一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明屬于冶金材料技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，包括制粉、成型、真空燒結(jié)和機(jī)械加工步驟，所述制粉包括以下步驟：將鉬粉和鈮粉按照重量比為6?10:1的比例裝入球磨機(jī)中，然后加入過(guò)程控制劑和氧化鋯磨球，在氬氣保護(hù)下進(jìn)行球磨，過(guò)篩，分離得到鉬鈮合金復(fù)合粉末；所述過(guò)程控制劑和氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0.01?0.05倍、5?20倍；所述的過(guò)程控制劑為硬脂酸鋅、棕櫚酸、硬脂酸乙酯、聚乙烯醇和硬脂酸中的一種或幾種。本發(fā)明所得鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無(wú)孔洞，平均晶粒尺寸為40?65μm，其密度≥9.85g/cm3，性能優(yōu)異，可廣泛的應(yīng)用于平面顯示器等領(lǐng)域。
【專利說(shuō)明】
一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于冶金材料技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]鉬的高熔點(diǎn)、高電導(dǎo)率、較低的比阻抗、較好的耐腐蝕性以及良好的環(huán)保性能，因此，鉬濺射靶材是一種具有高附加值的特征電子材料，在電子行業(yè)中鉬濺射靶材主要用于平面顯示器、薄膜太陽(yáng)能電池的電極和配線材料以及半導(dǎo)體的阻擋層材料。
[0003]隨著電子行業(yè)綜合性能和使用環(huán)境要求的提高，未來(lái)對(duì)于電子行業(yè)用濺射靶材的要求也會(huì)越來(lái)越高。目前，F(xiàn)ro用主導(dǎo)靶材還是高純鉬靶，與純鉬靶材相比，在鉬中添加一定比例的Nb、Na等兀素可使液晶顯不的像素有所提尚，使顯屏尚清晰度、尚?目息容量、尚分辨能力的顯示屏得到突破性進(jìn)展。目前，已有關(guān)于鉬鈮濺射靶材研究的相關(guān)報(bào)道，主要的制備方法有三種:一、熱等靜壓燒結(jié)法，通過(guò)熱等靜壓燒結(jié)設(shè)備將混合后的原料粉燒結(jié)成所需鉬鈮靶材，該工藝設(shè)備投資較大，且生產(chǎn)效率較低。二、中頻氫氣燒結(jié)法，此方法是借鑒于純鉬靶材的制備方法，然而金屬鈮會(huì)大量吸氫導(dǎo)致燒結(jié)坯密度低且容易開(kāi)裂，并且影響后續(xù)熱加工。三、真空燒結(jié)法，該方法通過(guò)真空燒結(jié)設(shè)備進(jìn)行燒結(jié)成型，避免了金屬鈮的吸氫，靶材的致密度也較高。
[0004]中國(guó)專利CN105154740A提供了一種機(jī)械合金化鈮鉬靶材的制備方法，該方法為:它先將鈮粉末、鉬粉末、氧化鋯磨球和乙醇置于行星式球磨機(jī)中球磨后，過(guò)篩分離其中的氧化鋯磨球，靜置，得到沉淀液，再去除沉淀液上層的乙醇后，經(jīng)干燥得到機(jī)械合金化鈮鉬粉末，之后，先依次將機(jī)械合金化鈮鉬粉末置于多1MPa下靜壓、^ 200MPa下靜壓，得到待燒坯，再將待燒坯置于<50Pa下升溫至彡800°C后，于彡2100°C下燒結(jié)，制得由鈮表面包覆鉬的片狀晶粒組成的、密度多9.82g/cm3的機(jī)械合金化鈮鉬靶材。該方法在行星式球磨機(jī)中加入乙醇進(jìn)行濕法球磨，球磨時(shí)間為25?30h，且球磨之后需靜置20?24h，步驟復(fù)雜，生產(chǎn)效率較低，而且金屬粉末容易粘球和粘罐，晶粒組織不清晰。
[0005]中國(guó)專利CN102560383B提供了一種鉬鈮合金板靶材加工工藝，按照如下步驟實(shí)施:(I)混合:將定量鉬粉與鈮粉各分為至少三小份，然后每小份鉬粉與鈮粉再分別混合成小份混合粉，每小份混合粉經(jīng)過(guò)多次混合和過(guò)篩后，多個(gè)小份混合粉再合成為混合合金粉；然后再將混合合金粉至少分三組分別混料最后合成一起，再混料成為成分均勻的合金粉；
(2)成型:經(jīng)過(guò)等靜壓壓成合金坯，進(jìn)入高溫中頻爐在氫氣保護(hù)下燒結(jié)，燒結(jié)溫度分三個(gè)溫區(qū)；0-800°C、800-1600°C、1600-2000°C并且每個(gè)溫度區(qū)至少燒結(jié)3小時(shí)，最終燒成合金坯狀；(3)鍛造和乳制:再經(jīng)過(guò)1200-1400°C高溫鍛造制密后進(jìn)入高溫爐1500-1600°C的加熱溫度進(jìn)行乳制成備料規(guī)格的板材；(4)精加工:經(jīng)切割、精磨、機(jī)加成為鉬鈮合金板靶材成品。該方法采用V型混料機(jī)對(duì)原料鉬粉進(jìn)行簡(jiǎn)單的混合，鈮粉在鉬粉中的均勻性較低。