專利名稱：真空設(shè)備的輸送裝置及其轉(zhuǎn)動單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種輸送裝置，特別是涉及一種安裝在真空設(shè)備中用于載送基板的真空設(shè)備的輸送裝置及其轉(zhuǎn)動單元。
背景技術(shù)：
在濺鍍制程中，需將一片基板載送至一個真空設(shè)備中，進(jìn)行如加熱、鍍膜、加熱改質(zhì)等各項(xiàng)加工處理，而后再將該基板送出該真空設(shè)備，以進(jìn)行后續(xù)制程。有關(guān)該基板進(jìn)出該真空設(shè)備的輸送技術(shù)，大都是利用兩個左右對稱且分別具有數(shù)個滾輪的輸送裝置，可滾動地接觸該基板的左右兩側(cè)，借以將該基板輸入或輸出。然而，由于該真空設(shè)備的輸送裝置是固定安裝在一個真空腔體的左右兩側(cè)，所以兩側(cè)滾輪間的距離固定不變，只能用來載送尺寸對應(yīng)的基板，如果基板尺寸較小或過大時， 則須另外換裝尺寸對應(yīng)的輸送裝置，所以各輸送裝置的適用范圍小，不但必須備置較多尺寸的輸送裝置，造成設(shè)備成本居高不下的問題，且其使用上也相當(dāng)不便。此外，為了因應(yīng)其他加工作業(yè)的需求，有時該基板必須暫時離開輸送裝置，并被其他載具移送至其他位置進(jìn)行其他制程，此時無法相對移動避開的輸送裝置，就會對該基板的移送造成不便，如此一來勢必會影響到整個濺鍍制程的效率。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種能調(diào)整移位以供輸送不同尺寸基板的真空設(shè)備的輸送裝置及其轉(zhuǎn)動單元。本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種可相對于基板移位以有助于基板轉(zhuǎn)換制程， 從而能增進(jìn)作業(yè)上的自由度與適用性的真空設(shè)備的輸送裝置及其轉(zhuǎn)動單元。本實(shí)用新型真空設(shè)備的輸送裝置，該真空設(shè)備包含一個界定出一個作業(yè)空間的真空腔體，該真空腔體具有兩個位于該作業(yè)空間的兩相對側(cè)的側(cè)壁，而輸送裝置是兩個相對地安裝在所述側(cè)壁，且用于輸送一片基板沿著側(cè)壁的長向進(jìn)出該作業(yè)空間，該基板具有兩個相反且分別鄰近于所述側(cè)壁的側(cè)邊，而該輸送裝置包含一個轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，該轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)包括數(shù)個彼此間隔地安裝在該側(cè)壁的轉(zhuǎn)動單元，每一轉(zhuǎn)動單元都具有一個固定安裝于該側(cè)壁的殼座、一個安裝在該殼座中且可被驅(qū)動而繞著一條垂直于該側(cè)邊的軸線轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)軸，及一個被該轉(zhuǎn)軸帶動旋轉(zhuǎn)的第一滾輪；該輸送裝置還包含一個位在所對應(yīng)側(cè)壁與基板的側(cè)邊間且供第一滾輪安裝的連架，及至少一個安裝在該側(cè)壁與該連架間且可帶動該連架相對于該側(cè)壁移動的移動機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型所述真空設(shè)備的輸送裝置，每一轉(zhuǎn)動單元還具有一個可轉(zhuǎn)動地安裝于該連架內(nèi)且銜接該第一滾輪與該轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)接座，及一支徑向安裝在該轉(zhuǎn)軸上的凸桿，該轉(zhuǎn)接座具有一個突伸出該連架鄰近該基板的一側(cè)且供該第一滾輪安裝的接輪部，及一個突伸出該連架鄰近該側(cè)壁的一側(cè)且供該轉(zhuǎn)軸安裝的接軸部，該接軸部界定出一個開口朝向該側(cè)壁且供該轉(zhuǎn)軸置入的容槽，及一個由該容槽徑向往外連通且供該凸桿于其中滑移的滑槽。