本發(fā)明涉及一種用于蒸發(fā)器源的承載器裝置，所述蒸發(fā)器源用于至少一個(gè)基底的表面處理。蒸發(fā)器源尤其被構(gòu)造用于蒸發(fā)金屬、例如銅并被設(shè)計(jì)用于一個(gè)或多個(gè)基底的表面覆層過程。此外，本發(fā)明涉及一種蒸發(fā)器裝置，該蒸發(fā)器裝置具有承載器裝置和布置在該承載器裝置中的蒸發(fā)器源。

背景技術(shù)：

由現(xiàn)有技術(shù)以多種多樣的設(shè)計(jì)方案已知了用于例如在表面覆層或表面處理過程中提供蒸氣態(tài)材料的熱蒸發(fā)源。因此，US2010/0285218 A1例如示出了具有接收多個(gè)坩堝的殼體的蒸發(fā)器，該殼體與具有多個(gè)出流噴嘴的蒸氣分配器處于流體連通。在此情況下，在結(jié)構(gòu)方面，接收坩堝的殼體單元需要例如與沿縱向延伸的蒸氣分配器連接。

在此情況下必須確保：足夠地加熱從坩堝延伸直至各個(gè)出流噴嘴的出流路徑，以便從坩堝出來的蒸氣沒有在坩堝殼體內(nèi)壁或蒸氣分配器殼體內(nèi)壁上冷凝，這可能損害出流行為。對(duì)于蒸發(fā)在正常條件下具有2000℃以上的比較高的沸點(diǎn)的特定金屬、例如銅而言，被證實(shí)難以設(shè)計(jì)這樣一種蒸發(fā)器源，該蒸發(fā)器源在盡可能大的整個(gè)表面提供均勻的空間蒸發(fā)分配。用于蒸發(fā)器源的材料必須是耐高溫的并具有適當(dāng)?shù)膶?dǎo)熱能力。此外必須盡可能避免蒸發(fā)器源結(jié)構(gòu)內(nèi)部的可能的熱橋，并就此而言使蒸發(fā)器源的各個(gè)區(qū)段或區(qū)域之間的連接部位或接口最小化。

因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種熱脫耦裝置，其盡可能有效地且盡可能簡單地在用于表面處理過程的過程室中具有蒸發(fā)器源。此外應(yīng)當(dāng)使蒸發(fā)器源、必要時(shí)還有與該蒸發(fā)器源在流體技術(shù)上連接的蒸氣分配器能夠以盡可能小的設(shè)備耗費(fèi)布置在過程室中以及相對(duì)于機(jī)械應(yīng)力、尤其是沖擊、震動(dòng)或振蕩受保護(hù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

該目的利用根據(jù)權(quán)利要求1的用于蒸發(fā)器源的自承式承載器裝置以及利用根據(jù)權(quán)利要求9的蒸發(fā)器裝置來解決。在此情況下，有利的設(shè)計(jì)方案分別是從屬權(quán)利要求的主題。

在第一方面就此而言設(shè)置了用于蒸發(fā)器源的自承式承載器裝置或承載結(jié)構(gòu)，所述蒸發(fā)器源尤其被構(gòu)造用于至少一個(gè)基底的表面處理。承載器裝置具有底部和與該底部連接的側(cè)壁結(jié)構(gòu)。在此，底部和側(cè)壁結(jié)構(gòu)構(gòu)成一個(gè)接收部，蒸發(fā)器源可以插入到該接收部中或在該接收部中可接收所述蒸發(fā)器源。此外，底部和側(cè)壁結(jié)構(gòu)由石墨纖維材料構(gòu)成。

用于蒸發(fā)器源的承載器裝置或承載結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)蒸發(fā)器源在承載器裝置的底部上的安裝。就此而言，底部提供了用于蒸發(fā)器源的支撐面。由此，蒸發(fā)器源的重力可以完全被底部接收并被傳遞到與該底部連接的側(cè)壁結(jié)構(gòu)中。這點(diǎn)能夠?qū)崿F(xiàn)：提供用于蒸發(fā)器源的懸掛式布置，而不必在蒸發(fā)器源上安置用于懸掛式布置的可能的緊固器具。替代于此地，可以通過將蒸發(fā)器源定位在承載器裝置的接收部中而實(shí)現(xiàn)用于蒸發(fā)器源的懸掛式接收部，在該懸掛式接收部的情況下，可能的緊固器具沒有被布置或安置在蒸發(fā)器源本身上，而是被布置或安置在承載器裝置上、尤其是側(cè)壁結(jié)構(gòu)的上部的、背離底部的區(qū)段上。

此外，承載器裝置可以提供用于蒸發(fā)器源的機(jī)械保護(hù)功能。尤其當(dāng)蒸發(fā)器源例如具有單體的石墨殼體時(shí)，蒸發(fā)器源可以對(duì)沖擊比較敏感。通過在由底部和側(cè)壁結(jié)構(gòu)構(gòu)成的接收部中使用整個(gè)蒸發(fā)器源可以廣泛地保護(hù)蒸發(fā)器源不受外部影響、尤其是機(jī)械應(yīng)力、例如沖擊和震動(dòng)的影響。

由石墨纖維材料制成底部和側(cè)壁結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)方案不僅在承載器裝置的熱負(fù)載能力方面，而且出于重量和穩(wěn)定性原因也是有利的。

按照一改進(jìn)方案，承載器裝置的底部具有通孔，布置在承載器裝置接收部中的蒸發(fā)器源與待設(shè)置在承載器裝置之外的蒸氣分配器之間的流體技術(shù)上的連接部可被貫穿引導(dǎo)穿過該通孔。該通孔尤其中心地布置或布置在底部的中央或居中的區(qū)域中。

通過蒸發(fā)器源與蒸氣分配器之間的穿過通孔貫穿伸出的流體技術(shù)上的連接部，也可以實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)器源和蒸氣分配器的一個(gè)、必要時(shí)甚至是唯一的一個(gè)，機(jī)械連接部。設(shè)置在承載器裝置的底部中的通孔能夠?qū)崿F(xiàn)蒸發(fā)器源與蒸氣分配器之間的不僅流體技術(shù)上的耦接部，而且機(jī)械的、傳遞負(fù)載的耦接部。

在此情況下，通孔沒有鄰接到側(cè)壁結(jié)構(gòu)上，而是完全處于承載器裝置的底部中。因?yàn)椴粌H蒸發(fā)器源，而且蒸氣分配器具有比底部的通孔更大的幾何伸展部，所以在裝配技術(shù)上有利的是，當(dāng)至少一個(gè)蒸發(fā)器源已經(jīng)處于承載器裝置接收部中時(shí)，才構(gòu)成蒸發(fā)器源與蒸氣分配器的機(jī)械的和流體技術(shù)上的連接部。

按照另一設(shè)計(jì)方案，由經(jīng)碳纖維加強(qiáng)的復(fù)合材料來制作自承式承載器裝置的底部和側(cè)壁結(jié)構(gòu)中的至少一個(gè)。這類復(fù)合材料具有單個(gè)的碳纖維或石墨纖維，單個(gè)的碳纖維或石墨纖維通常被埋入到由另外的材料、例如耐溫材料或材料混合物構(gòu)成的基質(zhì)中。

