mol %，優(yōu)選為2_5mol %。
[0044]本發(fā)明的玻璃用組合物中，MgO具有大幅提升玻璃楊氏模量和比模數(shù)，降低高溫粘 度，使玻璃易于熔化的特點(diǎn)。當(dāng)玻璃中堿土金屬合量較少時(shí)，引入電場(chǎng)強(qiáng)度較大的網(wǎng)絡(luò)外體 離子Mg2+，容易在結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生局部積聚作用，使短程有序范圍增加。在這種情況下引入較多 的中間體氧化物Al 2O3,以[AlO4]狀態(tài)存在時(shí)，由于這些多面體帶有負(fù)電，吸引了部分網(wǎng)絡(luò)外 陽(yáng)離子，使玻璃的積聚程度、析晶能力下降；當(dāng)堿土金屬合量較多、網(wǎng)絡(luò)斷裂比較嚴(yán)重的情 況下，引入MgO,可使斷裂的硅氧四面體重新連接而使玻璃析晶能力下降。因此在添加MgO時(shí) 要注意與其他組分的配合比例。相對(duì)于其他堿土金屬氧化物，MgO的存在會(huì)帶來(lái)較低的膨脹 系數(shù)和密度，較高的耐化學(xué)性能、應(yīng)變點(diǎn)和彈性模量。如果MgO大于9mo 1 %，玻璃耐化性會(huì)變 差，同時(shí)玻璃容易失透。因此，綜合考慮，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，MgO的含 量為 0-9mol%。
[0045] 本發(fā)明的玻璃用組合物中，CaO用以促進(jìn)玻璃的熔解和調(diào)整玻璃成型性。如果氧化 鈣含量少于2mol%，不易降低玻璃的粘度，含量過(guò)多，玻璃則會(huì)容易出現(xiàn)析晶，熱膨脹系數(shù) 也會(huì)大幅變大，對(duì)后續(xù)制程不利。因此，綜合考慮，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物 計(jì)，CaO的含量為2-7mol %。
[0046] 本發(fā)明的玻璃用組合物中，SrO和BaO均可作為助熔劑和防止玻璃出現(xiàn)析晶，如果 含量過(guò)多，玻璃密度會(huì)太高，導(dǎo)致產(chǎn)品的比模量下降。Sr 2+和Ba2+均為離子半徑較大的二價(jià) 金屬離子，有較高的配位數(shù)，在無(wú)堿玻璃中往往填充于四面體網(wǎng)絡(luò)骨架的間隙中，具有相近 的性質(zhì)表現(xiàn)。但是本發(fā)明的發(fā)明人在研究中驚奇發(fā)現(xiàn)，等摩爾SrO替代BaO時(shí)，液相線粘度出 現(xiàn)了先升高后降低的趨勢(shì)。因此，綜合考慮，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，SrO 和BaO的摩爾合量為l-9mol %，且Sr0/Ba0〈0.7，優(yōu)選地，Sr0/Ba0〈0.5。
[0047] 本發(fā)明的玻璃用組合物中，二價(jià)金屬氧化物根據(jù)它在元素周期表中地位與對(duì)性質(zhì) 影響不同，可以分為兩類:一類是位于主族的堿土金屬氧化物，其離子R 2+具有8個(gè)外電子結(jié) 構(gòu);第二類位于周期表副族(如ZnOXdO等），其離子R2+具有18個(gè)外層電子結(jié)構(gòu)，在玻璃中兩 者的結(jié)構(gòu)狀態(tài)與對(duì)玻璃性質(zhì)影響是不同的。ZnO可以降低玻璃高溫粘度(如1500 °C)，有利于 消除氣泡；同時(shí)在軟化點(diǎn)以下有提升強(qiáng)度、硬度、增加玻璃的耐化學(xué)性，降低玻璃熱膨脹系 數(shù)的作用。在無(wú)堿玻璃或低堿玻璃體系中，添加適量ZnO有助于抑制析晶，可以降低析晶溫 度。在理論上，ZnO在無(wú)堿玻璃或低堿玻璃中，作為網(wǎng)絡(luò)外體引入玻璃后，高溫下一般以 [Zn04]的形式存在，較[ZnO 6]玻璃結(jié)構(gòu)更加疏松，與不含ZnO的玻璃處于相同的高溫狀態(tài)下 比較，含ZnO的玻璃粘度更小，原子運(yùn)動(dòng)速度更大，無(wú)法形成晶核，需要進(jìn)一步降低溫度，才 有利于晶核的形成，因而，降低了玻璃的析晶上限溫度。ZnO含量過(guò)多則會(huì)使玻璃的應(yīng)變點(diǎn) 大幅度降低。因此，綜合考慮，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，ZnO的含量為0.4-3mol % 〇
