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一種磨硅棒快速定位裝置的制作方法

文檔序號(hào):12419377閱讀:462來(lái)源:國(guó)知局
一種磨硅棒快速定位裝置的制作方法

本實(shí)用新型涉及硅棒滾磨技術(shù)領(lǐng)域,特別是一種磨硅棒快速定位裝置。



背景技術(shù):

目前,萬(wàn)能外圓磨床加工硅棒定位面已是硅加工行業(yè)普遍采用的加工方式,但是現(xiàn)有的外圓磨床加工硅棒定位面時(shí),因未滾磨的原生硅棒表面凹凸不平,在晶向儀上確定硅片定位面位置不夠精確,原生棒先確定定位面位置后再滾磨,直接在設(shè)備上做定位面,硅棒在平移過(guò)程易造成硅棒上下晃動(dòng),做出的參面不規(guī)則變形從而導(dǎo)致報(bào)廢及導(dǎo)致晶向偏離度超出要求范圍;此方法晶向偏離度只能控制在±2度范圍,從而導(dǎo)致硅棒的晶向偏離度的精度不高。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),提供一種高效率、定位面晶向偏離度小、和幾何參數(shù)好的磨硅棒快速定位裝置。

本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種磨硅棒快速定位裝置,它包括工作臺(tái)、基板、固定夾具、V型塊和杯型砂輪,所述的基板安裝在工作臺(tái)的側(cè)面上,所述的V型塊安裝在基板的側(cè)面上,所述的固定夾具安裝在基板的側(cè)面上,所述的固定夾具位于基板的一側(cè),且固定夾具將硅棒固定在V型塊的V形槽內(nèi),所述的杯型砂輪安裝在磨床上,且杯型砂輪的磨削面與硅棒的待加工面接觸。

所述的固定夾具包括壓緊螺桿、壓板和頂桿,所述的壓緊螺桿安裝在基板上,在壓板上開(kāi)設(shè)有與頂桿螺紋配合的螺紋孔和穿過(guò)壓緊螺桿的通孔,所述的壓緊螺桿上螺紋連接有使壓板壓緊硅棒的鎖緊螺母,所述的頂桿螺紋連接在壓板上,且頂桿的底部與基板的側(cè)面接觸。

所述的工作臺(tái)的側(cè)面為鍥形面,在基板上設(shè)置有與工作臺(tái)鍥形面配合的配合面。

所述的V型塊、基板和工作臺(tái)的上表面均在同一水平面上。

本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型的將硅棒經(jīng)外圓滾磨整形后上晶向儀確定定位面位置后再上該工裝磨削定位面,晶向偏離度可控制±30分以內(nèi),和現(xiàn)有技術(shù)相比,晶向偏離度的精度得到大幅的提高,并且該工裝上磨削定位面避免了因硅棒長(zhǎng)度不一而進(jìn)行頻繁調(diào)整硅棒與砂輪間的平行度(錐度)以及避免了頻繁的進(jìn)刀及退刀,和現(xiàn)有技術(shù)相比,且加工效率提高20%以上。

附圖說(shuō)明

圖1 為本實(shí)用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2 為直角T字尺的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖中,1-工作臺(tái),2-基板,3-頂桿,4-壓緊螺桿,5-壓板,6-硅棒,7-杯型砂輪,8-V型塊,9-直角T字尺。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的描述,本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于以下所述:

如圖1所示,一種磨硅棒快速定位裝置,它包括工作臺(tái)1、基板2、固定夾具、V型塊8和杯型砂輪7,所述的基板2安裝在工作臺(tái)1的側(cè)面上,所述的V型塊8安裝在基板2的側(cè)面上,所述的固定夾具安裝在基板2的側(cè)面上,所述的固定夾具位于基板2的一側(cè),且固定夾具將硅棒6固定在V型塊8的V形槽內(nèi),所述的杯型砂輪7安裝在磨床上,且杯型砂輪7的磨削面與硅棒6的待加工面接觸。

在本實(shí)施例中,所述的固定夾具包括壓緊螺桿4、壓板5和頂桿3,所述的壓緊螺桿4安裝在基板2上,在壓板5上開(kāi)設(shè)有與頂桿3螺紋配合的螺紋孔和穿過(guò)壓緊螺桿4的通孔,所述的壓緊螺桿4上螺紋連接有使壓板5壓緊硅棒6的鎖緊螺母,所述的頂桿3螺紋連接在壓板5上,且頂桿3的底部與基板2的側(cè)面接觸,安裝時(shí),先將硅棒6放置在V型塊8內(nèi),然后將壓板5安裝在鎖緊螺桿4上,然后再旋動(dòng)鎖緊螺母使壓板5壓緊硅棒6,壓緊后,再將頂桿3安裝在壓板5上,當(dāng)頂桿3的底部與基板3的側(cè)面接觸后,從而使得壓板5無(wú)法轉(zhuǎn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)壓板5的定位。

在本實(shí)施例中,所述的工作臺(tái)1的側(cè)面為鍥形面,在基板2上設(shè)置有與工作臺(tái)1鍥形面配合的配合面,通過(guò)鍥形面之間的配合,能夠保證工作臺(tái)1的安裝位置,從而保證V型塊8的安裝精度,從而提高了硅棒的磨削精度。

在本實(shí)施例中,所述的V型塊8、基板2和工作臺(tái)1的上表面均在同一水平面上,以保證硅棒6的安裝精度,從而提高硅棒6的磨削精度。

本實(shí)用新型的工作過(guò)程如下:將基板2固定在工作臺(tái)1上,尼龍塑料的V型塊8固定在基板2上;工作臺(tái)1、基板2、V型塊8三者之間必須在同一水平面上,將確定好晶向位置的硅棒6放置在V型塊8上;再將直角T字尺9放置在基板2上并與硅棒6上畫(huà)的定位面線條重合,使參面畫(huà)的線條與杯型砂輪7平面垂直;然后將固定夾具鎖緊硅棒6,避免硅棒6晃動(dòng),開(kāi)動(dòng)設(shè)備,設(shè)定好進(jìn)刀量,杯型砂輪7以5500轉(zhuǎn)/min高速旋轉(zhuǎn),工作臺(tái)1向左勻速平移,達(dá)到完成磨削定位面的目的。

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