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一種光纖預(yù)制棒及其制備方法和應(yīng)用與流程

文檔序號:11095505閱讀:3206來源:國知局
一種光纖預(yù)制棒及其制備方法和應(yīng)用與制造工藝

本發(fā)明涉及特種光纖應(yīng)用領(lǐng)域,尤其是涉及一種光纖預(yù)制棒及其制備方法和應(yīng)用。



背景技術(shù):

偏振保持光纖(Polarization Maintaining Optical Fiber)簡稱保偏光纖(PMF),由于將雙折射引入到光纖中,使簡并的HEx11與HEy11兩正交模式的傳播常數(shù)差別增大,兩模式耦合幾率減小,從而線偏振光能保持其偏振態(tài)在光纖中進行傳輸。保偏光纖對于線偏振光具有很強的偏振保持能力,主要用于偏振光干涉型角度轉(zhuǎn)動測量中,其典型應(yīng)用是用于制造光纖陀螺、光纖水聽器及相干光通信系統(tǒng)中。

保偏光纖通常是通過光纖預(yù)制棒拉制而成,但是對于傳統(tǒng)的光纖預(yù)制棒而言,如采用刻觸法制成的光纖預(yù)制棒,刻觸法通常會破壞反應(yīng)管中的圓對稱,造成了“先天不足”,使得光纖預(yù)制棒自身的予制棒芯通常均為異型(如杏核形),導(dǎo)致拉制得到的圓保偏光纖等的旋端圓度均無法達標,從而使得保偏光纖的連接耦合難度增大。

中國專利201110123043.5公開了一種光纖預(yù)制棒的制造方法,包括:(1)采用軸向氣相沉積VAD工藝制備光纖芯棒;(2)采用等離子化學(xué)氣相沉積PCVD工藝制備摻氟下陷包層,與(1)中制備的光纖芯棒熔縮成光纖芯棒預(yù)制件;(3)采用外部氣相沉積OVD工藝制備光纖芯棒預(yù)制件的外包層,最終燒結(jié)成透明的光纖預(yù)制棒。該專利雖然提高了彎曲不敏感單模光纖預(yù)制棒的制造效率,但是其光纖預(yù)制棒的棒芯無法做成正圓,從而導(dǎo)致拉制得到的圓保偏光纖等的圓度不達標。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的就是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷而提供一種光纖預(yù)制棒及其制備方法和應(yīng)用。

本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn):

一種光纖預(yù)制棒的制備方法,包括以下步驟:

(1)往石英基管內(nèi)通入SiCl4和O2,加熱反應(yīng),并沉積得到SiO2外包層;

(2)外包層沉積好后,通入SiCl4、BBr3和O2,加熱進行反應(yīng),在外包層上沉積SiO2/B2O3應(yīng)力區(qū)層;

(3)通入刻蝕氣體,以石英基管圓心為對稱點,刻蝕除去應(yīng)力區(qū)層對稱兩邊的部分應(yīng)力區(qū),使得剩余部分的應(yīng)力區(qū)層的對稱兩邊互不連接,并替換刻蝕除去的應(yīng)力區(qū),沉積與外包層組分相同的填充層;

(4)再次通入刻蝕氣體,刻蝕除去沉積在應(yīng)力區(qū)層上的填充層;

(5)刻蝕完成后,通入SiCl4、SF6和O2,加熱反應(yīng),沉積得到內(nèi)包層;

(6)內(nèi)包層沉積完成后,通入SiCl4、GeCl4和O2,加熱進行反應(yīng),沉積得到棒芯層;

(7)沉積完成后,加熱石英基管對各層進行燒結(jié),即收縮得到光纖預(yù)制棒。

步驟(1)中所述的SiCl4和O2的通入量的摩爾比為(1~1.2):1,反應(yīng)溫度為1850℃,沉積得到的外包層的厚度為0.8~2mm。

步驟(2)中所述的SiCl4、BBr3和O2的通入量的摩爾比為(82~85):(30~36):150,其反應(yīng)溫度為1650~1850℃,沉積得到的應(yīng)力區(qū)層的厚度為4~6mm。

步驟(3)和步驟(4)中所述的刻蝕氣體為SF6,刻蝕溫度為1450~1850℃;