按照另一設(shè)計(jì)方案，有利地設(shè)置由CFC復(fù)合材料、即經(jīng)碳材料加強(qiáng)的碳材料制成底部和側(cè)壁結(jié)構(gòu)中的至少一個(gè)。就此而言，底部和/或側(cè)壁結(jié)構(gòu)的至少一個(gè)區(qū)域可以由CFC復(fù)合材料制成。CFC復(fù)合材料或CFC原料由碳材料纖維或石墨纖維制成，碳材料纖維或石墨纖維被埋入到由純碳材料制成基質(zhì)中。

纖維賦予復(fù)合材料高的機(jī)械穩(wěn)定性，而由碳材料制成的基質(zhì)可以接收從外部起作用的力并將它們在微觀結(jié)構(gòu)中進(jìn)行分配。CFC復(fù)合材料是極度耐溫和耐熱沖擊的。此外，這種復(fù)合材料可以接收機(jī)械負(fù)載，從而使得布置在承載器裝置中的蒸發(fā)器源可以被有效地廣泛保護(hù)而不受外部作用的機(jī)械影響，例如沖擊和震動(dòng)的影響。

待設(shè)置用于自承式承載器裝置的CFC復(fù)合材料和通常由石墨制作的或制成的蒸發(fā)器源是耐高溫的，從而使得利用這類蒸發(fā)器源或相應(yīng)的蒸發(fā)器裝置可以為基底的表面處理產(chǎn)生金屬蒸氣、例如還有銅蒸氣。此外，金屬應(yīng)當(dāng)具有適合用于對(duì)應(yīng)的使用和應(yīng)用目的的導(dǎo)熱能力。

按照另一設(shè)計(jì)方案，底部具有平面矩形底部板的形狀。在此，側(cè)壁結(jié)構(gòu)與底部的側(cè)邊緣連接。通常，側(cè)壁結(jié)構(gòu)具有與底部板的幾何結(jié)構(gòu)相應(yīng)的側(cè)壁板。在底部板為矩形設(shè)計(jì)的情況下，尤其設(shè)置有四個(gè)側(cè)壁板，這些側(cè)壁板可以成對(duì)地、尤其是在裝配位置上相對(duì)置地具有大致類似的或甚至一致的幾何結(jié)構(gòu)。側(cè)壁板也可以具有基本上矩形的幾何形狀。通過側(cè)壁板與底部板的側(cè)邊緣的連接可以構(gòu)成底部板與側(cè)壁結(jié)構(gòu)之間的傳遞負(fù)載的連接，從而使得由布置在接收部中的源傳遞到底部板上的重力可以被導(dǎo)出到側(cè)壁板并由此到側(cè)壁結(jié)構(gòu)上。

此外可以考慮，側(cè)壁板也不僅分別與底部板連接，而且上下疊置地彼此連接。這尤其涉及沿側(cè)壁結(jié)構(gòu)的周向方向彼此貼靠鄰接的側(cè)壁板。

通常，底部板和全部的側(cè)壁板由一種并相同的材料、尤其是CFC復(fù)合材料來制作。

按照另一設(shè)計(jì)方案，在所述底部和在所述側(cè)壁結(jié)構(gòu)上構(gòu)造有彼此對(duì)應(yīng)的并能彼此嵌接的以及彼此間隔開的突起部和貫通部。借助于突起部和貫通部可將底部通過插接連接與側(cè)壁結(jié)構(gòu)連接。此外也可以通過彼此的相應(yīng)插接連接來連接側(cè)壁結(jié)構(gòu)的各個(gè)并彼此貼靠鄰接的側(cè)壁板。

因此，例如底部板具有沿著至少一個(gè)側(cè)邊緣向外、例如垂直于邊緣延伸部伸出的、但處在底部平面延續(xù)部中的突起部。側(cè)壁結(jié)構(gòu)的能與所述側(cè)邊緣連接的側(cè)壁板與突起部的位置和幾何結(jié)構(gòu)相應(yīng)地分別具有單個(gè)的貫通部，突起部可插入到這些貫通部中。

這些突起部也可以完全貫穿側(cè)壁結(jié)構(gòu)的貫通部，從而使得它們在側(cè)壁結(jié)構(gòu)的或?qū)?yīng)的側(cè)壁板的外側(cè)面上前伸。貫通部以突起部的完全貫穿還能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)置一個(gè)或多個(gè)保險(xiǎn)器具。例如，如果突起部具有扣眼或通孔，其在最終裝配位置中與側(cè)壁結(jié)構(gòu)的外側(cè)面抵對(duì)而處，那么例如通常由耐高溫材料、例如石墨或CFC復(fù)合材料制成的各個(gè)緊固銷可以被插入到那些通孔或扣眼中。由此可以阻止突起部穿過貫通部被拉回并可以以這種方式有效地阻止底部從側(cè)壁結(jié)構(gòu)的自動(dòng)脫開。

彼此對(duì)應(yīng)的突起部和貫通部可以任意地設(shè)置或構(gòu)造在側(cè)壁結(jié)構(gòu)的側(cè)壁板和底部的彼此貼靠鄰接的側(cè)邊緣上。尤其可以考慮，例如在矩形設(shè)計(jì)所述底部板的情況下，僅使兩個(gè)沿著底部板縱向側(cè)延伸的側(cè)壁板分別與底部板連接，而端壁側(cè)上的、沿著底部板的短側(cè)邊緣延伸的壁板僅與較長的側(cè)壁板連接。這點(diǎn)可以在裝配技術(shù)方面被證實(shí)為有利。因此，側(cè)壁結(jié)構(gòu)的構(gòu)成端壁的側(cè)壁板例如可以具有向外伸出的突起部，這些突起部可插入到能與底部板連接的較長側(cè)壁板的相應(yīng)貫通部中。

平面底部板和平面?zhèn)缺诎宓哪芙柚谕黄鸩亢拓炌ú繉?shí)現(xiàn)的插接連接能夠?qū)崿F(xiàn)整個(gè)承載器裝置的無工具裝配以及拆卸。構(gòu)成插接連接部的突起部和貫通部分別集成到不僅底部板，而且側(cè)壁板中。為了使底部板和側(cè)壁板相互緊固，不需要單獨(dú)的固定或緊固器具。用于構(gòu)成承載器裝置的構(gòu)件數(shù)目就此而言可以減少，這可以有利地影響到承載器裝置的熱特性。

按照另一設(shè)計(jì)方案，所述側(cè)壁結(jié)構(gòu)具有向外和/或向上從所述側(cè)壁結(jié)構(gòu)伸出的至少兩個(gè)保持區(qū)段，所述至少兩個(gè)保持區(qū)段用于所述承載器裝置的懸掛式布置。這些保持區(qū)段可以通常在一個(gè)或多個(gè)側(cè)壁板的平面中延伸。所述保持區(qū)段也可以設(shè)有通孔，這些通孔可以作為緊固扣眼的形式起作用。在這些保持區(qū)段，尤其是在它們的通孔上例如可以緊固單獨(dú)的保持件，這些保持件例如可以可驅(qū)轉(zhuǎn)地布置在保持區(qū)段上?；蛘撸踔量梢钥紤]將適當(dāng)?shù)娜~片布置在保持區(qū)段上。

