一種等離子鍍膜用低壓大電流弧光放電電源裝置制造方法
【專利摘要】一種等離子鍍膜用低壓大電流弧光放電電源裝置，該裝置包括輸入磁力開關(guān)，所述輸入磁力開關(guān)分別與過壓保護(hù)電路、過流跳閘電路和上電緩沖電路相連接，上電緩沖電路與功率脈沖發(fā)生電路連接，功率脈沖發(fā)生電路輸出端連接等離子鍍膜負(fù)載。該電源裝置解決上電時(shí)大容量濾波電容的大充電電流沖擊問題，實(shí)現(xiàn)上電慢啟動(dòng)，還解決了電源因浪涌突變電壓過高和三相整流器后的元器件失常電流過大的現(xiàn)象，從而使得電源及元器件得到有效保護(hù)，提高了電源裝置的穩(wěn)定性及使用壽命。
【專利說明】-種等離子鍍膜用低壓大電流弧光放電電源裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于電源領(lǐng)域，特別涉及一種等離子鍍膜用放電電源裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 電弧鍍膜、電弧離子鍍的原理是基于冷陰極自持真空弧光放電理論。在電弧源離 子鍍中，以鍍膜材料作為靶極（陰極），借助引孤裝置，使靶表面產(chǎn)生弧光放電，采用低電 壓、大電流、電弧放電技術(shù)，利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分電離，并在氣體離子或被蒸發(fā) 物質(zhì)離子轟擊下，將被蒸發(fā)物質(zhì)或其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在基片上。它是一種自蒸發(fā)自離化式 固體蒸發(fā)源。這種蒸發(fā)源可蒸鍍金屬材料、合金材料，也可進(jìn)行反應(yīng)離子鍍，如TiN、TiC、 (TiAl)N、ZrN、等超硬膜，Al、Ag、Cu高低溫耐蝕膜、不銹鋼、黃銅、鎳鉻、（TiAl)N、Ti、Cr等 裝飾保護(hù)膜等。
[0003] 在電弧鍍膜、空心陰極鍍膜、磁控濺射、離子束鍍膜等這許多方法中，電弧鍍膜被 認(rèn)為最具有市場價(jià)值。他運(yùn)用了等離子體真空鍍膜原理，將電弧鍍技術(shù)與磁控離子鍍技術(shù) 融合一體，實(shí)現(xiàn)多功能鍍膜的目的。
[0004] 在等離子涂膜設(shè)備中采用的低壓大電流電源必須要確保高穩(wěn)定高可靠性，然而現(xiàn) 有的等離子涂膜設(shè)備中采用的電源經(jīng)常出現(xiàn)上電造成昂貴的IGBT擊穿，或者是供電電柜 跳閘，或三相整流器擊穿等故障，故障頻繁，其原因是：
[0005] 1、三相整流的濾波電容數(shù)千uF，上電的充電電流上KA，瞬間沖擊電流大；
[0006] 2、電源電壓過高時(shí)得不到保護(hù)；
[0007] 3、三相整流器后的元器件失常造成電流過大得不到保護(hù)。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0008] 本實(shí)用新型的目的是提供一種等離子鍍膜用低壓大電流弧光放電電源裝置，以解 決上電時(shí)大容量濾波電容的大充電電流沖擊問題，實(shí)現(xiàn)上電慢啟動(dòng)，還解決了電源因浪涌 突變電壓過高和三相整流器后的元器件失常電流過大的現(xiàn)象，從而使得電源及元器件得到 有效保護(hù)，提高了電源裝置的穩(wěn)定性及使用壽命。
[0009] 本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是：一種等離子鍍膜用低壓大電流 弧光放電電源裝置，其特征在于：包括輸入磁力開關(guān)，所述輸入磁力開關(guān)分別與過壓保護(hù)電 路、過流跳閘電路和上電緩沖電路相連接，上電緩沖電路與功率脈沖發(fā)生電路連接,功率脈 沖發(fā)生電路輸出端連接等離子鍍膜負(fù)載。
[0010] 所述過壓保護(hù)電路由至少一個(gè)穩(wěn)壓二極管由到"+"順序連接，再與繼電器 JV-N線圈串聯(lián)，串聯(lián)后穩(wěn)壓二極管的接三相整流器的" + "輸出，繼電器接NDG。
[0011] 所述穩(wěn)壓二極管為2-10個(gè)。
[0012] 所述過流跳閘電路由直流電流互感器的信號(hào)輸出端連接放大器，放大器的直流 輸出經(jīng)二極管和繼電器線圈接地。
[0013] 所述上電緩沖電路由市電經(jīng)三相整流后連接限流電阻，限流電阻與繼電器常開觸 點(diǎn)并聯(lián)，再串聯(lián)連接兩個(gè)濾波電容器，繼電器線圈Jl-Ν的電源來自輔助電源E3的VCC，輔 助電源E3的輸入回路串聯(lián)了供電接觸器CJ的輔助常開觸點(diǎn)CJ-F1，PWM的VCC由輔助電源 E3經(jīng)繼電器J1的常開觸點(diǎn)J1-2而得。
[0014] 本實(shí)用新型提供的一種等離子鍍膜用低壓大電流弧光放電電源裝置，該發(fā)明的有 益效果為：
[0015] 1、上電過程中由限流電阻限制對(duì)濾波電容的充電電流，在所述的濾波電容緩慢充 電至>80%時(shí)垮接于所述的限流電阻上的繼電器常開觸點(diǎn)吸合，實(shí)現(xiàn)上電慢啟動(dòng)，避免了 上電時(shí)大容量濾波電容的大充電電流沖擊；