步驟(3)中刻蝕除去的應(yīng)力區(qū)占整個應(yīng)力區(qū)層的體積百分比為30~40%。

步驟(5)中所述的SiCl4、SF6和O2的通入量的摩爾比為(30~40):1:(80~100),其加熱反應(yīng)溫度為1850~2050℃,沉積得到的內(nèi)包層的厚度為2.1mm。

步驟(6)中所述的SiCl4、GeCl4和O2的通入量的摩爾比為(2~3):1:(10~20),其加熱反應(yīng)溫度為1850~2050℃,沉積得到的棒芯層的厚度為0.8~1.2mm。

步驟(7)中所述的燒結(jié)溫度為2250~2450℃。

一種光纖預(yù)制棒,該光纖預(yù)制棒的棒芯為正圓形,棒芯與其余各沉積層之間的同心度差小于0.3mm。

一種光纖預(yù)制棒的用于拉制圓保偏光纖或?qū)拵Ч饫w波片。

拉制得到圓保偏光纖的纖芯模場的圓度大于90%。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明中沉積得到的應(yīng)力區(qū)層成分為SiO2和B2O3,其中B2O3的摩爾分數(shù)約為15~18%,其楊氏模量E2≈4800kg/mm2,遠小于成分為SiO2/F 的內(nèi)包層的楊氏模量E1≈7200kg/mm2,從而使得光纖預(yù)制棒在收縮成型過程中,收內(nèi)包層保護的棒芯層的抗變形能力遠大于應(yīng)力區(qū)層,則可保證光纖預(yù)制棒的棒芯的“正圓”,采用此方法制成的圓保偏光纖,其圓度能達到90%以上,圓度高,有效的減小了光纖連接耦合的難度。

附圖說明

圖1為本發(fā)明制備光纖預(yù)制棒時的沉積膜層的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖中,1-石英基管,2-外包層,3-應(yīng)力區(qū)層,4-內(nèi)包層,5-棒芯層。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明進行詳細說明。

實施例1

一種光纖預(yù)制棒的制備方法,包括以下步驟:

(1)往石英基管1內(nèi)按摩爾比1.1:1通入SiCl4和O2,加熱至1850℃進行反應(yīng),并沉積得到厚度為1.4mm的SiO2外包層2;

(2)外包層2沉積好后,按摩爾比為83:33:150通入SiCl4、BBr3和O2,加熱至1750℃進行反應(yīng),在外包層2上沉積得到厚度為5mm的SiO2/B2O3應(yīng)力區(qū)層3;

(3)通入刻蝕氣體SF6,以石英基管1圓心為對稱點,在1650℃下刻蝕除去應(yīng)力區(qū)層3對稱兩邊的占總量體積分數(shù)為35%的部分應(yīng)力區(qū),使得剩余部分的應(yīng)力區(qū)層3的對稱兩邊互不連接,并替換刻蝕除去的應(yīng)力區(qū),沉積與外包層2組分相同的填充層;

(4)再次通入刻蝕氣體SF6,在1650℃下刻蝕除去沉積在應(yīng)力區(qū)層3上的填充層;

(5)刻蝕完成后,按摩爾比35:1:90通入SiCl4、SF6和O2,加熱至1950℃進行反應(yīng),沉積得到厚度為2.1mm的SiO2/F內(nèi)包層3;

(6)內(nèi)包層3沉積完成后,按摩爾比2.5:1:15通入SiCl4、GeCl4和O2,加熱至1950℃進行反應(yīng),沉積得到厚度為1.0mm的SiO2/GeO4棒芯層4;

(7)沉積完成后,加熱石英基管1至2350℃對各層進行燒結(jié),即收縮得到光纖預(yù)制棒。

按上述方法制備得到的光纖預(yù)制棒,棒芯為正圓形,棒芯與其余各沉積層之間的同心度差小于0.3mm。

對制得的光纖預(yù)制棒的結(jié)構(gòu)性能進行檢測,具體檢測結(jié)果見下表1:

表1

注:芯/包同心度差指棒芯與包覆棒芯的沉積層的同心度差。

采用上述光纖預(yù)制棒的拉制圓保偏光纖,拉制得到圓保偏光纖的纖芯模場的圓度大于90%,其結(jié)構(gòu)尺寸如下表2所示:

表2

實施例2

一種光纖預(yù)制棒的制備方法,包括以下步驟:

