本實(shí)用新型涉及一種能提高多晶鑄錠爐半融工藝籽晶面積的多晶鑄錠爐。

背景技術(shù)：

多晶鑄錠領(lǐng)域目前被廣泛應(yīng)用的是底部鋪小碎料的半熔工藝，此工藝是硅料在多晶鑄錠爐內(nèi)熔化時(shí)，使硅料從上往下逐步熔化，熔化到達(dá)底部鋪底的碎料層時(shí)停止熔化進(jìn)入晶體生長(zhǎng)階段，有了細(xì)碎硅料充當(dāng)籽晶的引晶作用，定向生長(zhǎng)的晶體晶粒大小均勻，很好的保證多晶硅片的光電裝換效率。然而此種工藝技術(shù)十分依賴底部籽晶面積的保有大小，一般情況下，降低主熔溫度或者提升鑄錠爐熱屏加大散熱可以減少底部籽晶邊緣的受熱，可以保證籽晶合格的籽晶面積，但部分G6多晶鑄錠爐側(cè)部加熱器發(fā)熱功率較大，導(dǎo)致及時(shí)打開(kāi)熱屏或降低主熔溫度后，底部籽晶邊緣仍然被熔，籽晶面積保有不足，邊緣硅塊沒(méi)有籽晶引晶，晶粒雜亂，位錯(cuò)高，所處硅片的轉(zhuǎn)換效率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型其目的就在于提供一種能提高多晶鑄錠爐半融工藝籽晶面積的多晶鑄錠爐，解決了多晶鑄錠爐側(cè)部加熱器發(fā)熱量過(guò)大時(shí)對(duì)底部邊緣籽晶輻射熱量過(guò)多、以及熱量不能及時(shí)散出導(dǎo)致籽晶面積不足的問(wèn)題，具有提高晶錠底部高溫區(qū)的籽晶面積、引晶效果良好的特點(diǎn)。

實(shí)現(xiàn)上述目的而采取的技術(shù)方案，包括隔熱籠框架，所述隔熱籠框架下端設(shè)有加高保溫條，加高保溫條下端設(shè)有底部石墨板，所述底部石墨板上端設(shè)有石墨立柱，石墨立柱上端設(shè)有正方形凸臺(tái)結(jié)構(gòu)的定向凝注塊，所述定向凝注塊的凸臺(tái)四周的三個(gè)面上均設(shè)有定向凝注塊保溫板，定向凝注塊上端設(shè)有石墨底板，石墨底板上端設(shè)有坩堝，坩堝外側(cè)設(shè)有隔熱籠保溫板，所述坩堝上端設(shè)有C-C蓋板，C-C蓋板上端設(shè)有隔熱籠C-C板。

有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)。

1.提高晶錠底部高溫區(qū)的籽晶面積。

2.引晶效果良好。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型中加高保溫條結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型中加高保溫條結(jié)構(gòu)三視圖。

具體實(shí)施方式

本裝置包括隔熱籠框架1，如圖1所示，所述隔熱籠框架1下端設(shè)有加高保溫條12，加高保溫條12下端設(shè)有底部石墨板10，所述底部石墨板10上端設(shè)有石墨立柱9，石墨立柱9上端設(shè)有正方形凸臺(tái)結(jié)構(gòu)的定向凝注塊11，所述定向凝注塊11的凸臺(tái)四周的三個(gè)面上均設(shè)有定向凝注塊保溫板8，定向凝注塊11上端設(shè)有石墨底板7，石墨底板7上端設(shè)有坩堝5，坩堝5外側(cè)設(shè)有隔熱籠保溫板4，所述坩堝5上端設(shè)有C-C蓋板3，C-C蓋板3上端設(shè)有隔熱籠C-C板2。

所述加高保溫條12為4條，且其橫截面為“L”型，加高保溫條12垂直面位于隔熱籠框架1內(nèi)側(cè)，加高保溫條12垂直面一端高于另一端。

本實(shí)用新型中加高保溫條12設(shè)計(jì)為三部分，如圖2、圖3所示，第一部分：將加高保溫條12的A1面高度從原來(lái)的40mm更改為40-120mm高，靠近A1面(長(zhǎng)邊)的高度為40--120mm，靠近A3面(短邊)的高度為40--80mm,A4面加高保溫條高度更改為40--120cm；將組成定向凝注塊保溫板8的A1、A2、A3、A4面中的A1面定向凝注塊保溫板8撤銷，俯視變?yōu)椤卑肌毙?。第二部分：增加A1面加高保溫條12的高度能夠有效的阻擋A1側(cè)部加熱器對(duì)邊緣熱量輻射過(guò)大的問(wèn)題，A2、A4面加高保溫條的傾斜設(shè)計(jì)能夠引導(dǎo)熱量向A3面集中，平衡A1、A3面的熱量；由于熔化階段隔熱籠是處于開(kāi)屏狀態(tài)，將定向凝注塊保溫板8由“回”型變?yōu)椤鞍肌毙?，使得底部散熱位置向高溫區(qū)(A1面)偏移，A1面高溫區(qū)積存更少的熱量，平衡高低溫區(qū)的熱量輻射配合增加高溫區(qū)的熱量散失，從而有效的改善底部籽晶面積。第三部分：將隔熱籠加高保溫條12拆除， A2、A4面更換為均是高度長(zhǎng)的一邊對(duì)A1面，A3面部安裝加高保溫條12，用鉬絲將3根保溫條固定在隔熱籠上，且不向隔熱籠內(nèi)部凸出，將向凝注塊保溫板8的A1面底部保溫板拆除。