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一種大容量多晶硅鑄錠爐的熱場結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:11040369閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種大容量多晶硅鑄錠爐的熱場結(jié)構(gòu),包括保溫腔體、支撐柱、下加熱器、側(cè)隔熱籠、上加熱器、升降絲杠、坩堝和支撐板,所述保溫腔體下端設(shè)置有支撐柱,所述支撐柱頂端連接有支撐板以及設(shè)置在支撐板上側(cè)的下隔熱籠,所述下隔熱籠上側(cè)設(shè)置有下加熱器,所述下加熱器底端與下加熱棒連接,所述支撐板兩端上側(cè)設(shè)置有側(cè)隔熱籠,所述側(cè)隔熱籠一側(cè)設(shè)置有側(cè)加熱器,所述下加熱器上側(cè)設(shè)置有坩堝,所述坩堝上側(cè)設(shè)置有上加熱器,所述上加熱器上側(cè)設(shè)置有上隔熱籠,所述上加熱器兩側(cè)頂端連接有上加熱棒。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,設(shè)計新穎,通過在坩堝周圍增設(shè)隔熱籠和加熱器使得晶體生長溫度梯度更加穩(wěn)定,具有很好的推廣價值。

技術(shù)研發(fā)人員:趙博成;彭晉平
受保護的技術(shù)使用者:浙江晶鴻新能源科技有限公司
文檔號碼:201621131585
技術(shù)研發(fā)日:2016.10.18
技術(shù)公布日:2017.05.24

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