[0048] 本發(fā)明的玻璃用組合物中，本發(fā)明的發(fā)明人在研究中發(fā)現(xiàn)，在電熔或電助熔池窯 中，添加限定含量及比例的堿金屬，可大幅減小熔融液的體積電阻率，提升玻璃熔融和澄清 的品質(zhì)。但過(guò)量添加會(huì)導(dǎo)致面板制程中堿金屬中毒現(xiàn)象，因此，綜合考慮，以各組分的總摩 爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，Na 20+K20的含量是0.01-0.5mol %，優(yōu)選地，以摩爾百分比計(jì)，K2O/ (Na2(HK2O)X) .7。
[0049]本發(fā)明的玻璃用組合物中，Nd2O3屬于玻璃外體氧化物，由于Nd3+離子半徑較大，Nd 的配位數(shù)為6，只能填充于玻璃網(wǎng)絡(luò)間隙，形成[NdO6]八面體結(jié)構(gòu)，因此可以增加玻璃網(wǎng)絡(luò) 的交聯(lián)程度，提高玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性、熱穩(wěn)定性和楊氏模量，同時(shí)由于Nd 3+離子的極化率較 高，不增加玻璃的高溫粘度。另外，本發(fā)明的發(fā)明人在研究中發(fā)現(xiàn)，在本發(fā)明限制含量及比 例的前提下引入堿金屬和Nd 2O3,Nd3+離子填充于較為疏松的網(wǎng)絡(luò)間隙中，可以有效的降低 離子擴(kuò)散系數(shù)，阻礙液晶面板等制作過(guò)程中R +離子向半導(dǎo)體材料層的擴(kuò)散，減少R+離子對(duì)半 導(dǎo)體特性的損害作用(堿金屬中毒現(xiàn)象KNd 2O3含量過(guò)高時(shí)玻璃液相線溫度升高過(guò)快，降低 玻璃穩(wěn)定性。因此，綜合考慮，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，Nd2O3的含量為 0·03-1 · 5mol %，優(yōu)選為0 ·06-lmol %，進(jìn)一步優(yōu)選地，以摩爾百分比計(jì)，Nd203/(Na20+K 20) 2 3〇
[0050] 本發(fā)明的玻璃用組合物中，根據(jù)玻璃制備工藝的不同，組合物還可以含有作為玻 璃熔融時(shí)的澄清劑或除泡劑，所述澄清劑優(yōu)選為硫酸鹽、氯化物、氧化鈰和氧化亞錫中的至 少一種；以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，澄清劑的含量為0.01-0.2mol%。對(duì)于澄清劑的具體 選擇沒有特別的限定，可以為本領(lǐng)域常用的各種選擇，例如硫酸鹽可以為硫酸鋇，氯化物可 以為氯化鈣和/或氯化鍶。
[0051] 本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解的是，本發(fā)明的玻璃用組合物中，組合物含有Si〇2、 △1203、8 203、]\%0、030、3抑、830、2110、恥20、1(20和恥 203是指該組合物含有含3丨化合物、含六1化 合物、含B化合物、含Mg化合物、含Ca化合物、含Sr化合物、含Ba化合物、含Zn化合物、含Na化 合物、含K化合物和含Nd化合物，如含前述各元素的碳酸鹽、硝酸鹽、硫酸鹽、氧化物等，且前 述提及的各組分的含量均以各元素的氧化物計(jì)，具體的各元素的碳酸鹽、硝酸鹽、硫酸鹽、 氧化物的選擇為本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知，在此不再贅述。
[0052]本發(fā)明的玻璃用組合物中，利用其制備鋁硅酸鹽玻璃時(shí)，之所以能夠使得玻璃具 有優(yōu)良的綜合性能，主要?dú)w功于組合物中各組分之間的相互配合，尤其是Si02、Al2〇 3、B2〇3、 MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO、Na2O、K20和Nd2O 3之間的配合作用，更尤其是前述特定含量的各組分 之間的相互配合。
