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一種精細導電銅材拋光后清洗方法

文檔序號:9321288閱讀:402來源:國知局
一種精細導電銅材拋光后清洗方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及金屬加工領域,尤其涉及一種精細導電銅材拋光后清洗方法。
【背景技術】
[0002]銅材料的特長之一是具有高導電性、散熱特性,其中一例為廣泛應用于例如最近的印刷布線板、引線框、LSI等的電子部件中?,F有技術中的清洗劑和清洗方法對于銅材拋光后的清洗,不能給予優(yōu)良的表面一致性,而且易殘留,導致成品率較差拉升了生產成本。

【發(fā)明內容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種環(huán)境友好、清洗后銅材表面一致性好、不易殘留、加工方式間接的精細導電銅材拋光后清洗方法。
[0004]本發(fā)明是通過以下技術方案來實現的:
一種精細導電銅材拋光后清洗方法,其特征在于,選用按如下成分配比的清潔劑進行清洗:螯合劑2%,阻蝕劑3%,表面活性劑3%,剩余的為去離子水,所述螯合劑和所述阻蝕劑均為FA/0II型,清洗劑的pH值為7.6-8,清洗的參數為:清洗壓力:2500Pa,清洗流量:3500ml/min,清洗種類:拋光清洗。
[0005]作為優(yōu)選,所述清洗時間為1.5分鐘。
[0006]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明的清洗劑環(huán)境友好無污染,本方法清洗后潔凈度高,它的使用降低了銅材的生產成本,值得推廣。
【具體實施方式】
[0007]—種精細導電銅材拋光后清洗方法,其特征在于,選用按如下成分配比的清潔劑進行清洗:螯合劑2%,阻蝕劑3%,表面活性劑3%,剩余的為去離子水,所述螯合劑和所述阻蝕劑均為FA/0II型,清洗劑的pH值為7.6~8,清洗的參數為:清洗壓力:2500Pa,清洗流量:3500ml/min,清洗種類:拋光清洗,所述清洗時間為1.5分鐘。
[0008]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明的清洗劑環(huán)境友好無污染,本方法清洗后潔凈度高,它的使用降低了銅材的生產成本,值得推廣。
[0009]以上所述,僅為本發(fā)明的【具體實施方式】,但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此,任何不經過創(chuàng)造性勞動想到的變化或替換,都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內。因此,本發(fā)明的保護范圍應該以權利要求書所限定的保護范圍為準。
【主權項】
1.一種精細導電銅材拋光后清洗方法,其特征在于,選用按如下成分配比的清潔劑進行清洗:螯合劑2%,阻蝕劑3%,表面活性劑3%,剩余的為去離子水,所述螯合劑和所述阻蝕劑均為FA/OII型,清洗劑的pH值為7.6-8,清洗的參數為:清洗壓力:2500Pa,清洗流量:3500ml/min,清洗種類:拋光清洗。2.根據權利要求1所述的精細導電銅材拋光后清洗方法,其特征在于,所述清洗時間為1.5分鐘。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種精細導電銅材拋光后清洗方法,其特征在于,選用按如下成分配比的清潔劑進行清洗:螯合劑2%,阻蝕劑3%,表面活性劑3%,剩余的為去離子水,所述螯合劑和所述阻蝕劑均為FA/OII型,清洗劑的pH值為7.6~8,清洗的參數為:清洗壓力:2500Pa,清洗流量:3500ml/min,清洗種類:拋光清洗。本發(fā)明的清洗劑環(huán)境友好無污染,本方法清洗后潔凈度高,它的使用降低了銅材的生產成本,值得推廣。
【IPC分類】C23G1/26
【公開號】CN105040017
【申請?zhí)枴緾N201510382376
【發(fā)明人】張興良
【申請人】江陰市盛園銅材有限公司
【公開日】2015年11月11日
【申請日】2015年7月3日
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