燒結(jié)過(guò)程采用中頻氫氣燒結(jié)，金屬鈮會(huì)大量吸氫脆化，導(dǎo)致鍛造和乳制過(guò)程中板坯開(kāi)裂，靶材成材率極低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為克服上述缺陷，本發(fā)明的目的在于提供一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，成本低，生產(chǎn)效率高，所得鉬鈮合金濺射靶材性能優(yōu)異。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，包括制粉、成型、真空燒結(jié)和機(jī)械加工步驟，所述制粉包括以下步驟:將鉬粉和鈮粉按照重量比為6-10:1的比例裝入球磨機(jī)中，然后加入過(guò)程控制劑和氧化鋯磨球，在氬氣保護(hù)下進(jìn)行球磨，過(guò)篩，分離得到鉬鈮合金復(fù)合粉末;所述過(guò)程控制劑和氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0.01-0.05倍、5-20倍;所述的過(guò)程控制劑為硬脂酸鋅、棕櫚酸、硬脂酸乙酯、聚乙烯醇和硬脂酸中的一種或幾種。
[0008]優(yōu)選地，所述的球磨時(shí)間為60-150min，球磨轉(zhuǎn)速為600-1200r/min。
[0009]優(yōu)選地，所述的鉬鈮合金復(fù)合粉末的粒徑為5-10μπι。
[0010]優(yōu)選地，所述的氧化錯(cuò)磨球的粒徑為1-3mm。
[0011]優(yōu)選地，所述的成型為鉬鈮合金復(fù)合粉末進(jìn)行冷等靜壓成型，得到壓制毛坯;所述的冷等靜壓的壓力為150-250MPa，保壓時(shí)間為5-10min。
[0012]優(yōu)選地，所述的真空燒結(jié)為將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)成型，得到靶材毛坯;所述的真空燒結(jié)溫度為1800-2200°C，燒結(jié)時(shí)間5-10h。
[0013]優(yōu)選地，所述的鉬鈮合金復(fù)合粉末成型之前還包括抽真空步驟。
[0014]本發(fā)明的積極有益效果:
I.本發(fā)明在球磨過(guò)程中，鉬粉和鈮粉金屬粉末在氧化鋯磨球的撞擊下隨著時(shí)間的延長(zhǎng)會(huì)依次出現(xiàn)冷焊-破碎-冷焊現(xiàn)象，如果對(duì)球磨過(guò)程不進(jìn)行必要的控制很難得到所需的粉末產(chǎn)物。
[0015]本發(fā)明在球磨機(jī)中加入了過(guò)程控制劑，在氬氣保護(hù)下進(jìn)行球磨，過(guò)程控制劑在球磨過(guò)程中能夠包覆在金屬粉末表面，在金屬粉末之間形成一層潤(rùn)滑薄膜，降低了粉末的表面能，較少了粉末間的冷焊，從而避免了粉末的粘球和粘罐，而且還加快了破碎的時(shí)間，球磨時(shí)間大大縮短。
[0016]隨著球磨時(shí)間的延長(zhǎng)粉末發(fā)生加工硬化并在磨球的作用下發(fā)生破碎露出新鮮金屬表面，由于過(guò)程控制劑的存在能迅速在新鮮金屬表面形成新的潤(rùn)滑薄膜從而阻止破碎后的粉末發(fā)生焊合，從而細(xì)化粉末，得到的鉬鈮合金復(fù)合粉末粒徑小，這為后續(xù)燒結(jié)實(shí)現(xiàn)其固態(tài)反應(yīng)和物相轉(zhuǎn)變提供了有利條件。
[0017]因此，本發(fā)明采用過(guò)程控制劑干式球磨相對(duì)于乙醇濕法球磨球磨時(shí)間短，鉬粉和鈮粉分散均勻，而且避免了粉末的粘球和粘罐，操作方便。
[0018]2.本發(fā)明在氧化鋯磨球高速運(yùn)動(dòng)和過(guò)程控制劑共同作用下，鈮元素分布更均勻，最終得到的鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無(wú)孔洞，平均晶粒尺寸40_65μπι，其密度多9.85g/cm3，性能優(yōu)異，可廣泛的應(yīng)用于平面顯示器等領(lǐng)域。
[0019]3.本發(fā)明鉬鈮合金復(fù)合粉末成型之前還包括抽真空步驟，減少了氧化，本發(fā)明鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝簡(jiǎn)單，過(guò)程控制劑用量少，易于去除，本發(fā)明步驟少，效率高，易于產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1為本發(fā)明實(shí)施例2鉬鈮合金濺射靶材的微觀組織圖；
圖2為本發(fā)明實(shí)施例3鉬鈮合金濺射靶材的微觀組織圖；
圖3為本發(fā)明實(shí)施例4鉬鈮合金濺射靶材的微觀組織圖；
圖4為本發(fā)明實(shí)施例5鉬鈮合金濺射靶材的微觀組織圖；
圖5為本發(fā)明實(shí)施例6鉬鈮合金濺射靶材的微觀組織圖；