[0053]第二方面，本發(fā)明提供了一種鋁硼硅酸鹽玻璃，以所述玻璃中各組分的總摩爾數(shù) 為基準(zhǔn)，所述玻璃含有 65-71mol % 的 Si02、I l_17mol % 的 Al2〇3、〇-6mol % 的 B2〇3、〇-9mol % 的 MgO、2-7mo 1 % 的 CaO、I -9mo 1 % 的 SrO+BaO、0 · 4-3mo 1 % 的 ZnO、0 · 01 -0 · 5mo 1 % 的 Na2OK2O 和 0.03-1.5111〇1%的恥2〇3。
[0054] 優(yōu)選地，錯(cuò)硅酸鹽玻璃中，以摩爾百分比計(jì)，Si02+Al20 3>80mol%。
[0055] 優(yōu)選地，鋁硅酸鹽玻璃中，以摩爾百分比計(jì)，Sr0/Ba0〈0.7，進(jìn)一步優(yōu)選地，SrO/BaO <0.5〇
[0056] 優(yōu)選地，鋁硅酸鹽玻璃中，Nd2〇3/R '0〈0.12,其中，R' 0 = Mg0+Ca0+Sr0+Ba0+Zn0+ Nd2〇3〇
[0057] 優(yōu)選地，鋁硅酸鹽玻璃中，以摩爾百分比計(jì)，A1203/R'0>0.8。
[0058] 優(yōu)選地，鋁硅酸鹽玻璃中，以摩爾百分比計(jì)，（1%0+2110)/1?'0>0.2，其中，1?'0 = 1%0+ CaO+SrO+BaO+ZnO+Nd2〇3。
[0059] 優(yōu)選地，鋁硅酸鹽玻璃中，以摩爾百分比計(jì)，Nd203/(Na 20+K20) 2 3。
[0060] 優(yōu)選地，錯(cuò)硅酸鹽玻璃中，以摩爾百分比計(jì)，K20/(Na20+K 20)>0.7。
[0061 ]優(yōu)選地，鋁硅酸鹽玻璃中，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，B2O3的含量為 2_5mol% 〇
[0062] 優(yōu)選地，鋁硅酸鹽玻璃中，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，Nd2O3的含量 為0·06-lmol%。
[0063] 優(yōu)選地，鋁硅酸鹽玻璃中，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，SiO2的含量 為67-70.5mol%。
[0064] 第三方面，本發(fā)明提供了一種制備鋁硅酸鹽玻璃的方法，該方法包括將本發(fā)明所 述的玻璃用組合物依次進(jìn)行熔融處理、成型處理、退火處理和機(jī)械加工處理。
[0065]本發(fā)明的方法中，對(duì)于玻璃用組合物的具體限定請(qǐng)參見前述相應(yīng)內(nèi)容描述，在此 不再贅述。
[0066]本發(fā)明的方法中，優(yōu)選情況下，熔融處理的條件包括:溫度為低于1620°C，時(shí)間大 于lh。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況確定具體的熔融溫度和熔融時(shí)間，此為本領(lǐng)域技 術(shù)人員所熟知，在此不再贅述。
[0067] 本發(fā)明的方法中，優(yōu)選情況下，退火處理的條件包括:溫度高于700 °C進(jìn)一步優(yōu)選 高于800°C，時(shí)間大于0. lh。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況確定具體的退火溫度和退火 時(shí)間，此為本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知，在此不再贅述。
[0068] 本發(fā)明的方法中，對(duì)于機(jī)械加工處理沒有特別的限定，可以為本領(lǐng)域常見的各種 機(jī)械加工方式，例如可以為將退火處理得到的產(chǎn)物進(jìn)行切割、研磨、拋光等。
[0069] 第四方面，本發(fā)明提供了上述方法制備得到的鋁硅酸鹽玻璃。
