一種u型槽的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于太陽(yáng)能電池的局部構(gòu)件領(lǐng)域，涉及一種支撐特氣管道的裝置，具體為一種u型槽。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，太陽(yáng)能電池是人類利用太陽(yáng)能的有效方法之一。備晶體硅太陽(yáng)能電池的一般流程為:表面清洗及織構(gòu)化、擴(kuò)散、等離子體去邊、清洗去磷硅玻璃、鍍膜、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)形成歐姆接觸、測(cè)試。其中鍍膜一般都用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)方法沉積氮化硅膜作為減反射層。這層減反射層不僅可以減少硅片表面光的反射，即增加電池片的光吸收，而且可以很好的起到表面體鈍化的作用。因此，其鍍膜工藝和膜層質(zhì)量越來(lái)越受到人們關(guān)注。
[0003]在PECVD設(shè)備鍍膜過(guò)程中，氣體會(huì)通過(guò)一定數(shù)量的孔均勻的分散，使得鍍膜均勻性非常好，沒(méi)有色差。因此，這些孔的質(zhì)量對(duì)鍍膜工藝非常關(guān)鍵，如德國(guó)Roth&Rau公司PECVD設(shè)備上的特氣管道，多個(gè)特氣孔的大小一致性將直接影響鍍膜工藝。
[0004]目前，最常用特氣管道包括主枝，該主枝為近似方形的空心管道，有四個(gè)面，在其一個(gè)面上設(shè)有多個(gè)特氣孔。分枝管道的兩端直接焊接在方形的主枝上，并與其相通。分枝管道的一端焊接在分枝管道上，在其另一端有一個(gè)螺母，該螺母是與腔體里管道口相連的，是鏈接外界特氣的。這種特氣管道安裝在腔體里，需要經(jīng)常通特氣孔，保證特氣孔暢通并且大小一致，這樣鍍膜質(zhì)量才能保證。但實(shí)際中，這種特氣管道上的特氣孔非常難通，因?yàn)闀?huì)沉積大量的氮化硅，而氮化硅非常硬，較難除去，因此每次清理都會(huì)花費(fèi)很長(zhǎng)的時(shí)間，直接影響到生產(chǎn)的產(chǎn)能，同時(shí)平時(shí)維護(hù)時(shí)有些孔堵塞嚴(yán)重后不及時(shí)更換特氣管道，鍍膜均勻性非常差，造成電池片色差和電性能下降。
[0005]因此，有必要提出一種新的特氣管道，以解決上述問(wèn)題。有專利如中國(guó)專利CN202576561U “一種特氣管道”提出一種特氣管道，包括:主枝，該主枝為中空的管道；多個(gè)大小一致的螺母口，以同一朝向均勻的分布于所述主枝上；對(duì)應(yīng)所述多個(gè)螺母口的多個(gè)帶孔螺母，該帶孔螺母的內(nèi)部中空，其頂部設(shè)有特氣孔，底部設(shè)有與所述螺母口相配合的螺紋，該多個(gè)帶孔螺母通過(guò)該多個(gè)螺母口固定于所述主枝上并與主枝保持氣流暢通；第一分枝，該第一分枝為中空管道，其兩端焊接在主枝上并與主枝保持氣流暢通；第二分枝，該第二分枝為中空管道，其一端焊接在第一分枝上并與第一分枝保持氣流暢通，另一端連接一外部供氣裝置上該特氣管道無(wú)需定期拆卸清洗，就可以保證每個(gè)特氣孔保持通暢，大大提高了 PECVD鍍膜設(shè)備的工作效率，同時(shí)減少了因特氣孔被堵塞或者不均帶來(lái)的鍍膜品質(zhì)問(wèn)題。但因特氣管道在安裝使用過(guò)程需要支撐裝置也需要所采取的支撐裝置帶有透氣孔使得通過(guò)特氣管道流出的氮化硅氣體能夠冷凝流出?，F(xiàn)已有此類U型槽能滿足要求，如下圖2所示的U型槽。在實(shí)際使用過(guò)程中，存在的問(wèn)題是U型槽的使用壽命不長(zhǎng)，需要定期更換，每次更換一是費(fèi)時(shí)費(fèi)力，二是每次更換后鍍膜的效果不同，產(chǎn)品的質(zhì)量得不到保證。而造成這種現(xiàn)象的主要原因在于，U型槽對(duì)氮化硅有吸附作用，使得氮化硅不能及時(shí)排除，然后堵塞特氣管道中氣體的流出，進(jìn)而化學(xué)氣相沉積的氮化硅膜的均勻性，使得制備的太陽(yáng)能電池產(chǎn)品也為次品。因此而現(xiàn)有技術(shù)并沒(méi)有解決此問(wèn)題的很好的方案。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型對(duì)現(xiàn)有的U型槽進(jìn)行改進(jìn)，通過(guò)改進(jìn)現(xiàn)有的U型槽的結(jié)構(gòu)，提高U型槽的使用壽命，同時(shí)實(shí)現(xiàn)提高鍍膜質(zhì)量和鍍膜效率的目的。