[0008]本實(shí)用新型所述真空設(shè)備的輸送裝置，該移動機(jī)構(gòu)包括一個安裝在該側(cè)壁的移動器、一個安裝在該連架且被該移動器驅(qū)動的連桿，及一個可轉(zhuǎn)動地安裝在該連桿突伸出連架鄰近該基板的一側(cè)的第二滾輪。本實(shí)用新型所述真空設(shè)備的輸送裝置，該輸送裝置還包含一個隨動機(jī)構(gòu)，該隨動機(jī)構(gòu)包括數(shù)個彼此間隔地安裝在該側(cè)壁與該連架間的隨動單元，每一隨動單元都具有一個可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在該連架鄰近該基板的一側(cè)的第三滾輪。本實(shí)用新型所述真空設(shè)備的輸送裝置，每一隨動單元還具有一個安裝在該側(cè)壁的固定座，及一個安裝在該連架且可相對于該固定座移動的移動桿，該第三滾輪是可轉(zhuǎn)動地安裝在該移動桿突伸出連架鄰近該基板的一側(cè)。本實(shí)用新型所述真空設(shè)備的輸送裝置，該轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)還包括一個驅(qū)動所述轉(zhuǎn)動單元同步轉(zhuǎn)動的驅(qū)動單元。本實(shí)用新型所述真空設(shè)備的輸送裝置，該驅(qū)動單元具有一個驅(qū)動所述轉(zhuǎn)動單元所對應(yīng)的其中一轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動器，及數(shù)條分別連接每兩相鄰轉(zhuǎn)軸的皮帶。本實(shí)用新型所述真空設(shè)備的輸送裝置，該凸桿為一支螺接安裝在該轉(zhuǎn)軸上的螺絲。本實(shí)用新型輸送裝置的轉(zhuǎn)動單元，具有一個被固定安裝的殼座、一個可轉(zhuǎn)動地安裝在該殼座中的轉(zhuǎn)軸，及一個被該轉(zhuǎn)軸帶動旋轉(zhuǎn)的第一滾輪，該轉(zhuǎn)動單元還具有一支徑向安裝在該轉(zhuǎn)軸上的凸桿，及一個可被帶動軸向移動且套置在該轉(zhuǎn)軸外圍的轉(zhuǎn)接座，該轉(zhuǎn)接座具有一個供該第一滾輪安裝的接輪部，及一個供該轉(zhuǎn)軸安裝的接軸部，該接軸部界定出一個供該轉(zhuǎn)軸置入的容槽，及一個由該容槽徑向往外連通且供該凸桿于其中滑移的滑槽。本實(shí)用新型的有益效果在于該輸送裝置的第一滾輪可被驅(qū)動旋轉(zhuǎn)以輸送基板， 而且第一滾輪還可被驅(qū)動而沿著軸線相對于殼座調(diào)整移位，用于輸送不同尺寸的基板，并可搭配其他制程使用，所以能擴(kuò)大適用范圍。

圖1是本實(shí)用新型真空設(shè)備的輸送裝置的一較佳實(shí)施例的一俯視示意圖；圖2是圖1的一部分放大示意圖；圖3是該較佳實(shí)施例的一部分立體分解圖；圖4是該較佳實(shí)施例的一部分側(cè)視剖視示意圖，說明一移動機(jī)構(gòu)位在一輸送位置的狀態(tài)；圖5是該較佳實(shí)施例的一部分側(cè)視剖視示意圖，說明一轉(zhuǎn)動單元位在該輸送位置的狀態(tài)；圖6是該較佳實(shí)施例的一部分側(cè)視剖視示意圖，說明一隨動單元位在該輸送位置的狀態(tài)；圖7是類似圖2的一視圖，說明一連架位在一脫離位置的狀態(tài)；圖8是類似圖4的一視圖，說明該移動機(jī)構(gòu)位在該脫離位置的狀態(tài)；圖9是類似圖5的一視圖，說明該轉(zhuǎn)動單元位在該脫離位置的狀態(tài)；圖10是類似圖6的一視圖，說明該隨動單元位在該脫離位置的狀態(tài)。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明參閱圖1，本實(shí)用新型輸送裝置的較佳實(shí)施例，是安裝于一個真空設(shè)備1，該真空設(shè)備1包含一個界定出一個作業(yè)空間11的真空腔體12，該真空腔體12具有兩個位于該作業(yè)空間11的兩相對側(cè)的側(cè)壁121，而本實(shí)用新型輸送裝置2是兩個相對地安裝在所述側(cè)壁 121，且用于輸送一片基板3沿著側(cè)壁121的長向進(jìn)出該作業(yè)空間11。