[0070] 優(yōu)選情況下，本發(fā)明的鋁硅酸鹽玻璃，彈性模量高于SOGPa，密度低于2.7g/cm3， 50-350°C范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)介于29 X 10-V°C_38 X 10-7/°C之間，比模數(shù)大于30GPa/g/ cm3,應(yīng)變點(diǎn)溫度高于750°C，退火點(diǎn)高于800°C，粘度為200泊時(shí)對(duì)應(yīng)的溫度低于1620°C，液 相線溫度不高于1170°C，體積電阻率(500°C/lKHz)大于91g(Q* cm)，22°C下10重量％HF酸 腐蝕20min的腐蝕速率不大于4.4mg/cm2,經(jīng)過(guò)熱處理后的熱收縮率小于8ppm，所述熱處理 的方法包括:將玻璃從25°C以10°C/min的升溫速率升溫至500°C并在500°C保溫lh，然后以 10°C/min的降溫速率降溫至25°C。
[0071] 第五方面，本發(fā)明提供了本發(fā)明所述的玻璃用組合物或鋁硅酸鹽玻璃在制備顯示 器件和/或太陽(yáng)能電池以及在其他需要高耐熱性玻璃材料的領(lǐng)域中的應(yīng)用，優(yōu)選為在制備 平板顯示產(chǎn)品的玻璃基板材料、照明用產(chǎn)品的玻璃基板材料和光伏器件的玻璃基板材料以 及其他光電器件的玻璃基板中的應(yīng)用，特別適用于制備低溫多晶硅(LTPS)技術(shù)的TFT-LCD、 OEL的玻璃基板等。
[0072]實(shí)施例
[0073]以下將通過(guò)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。以下實(shí)施例中，如無(wú)特別說(shuō)明，所用的 各材料均可通過(guò)商購(gòu)獲得，如無(wú)特別說(shuō)明，所用的方法為本領(lǐng)域的常規(guī)方法。
[0074]以下實(shí)施例和對(duì)比例中，參照ASTM C-693測(cè)定玻璃密度，單位為g/cm3。
[0075]參照ASTM E-228使用臥式膨脹儀測(cè)定50-350°C的玻璃熱膨脹系數(shù)，單位為10一7/ cC。
[0076]參照ASTM C-623使用材料力學(xué)試驗(yàn)機(jī)測(cè)定玻璃楊氏模量，單位為GPa。
[0077] 參照ASTM C-336和ASTM C-338使用三點(diǎn)測(cè)試儀測(cè)定玻璃的退火點(diǎn)和應(yīng)變點(diǎn)，單位 為。C。
[0078] 參照ASTM C-965使用旋轉(zhuǎn)高溫粘度計(jì)測(cè)定玻璃高溫粘溫曲線，其中，200P粘度時(shí) 對(duì)應(yīng)的溫度T2.3，單位為°C ; 40000P粘度時(shí)對(duì)應(yīng)的成型溫度Tw，單位為°C。
[0079] 參照ASTM C-829使用梯溫爐法測(cè)定玻璃析晶上限溫度(液相線溫度），通過(guò)計(jì)算得 到對(duì)應(yīng)的液相線粘度。
[0080] 參照GB/T 1410-2006標(biāo)準(zhǔn)測(cè)定玻璃的體積電阻率（500°C/lKHz)，單位為lg( Ω* cm) 〇
[0081 ]使用10%HF酸(22°C/20min)測(cè)定玻璃的耐化學(xué)腐蝕性能。
[0082]采用如下熱處理的方法(差值計(jì)算法)測(cè)定經(jīng)過(guò)熱處理后的熱收縮率:將玻璃從25 °C (測(cè)定初始長(zhǎng)度，標(biāo)記為L(zhǎng)o)以HTC/min的升溫速率升溫至500°C并在500°C保溫lh，然后 以KTC/min的降溫速率降溫至25°C，玻璃長(zhǎng)度發(fā)生一定量的收縮，再次測(cè)量其長(zhǎng)度，標(biāo)記為 U，則熱收縮率Yt表示為：
[0083]
[0084] 實(shí)施例1-8
[0085]按照表1所示的玻璃組成稱量各組分，混勻，將2Kg混合料倒入鉑金坩堝中，然后在 1600 °C的電阻爐中加熱4小時(shí)，并使用鉑金棒攪拌以排出氣泡。將熔制好的玻璃液澆注入不 銹鋼鑄鐵磨具內(nèi)，成形為規(guī)定的塊狀玻璃制品，然后將玻璃制品在退火爐中，退火2小時(shí)，關(guān) 閉電源隨爐冷卻到25°C。將玻璃制品進(jìn)行切割、研磨、拋光，用去離子水清洗干凈并烘干，制 得玻璃成品。分別對(duì)各玻璃成品的各種性能進(jìn)行測(cè)定，結(jié)果見表1。