[0016] 2、采用串聯(lián)的穩(wěn)壓二極管并聯(lián)于三相整流的輸出端，超過電壓繼電器動(dòng)作跳開上 電接觸器，避免電壓過大；
[0017] 3、三相整流輸出電流回路中串聯(lián)直流電流互感器，超過電流即時(shí)跳開所述的上電 接觸器，避免元器件失常造成電流過大。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018] 下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
[0019] 圖1是一種等離子鍍膜用低壓大電流弧光放電電源裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020] 圖2是一種等離子鍍膜用低壓大電流弧光放電電源裝置電路原理圖。
[0021] 圖中：1、輸入磁力開關(guān)，2、過壓保護(hù)電路，3、過流跳閘電路，4、上電緩沖電路，5、功 率脈沖發(fā)生電路，6、等離子鍍膜負(fù)載。

【具體實(shí)施方式】
[0022] 以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于以下實(shí)施例。
[0023] 實(shí)施例
[0024] 如圖1所示一種等離子鍍膜用低壓大電流弧光放電電源裝置，包括輸入磁力開關(guān) 1，輸入磁力開關(guān)1分別與過壓保護(hù)電路2、過流跳閘電路3和上電緩沖電路4相連接，上電 緩沖電路4與功率脈沖發(fā)生電路5連接，功率脈沖發(fā)生電路輸出端連接等離子鍍膜負(fù)載6。
[0025] 如圖2中所示的一種等離子鍍膜用低壓大電流弧光放電電源裝置電路圖，包括AC 三相電源、三相整流濾波電路、DC/DC轉(zhuǎn)換電路、半橋拓?fù)潆娐?、脈沖單極性整流、電流采樣、 電壓采樣電路、互差比較器。
[0026] 過壓保護(hù)電路2由4個(gè)穩(wěn)壓二極管由到" + "順序連接，再與繼電器JV-N線圈 串聯(lián)，串聯(lián)后穩(wěn)壓二極管的接三相整流器的" + "輸出，繼電器接NDG。
[0027] 過流跳閘電路3由直流電流互感器的信號(hào)輸出端連接放大器，放大器的直流輸出 經(jīng)二極管和繼電器線圈接地。
[0028] 上電緩沖電路4由市電經(jīng)三相整流后連接限流電阻，限流電阻與繼電器常開觸點(diǎn) 并聯(lián)，再串聯(lián)連接兩個(gè)濾波電容器，繼電器線圈Jl-Ν的電源來自輔助電源E3的VCC，輔助 電源E3的輸入回路串聯(lián)了供電接觸器CJ的輔助常開觸點(diǎn)CJ-F1，PWM的VCC由輔助電源E3 經(jīng)繼電器J1的常開觸點(diǎn)J1-2而得。
[0029] 該電源裝置上電時(shí)沒有大電流沖擊、電源輸入浪涌電壓過高和三相整流器后的元 器件失常造成電流過大可得到即時(shí)保護(hù)。
【權(quán)利要求】
1. 一種等離子鍍膜用低壓大電流弧光放電電源裝置，其特征在于：包括輸入磁力開關(guān) (1)，所述輸入磁力開關(guān)（1)分別與過壓保護(hù)電路（2)、過流跳閘電路（3)和上電緩沖電路 ⑷相連接，上電緩沖電路⑷與功率脈沖發(fā)生電路（5)連接，功率脈沖發(fā)生電路輸出端連 接等離子鍍膜負(fù)載（6)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子鍍膜用低壓大電流弧光放電電源裝置，其特征在 于：所述過壓保護(hù)電路（2)由至少一個(gè)穩(wěn)壓二極管由到"+"順序連接，再與繼電器JV-N 線圈串聯(lián)，串聯(lián)后穩(wěn)壓二極管的接三相整流器的" + "輸出，繼電器接NDG。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種等離子鍍膜用低壓大電流弧光放電電源裝置，其特征在 于：所述穩(wěn)壓二極管為2-10個(gè)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子鍍膜用低壓大電流弧光放電電源裝置，其特征在 于：所述過流跳閘電路（3)由直流電流互感器的信號(hào)輸出端連接放大器，放大器的直流輸 出經(jīng)二極管和繼電器線圈接地。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子鍍膜用低壓大電流弧光放電電源裝置，其特征在 于：所述上電緩沖電路（4)由市電經(jīng)三相整流后連接限流電阻，限流電阻與繼電器常開觸 點(diǎn)并聯(lián)，再串聯(lián)連接兩個(gè)濾波電容器，繼電器線圈Jl-Ν的電源來自輔助電源E3的VCC，輔 助電源E3的輸入回路串聯(lián)了供電接觸器CJ的輔助常開觸點(diǎn)CJ-F1，PWM的VCC由輔助電源 E3經(jīng)繼電器J1的常開觸點(diǎn)J1-2而得。
【文檔編號(hào)】C23C14/32GK203890430SQ201420280896
【公開日】2014年10月22日 申請(qǐng)日期:2014年5月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月28日
【發(fā)明者】林國強(qiáng), 錢立平, 韓治昀, 魏科科 申請(qǐng)人:大連理工常州研究院有限公司