保持區(qū)段尤其可以布置在側(cè)壁結(jié)構(gòu)的背離底部板的上側(cè)面上，從而使得整個(gè)自承式承載器裝置連同處于其中的蒸發(fā)器源在過程室、例如覆層裝置的過程室中的懸掛式布置是可行的。

按照另一設(shè)計(jì)方案，側(cè)壁結(jié)構(gòu)具有至少一個(gè)通孔，其用于貫穿引導(dǎo)能從蒸發(fā)器源取下的封閉蓋。蒸發(fā)器源的封閉蓋通常封閉蒸發(fā)器源的如下的輸送開口，即至少一個(gè)蒸發(fā)物容器可以通過該輸送開口從蒸發(fā)器源的蒸氣室中取出并在填充后又被引入。

通過側(cè)壁結(jié)構(gòu)具有用于蒸發(fā)器源的封閉蓋的足夠大的通孔，處在例如蒸發(fā)器源殼體端面中的、在蒸發(fā)器源處在接收部中時(shí)直接面朝所述側(cè)壁結(jié)構(gòu)的封閉蓋也可以在沒有從承載器裝置接收部取出整個(gè)蒸發(fā)器源的情況下訪問。

尤其可以考慮，側(cè)壁結(jié)構(gòu)的多個(gè)側(cè)壁板具有用于分別貫穿引導(dǎo)蒸發(fā)器源的封閉蓋的貫穿開口。如果蒸發(fā)器源例如設(shè)計(jì)成柱體形，從而使得該蒸發(fā)器源以它的柱體殼面很大程度上平放在承載器裝置的底部上，那么輸送開口例如可以設(shè)置在蒸發(fā)器源的相對(duì)置的端面上。因?yàn)槌休d器裝置以它的底部和它的側(cè)壁結(jié)構(gòu)通常適配蒸發(fā)器源的外幾何結(jié)構(gòu)，所以可以通過在承載器裝置的面朝蒸發(fā)器源端壁的側(cè)壁板中設(shè)置通孔來提供訪問蒸發(fā)器源的能取下的封閉蓋的直接方式。

在另一方面，蒸發(fā)器裝置最后設(shè)置有之前所描述的承載器裝置以及蒸氣分配器和蒸發(fā)器源。在此情況下，蒸發(fā)器源布置在承載器裝置的接收部中并此外通過構(gòu)造在承載器裝置底部中的通孔與蒸氣分配器流體連通。通過通孔，蒸氣分配器不僅在流體技術(shù)上、而且在機(jī)械上與蒸發(fā)器源連接。

尤其可以設(shè)置，將蒸氣分配器設(shè)置在承載器裝置的底部之外和下方，其中，蒸氣分配器僅僅穿過底部的通孔與蒸發(fā)器源機(jī)械連接。就此而言，蒸氣分配器的重力可以完全被傳遞到蒸發(fā)器源上并且蒸發(fā)器源可以通過它在承載器裝置底部上的定位將蒸發(fā)器源和蒸氣分配器的共同的重力傳遞到承載器裝置上。

在此情況下特別有利的是，對(duì)于將蒸氣分配器布置在承載器裝置上不需要單獨(dú)的緊固或連接器具。蒸氣分配器僅僅可以通過它的與蒸發(fā)器源的耦接和通過將蒸發(fā)器源接收在承載器裝置中被緊固在承載器裝置上。尤其當(dāng)承載器裝置懸掛式裝配在過程室中時(shí)，蒸氣分配器下方的區(qū)域可以完全無差別地設(shè)計(jì)，從而使得可以以要求的品質(zhì)利用從蒸氣分配器中出來的蒸氣來加載或處理比較大面積的基底。

按照另一設(shè)計(jì)方案，蒸氣分配器通過蒸發(fā)器源的連接接管流體連通。蒸發(fā)器源和蒸氣分配器之間的由連接接管構(gòu)成的流體技術(shù)上的連接部在此穿過底部的通孔延伸。在此情況下可以考慮，僅蒸氣分配器和蒸發(fā)器源的兩個(gè)連接接管中的一個(gè)連接接管貫穿伸過所述底部的通孔。也可以考慮，僅蒸氣分配器或蒸發(fā)器源具有連接接管，該連接接管處在分別另外的組件的與之對(duì)應(yīng)的接收部中。

如果例如蒸發(fā)器源唯一地具有從它的外壁向下伸出的連接接管，那么蒸氣分配器可以具有與之對(duì)應(yīng)的接收部。反過來當(dāng)然也可以考慮，蒸氣分配器具有向上貫穿穿過貫穿開口的連接接管，該連接接管可嵌入在蒸發(fā)器源的與之對(duì)應(yīng)的接收部中并可與之在流體技術(shù)上和機(jī)械上連接。

按照另一設(shè)計(jì)方案，承載器裝置與蒸發(fā)器源之間的中間空間至少局部地以絕熱件填充。通常，承載器裝置與蒸發(fā)器源之間的全部中間空間以絕熱件填充。在此情況下，相應(yīng)的絕熱材料可以適配蒸發(fā)器源的外幾何結(jié)構(gòu)和承載器裝置的接收部的內(nèi)幾何結(jié)構(gòu)，或與之相應(yīng)地裁剪。

設(shè)置絕熱件減少了過程室中的蒸發(fā)器源的熱輻射，該熱輻射原本會(huì)影響對(duì)于一個(gè)基底或?qū)τ诙鄠€(gè)基底的表面處理過程。絕熱件通常設(shè)計(jì)為自硬或自穩(wěn)定。通過將絕熱件布置在承載器裝置與蒸發(fā)器源之間的中間空間中，尤其是通過絕熱件一方面在承載器裝置上并另一方面在蒸發(fā)器源上的至少點(diǎn)式或幾乎全面的貼靠設(shè)計(jì)，可免于將隔離件單獨(dú)固定和裝配在承載器裝置接收部內(nèi)部。

按照另一設(shè)計(jì)方案也可以至少區(qū)段地以絕熱件覆蓋承載器裝置的外側(cè)面。整個(gè)蒸發(fā)器裝置的絕熱件可以由此被進(jìn)一步改善。此外可以由此進(jìn)一步減少過程室內(nèi)部的整個(gè)蒸發(fā)器裝置的熱排放。

按照另一設(shè)計(jì)方案，蒸氣分配器的至少一個(gè)外側(cè)至少區(qū)段地以絕熱件覆蓋。甚至可以設(shè)置，整個(gè)蒸氣分配器完全地設(shè)有絕熱件，也就是說將蒸氣分配器很大程度上完全地埋入到這類絕熱件中。以這種方式也可以減少蒸氣分配器的熱排放。