[0086]表 1

[0089] 實(shí)施例9-15
[0090] 按照實(shí)施例1的方法，不同的是，混合料成分(對(duì)應(yīng)玻璃組成)和得到的產(chǎn)品的性能 測(cè)定結(jié)果見表2。
[0091] 表2

[0094] 對(duì)比例1-3
[0095] 按照實(shí)施例1的方法，不同的是，混合料成分(對(duì)應(yīng)玻璃組成)和得到的產(chǎn)品的性能 測(cè)定結(jié)果見表3。
[0096]表 3

[0099] 將表1中實(shí)施例1和表2中實(shí)施例9的數(shù)據(jù)相比，以摩爾百分比計(jì)，Si〇2+Al2〇3> 80mo 1 %時(shí)，能夠進(jìn)一步提高玻璃的比模數(shù)、熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性等。
[0100] 將表1中實(shí)施例1和表2中實(shí)施例10的數(shù)據(jù)相比，以摩爾百分比計(jì)，Sr0/Ba0〈0.7時(shí)， 能夠進(jìn)一步降低玻璃的液相線溫度，提高玻璃形成穩(wěn)定性。
[0101] 將表1中實(shí)施例1和表2中實(shí)施例11的數(shù)據(jù)相比，以摩爾百分比計(jì)，Nd2〇3/R'0〈0.12 (R' 0=Mg0+Ca0+Sr0+Ba0+Zn0+Nd203)時(shí)，能夠進(jìn)一步提高玻璃的比模數(shù)，降低玻璃的液相線 溫度、提高玻璃形成穩(wěn)定性。
[0102] 將表1中實(shí)施例1和表2中實(shí)施例12的數(shù)據(jù)相比，以摩爾百分比計(jì)，Al2〇3/R'〇>〇.8 時(shí)，能夠進(jìn)一步提高玻璃的機(jī)械強(qiáng)度和熱穩(wěn)定性，降低玻璃的液相線溫度、提高玻璃形成穩(wěn) 定性。
[0103] 將表1中實(shí)施例1和表2中實(shí)施例13的數(shù)據(jù)相比，以摩爾百分比計(jì)，（Mg0+Zn0)/R'0> 0.2 (R ' 0 = MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO+Nd2〇3)時(shí)，能夠進(jìn)一步提高玻璃的比模數(shù)，降低玻璃的熔 化溫度，降低玻璃的液相線溫度、提高玻璃形成穩(wěn)定性。
[0104] 將表1中實(shí)施例1和表2中實(shí)施例14的數(shù)據(jù)相比，以摩爾百分比計(jì)，Nd2CW(Na2〇+ K2O) 2 3時(shí)，能夠進(jìn)一步抑制堿金屬離子的擴(kuò)散能力，提高玻璃的體積電阻率。
[0105] 將表1中實(shí)施例1和表2中實(shí)施例15的數(shù)據(jù)相比，以摩爾百分比計(jì)，K2〇/(Na2〇+K2〇)> 0.7時(shí)，能夠進(jìn)一步抑制堿金屬離子的擴(kuò)散能力，提高玻璃的體積電阻率。
[0106] 將表1 -2中各實(shí)施例的數(shù)據(jù)與表3中對(duì)比例1 -3的數(shù)據(jù)比較可知，本發(fā)明的方法利 用含有特定含量的3丨〇2^12〇3、82〇3、]\%0、〇3〇、3抑、83〇、211〇、恥2〇、1(2〇和恥2〇3的玻璃用組合 物制備得到的玻璃，彈性模量高于80GPa，密度低于2.7g/cm 3，50-350°C范圍內(nèi)的熱膨脹系 數(shù)介于29 X 10-V°C_38X 10-V°C之間，比模數(shù)大于30GPa/g/cm3,應(yīng)變點(diǎn)溫度高于750°C，退 火點(diǎn)高于800°C，粘度為200泊時(shí)對(duì)應(yīng)的溫度低于1620°C，液相線溫度不高于1170°C，體積電 阻率（500°C/lKHz)大于91g( Q*cm)，22°C下10重量％HF酸腐蝕20min的腐蝕速率不大于 4.4mg/cm2,經(jīng)過(guò)熱處理(500°C/lh)后的熱收縮率小于8ppm。本發(fā)明的玻璃用組合物或鋁硅 酸鹽玻璃可用于制備顯示器件和/或太陽(yáng)能電池及其他需要高耐熱性玻璃材料的領(lǐng)域，尤 其用于制備平板顯示產(chǎn)品的玻璃基板材料、照明用產(chǎn)品的玻璃基板材料和光伏器件的玻璃 基板材料等。