而該基板3具有兩個相反且分別鄰近于所述側(cè)壁121的側(cè)邊31。由于所述輸送裝置2是左右對稱設(shè)置，所以在以下說明中，僅以安裝于其中一側(cè)的側(cè)壁121上的輸送裝置2來說明。該輸送裝置2包含一個位在所對應(yīng)側(cè)壁121與該基板3的側(cè)邊31間的連架4， 及安裝在該側(cè)壁121與該連架4間的一個移動機(jī)構(gòu)5、一個轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)6與一個隨動機(jī)構(gòu)7。參閱圖2、圖3與圖4，該連架4為一個平行于該基板3的側(cè)邊31的長形板片，并包括數(shù)個彼此間隔且沿其長向排列的安裝孔41，可分別供該移動機(jī)構(gòu)5、該轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)6及該隨動機(jī)構(gòu)7對應(yīng)安裝。該移動機(jī)構(gòu)5包括一個安裝在該真空腔體12的側(cè)壁121的移動器51、一個安裝在該連架4的安裝孔41且被該移動器51驅(qū)動的連桿52，及一個可轉(zhuǎn)動地安裝在該連桿52 突伸出連架4鄰近該基板3的一側(cè)的第二滾輪53。使用時，該移動器51可驅(qū)動該連桿52 軸向移動，以帶動該連架4相對于該側(cè)壁121平行移動。本實(shí)施例的移動器51為一液壓缸，當(dāng)然也可以為一液氣混合的液氣缸或?yàn)橐粴鈮焊祝皇瞧錁?gòu)造為一般現(xiàn)有設(shè)計，并非本實(shí)用新型重點(diǎn)，所以在此不再冗述。此外，該移動機(jī)構(gòu)5的數(shù)量也可以增加，例如可設(shè)置兩個，借以增加移動穩(wěn)定性，所以實(shí)施上不以本實(shí)施例為限，在此不再說明。參閱圖2、圖3與圖5，該轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)6包括數(shù)個彼此間隔地安裝在該側(cè)壁121與該連架4間的轉(zhuǎn)動單元61，及一個驅(qū)動所述轉(zhuǎn)動單元61同步轉(zhuǎn)動的驅(qū)動單元62。每一轉(zhuǎn)動單元61都具有一個固定安裝于該側(cè)壁121的殼座611、一個安裝在該殼座611中且可被驅(qū)動而繞著一條垂直于該側(cè)邊31的軸線610轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)軸612、四支徑向安裝在該轉(zhuǎn)軸612上的凸桿613、一個可轉(zhuǎn)動地安裝于該連架4的安裝孔41內(nèi)且銜接該轉(zhuǎn)軸612的轉(zhuǎn)接座614， 及一個安裝在該轉(zhuǎn)接座614上且連同該轉(zhuǎn)接座614被該轉(zhuǎn)軸612帶動旋轉(zhuǎn)的第一滾輪615。該轉(zhuǎn)接座614具有一個突伸出該連架4鄰近該基板3的一側(cè)且供該第一滾輪615 安裝的接輪部616，及一個突伸出該連架4鄰近該側(cè)壁121的一側(cè)且供該轉(zhuǎn)軸612安裝的接軸部617。該接軸部617界定出一個開口朝向該側(cè)壁121且供該轉(zhuǎn)軸612置入的容槽618， 及兩個對應(yīng)由該容槽618徑向往外連通且供所述凸桿613于其中滑移的滑槽619。本實(shí)施例的凸桿613為一支螺接安裝在該轉(zhuǎn)軸612上的螺絲，當(dāng)然在實(shí)施上也可以為一支同體設(shè)置或插接在該轉(zhuǎn)軸612上的桿件，而且每兩支凸桿613同軸排列在同一滑槽619上，當(dāng)然本實(shí)施例的滑槽619數(shù)量也可以增減，例如僅設(shè)置一個，此外位于同一滑槽619上的凸桿613 的數(shù)量也可以增減，例如僅設(shè)置一個，在此不再說明。