本發(fā)明涉及鍍膜機技術(shù)領域，具體涉及一種帶行星盤的鍍膜機膜片轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

真空鍍膜機主要由以下幾部分組成：真空腔體，抽氣系統(tǒng)，充氣布氣系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)，薄膜沉積控制系統(tǒng)，高壓控制系統(tǒng)，低壓控制系統(tǒng)，蒸發(fā)源系統(tǒng)，工件旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)。其功能描述如下：

真空腔體：鍍膜加工的一個空間

抽氣系統(tǒng)：使鍍膜達到所需的真空度

充氣布氣系統(tǒng)：使氣動元件獲得足夠的氣壓完成動作

加熱系統(tǒng)：使基片達到鍍膜所需的溫度

薄膜沉積控制系統(tǒng)：使基片上鍍的膜厚達到所需的要求

高壓控制系統(tǒng):使蒸發(fā)源獲得足夠的電壓

低壓控制系統(tǒng)：控制鍍膜機的元件完成規(guī)定的動作

蒸發(fā)源系統(tǒng)：讓膜料蒸發(fā)

工件旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)：裝載基片并使其轉(zhuǎn)動

目前行業(yè)內(nèi)的鍍膜機工轉(zhuǎn)主要是單軸承，易發(fā)生卡死、抖動等問題，公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)普遍是鏈輪和鏈條結(jié)構(gòu)，但是這種結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)動的時候不穩(wěn)定，噪音大，而且鏈條鏈輪結(jié)構(gòu)在長時間使用后會變松，從而影響膜層的均勻性。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種不易卡死，穩(wěn)定的可實現(xiàn)基片公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)的鍍膜機膜片轉(zhuǎn)動機構(gòu)。

為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：鍍膜機膜片公轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，包括傳動機構(gòu)、定軸、繞定軸轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)筒、罩體以及可固定在鍍膜機頂部的環(huán)形底盤，所述傳動機構(gòu)主要包括一個驅(qū)動齒輪，所述罩體固定在底盤上，所述轉(zhuǎn)筒和定軸穿過環(huán)形底盤伸入鍍膜機的真空鍍膜腔，所述定軸的上端部固定在罩體的頂部，所述轉(zhuǎn)筒的外周面上固定設置一個減速齒輪，所述驅(qū)動齒輪由外部電機帶動轉(zhuǎn)動，驅(qū)動齒輪與減速齒輪嚙合從而驅(qū)動減速齒輪轉(zhuǎn)動，進一步帶動轉(zhuǎn)筒轉(zhuǎn)動，所述環(huán)形底盤上方設置一個軸向支撐轉(zhuǎn)筒的推力球軸承，所述罩體的內(nèi)壁與轉(zhuǎn)筒外周面之間還設置防止轉(zhuǎn)筒徑向偏移的球軸承，轉(zhuǎn)筒下端固定設置一個傳動齒輪和一個旋轉(zhuǎn)板，旋轉(zhuǎn)板設置多個膜片行星盤機構(gòu)，所述行星盤機構(gòu)包括自轉(zhuǎn)軸以及對自轉(zhuǎn)軸進行徑向和軸向支撐的支撐部件，支撐部件安裝在旋轉(zhuǎn)板上，所述自轉(zhuǎn)軸上端固定設有與自轉(zhuǎn)軸同軸心的從動齒輪，從動齒輪可與傳動齒輪嚙合帶動自轉(zhuǎn)軸的自轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)軸下端用于安裝工件架裝載基片。

進一步的，所述推力球軸承包括座圈、軸圈和鋼球保持架組成，軸圈與減速齒輪或者轉(zhuǎn)筒固定，座圈固定在環(huán)形底盤上。

進一步的，所述罩體靠近環(huán)形底盤的端部與推力球軸承對應位置設置環(huán)形空腔用于注入冷卻水，罩體在環(huán)形空腔處設置注水孔和出水孔用于水循環(huán)。

進一步的，所述球軸承設置在罩體頂部，罩體頂部設置冷卻水循環(huán)網(wǎng)路用于給球軸承降溫。

進一步的，還包括一個磁流體密封裝置，磁流體密封裝置一端連接驅(qū)動電機，另一端伸入鍍膜機真空腔連接驅(qū)動齒輪。

進一步的，所述定軸為中部結(jié)構(gòu)，設置貫穿定軸的用于測量基片鍍膜厚度的晶控探頭。

進一步的，所述球軸承和推力球軸承上涂抹有耐高溫的潤滑脂。

進一步的，自轉(zhuǎn)軸的上端設置的從動齒輪有多個，且齒輪不同，所述支撐部件可相對于旋轉(zhuǎn)板上下移動設置。

進一步的，所述支撐部件上設置多個環(huán)形凹槽，凹槽間距等于齒輪間距，沿凹槽設置一對半圓環(huán)形的墊片，墊片上設置螺孔，墊片固定在旋轉(zhuǎn)板后將支撐部件夾持固定。

從上述技術(shù)方案可以看出本發(fā)明具有以下優(yōu)點：雙軸承設置有利與轉(zhuǎn)筒的穩(wěn)定轉(zhuǎn)動，減少軸承的卡死，通過冷卻水的循環(huán)來帶走熱量，這樣就大大降低了工轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)內(nèi)部的溫度，從而減少了熱漲變形造成的卡死，設置行星盤實現(xiàn)基片在腔體內(nèi)部的公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，從而提高膜層的均勻性，且設置多個齒數(shù)不同的齒輪，可以對自轉(zhuǎn)的速度進行調(diào)節(jié)；磁流體密封來替代原有的O型圈，J型密封圈組合，它既具有液體的流動性又具有固體磁性材料的磁性，進而保證基片鍍膜的品質(zhì)，密封效果好，而且也很耐用，是傳統(tǒng)橡膠密封的幾倍，可以保持鍍膜腔的真空度。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的剖視結(jié)構(gòu)圖。