按照另一設(shè)計(jì)方案，絕熱件具有石墨氈、石墨泡沫、石英氈、一個(gè)或多個(gè)輻射板或由這些材料構(gòu)成的組合。石墨氈、尤其是石墨硬氈或石墨軟氈例如可以用于被覆或用于填充蒸發(fā)器源與承載器裝置之間的中間空間。即使在蒸發(fā)器源與隔離件直接接觸時(shí)，在應(yīng)用了石墨氈、尤其是石墨硬氈的情況下也一如既往地給出了良好的絕熱件。此外，這類石墨氈由于它們的自硬性或自穩(wěn)定性而可以不必強(qiáng)制式地緊固在承載器裝置或蒸發(fā)器源上?？梢允亲銐虻氖?，將相應(yīng)裁剪的隔離氈、氈層或氈墊定位在所述中間空間中。

作為輻射板尤其可以考慮耐高溫的板、例如由鉬、鉭、鎢制成的板。通常，在應(yīng)用輻射板的情況下以三明治結(jié)構(gòu)形式來設(shè)置輻射板布置方案。在此情況下設(shè)置有以預(yù)設(shè)間隔并平行彼此布置的多個(gè)輻射板，在這些輻射板上分別布置另外的隔離材料、例如石墨氈、石墨泡沫或石英氈。由適當(dāng)?shù)牟牧匣蚝辖鹬瞥傻妮椛浒蹇梢苑瓷溆烧舭l(fā)器源和/或蒸氣分配器所發(fā)出的熱輻射。這樣由第一輻射板發(fā)射的熱輻射就可以由輻射板裝置的第二輻射板反射等。通常，設(shè)置輻射板的彼此間隔開的多個(gè)層，它們的中間空間沒有填充材料。這些板層以點(diǎn)式或借助于線形間隔保持件上下疊置地連接。板層的連接有利地是如下這樣的，各個(gè)板層可以不同地在輻射板的對(duì)應(yīng)平面中移動(dòng)，或者說可以熱伸展。因而可能的間隔保持件僅引起沿垂直于板表面的方向的固定。

按照另一設(shè)計(jì)方案，蒸氣分配器至少區(qū)段地至少局部地被具有底部、遮蓋部和側(cè)壁的外殼圍住。所述外殼類似于承載器裝置也可具有單個(gè)的板、例如底部板、側(cè)壁板和遮蓋板，它們可以分別由將碳纖維加強(qiáng)的復(fù)合材料、尤其是由CFC復(fù)合材料來制作。

所述外殼尤其可以設(shè)置為具有這樣一種尺寸，即，在外殼與蒸氣分配器外側(cè)面之間可布置絕熱件。絕熱件尤其可以設(shè)計(jì)為足夠壓力穩(wěn)定，從而使得通過幾乎完全覆蓋外殼與蒸氣分配器之間的中間空間可以將外殼保持在蒸氣分配器上，而為此無需可能的、附加的或單獨(dú)的連接器具或緊固器具。同樣地，外殼可以通過布置在外殼與蒸氣分配器殼體之間的絕熱件被蒸氣分配器所承載。通過外殼也至少區(qū)域地在蒸氣分配器的背離承載器裝置的下側(cè)面上的延伸，也可以將例如布置在蒸氣分配器的向下伸出的出口區(qū)段側(cè)向上的絕熱件可靠地固定和保持在蒸氣分配器上。

蒸氣分配器的通入到出流噴嘴中的出口通道在蒸氣分配器的出口區(qū)段中延伸，該出口區(qū)段通常由輻射板系統(tǒng)屏蔽。輻射板系統(tǒng)、也就是多個(gè)三明治式重疊堆垛的輻射板在此情況下具有多個(gè)通孔，這些通孔上下疊置地，但是也與構(gòu)造在蒸氣分配器上的出流噴嘴對(duì)齊地布置。由此，從出流噴嘴出來的蒸氣噴出不被輻射板系統(tǒng)阻礙。

按照另一設(shè)計(jì)方案，至少所述蒸發(fā)器源或蒸氣分配器具有由石墨制成的單體殼體。在此情況下尤其設(shè)置，不僅蒸發(fā)器源，而且蒸氣分配器分別具有由石墨制成的單體殼體。

通過設(shè)置單體或一件式的石墨體來構(gòu)成蒸發(fā)器源和/或蒸氣分配器，由蒸發(fā)器源和蒸氣分配器構(gòu)成的蒸發(fā)器裝置具有例如用于蒸發(fā)銅的足夠熱穩(wěn)定性以及具有加熱出流路徑所需的導(dǎo)熱能力。

通過設(shè)計(jì)單體殼體可以大大使相應(yīng)殼體中的通過熱伸展造成的機(jī)械應(yīng)力最小化。該殼體是耐高溫的并此外可以具有高的耐熱沖擊性。

在制造技術(shù)上，蒸發(fā)器源的石墨殼體可以由一石墨塊中銑削出。就此而言，殼體的全部中空空間和/或內(nèi)部空間可以通過材料缺口構(gòu)成，從而使得僅殼體的壁結(jié)構(gòu)被保留并與之相應(yīng)地從一單體石墨塊中銑削出。

單體殼體通常由石墨或由石墨化碳材料制成。單體石墨殼體通常具有結(jié)晶石墨結(jié)構(gòu)，其中，碳材料原子例如是sp²雜化的。

附圖說明

本發(fā)明的其它目的、特征以及有利的設(shè)計(jì)方案在實(shí)施例的隨后的附圖中參考圖來闡釋。在此情況下：

圖1在立體圖中示出了能布置在承載器裝置中的蒸發(fā)器源的分解視圖；

圖2示出了蒸發(fā)器源的立體的、部分截?cái)嗟姆蛛x視圖；

圖3示出了能布置在承載器裝置中的蒸發(fā)器源的外視圖，該蒸發(fā)器源帶有取下的封閉蓋；

圖4示出了蒸發(fā)器源的和承載器裝置的另一分解視圖；

圖5示出了從另一立體圖來觀察的根據(jù)圖4的視圖；

圖6示出了從斜下方觀察的蒸氣分配器的立體圖；

圖7示出了蒸發(fā)器源和蒸氣分配器的擰接式連接部的立體視圖；

圖8示出了沿蒸氣分配器縱向方向穿過組合好的蒸發(fā)器裝置的橫截面；

圖9示出了沿橫向方向穿過蒸氣分配器的橫截面；

圖10示出了穿過蒸氣分配器的立體橫截面視圖；

圖11示出了蒸氣分配器的下側(cè)面的放大立體視圖；

圖12示出了穿過蒸發(fā)器源與蒸氣分配器之間的擰接連接部的放大橫截面；以及

圖13示出了蒸發(fā)器源和蒸氣分配器的設(shè)有對(duì)應(yīng)密封面的連接部；以及

圖14示出了穿過蒸發(fā)器源與蒸氣分配器之間的擰接連接部的另一設(shè)計(jì)方案的放大橫截面。

具體實(shí)施方式

在圖1、4和5中示出了具有蒸發(fā)器源10的蒸發(fā)器裝置。圖2中分離地示出的蒸發(fā)器源10具有由石墨制成的單體殼體12。當(dāng)前具有接近柱體形構(gòu)型的殼體12具有第一蒸氣室14和第二蒸氣室114，后者在圖8中僅以橫截面示出。在圖2中示出的蒸氣室14用于接收例如圖1、3、4和5中示出的蒸發(fā)物容器16，該蒸發(fā)物容器通常被設(shè)計(jì)為蒸發(fā)器坩堝。