在該轉(zhuǎn)軸612轉(zhuǎn)動時，可經(jīng)所述凸桿 613帶動該轉(zhuǎn)接座614，連動第一滾輪615旋轉(zhuǎn)。當(dāng)該連架4移動時，該轉(zhuǎn)接座614會被帶動而相對于該轉(zhuǎn)軸612軸向移動，此時凸桿613也會相對在該滑槽619中滑移。該驅(qū)動單元62具有兩個分別驅(qū)動所述轉(zhuǎn)動單元61的轉(zhuǎn)軸612中所對應(yīng)的其中一轉(zhuǎn)軸612的驅(qū)動器621，及數(shù)條分別連接每兩相鄰轉(zhuǎn)軸612以傳遞動力的皮帶622。各驅(qū)動器621都是一個馬達(dá)。使用時，所述驅(qū)動器621能驅(qū)動對應(yīng)銜接的轉(zhuǎn)軸612，并經(jīng)所述皮帶4/5頁
622將動力傳遞至其他轉(zhuǎn)軸612，借以驅(qū)動所述轉(zhuǎn)軸612同步轉(zhuǎn)動。當(dāng)然驅(qū)動器621的數(shù)量也可以增減，例如只設(shè)置一個，實(shí)施上不受限于本實(shí)施例。參閱圖1、圖3與圖6，該隨動機(jī)構(gòu)7包括兩個彼此間隔地安裝在該側(cè)壁121與該連架4間的隨動單元71，每一隨動單元71皆具有一個安裝在該側(cè)壁121的固定座711、一個安裝在該連架4的安裝孔41內(nèi)且可相對于該固定座711移動的移動桿712，及一個可轉(zhuǎn)動地安裝在該移動桿712突伸出連架4鄰近該基板3的一側(cè)的第三滾輪713。也就是說第三滾輪713與第一滾輪615、第二滾輪53，皆是可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在該連架4鄰近該基板3的一側(cè)，本實(shí)施例只有第一滾輪615被轉(zhuǎn)軸612驅(qū)動而主動旋轉(zhuǎn)，至于第二滾輪53及第三滾輪 713則未被動力驅(qū)動，只是隨著該基板3的移動而隨動旋轉(zhuǎn)，可增加該基板3的移動順暢性。 當(dāng)然隨動單元71的數(shù)量也可以增減，例如僅設(shè)置一個，實(shí)施上不受限于本實(shí)施例。使用時，該移動機(jī)構(gòu)5可帶動該連架4相對于該側(cè)壁121，在一個移近該基板3且遠(yuǎn)離該側(cè)壁121的輸送位置(見圖2)，與一個移近該側(cè)壁121且遠(yuǎn)離該基板3的脫離位置 (見圖7)間移動。如圖2、圖3與圖5所示，在該輸送位置時，該驅(qū)動單元62會驅(qū)動所述轉(zhuǎn)動單元61的轉(zhuǎn)軸612轉(zhuǎn)動，且當(dāng)該轉(zhuǎn)軸612旋轉(zhuǎn)時，就會連動所述凸桿613抵推該轉(zhuǎn)接座 614，帶動該轉(zhuǎn)接座614相對在該連架4中轉(zhuǎn)動，以連動第一滾輪615旋轉(zhuǎn)，并借其滾動接觸該基板3的側(cè)邊31，傳遞輸送該基板3進(jìn)出該作業(yè)空間11，而于該基板3移動的同時，第二滾輪53及第三滾輪713也會一起滾動，使該基板3移動時更加順暢。如圖3、圖7與圖8所示，在需要輸送不同尺寸的基板3，或是需要更換改變不同制程，讓基板3暫時脫離第一滾輪615、第二滾輪53及第三滾輪713時，先停止該驅(qū)動單元 62，令該移動機(jī)構(gòu)5帶動該連架4，相對于該側(cè)壁121平行移離該基板3，此時如圖9所示， 樞接在該連架4上的所述轉(zhuǎn)動單元61的轉(zhuǎn)接座614也會被帶動，而各自沿著軸線610相對于該轉(zhuǎn)軸612軸向移動，在該轉(zhuǎn)接座614移動的同時，所述凸桿613也會相對在該滑槽619 中滑移，而且也會讓該轉(zhuǎn)軸612相對在該容槽618中滑移，直到該移動機(jī)構(gòu)5 (見圖8)帶動該連架4移至該脫離位置時，參閱圖7及圖10，該隨動單元71的移動桿712也會相對于固定座711軸向移動，此時第一滾輪615、第二滾輪53及第三滾輪713即會離開該基板3的側(cè)邊31。