[0007]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提出一種U型槽，所述U型槽包括U型槽主體和分別設(shè)置在u型槽主體兩側(cè)壁外側(cè)的兩根U型槽外沿邊，U型槽主體槽底的中間位置和設(shè)置在U型槽主體兩側(cè)壁外側(cè)的兩根U型槽外沿邊在沿邊長(zhǎng)度延伸方向的中間部位均設(shè)有透氣孔，所述U型槽主體為內(nèi)外兩層的復(fù)合結(jié)構(gòu)，U型槽主體的外層為U型結(jié)構(gòu)金屬板，U型槽主體的內(nèi)層包括空心結(jié)構(gòu)的U型板和位于空心結(jié)構(gòu)U型板中的冷卻裝置。
[0008]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述冷卻裝置為冷凝管、冷凝盤管或冷凝器。
[0009]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述冷卻裝置為冷凝管時(shí)，冷凝管至少有三根，所述冷凝管在U型槽主體的延伸方向并排設(shè)置，并貫穿空心結(jié)構(gòu)的U型板。
[0010]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述U型槽主體的內(nèi)層和U型槽主體的外層之間采用連接裝置連接。
[0011]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述連接裝置為連接支架或者三個(gè)以上間隔設(shè)置的連接柱。
[0012]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述空心結(jié)構(gòu)U型板的材質(zhì)為鈦基耐熱合金、鎳基耐熱合金、鉬基耐熱合金、鈮基耐熱合金、鎢基耐熱合金或高溫陶瓷。
[0013]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述空心結(jié)構(gòu)U型板的材質(zhì)優(yōu)選為高溫陶瓷。
[0014]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述空心結(jié)構(gòu)U型板的上表面涂附有高溫潤(rùn)滑涂層。
[0015]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述U型槽主體的外層采用的是耐高溫金屬。
[0016]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述耐高溫金屬是鈮基耐熱合金、鎢基耐熱合金或鈦基耐熱合金。
[0017]本實(shí)用新型的有益效果:
[0018]本實(shí)用新型采用內(nèi)外雙層結(jié)構(gòu)，選用的U型槽主體的外層為實(shí)心的金屬板，金屬板在連接特氣管道后不僅能很好的除掉沉積的氮化硅，使得特氣孔不被堵塞，使氣體能夠均勻的外流，還能對(duì)特氣管道起支撐作用，提高特氣管道的穩(wěn)定性，避免了因特氣管道不穩(wěn)定而造成的透氣孔堵塞，進(jìn)而使得氮化硅堵塞于特氣管道內(nèi)，造成鍍膜的不均勻；
[0019]本實(shí)用新型設(shè)置的U型槽主體的內(nèi)層為空心結(jié)構(gòu)，并且空心結(jié)構(gòu)中間還帶有冷凝管，使得沉積的氮化硅能及時(shí)在U型槽冷凝，同時(shí)由于氮化硅冷凝速度較快，氮化硅冷凝后會(huì)形成氮化硅顆粒，較為容易的排除U型槽，提高了 U型槽的使用壽命。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1 一