蒸發(fā)物容器16也可以由石墨單體式制作。蒸發(fā)器源10或它的單體石墨殼體12除了兩個(gè)蒸氣室14、114之外，還具有在這些蒸氣室14、114之間例如中心地布置的、導(dǎo)引蒸氣的通道20。限定了軸向方向的、大致柱體形的通道20大致垂直于布置在通道20兩側(cè)上的蒸氣室14、114之間的假想連接線而延伸。蒸發(fā)器源10的殼體12具有在蒸氣室14、114之間連續(xù)延伸的外壁13，該外壁無縫地過渡到沿軸向向內(nèi)指向的內(nèi)壁15中。

同時(shí)，內(nèi)壁15構(gòu)成通道壁區(qū)段21，通道壁區(qū)段沿周向方向限界了導(dǎo)引蒸氣的通道20。關(guān)于通道20的軸向幾何結(jié)構(gòu)，蒸氣室14通過內(nèi)壁15沿徑向方向與通道20分開。僅在處于上游的上部的延伸至殼體12上側(cè)面的區(qū)域中，蒸氣室14過渡到出口18。換句話說，第一蒸氣室14通過出口18與通道20流體連通，而與其對(duì)稱地，第二蒸氣室114通過相應(yīng)的出口18在通道20的上端部上通入到通道20中。

蒸氣室14、114沿徑向向外、也就是當(dāng)前沿殼體12的縱向方向由能取下的封閉蓋26、126限界。就此而言，殼體12在相對(duì)置的端面?zhèn)?2上分別具有能借助于封閉蓋26封閉的輸送開口24。通過將封閉蓋26從殼體12的開口邊沿29取下，蒸氣室14可直接從外部訪問。處在蒸氣室中的蒸發(fā)物容器16、116可以在打開和去除封閉蓋26、126的情況下從蒸氣室14、114中取出并重新以蒸發(fā)物填充。

圖2中示出的蒸發(fā)器源10的取向大致相應(yīng)于它在使用姿態(tài)中的取向。兩個(gè)蒸氣室14、114大致水平地相對(duì)彼此間隔開，而通道20向下延伸。如圖2中還示出的那樣，通道20過渡到連接接管32中，該連接接管從蒸發(fā)器源10的殼體12的外壁13沿軸向、也就是沿通道縱向方向前伸。關(guān)于殼體12的柱體幾何結(jié)構(gòu)，連接接管32從柱體殼面沿徑向向外前伸。

連接接管32用于蒸發(fā)器源10與縱向延伸的蒸氣分配器50的連接，所述蒸氣分配器以不同視圖和截面圖示于圖6至8中。此外，蒸發(fā)器源10的一體式過渡到連接接管32中的通道壁區(qū)段21設(shè)有至少一個(gè)鉆孔38，該鉆孔貫穿殼體12的至少一個(gè)外側(cè)面。在每個(gè)鉆孔38中可引入至少一個(gè)加熱元件40，例如圖10和11中在蒸氣分配器50上示出的那樣。圖2中未單獨(dú)示出的加熱元件40通常具有石墨或由石墨制成并能夠?yàn)榱水a(chǎn)生電熱損耗而施加以電流，這些加熱元件可以單獨(dú)地加熱殼體12的通道壁區(qū)段21。以這種方式可以有效地避免例如從蒸氣室14通過出口18流入到通道20中的蒸氣在通道內(nèi)壁上冷凝。

封閉蓋26通?？膳c輸送開口24的開口邊沿29擰接。為此目的，在開口邊沿的內(nèi)側(cè)上構(gòu)造螺紋28，尤其是切入螺紋，該螺紋可與封閉蓋26外側(cè)面上的與之對(duì)應(yīng)的螺紋30擰接。整個(gè)封閉蓋26可通過螺紋28、30的螺紋嵌接而密封式地并能取下地安置在輸送開口24上。尤其當(dāng)輸送開口24的螺紋28和封閉蓋26的螺紋30被設(shè)計(jì)為細(xì)螺紋時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)螺紋嵌接的改善的密封作用。

如圖3中簡示的那樣，封閉蓋26可以大致居中地在它的外側(cè)面上具有孔或嵌接圖案27。通過將適當(dāng)?shù)墓ぞ卟迦氲侥莻€(gè)孔或嵌接圖案27中，可以使原本與殼體12的外壁13表面對(duì)齊地進(jìn)行閉合的封閉蓋26相對(duì)于殼體12轉(zhuǎn)動(dòng)和/或與殼體12擰接。

在連接接管32上可以像圖2和圖13中簡示的那樣設(shè)計(jì)一沿軸向的密封面30，該密封面能夠沿軸向密封地與蒸氣分配器50的殼體60的連接接管52的與所述軸向的密封面對(duì)應(yīng)的密封面56貼靠。兩個(gè)連接接管32、52的能夠以基本其全部表面或以對(duì)接的方式彼此接觸貼靠的密封面36、56可以借助于圖13中簡示的螺栓44沿軸向相對(duì)彼此被保持并沿軸向密封地彼此貼靠地被擠壓。

可能地且有利的是，在縱向彼此貼靠鄰接的密封面36、56之間布置通常為柔性石墨膜形式的密封件42。軸向密封面36、56的擰接可以借助于石墨螺栓44實(shí)現(xiàn)，其中，在密封面56中可以設(shè)置螺紋鉆孔46并與之對(duì)應(yīng)地可以在連接接管32的密封面36中構(gòu)造用于貫穿引導(dǎo)石墨螺栓44的螺栓孔45。

或者替換地，也可以就像圖7中和圖12中簡示的那樣設(shè)置：蒸發(fā)器源10和蒸氣分配器50的連接接管32、52具有彼此對(duì)應(yīng)的螺紋34、54。由此可以通過將蒸氣分配器50直接擰接在蒸發(fā)器源10上來實(shí)現(xiàn)蒸氣分配器50與蒸發(fā)器源10之間的連接部。在根據(jù)圖12的實(shí)施例中，蒸氣分配器50的向上伸出的連接接管52具有外螺紋54，該外螺紋可擰入被構(gòu)造在蒸發(fā)器源10的連接接管32上的內(nèi)螺紋34中。

兩個(gè)螺紋34、54尤其可以被設(shè)計(jì)為所謂的細(xì)螺紋，從而使得利用制造蒸氣分配器50和蒸發(fā)器源10的擰接連接已經(jīng)可以提供很大程度上蒸氣密封的連接部或氣體密封且導(dǎo)引蒸氣的連接部。在此情況下還可以考慮，在蒸氣分配器50和蒸發(fā)器源10擰接連接的情況下，彼此對(duì)應(yīng)的密封面36、56也像圖13中所示的那樣沿軸向彼此貼靠。