圖6為本發(fā)明實(shí)施例7鉬鈮合金濺射靶材的微觀組織圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]
下面結(jié)合一些【具體實(shí)施方式】，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。
[0022]實(shí)施例1
一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，包括以下步驟:
(1)將鉬粉和鈮粉(純度均為多99.95%，粒徑分別為20μπι和35μπι)按照重量比為6:1的比例裝入球磨機(jī)中，然后加入棕櫚酸和氧化鋯磨球(粒徑2mm)，在氬氣保護(hù)下進(jìn)行球磨，所述的球磨時(shí)間為80min，球磨轉(zhuǎn)速為1000r/min，過(guò)篩，分離得到粒徑為9μηι鉬銀合金復(fù)合粉末；
所述棕櫚酸和氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0.02倍、8倍；
(2)將步驟(I)鉬鈮合金復(fù)合粉末進(jìn)行冷等靜壓成型，冷等靜壓的壓力為200MPa，保壓時(shí)間為5m i η，得到壓制毛還；
(3)將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)成型，燒結(jié)溫度為18000C，燒結(jié)時(shí)間10 h，得到靶材毛坯；
(4)將靶材毛坯經(jīng)過(guò)機(jī)械加工得到產(chǎn)品鉬鈮合金濺射靶材，鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無(wú)孔洞，平均晶粒尺寸50μπι，密度9.85g/cm3。
[0023]實(shí)施例2
一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，包括以下步驟:
(1)將鉬粉和鈮粉(純度均為彡99.95%，粒徑分別為15μπι和30μπι)按照重量比為7:1的比例裝入球磨機(jī)中，然后加入硬脂酸鋅和氧化鋯磨球(粒徑3mm)，在氬氣保護(hù)下進(jìn)行球磨，所述的球磨時(shí)間為60min，球磨轉(zhuǎn)速為1200r/min，過(guò)篩，分離得到粒徑為1ym鉬銀合金復(fù)合粉末；
所述硬脂酸鋅和氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0.01倍、5倍；
(2)將步驟(I)鉬鈮合金復(fù)合粉末進(jìn)行冷等靜壓成型，冷等靜壓的壓力為150MPa，保壓時(shí)間為1min，得到壓制毛還；
(3)將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)成型，燒結(jié)溫度為2000°C，燒結(jié)時(shí)間5h，得到靶材毛坯；
(4)將靶材毛坯經(jīng)過(guò)機(jī)械加工得到產(chǎn)品鉬鈮合金濺射靶材，鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無(wú)孔洞(參見(jiàn)圖1)，平均晶粒尺寸55μπι，密度9.86g/cm3。
[0024]實(shí)施例3
一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，包括以下步驟: (1)將鉬粉和鈮粉(純度均為多99.95%，粒徑分別為25μπι和40μπι)按照重量比為8:1的比例裝入球磨機(jī)中，然后加入硬脂酸和氧化鋯磨球(粒徑1mm)，在氬氣保護(hù)下進(jìn)行球磨，所述的球磨時(shí)間為lOOmin，球磨轉(zhuǎn)速為1000r/min，過(guò)篩，分離得到粒徑為6μηι鉬銀合金復(fù)合粉末；
所述硬脂酸、氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0.03倍、10倍；
(2)將步驟(I)鉬鈮合金復(fù)合粉末抽真空處理，接著進(jìn)行冷等靜壓成型，冷等靜壓的壓力為180MPa，保壓時(shí)間為7min，得到壓制毛坯；
(3)將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)成型，燒結(jié)溫度為20000C，燒結(jié)時(shí)間8h，得到靶材毛坯；
(4)將靶材毛坯經(jīng)過(guò)機(jī)械加工得到產(chǎn)品鉬鈮合金濺射靶材，鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無(wú)孔洞(參見(jiàn)圖2)，平均晶粒尺寸45μπι，密度9.87g/cm3。
[0025]實(shí)施例4
一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，包括以下步驟:
