專利名稱：一種反向連接提高固態(tài)源使用效率的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于固態(tài)源使用技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種反向連接提高固態(tài)源使用效率的方法。
背景技術(shù)：
MOCVD是金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相淀積(Metal-organic Chemical Vapor Deposition)的英文縮寫。在MOCVD生產(chǎn)中，固體TiOn源使用效率低成為主要的問題，對于固態(tài)TMh源，其飽和蒸汽壓的穩(wěn)定性和使用效率一直是用戶關(guān)注的焦點，對于傳統(tǒng)源瓶， 當(dāng)源的量多時，源瓶內(nèi)的空間較小，上下的飽和蒸汽壓基本相等而且穩(wěn)定。當(dāng)源瓶內(nèi)源的量用到較少時，源瓶內(nèi)空間較大，很難保證頂部和底部的飽和蒸汽壓相同，此時頂部氣體中源的飽和蒸汽壓不穩(wěn)定，導(dǎo)致源瓶中源的使用效率低。目前，提高效率方法主要有兩種，第一種是采用不同設(shè)計的源瓶，第二種通過敲擊源瓶來提高其使用效率，但這兩種方法各有優(yōu)缺點，第一種使用效率可達(dá)95%，但價格昂貴；第二種價格低，但使用效率最高到65%。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種反向連接提高固態(tài)源使用效率的方法，具有操作簡單、不影響外延層的性能、適用范圍廣和固態(tài)源使用率高的特
點ο為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種反向連接提高固態(tài)源使用效率的方法，包括以下步驟步驟1 當(dāng)源瓶1內(nèi)的固態(tài)源剩余量小于50%時，將源瓶1放入溫度為20 35°C 的水浴槽中，當(dāng)源瓶1內(nèi)壓力為750 850torr、源蒸汽流量為300 400sCCm的情況下，將源瓶1的載氣進(jìn)口 2、出口 3上手閥關(guān)掉；步驟2 將源瓶1的載氣進(jìn)口 2、出口 3反向?qū)?，即將源?的出口 3與載氣出口 4相連通，將源瓶1的載氣進(jìn)口 2作為出口與管道5相連通，即將正常的低進(jìn)高出換成高進(jìn)低出。本發(fā)明基于傳統(tǒng)源瓶，在其他條件不變的情況下，當(dāng)源剩余量小于50%時，只需將源瓶的載氣進(jìn)出口反向?qū)?，將正常的低進(jìn)高出換成高進(jìn)低出即可，利用底部載氣管所在局部范圍內(nèi)飽和蒸汽壓穩(wěn)定，局部范圍內(nèi)飽和蒸汽壓的范圍為2. 5 3. Otorr，從而將傳統(tǒng)源瓶的固態(tài)源的使用效率提高到80%以上，具有操作簡單、不影響外延層的性能、適用范圍廣和固態(tài)源使用率高的特點。


附圖為本發(fā)明方法示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。實施例一如附圖所示，本實施例反向連接提高固態(tài)源使用效率的方法，包括以下步驟步驟1 當(dāng)源瓶1內(nèi)的固態(tài)源剩余量為49%時，將源瓶1放入溫度為20°C的水浴槽中，當(dāng)源瓶1內(nèi)壓力為750torr、源蒸汽流量為300sCCm的情況下，將源瓶1的載氣進(jìn)口 2、 出口 3上手閥關(guān)掉；步驟2 將源瓶1的載氣進(jìn)口 2、出口 3反向?qū)?，即將源?的出口 3與載氣出口 4相連通，將源瓶1的載氣進(jìn)口 2作為出口與管道5相連通，即將正常的低進(jìn)高出換成高進(jìn)低出。實施例二如附圖所示，本實施例反向連接提高固態(tài)源使用效率的方法，包括以下步驟步驟1 在源瓶1內(nèi)的固態(tài)源剩余量為40%時，將源瓶1放入溫度為的水浴槽中，當(dāng)源瓶1內(nèi)壓力為SOOtorr、源蒸汽流量為360sCCm的情況下，將源瓶1的載氣進(jìn)口 2、 出口3上手閥關(guān)掉；步驟2 將源瓶1的載氣進(jìn)口 2、出口 3反向?qū)樱磳⒃雌?