蒸氣分配器50在當(dāng)前的實(shí)施例中具有由石墨制成的沿縱向延伸的單體分配器殼體60。與蒸發(fā)器源10類似地，蒸氣分配器也從一石墨塊中銑削出。蒸氣分配器就此而言被設(shè)計(jì)成無縫和無接合部位。蒸氣分配器50鄰接它的連接接管52地具有沿縱向延伸的分配器通道58，通過連接接管52或通過通道20輸送的蒸氣通過該分配器通道沿通道縱向方向被分配。

向下與連接接管52背離地，各個(gè)出口開口或與之相應(yīng)的出口通道62從分配器通道58離開，這些出口開口或出口通道在它們的背離分配器通道58的外端部上具有出流噴嘴63或這類的出流噴嘴63。沿蒸氣分配器50的分配器通道58的縱向方向設(shè)置有多個(gè)沿縱向方向彼此間隔開的出口通道62，如可從圖8的橫截面視圖中看出的。蒸氣分配器50沿著限界分配器通道58的通道壁區(qū)段59具有多個(gè)鉆孔64，這些鉆孔平行于分配器通道58延伸并通常貫穿整個(gè)蒸氣分配器50。

在那些也稱為深鉆孔的鉆孔64中，可引入通常由石墨制成的加熱元件，以便將通道壁區(qū)段59和由其構(gòu)成的或鄰接到其上的分配器通道58保持在要求的溫度上。就像尤其在圖9和10中明示的那樣，蒸氣分配器50具有限界出口通道62的出口區(qū)段65。在出口區(qū)段65中也在出口通道62的兩側(cè)上設(shè)置有多個(gè)鉆孔64，以便也將出口通道62保持在要求的溫度上。

尤其如圖9中示出的那樣，布置在出口區(qū)段64中的多個(gè)鉆孔64的間距比對(duì)置的通道壁區(qū)段59中的更小。以這種方式可以在各個(gè)鉆孔64被均勻配備和通流時(shí)以加熱元件40，尤其在出口通道62的區(qū)域中甚至達(dá)到比分配器通道58本身的區(qū)域中更高的溫度。在加熱元件40以電流不均勻加載時(shí)也可以單獨(dú)地將出流噴嘴63和出口通道62加熱和烘熱，應(yīng)當(dāng)使一次性冷凝的材料處在出口通道62或出流噴嘴63中。

尤其在圖10中還示出了分配器殼體60上的側(cè)向地并能從外部訪問的狹縫166。該狹縫166貫穿設(shè)置用于接收加熱元件40的鉆孔64，從而使得圖10中示意性示出的保持件160可從外部引入到狹縫166中。按照方形或矩形薄片形式設(shè)計(jì)的保持件160具有通孔164，該通孔在達(dá)到圖9中僅示意性簡示的引入位置時(shí)大致居中地處于鉆孔64內(nèi)部。保持件160的通孔164具有比鉆孔64更小的內(nèi)直徑。

通孔164的內(nèi)直徑正好適配對(duì)應(yīng)的加熱元件40的幾何結(jié)構(gòu)。例如矩形設(shè)計(jì)或設(shè)計(jì)有方形橫截面的加熱元件40例如可被引入到圓形設(shè)計(jì)的通孔164中。狹縫166的寬度將尺寸設(shè)置為使得保持件160能夠正好并沿軸向盡可能無游隙地從外部引入到狹縫166中。尤其在分配器殼體60上設(shè)置多個(gè)沿鉆孔64的縱向方向彼此間隔開的狹縫166。在這些狹縫166中的每個(gè)或至少一些狹縫設(shè)有相應(yīng)的保持件160之后，加熱元件40可以沿縱向方向被引入到鉆孔64中并在此貫穿多個(gè)前后相繼的保持件160的相對(duì)彼此對(duì)齊的貫通鉆孔164。

按照大致僅一毫米或幾毫米厚度的薄片162形式設(shè)計(jì)的保持件通常由電絕緣的陶瓷原料來制作，從而使得通常由石墨制作的并構(gòu)成加熱棒的加熱元件40能夠相對(duì)于分配器殼體60電絕緣地布置在相應(yīng)的鉆孔64中。通常，保持件160由熱解氮化硼來制作。狹縫166和所屬的保持件160的尺寸設(shè)定為使得完全引入至狹縫166中的保持件160經(jīng)由外側(cè)面165至少略微從分配器殼體60的外側(cè)面前伸。

這不僅可以使對(duì)應(yīng)的保持件160相對(duì)簡單地夾握，而且可以使其在需要時(shí)從狹縫166中拉出。由此還可以構(gòu)成間隔保持件，借助于該間隔保持件可以以相對(duì)于分配器殼體60外側(cè)面的預(yù)設(shè)間隔來保持可能的、至少區(qū)域地圍住或包覆分配器殼體60的輻射板124。就此而言，保持件160的外側(cè)面165的這類前伸尤其被設(shè)置用于如下這樣的保持件，即這些保持件的引入狹縫在最終裝配配置中被輻射板124遮蓋或屏蔽。就此而言，這種以它的外側(cè)面165從分配器殼體60前伸的保持件160尤其設(shè)置在蒸氣分配器50的向下伸出的出口通道62的區(qū)域中或與之鄰接。

為了在過程室(當(dāng)前未示出)中機(jī)械地保護(hù)、但尤其是也為了定位和取向所述蒸發(fā)器裝置1，還設(shè)置有在圖4中以分解視圖示出的、用于蒸發(fā)器源10的自承式承載器裝置80。承載器裝置80具有底部82和與該底部82連接的側(cè)壁結(jié)構(gòu)84。側(cè)壁結(jié)構(gòu)84和底部82構(gòu)成了能從上方訪問的接收部85，蒸發(fā)器源10可從上方插入到該接收部中。

底部82和側(cè)壁結(jié)構(gòu)84由石墨纖維材料構(gòu)成。底部82和側(cè)壁結(jié)構(gòu)84尤其可以由經(jīng)碳纖維加強(qiáng)的復(fù)合材料來制作。尤其地可以由CFC復(fù)合材料、也就是經(jīng)碳纖維加強(qiáng)的碳材料來制作底部82和側(cè)壁結(jié)構(gòu)84。在此情況下，在由純碳材料制成的基質(zhì)中埋入碳材料纖維或石墨纖維。CFC復(fù)合材料具有非常高的耐溫性并極其耐熱沖擊。

雖然承載器裝置80中可插入的、由石墨制成的蒸發(fā)器源對(duì)沖擊比較敏感，但承載器裝置80的復(fù)合材料可以抑制作用在承載器裝置80上的任何機(jī)械負(fù)載，并因而提供用于蒸發(fā)器源10的機(jī)械保護(hù)以及碰撞保護(hù)。承載器裝置80被構(gòu)造用于承載蒸發(fā)器源10的重量和能與該蒸發(fā)器源連接的蒸氣分配器50的重量，該承載器裝置根據(jù)圖4的視圖具有帶有側(cè)邊緣82a、82b、82c、82d的基本上平面的矩形底部板。以鄰接到底部板82的側(cè)邊緣上的方式，布置有側(cè)壁板84a、84b、84c、84d。側(cè)壁板84a、84b、84c、84d也具有基本上平面的且矩形的基礎(chǔ)幾何結(jié)構(gòu)。當(dāng)前，側(cè)壁結(jié)構(gòu)84由所提到的四個(gè)側(cè)壁板84a、84b、84c、84d構(gòu)成。就此而言，側(cè)壁結(jié)構(gòu)84和底部82構(gòu)成了基本上立方體和矩形的箱子，蒸發(fā)器源10可以定位在該箱子中。