(1)將鉬粉和鈮粉(純度均為多99.95%，粒徑分別為25μπι和40μπι)按照重量比為8.5:1的比例裝入球磨機(jī)中，然后加入硬脂酸、棕櫚酸和氧化鋯磨球(粒徑2mm)，在氬氣保護(hù)下進(jìn)行球磨，所述的球磨時(shí)間為I 1min，球磨轉(zhuǎn)速為1000r/min，過(guò)篩，分離得到粒徑為8μηι鉬銀合金復(fù)合粉末；
所述硬脂酸、棕櫚酸、氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0.025倍、0.025倍、13倍；
(2)將步驟(I)鉬鈮合金復(fù)合粉末抽真空處理，接著進(jìn)行冷等靜壓成型，冷等靜壓的壓力為200MPa，保壓時(shí)間為6min，得到壓制毛坯；
(3)將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)成型，燒結(jié)溫度為20000C，燒結(jié)時(shí)間6h，得到靶材毛坯；
(4)將靶材毛坯經(jīng)過(guò)機(jī)械加工得到產(chǎn)品鉬鈮合金濺射靶材，鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無(wú)孔洞(參見(jiàn)圖3)，平均晶粒尺寸50μπι，密度9.85g/cm3。
[0026]實(shí)施例5
一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，包括以下步驟:
(1)將鉬粉和鈮粉(純度均為彡99.95%，粒徑分別為15μπι和30μπι)按照重量比為9:1的比例裝入球磨機(jī)中，然后加入硬脂酸、棕櫚酸和氧化鋯磨球(粒徑3mm)，在氬氣保護(hù)下進(jìn)行球磨，所述的球磨時(shí)間為120min，球磨轉(zhuǎn)速為1000r/min，過(guò)篩，分離得到粒徑為5μηι鉬銀合金復(fù)合粉末；
所述硬脂酸、棕櫚酸和氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0.01倍、0.01倍、15倍；
(2)將步驟(I)鉬鈮合金復(fù)合粉末抽真空處理，接著進(jìn)行冷等靜壓成型，冷等靜壓的壓力為220MPa，保壓時(shí)間為8min，得到壓制毛坯；
(3)將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)成型，燒結(jié)溫度為21000C，燒結(jié)時(shí)間6h，得到靶材毛坯；
(4)將靶材毛坯經(jīng)過(guò)機(jī)械加工得到產(chǎn)品鉬鈮合金濺射靶材，鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無(wú)孔洞(參見(jiàn)圖4)，平均晶粒尺寸40μπι，密度9.87g/cm3。
[0027]實(shí)施例6
一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，包括以下步驟:
(1)將鉬粉和鈮粉(純度均為彡99.95%，粒徑分別為15μπι和30μπι)按照重量比為9:1的比例裝入球磨機(jī)中，然后加入硬脂酸、棕櫚酸和氧化鋯磨球(粒徑3mm)，在氬氣保護(hù)下進(jìn)行球磨，所述的球磨時(shí)間為120min，球磨轉(zhuǎn)速為1000r/min，過(guò)篩，分離得到粒徑為5μηι鉬銀合金復(fù)合粉末；
所述硬脂酸、棕櫚酸和氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0.01倍、0.01倍、15倍；
(2)將鉬鈮合金復(fù)合粉末置于真空爐中升溫至400°C熱處理30min，接著進(jìn)行冷等靜壓成型，冷等靜壓的壓力為220MPa，保壓時(shí)間為8min，得到壓制毛坯；
(3)將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)成型，燒結(jié)溫度為21000C，燒結(jié)時(shí)間6h，得到靶材毛坯；
(4)將靶材毛坯經(jīng)過(guò)機(jī)械加工得到產(chǎn)品鉬鈮合金濺射靶材，鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無(wú)孔洞(參見(jiàn)圖5)，平均晶粒尺寸40μπι，密度9.89g/cm3。
[0028]本發(fā)明步驟(2)鉬鈮合金復(fù)合粉末冷等靜壓之前還置于真空爐中熱處理，過(guò)程控制劑的去除徹底，有利于后續(xù)冷等靜壓壓制成型。
[0029]實(shí)施例7
一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，包括以下步驟:
(1)將鉬粉和鈮粉(純度均為多99.95%，粒徑分別為20μπι和50μπι)按照重量比為9.5:1的比例裝入球磨機(jī)中，然后加入聚乙烯醇和氧化鋯磨球(粒徑2.5mm)，在氬氣保護(hù)下進(jìn)行球磨，所述的球磨時(shí)間為90min，球磨轉(zhuǎn)速為1100r/min，過(guò)篩，分離得到粒徑為ΙΟμπι鉬銀合金復(fù)合粉末；