而當(dāng)想要由該脫離位置再移回該輸送位置以輸送該基板3時，只要驅(qū)動該移動機(jī)構(gòu) 5帶動該連架4移近該基板3，再驅(qū)動該轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)6，使第一滾輪615重新滾動接觸該基板3 即可。綜上所述，本實(shí)用新型輸送裝置2的轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)6，是利用該驅(qū)動單元62來同步驅(qū)動所述轉(zhuǎn)動單元61，不但動作上可達(dá)到一致性，其傳動上更可減少設(shè)備成本，而且本實(shí)用新型輸送裝置2還另外設(shè)置有無須動力運(yùn)作的隨動機(jī)構(gòu)7，不但可穩(wěn)定承托基板3，還能使得基板3在傳送上更加順暢。此外，本實(shí)用新型輸送裝置2的所述轉(zhuǎn)動單元61，設(shè)有可被轉(zhuǎn)軸612帶動轉(zhuǎn)動并能相對轉(zhuǎn)軸612軸向移動的轉(zhuǎn)接座614，且通過該連架4銜接所述轉(zhuǎn)接座614，再利用該移動機(jī)構(gòu)5驅(qū)動該連架4相對于該側(cè)壁121平行移動，如此即能帶動所述轉(zhuǎn)接座614同步軸向移動，也就是說帶動所述轉(zhuǎn)動單元61伸縮調(diào)整，并讓第一滾輪615、第二滾輪53及第三滾輪713同時脫離或接觸該基板3，如此即能用于輸送不同尺寸的基板3，適用于對各種尺寸大小的基板3進(jìn)行加工，能擴(kuò)大適用范圍，并可搭配其他制程使用，有助于提升基板3移至不同加工處的順暢度，從而能增進(jìn)作業(yè)上的自由度與適用性，并對其設(shè)備成本與生產(chǎn)效率
6產(chǎn)生正面影響，所以確實(shí)能達(dá)成本實(shí)用新型的目的。
權(quán)利要求1.一種真空設(shè)備的輸送裝置，該真空設(shè)備包含一個界定出一個作業(yè)空間的真空腔體， 該真空腔體具有兩個位于該作業(yè)空間的兩相對側(cè)的側(cè)壁，輸送裝置是兩個相對地安裝在所述側(cè)壁，且用于輸送一片基板沿著側(cè)壁的長向進(jìn)出該作業(yè)空間，該基板具有兩個相反且分別鄰近于所述側(cè)壁的側(cè)邊，而該輸送裝置包含一個轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，該轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)包括數(shù)個彼此間隔地安裝在該側(cè)壁的轉(zhuǎn)動單元，每一轉(zhuǎn)動單元都具有一個固定安裝于該側(cè)壁的殼座、一個安裝在該殼座中且可被驅(qū)動而繞著一條垂直于該側(cè)邊的軸線轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)軸，及一個被該轉(zhuǎn)軸帶動旋轉(zhuǎn)的第一滾輪；其特征在于該輸送裝置還包含一個位于所對應(yīng)側(cè)壁與基板的側(cè)邊間且供第一滾輪安裝的連架，及至少一個安裝在該側(cè)壁與該連架間且可帶動該連架相對于該側(cè)壁移動的移動機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備的輸送裝置，其特征在于每一轉(zhuǎn)動單元還具有一個可轉(zhuǎn)動地安裝于該連架內(nèi)且銜接該第一滾輪與該轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)接座，及一支徑向安裝在該轉(zhuǎn)軸上的凸桿，該轉(zhuǎn)接座具有一個突伸出該連架鄰近該基板的一側(cè)且供該第一滾輪安裝的接輪部，及一個突伸出該連架鄰近該側(cè)壁的一側(cè)且供該轉(zhuǎn)軸安裝的接軸部，該接軸部界定出一個開口朝向該側(cè)壁且供該轉(zhuǎn)軸置入的容槽，及一個由該容槽徑向往外連通且供該凸桿于其中滑移的滑槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備的輸送裝置，其特征在于該移動機(jī)構(gòu)包括一個安裝在該側(cè)壁的移動器、一個安裝在該連架且被該移動器驅(qū)動的連桿，及一個可轉(zhuǎn)動地安裝在該連桿突伸出連架鄰近該基板的一側(cè)的第二滾輪。