承載器裝置80的底部82具有通孔86，蒸發(fā)器源10與蒸氣分配器之間的流體技術(shù)上的連接部被貫穿引導(dǎo)穿過該通孔。流體技術(shù)上的連接部68例如在圖12和13中示出。該連接部還由根據(jù)圖8的橫截面視圖呈現(xiàn)。蒸氣分配器50的連接接管52從下方穿過底部側(cè)通孔86向上伸出，而從蒸發(fā)器源10的殼體12向下伸出的連接接管32從上方貫穿所述通孔86。

因?yàn)檎舭l(fā)器源10和蒸氣分配器50通過兩個(gè)彼此嵌接的連接接管32、52彼此機(jī)械地以及導(dǎo)引蒸氣地彼此連接，所以通過將蒸氣分配器50附加到已經(jīng)處于承載器裝置80中的蒸發(fā)器源10上，蒸氣分配器50還可以將它的重量通過蒸發(fā)器源10傳遞到自承式承載器裝置80的底部82上。

承載器裝置80的側(cè)壁結(jié)構(gòu)84與底部82的互相連接和接合可以以很多的方式來進(jìn)行。在當(dāng)前實(shí)施例中示例性設(shè)置：從側(cè)邊緣82a和82c分別向外伸出處于底部平面中的突起部83。這些突起部83可被貫穿引導(dǎo)穿過鄰接的側(cè)壁板84a、84c的與之對(duì)應(yīng)的貫通部87。就此而言，彼此對(duì)應(yīng)的突起部83和貫通部87可實(shí)現(xiàn)底部82與側(cè)壁結(jié)構(gòu)84的插接連接。以該方式也可以例如將端面?zhèn)仍O(shè)置的側(cè)壁板84b、84d與沿縱向延伸的側(cè)壁板84a、84c連接，因此被插到一起。

底部82或底部板和側(cè)壁板84a、84c的插接連接因?yàn)槠淇梢栽跊]有連接工具或單獨(dú)的連接器具的幫助下進(jìn)行而是有利的。就此而言，由此可以實(shí)現(xiàn)基于石墨基礎(chǔ)的純插接連接，該純插接連接在自承式承載器裝置80的熱負(fù)載性方面被證實(shí)為有利。

如還在圖4和5中示出的那樣，側(cè)壁結(jié)構(gòu)84的兩個(gè)沿縱向延伸的側(cè)壁板84a、84c分別具有向外和向上伸出的保持區(qū)段88，它們各具有一個(gè)通孔89。扣眼式設(shè)計(jì)的通孔89可實(shí)現(xiàn)整個(gè)蒸發(fā)器裝置在過程室、例如覆層設(shè)備過程室中的懸掛式并由此很大程度上熱脫耦的布置。例如圖3中示出的那樣可以在那些通孔89上布置能驅(qū)轉(zhuǎn)的保護(hù)件94，借助于這些保持件可將承載器裝置80連同接收在其中的蒸發(fā)器源10和與該蒸發(fā)器源連接的蒸氣分配器50自由地懸掛式布置在過程室中。

側(cè)壁結(jié)構(gòu)84的端面?zhèn)葌?cè)壁板84b、84d各具有一個(gè)通孔90，該通孔分別適配蒸發(fā)器源10的封閉蓋26、126的大小。側(cè)壁結(jié)構(gòu)84的通孔90可實(shí)現(xiàn)打開蒸發(fā)器源10的輸送開口24，而不必將整個(gè)蒸發(fā)器源10從承載器裝置80的接收部85中取出或抬起。

承載器裝置80與接收在其中的蒸發(fā)器源10之間的中間空間尤其設(shè)有絕熱件100。尤其考慮將基于石墨基礎(chǔ)的墊子、例如石墨氈102作為絕熱材料。相應(yīng)的石墨氈墊子102具有相應(yīng)于通孔86、90的留空部。替換地或補(bǔ)充地并例如在圖5中示出地，可以在承載器裝置80和蒸發(fā)器源10之間也布置多個(gè)輻射板124。借助于由反射熱輻射的適當(dāng)材料制成的、尤其也可以以三明治結(jié)構(gòu)形式構(gòu)造有處于其間的絕熱材料的輻射板可以向外減少蒸發(fā)器源10的熱輻射。

還像圖4、5和8中示出的那樣，連續(xù)的加熱件48在整個(gè)蒸發(fā)器源10上方延伸，該連續(xù)的加熱件通常具有多個(gè)基于石墨的加熱元件。圖8中還示出了設(shè)置用于以電流加載該加熱件48的電流銷49。

此外，整個(gè)承載器裝置80也可以設(shè)有外絕熱件130。為此尤其也設(shè)置有由石墨氈132制成的絕緣墊子。這些絕緣墊子通常可以幾乎覆蓋至少側(cè)壁結(jié)構(gòu)84的整個(gè)外側(cè)面92并僅例如在端面?zhèn)壬系膫?cè)壁板84b、84d的區(qū)域中具有與側(cè)壁結(jié)構(gòu)80的通孔90對(duì)應(yīng)的缺口或與之相應(yīng)的截?cái)嗖?34。在運(yùn)行中，外絕熱件130的這類截?cái)嗖?34例如可以以圖3和圖4中所示的能取下的隔離塊136正好封閉。

絕熱件100還可以具有框架式被截?cái)嗟氖珰?02，該石墨氈能夠平放到側(cè)壁結(jié)構(gòu)84的上側(cè)面或上棱邊上。框架式石墨氈102的截?cái)嗖?04能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)加熱件48的良好的可訪問性。截?cái)嗖?04在蒸發(fā)器源10的運(yùn)行中可以用圖4中所示的蓋裁剪部106正好封閉。

隔離材料尤其使用石墨氈、例如石墨軟氈和石墨硬氈。此外可以考慮，替代或補(bǔ)充于石墨氈地，也可以使用石英氈或使用類似絕熱材料。針對(duì)絕熱件還可以考慮發(fā)泡石墨或石墨泡沫。針對(duì)輻射板尤其設(shè)置鉬板、鉭板或鎢板。

尤其設(shè)置：不僅蒸發(fā)器源10，而且蒸氣分配器50布置在外殼140中。用于蒸氣分配器50的、在圖9中在橫截面上示出的外殼140具有開縫的底部142和與該底部連接的側(cè)壁144。側(cè)壁144的背離底部142的上端部還至少區(qū)段地與覆蓋件146彼此連接。類似于承載器裝置80的底部82和側(cè)壁結(jié)構(gòu)84，底部142、側(cè)壁144和遮蓋件146也由經(jīng)碳纖維強(qiáng)化的復(fù)合材料、尤其是由CFC復(fù)合材料來制作。