所述聚乙烯醇、氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0.04倍、18倍；
(2)將鉬鈮合金復(fù)合粉末抽真空處理，接著進(jìn)行冷等靜壓成型，冷等靜壓的壓力為160MPa，保壓時(shí)間為6min，得到壓制毛坯；
(3)將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)成型，燒結(jié)溫度為19000C，燒結(jié)時(shí)間9h，得到靶材毛坯；
(4)將靶材毛坯經(jīng)過(guò)機(jī)械加工得到產(chǎn)品鉬鈮合金濺射靶材，鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無(wú)孔洞(參見(jiàn)圖6)，平均晶粒尺寸50μπι，密度9.86g/cm3。
[0030]實(shí)施例8
一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，包括以下步驟:
(1)將鉬粉和鈮粉(純度均為彡99.95%，粒徑分別為25μπι和40μπι)按照重量比為10:1的比例裝入球磨機(jī)中，然后加入硬脂酸乙酯和氧化鋯磨球(粒徑1.5_)，在氬氣保護(hù)下進(jìn)行球磨，所述的球磨時(shí)間為150min，球磨轉(zhuǎn)速為800r/min，過(guò)篩，分離得到粒徑為8μηι鉬銀合金復(fù)合粉末；
所述硬脂酸乙酯、氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0.05、20倍；
(2)將步驟(I)鉬鈮合金復(fù)合粉末抽真空處理，接著進(jìn)行冷等靜壓成型，冷等靜壓的壓力為250MPa，保壓時(shí)間為6min，得到壓制毛坯；
(3)將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)成型，燒結(jié)溫度為2200°C，燒結(jié)時(shí)間5h，得到靶材毛坯；
(4)將靶材毛坯經(jīng)過(guò)機(jī)械加工得到產(chǎn)品鉬鈮合金濺射靶材，鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無(wú)孔洞，平均晶粒尺寸65μπι，密度9.86g/cm3。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，包括制粉、成型、真空燒結(jié)和機(jī)械加工步驟，其特征在于，所述制粉包括以下步驟:將鉬粉和鈮粉按照重量比為6-10:1的比例裝入球磨機(jī)中，然后加入過(guò)程控制劑和氧化鋯磨球，在氬氣保護(hù)下進(jìn)行球磨，過(guò)篩，分離得到鉬鈮合金復(fù)合粉末;所述過(guò)程控制劑和氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0.01-0.05倍、5-20倍;所述的過(guò)程控制劑為硬脂酸鋅、棕櫚酸、硬脂酸乙酯、聚乙烯醇和硬脂酸中的一種或幾種。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，其特征在于，所述的球磨時(shí)間為60-150min，球磨轉(zhuǎn)速為600-1200r/min。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，其特征在于，所述的鉬鈮合金復(fù)合粉末的粒徑為5-1 Oym。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，其特征在于，所述的氧化鋯磨球的粒徑為1-3mm。5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，其特征在于，所述的成型為鉬鈮合金復(fù)合粉末進(jìn)行冷等靜壓成型，得到壓制毛坯；所述的冷等靜壓的壓力為150-250MPa，保壓時(shí)間為 5-10min。6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，其特征在于，所述的真空燒結(jié)為將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)成型，得到靶材毛坯;所述的真空燒結(jié)溫度為1800-2200°C，燒結(jié)時(shí)間5-1 Oh。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，其特征在于，所述的成型之前還包括對(duì)鉬鈮合金復(fù)合粉末抽真空步驟。
【文檔編號(hào)】C23C14/34GK105887027SQ201610306488
【公開(kāi)日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2016年5月11日
【發(fā)明人】孫虎民, 趙文普, 陳亞光, 高建杰
【申請(qǐng)人】洛陽(yáng)高新四豐電子材料有限公司