(1)往石英基管1內(nèi)按摩爾比1:1通入SiCl4和O2,加熱至1850℃進行反應(yīng),并沉積得到厚度為0.8mm的SiO2外包層2;

(2)外包層2沉積好后,按摩爾比為82:30:150通入SiCl4、BBr3和O2,加熱至1650℃進行反應(yīng),在外包層2上沉積得到厚度為4mm的SiO2/B2O3應(yīng)力區(qū)層3;

(3)通入刻蝕氣體SF6,以石英基管1圓心為對稱點,在1450℃下刻蝕除去應(yīng)力區(qū)層3對稱兩邊的占總量體積分數(shù)為30%的部分應(yīng)力區(qū),使得剩余部分的應(yīng)力區(qū)層3的對稱兩邊互不連接,并替換刻蝕除去的應(yīng)力區(qū),沉積與外包層2組分相同的填充層;

(4)再次通入刻蝕氣體SF6,在1450℃下刻蝕除去沉積在應(yīng)力區(qū)層3上的填充層;

(5)刻蝕完成后,按摩爾比30:1:80通入SiCl4、SF6和O2,加熱至1850℃進行反應(yīng),沉積得到厚度為2.1mm的SiO2/F內(nèi)包層3;

(6)內(nèi)包層3沉積完成后,按摩爾比2:1:10通入SiCl4、GeCl4和O2,加熱至1850℃進行反應(yīng),沉積得到厚度為0.8mm的SiO2/GeO4棒芯層4;

(7)沉積完成后,加熱石英基管1至2250℃對各層進行燒結(jié),即收縮得到光纖預(yù)制棒。

按上述方法制備得到的光纖預(yù)制棒,棒芯為正圓形,棒芯與其余各沉積層之間的同心度差小于0.3mm。

采用上述光纖預(yù)制棒用于拉制寬帶光纖波片。

實施例3

一種光纖預(yù)制棒的制備方法,包括以下步驟:

(1)往石英基管1內(nèi)按摩爾比1.2:1通入SiCl4和O2,加熱至1850℃進行反應(yīng),并沉積得到厚度為2mm的SiO2外包層2;

(2)外包層2沉積好后,按摩爾比為85:36:150通入SiCl4、BBr3和O2,加熱至1850℃進行反應(yīng),在外包層2上沉積得到厚度為6mm的SiO2/B2O3應(yīng)力區(qū)層3;

(3)通入刻蝕氣體SF6,以石英基管1圓心為對稱點,在1850℃下刻蝕除去應(yīng)力區(qū)層3對稱兩邊的占總量體積分數(shù)為40%的部分應(yīng)力區(qū),使得剩余部分的應(yīng)力區(qū)層3的對稱兩邊互不連接,并替換刻蝕除去的應(yīng)力區(qū),沉積與外包層2組分相同的填充層;

(4)再次通入刻蝕氣體SF6,在1850℃下刻蝕除去沉積在應(yīng)力區(qū)層3上的填充層;

(5)刻蝕完成后,按摩爾比40:1:100通入SiCl4、SF6和O2,加熱至2050℃進行反應(yīng),沉積得到厚度為2.1mm的SiO2/F內(nèi)包層3;

(6)內(nèi)包層3沉積完成后,按摩爾比3:1:20通入SiCl4、GeCl4和O2,加熱至2050℃進行反應(yīng),沉積得到厚度為1.2mm的SiO2/GeO4棒芯層4;

(7)沉積完成后,加熱石英基管1至2450℃對各層進行燒結(jié),即收縮得到光纖預(yù)制棒。

按上述方法制備得到的光纖預(yù)制棒,棒芯為正圓形,棒芯與其余各沉積層之間的同心度差小于0.3mm。

采用上述光纖預(yù)制棒用于拉制圓保偏光纖,拉制得到的圓保偏光纖的纖芯模場的圓度大于90%。

上述的對實施例的描述是為便于該技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能理解和使用發(fā)明。熟悉本領(lǐng)域技術(shù)的人員顯然可以容易地對這些實施例做出各種修改,并把在此說明的一般原理應(yīng)用到其他實施例中而不必經(jīng)過創(chuàng)造性的勞動。因此,本發(fā)明不限于上述實施例,本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明的揭示,不脫離本發(fā)明范疇所做出的改進和修改都應(yīng)該在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。

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