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的真空設(shè)備的輸送裝置，其特征在于該輸送裝置還包含一個隨動機(jī)構(gòu)，該隨動機(jī)構(gòu)包括數(shù)個彼此間隔地安裝在該側(cè)壁與該連架間的隨動單元， 每一隨動單元都具有一個可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在該連架鄰近該基板的一側(cè)的第三滾輪。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空設(shè)備的輸送裝置，其特征在于每一隨動單元還具有一個安裝在該側(cè)壁的固定座，及一個安裝在該連架且可相對于該固定座移動的移動桿，該第三滾輪是可轉(zhuǎn)動地安裝在該移動桿突伸出連架鄰近該基板的一側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備的輸送裝置，其特征在于該轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)還包括一個驅(qū)動所述轉(zhuǎn)動單元同步轉(zhuǎn)動的驅(qū)動單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空設(shè)備的輸送裝置，其特征在于該驅(qū)動單元具有一個驅(qū)動所述轉(zhuǎn)動單元所對應(yīng)的其中一轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動器，及數(shù)條分別連接每兩相鄰轉(zhuǎn)軸的皮帶。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空設(shè)備的輸送裝置，其特征在于該凸桿為一支螺接安裝在該轉(zhuǎn)軸上的螺絲。
9.一種輸送裝置的轉(zhuǎn)動單元，具有一個被固定安裝的殼座、一個可轉(zhuǎn)動地安裝在該殼座中的轉(zhuǎn)軸，及一個被該轉(zhuǎn)軸帶動旋轉(zhuǎn)的第一滾輪，其特征在于該轉(zhuǎn)動單元還具有一支徑向安裝在該轉(zhuǎn)軸上的凸桿，及一個可被帶動軸向移動且套置在該轉(zhuǎn)軸外圍的轉(zhuǎn)接座，該轉(zhuǎn)接座具有一個供該第一滾輪安裝的接輪部，及一個供該轉(zhuǎn)軸安裝的接軸部，該接軸部界定出一個供該轉(zhuǎn)軸置入的容槽，及一個由該容槽徑向往外連通且供該凸桿于其中滑移的滑槽。
專利摘要一種真空設(shè)備的輸送裝置及其轉(zhuǎn)動單元，用于輸送一片基板進(jìn)出該真空設(shè)備，并包含一個平行該基板的一側(cè)邊的連架，及安裝在該真空設(shè)備的一側(cè)壁與該連架間的至少一個移動機(jī)構(gòu)與一個轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)。該移動機(jī)構(gòu)可帶動該連架相對于該側(cè)壁移近或遠(yuǎn)離該基板。該轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)包括數(shù)個轉(zhuǎn)動單元，每一轉(zhuǎn)動單元都具有一個固定安裝于該側(cè)壁的殼座、一個可轉(zhuǎn)動地安裝在該殼座中的轉(zhuǎn)軸，及一個可隨著該連架移動或被該轉(zhuǎn)軸帶動旋轉(zhuǎn)的第一滾輪。通過所述轉(zhuǎn)動單元能相對該真空設(shè)備伸縮移動的設(shè)計，使得本實(shí)用新型能提高作業(yè)自由度，并能適用于輸送各種尺寸的基板。
文檔編號C23C14/34GK202323003SQ20112042802
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月2日
發(fā)明者張延任, 謝昆山, 鄭博仁, 黃泳釗 申請人:北儒精密股份有限公司