圖2為本發(fā)明中膜片行星盤機構(gòu)。

圖3為本發(fā)明的俯視圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式做詳細說明。

如圖1所示，本發(fā)明的鍍膜機膜片公轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，包括傳動機構(gòu)、定軸10、繞定軸轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)筒9、罩體2以及可固定在鍍膜機頂部的環(huán)形底盤1，所述傳動機構(gòu)主要包括驅(qū)動齒輪7和磁流體密封裝置6，磁流體密封裝置6連接外部的驅(qū)動電機，另一端伸入鍍膜機的鍍膜真空腔連接驅(qū)動齒輪7，磁流體密封來替代原有的O型圈，J型密封圈組合。它既具有液體的流動性又具有固體磁性材料的磁性。密封效果好，而且也很耐用，是傳統(tǒng)橡膠密封的幾倍，可以保持鍍膜腔的真空度。

罩體2固定在底盤1上從而固定在鍍膜機上，轉(zhuǎn)筒9和定軸10穿過環(huán)形底盤1伸入鍍膜機的真空鍍膜腔，定軸10的上端部固定在罩體2的頂部，轉(zhuǎn)筒9和定軸10同軸心設置，轉(zhuǎn)筒9的外周面上固定設置一個減速齒輪8，減速齒輪8與轉(zhuǎn)筒9同軸心設置，驅(qū)動齒輪7與減速齒輪8嚙合從而驅(qū)動減速齒輪8轉(zhuǎn)動，進一步帶動轉(zhuǎn)筒9繞定軸10轉(zhuǎn)動，在環(huán)形底盤1上方設置一個軸向支撐轉(zhuǎn)筒9的推力球軸承，推力球軸承包括座圈14、軸圈3和鋼球保持架13組成，軸圈3與減速齒輪或者轉(zhuǎn)筒固定，座圈14固定在環(huán)形底盤1上，罩體2的內(nèi)壁與轉(zhuǎn)筒9外周面之間還設置防止轉(zhuǎn)筒9徑向偏移的球軸承4。雙軸承設置有利與轉(zhuǎn)筒的穩(wěn)定轉(zhuǎn)動，減少軸承的卡死，進而保證基片鍍膜的品質(zhì)。

對工轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的外圍增加了水冷，通過冷卻水的循環(huán)來帶走熱量，這樣就大大降低了工轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)內(nèi)部的溫度，從而減少了熱漲變形造成的卡死。水冷結(jié)構(gòu)如下，將球軸承設置在罩體頂部，罩體頂部設置冷卻水循環(huán)網(wǎng)路12用于給球軸承降溫；罩體2靠近環(huán)形底盤1的端部與推力球軸承對應位置設置環(huán)形空腔11用于注入冷卻水，罩體在環(huán)形空腔處設置注水孔和出水孔用于水循環(huán)

定軸10為中部結(jié)構(gòu)，設置貫穿定軸的用于測量基片鍍膜厚度的晶控探頭5。

且鍍膜過程中不能有揮油的存在，因為在薄膜沉積過程中，油的存在會影響薄膜沉積的牢固度。因此，在球軸承和推力球軸承上涂抹有耐高溫的潤滑脂。抖動的根本原因是軸承的磨損，因此選用了一種高真空不揮發(fā)的，耐高溫的潤滑脂。

如圖1、2和圖3所示，轉(zhuǎn)筒9下端固定設置一個傳動齒輪16和一個旋轉(zhuǎn)板17，旋轉(zhuǎn)板17上設置多個膜片行星盤機構(gòu)，所述行星盤機構(gòu)包括自轉(zhuǎn)軸20以及對自轉(zhuǎn)軸20進行徑向和軸向支撐的支撐部件15，支撐部件15安裝在旋轉(zhuǎn)板17上，所述自轉(zhuǎn)軸20上端固定設有多個與自轉(zhuǎn)軸同軸心的從動齒輪18，從動齒輪18的齒輪不同，從動齒輪18可與傳動齒輪16嚙合帶動自轉(zhuǎn)軸20的自轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)軸20下端用于安裝工件架19裝載基片。設置行星盤可以實現(xiàn)基片的自轉(zhuǎn)，從而使鍍膜更加均勻，且可以通過選擇從動齒數(shù)的齒數(shù)改變自轉(zhuǎn)速度。

支撐部件的內(nèi)部可以通過設置球軸承和推力球軸承實現(xiàn)對自轉(zhuǎn)軸的支撐，具體結(jié)構(gòu)可以參考轉(zhuǎn)筒的支撐方式，在此不在贅述。支撐部件15可相對于旋轉(zhuǎn)板17上下移動設置，可以通過以下結(jié)構(gòu)實現(xiàn)支撐部件的上下移動，在支撐部件外部設置多個環(huán)形的凹槽22，凹槽22的間距等于從動齒輪18的間距，一對半圓環(huán)形的墊片22沿凹槽設置將支撐部件夾緊，墊片22通過螺釘固定在旋轉(zhuǎn)板17上。

上下移動時，松開墊片上的螺釘，移開墊片，上下移動支撐部件一個或者多個凹槽間距后，再通過墊片將支撐部件固定在旋轉(zhuǎn)板上。