至少區(qū)域地圍住蒸氣分配器50的外殼150與蒸氣分配器50之間的在中間空間設(shè)有絕熱件150，尤其是實(shí)質(zhì)地填充有絕熱件120。在這里尤其也可以使用如圖9中所示的石墨氈122。尤其如圖9中示出的那樣，外殼140的底部142具有中央的、沿底部142的縱向方向延伸的狹縫143。蒸氣分配器50的向下伸出的出口區(qū)段65處在該狹縫中。

在此情況下，出口區(qū)段65的在運(yùn)行中特別熱的區(qū)域設(shè)有大致U形繞出口區(qū)段65彎曲的輻射板124，這些輻射板可以通常以三明治結(jié)構(gòu)連同處于其間的絕熱材料要么單獨(dú)地緊固在鄰接的絕熱件120上，要么也可以直接、例如借助于夾子或螺栓緊固在分配器殼體60上。就像根據(jù)圖11的視圖中示出的那樣，輻射板124在出流噴嘴63的區(qū)域中具有向下擴(kuò)寬的通孔138，該通孔可以影響從蒸氣分配器50出來的蒸氣出流行為。

因?yàn)榉峙淦鳉んw60幾乎完全被絕熱件120圍住并與絕熱件20一起被布置在外殼140內(nèi)部，所以不必要將外殼140單獨(dú)裝配和緊固在蒸氣分配器50上。因?yàn)檎魵夥峙淦?0以它的連接接管52直接緊固在蒸發(fā)器源10上，所以外殼140的重量和處于外殼140與蒸氣分配器50之間的絕熱件120的重量可以通過底部142、側(cè)壁144和最后外殼140的遮蓋部146被承載并因此被支撐在蒸氣分配器50的面朝蒸發(fā)器10的上側(cè)面上。

最后還要說明的是，結(jié)合輻射板124可以以寬范圍變化的方式配置絕熱件130、100、120的布置方案。尤其可以考慮，將各個(gè)輻射板124布置在側(cè)壁結(jié)構(gòu)84與蒸發(fā)器源10之間。同樣可以考慮，所述中間空間僅僅設(shè)有絕熱件130并且可能地將輻射板布置在承載器裝置80的外側(cè)面92上、布置在其外部、必要時(shí)結(jié)合另外的或補(bǔ)充的絕熱件130進(jìn)行布置。

在圖14中最后示出了蒸發(fā)器源10的殼體12與蒸氣分配器殼體60之間的替換的連接部。在此情況下，蒸氣分配器50的殼體12的向下伸出的連接接管32具有向內(nèi)伸出的緊固區(qū)段33，其具有兩個(gè)沿軸向相對(duì)置的密封面33a、33b。在此情況下，緊固區(qū)段33可以被設(shè)計(jì)為沿徑向向內(nèi)伸入到通道20中的凸緣或環(huán)式的突起部，其具有上部的密封面33a并相對(duì)置地、也就是面朝蒸氣分配器50地具有下部的密封面33b。

蒸氣分配器50的或者說分配器殼體60的向上伸出的連接接管52就像已經(jīng)參考根據(jù)圖13的設(shè)計(jì)方案所描述的那樣具有密封面56，連接接管52能夠借助于該密封面密封式地貼靠在緊固區(qū)段33上。分配器殼體60的連接接管52在此情況下可以沿軸向向上被引入到蒸發(fā)器源10的殼體12的連接接管32中。在連接接管52的內(nèi)壁部或內(nèi)側(cè)面上還構(gòu)造有螺紋53，該螺紋能夠與連接螺栓150嵌接。

連接螺栓能夠從上方，因此例如通過蒸發(fā)器源10的殼體12的當(dāng)前未明示的修正開口被引入到通道20中。連接螺栓150具有沿徑向加寬的頭部152，在該頭部的下側(cè)面上構(gòu)造有密封面153，該密封面在圖14中所示的裝配位置中沿軸向密封式地處在緊固區(qū)段33的上部的密封面33a上。連接螺栓150的鄰接到頭部152上的并沿軸向向下伸出的柄154設(shè)有外螺紋156，該外螺紋能夠與連接接管52的內(nèi)螺紋53嵌接。

通過拉緊連接螺栓150，可以將沿徑向向內(nèi)伸出的緊固區(qū)段33沿軸向夾緊在連接接管52的處于端面?zhèn)壬系拿芊饷?6與螺栓150的頭部152的密封面153之間。在這些彼此貼靠的密封面153、33a、33b、56之間，在需要的情況下也可以布置例如形式為石墨膜的單獨(dú)密封元件。

連接螺栓150還具有沿軸向方向延伸的貫通鉆孔158。連接螺栓150由此能夠沿軸向方向使蒸氣通流。該連接螺栓就此而言可以提供蒸發(fā)器源10和蒸氣分配器50的連接接管32、52之間的流體連通部和導(dǎo)引蒸氣的結(jié)構(gòu)。為了驅(qū)動(dòng)，也即為了擰緊連接螺栓150，頭部152可以要么具有沿徑向外置的扳手面151，要么在上部的端面的區(qū)域中具有另外的扳手或擰接面，例如用于接收擰接工具的內(nèi)六角或內(nèi)梅花。

附圖標(biāo)記列表

1 蒸發(fā)器裝置

10 蒸發(fā)器源

12 殼體

13 外壁

14 蒸氣室

15 內(nèi)壁

16 蒸發(fā)物容器

18 出口

20 通道

21 通道壁區(qū)段

22 端側(cè)面

24 輸送開口

26 封閉蓋

27 嵌接圖案

28 螺紋

29 開口邊沿

30 螺紋

32 連接接管

33 緊固區(qū)段

33a 密封面

33b 密封面

34 螺紋

36 密封面

38 鉆孔

40 加熱元件

42 密封件

44 螺栓

45 螺栓孔

46 螺紋鉆孔

48 加熱件

49 電流銷

50 蒸氣分配器

52 連接接管

53 螺紋

54 螺紋

56 密封面

58 分配器通道

59 通道壁區(qū)段

60 分配器殼體

62 出口通道

63 出流噴嘴

64 鉆孔

65 出口區(qū)段

66 外側(cè)面

68 流體技術(shù)上的連接部

80 承載器裝置

82 底部

82A、82b、82c、82d 側(cè)邊緣

83 突起部

84 側(cè)壁結(jié)構(gòu)

84A、84b、84c、84d 側(cè)壁板

85 接收部

86 通孔

87 貫通部

88 保持區(qū)段

89 通孔

90 通孔

92 外側(cè)面

94 保持件

100 絕熱件

102 石墨氈

104 截?cái)嗖?/p>

106 蓋裁剪部

114 蒸氣室

116 蒸發(fā)物容器

118 出口

120 絕熱件

122 石墨氈

124 輻射板

126 封閉蓋

130 絕熱件

132 石墨氈

134 截?cái)嗖?/p>

136 隔離塊

138 開口

140 外殼

142 底部

143 狹縫

144 側(cè)壁

146 蓋

150 連接螺栓

151 扳手面

152 頭部

153 密封面

154 柄

156 螺紋

158 貫通鉆孔

160 保持件

162 薄片

164 通孔

165 外側(cè)面

166 狹縫