[0107] 實(shí)施例16-23
[0108] 按照實(shí)施例1的方法，不同的是，混合料成分(對(duì)應(yīng)玻璃組成)和得到的產(chǎn)品的性能 測(cè)定結(jié)果見表4,主要用于研究SrO-BaO等摩爾互換后液相線溫度和液相線粘度的變化情 況。
[0109] 表4


[0113] 根據(jù)表4的數(shù)據(jù)可知，等摩爾SrO替代BaO時(shí)，液相線溫度出現(xiàn)了先降低后升高的趨 勢(shì)，液相線粘度出現(xiàn)了先升高后降低的趨勢(shì)。因此，以氧化物計(jì)，SrO和BaO的摩爾合量為1-9mol %，且Sr0/Ba0〈0.7時(shí)，能夠進(jìn)一步降低液相線溫度。
[0114] 以上詳細(xì)描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，但是，本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式中 的具體細(xì)節(jié)，在本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi)，可以對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行多種簡(jiǎn)單變型，這 些簡(jiǎn)單變型均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0115] 另外需要說(shuō)明的是，在上述【具體實(shí)施方式】中所描述的各個(gè)具體技術(shù)特征，在不矛 盾的情況下，可以通過(guò)任何合適的方式進(jìn)行組合，為了避免不必要的重復(fù)，本發(fā)明對(duì)各種可 能的組合方式不再另行說(shuō)明。
[0116] 此外，本發(fā)明的各種不同的實(shí)施方式之間也可以進(jìn)行任意組合，只要其不違背本 發(fā)明的思想，其同樣應(yīng)當(dāng)視為本發(fā)明所公開的內(nèi)容。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種玻璃用組合物，其特征在于，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，該組合 物含有 65-71mol % 的 Si〇2、ll_17mol % 的 Al2〇3、〇-6mol % 的 B2〇3、〇-9mol % 的 MgO、2-7mol % 的 CaO、1 -9mo 1 % 的 SrO+BaO、Ο · 4-3mo 1 % 的 ZnO、Ο · 01 -Ο · 5mo 1 % 的Na20+K2〇和 Ο · 03-1 · 5mo 1 % 的Nd2〇3。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其特征在于，以摩爾百分比計(jì)，Si02+Al203>80mol %。3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的組合物，其特征在于，以摩爾百分比計(jì)，Sr0/Ba0〈0.7，優(yōu)選 地，Sr0/Ba0〈0.5。4. 根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的組合物，其特征在于，以摩爾百分比計(jì)，Nd2〇3/R' 0〈0.12，其中，1?'0=]\%0+〇&0+5抑+8&0+211〇+恥2〇3。5. 根據(jù)權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)所述的組合物，其特征在于，以摩爾百分比計(jì)，Al2〇3/R' 0>0.8〇6. 根據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的組合物，其特征在于，以摩爾百分比計(jì)，（MgO+ ZnO) /R ' 0>0 · 2，其中，R ' 0=MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO+Nd2〇3。7. 根據(jù)權(quán)利要求1-6中任意一項(xiàng)所述的組合物，其特征在于，以摩爾百分比計(jì)，Nd2〇3/ (Na 20+K20) >3〇8. 根據(jù)權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述的組合物，其特征在于，以摩爾百分比計(jì)，K20/ (Na20+K 20)>0.7〇9. 根據(jù)權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)所述的組合物，其特征在于，以各組分的總摩爾數(shù)為基 準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，B2〇3的含量為2-5mol % ; 優(yōu)選地，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，Nd2〇3的含量為0.06-lmol % ; 優(yōu)選地，以各組分的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，以氧化物計(jì)，Si02的含量為67-70.5mol %。10. 根據(jù)權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)所述的組合物，其特征在于，所述組合物還含有澄清 劑，所述澄清劑優(yōu)選為硫酸鹽、氯化物、氧化鈰和氧化亞錫中的至少一種；以各組分的總摩 爾數(shù)為基準(zhǔn)，澄清劑的含量為〇. 01-0.2mol %。11. 一種制備鋁硅酸鹽玻璃的方法，其特征在于，該方法包括將權(quán)利要求1-10中任意一 項(xiàng)所述的玻璃用組合物依次進(jìn)行熔融處理、成型處理、退火處理和機(jī)械加工處理。12. 權(quán)利要求11所述的方法制備得到的鋁硅酸鹽玻璃。13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的鋁硅酸鹽玻璃，其特征在于，所述鋁硅酸鹽玻璃的彈性模量 高于80GPa，密度低于2.7g/cm3，50-350°C范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)介于29 X 10-7/°C-38 X 10一7/ 。(:之間，比模數(shù)大于30GPa/g/cm3,應(yīng)變點(diǎn)溫度高于750°C，退火點(diǎn)高于800°C，粘度為200泊 時(shí)對(duì)應(yīng)的溫度低于1620°C，液相線溫度不高于1170°C，500°C、ΙΚΗζ條件下的體積電阻率大 于91g( Ω *cm)，22°C下10重量％HF酸腐蝕20min的腐蝕速率不大于4.4mg/cm2,經(jīng)過(guò)熱處理 后的熱收縮率小于8ppm，所述熱處理的方法包括:將玻璃從25°C以10°C/min的升溫速率升 溫至500°C并在500°C保溫lh，然后以10°C/min的降溫速率降溫至25°C。14. 權(quán)利要求1-10中任意一項(xiàng)所述的玻璃用組合物或權(quán)利要求12或13所述的鋁硅酸鹽 玻璃在制備顯示器件和/或太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用，優(yōu)選為在制備平板顯示產(chǎn)品的玻璃基板 材料、照明用產(chǎn)品的玻璃基板材料和光伏器件的玻璃基板材料中的應(yīng)用。
【文檔編號(hào)】H01L27/12GK105859127SQ201610202678
【公開日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2016年4月1日
【發(fā)明人】張廣濤, 閆冬成, 王麗紅, 胡恒廣, 李俊鋒, 王俊峰
【申請(qǐng)人】東旭科技集團(tuán)有限公司, 東旭集團(tuán)有限公司