的出口 3與載氣出口 4相連通，將源瓶1的載氣進(jìn)口 2作為出口與管道5相連通，即將正常的低進(jìn)高出換成高進(jìn)低出。實施例三如附圖所示，本實施例反向連接提高固態(tài)源使用效率的方法，包括以下步驟步驟1 在源瓶1內(nèi)的固態(tài)源剩余量為20%時，將源瓶1放入溫度為35°C的水浴槽中，當(dāng)源瓶1內(nèi)壓力為850torr、源蒸汽流量為400sCCm的情況下，將源瓶1的載氣進(jìn)口 2、 出口 3上手閥關(guān)掉；步驟2 將源瓶1的載氣進(jìn)口 2、出口 3反向?qū)?，即將源?的出口 3與載氣出口 4相連通，將源瓶1的載氣進(jìn)口 2作為出口與管道5相連通，即將正常的低進(jìn)高出換成高進(jìn)低出。
權(quán)利要求
1.一種反向連接提高固態(tài)源使用效率的方法，其特征在于包括以下步驟步驟1 當(dāng)源瓶(1)內(nèi)的固態(tài)源剩余量小于50%時，將源瓶(1)放入溫度為20 35°C 的水浴槽中，當(dāng)源瓶(1)內(nèi)壓力為750 850torr、源蒸汽流量為300 400SCCm的情況下， 將源瓶(1)的載氣進(jìn)口 O)、出口(3)上手閥關(guān)掉；步驟2:將源瓶⑴的載氣進(jìn)口 O)、出口(3)反向?qū)?，即將源瓶⑴的出?3)與載氣出口⑷相連通，將源瓶⑴的載氣進(jìn)口⑵作為出口與管道(5)相連通，即將正常的低進(jìn)高出換成高進(jìn)低出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于包括以下步驟步驟1 當(dāng)源瓶(1)內(nèi)的固態(tài)源剩余量為49%時，將源瓶(1)放入溫度為20°C的水浴槽中，當(dāng)源瓶(1)內(nèi)壓力為750torr、源蒸汽流量為300sCCm的情況下，將源瓶⑴的載氣進(jìn)口 O)、出口(3)上手閥關(guān)掉；步驟2:將源瓶⑴的載氣進(jìn)口 O)、出口(3)反向?qū)?，即將源瓶⑴的出?3)與載氣出口⑷相連通，將源瓶⑴的載氣進(jìn)口⑵作為出口與管道(5)相連通，即將正常的低進(jìn)高出換成高進(jìn)低出。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于包括以下步驟步驟1 在源瓶⑴內(nèi)的固態(tài)源剩余量為40%時，將源瓶⑴放入溫度為的水浴槽中，當(dāng)源瓶(1)內(nèi)壓力為SOOtorr、源蒸汽流量為360sCCm的情況下，將源瓶(1)的載氣進(jìn)口 O)、出口(3)上手閥關(guān)掉；步驟2 將源瓶(1)的載氣進(jìn)口 O)、出口(3)反向?qū)?，即將源?1)的出口(3)與載氣出口⑷相連通，將源瓶⑴的載氣進(jìn)口⑵作為出口與管道(5)相連通，即將正常的低進(jìn)高出換成高進(jìn)低出。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于包括以下步驟步驟1 在源瓶(1)內(nèi)的固態(tài)源剩余量為20%時，將源瓶(1)放入溫度為35°C的水浴槽中，當(dāng)源瓶(1)內(nèi)壓力為850torr、源蒸汽流量為400sCCm的情況下，將源瓶(1)的載氣進(jìn)口 O)、出口(3)上手閥關(guān)掉；步驟2:將源瓶⑴的載氣進(jìn)口 O)、出口(3)反向?qū)樱磳⒃雌竣诺某隹?3)與載氣出口⑷相連通，將源瓶⑴的載氣進(jìn)口⑵作為出口與管道(5)相連通，即將正常的低進(jìn)高出換成高進(jìn)低出。
全文摘要
一種反向連接提高固態(tài)源使用效率的方法，包括以下步驟步驟1當(dāng)源瓶內(nèi)的固態(tài)源剩余量小于50％時，將源瓶放入溫度為20～35℃的水浴槽中，當(dāng)源瓶內(nèi)壓力為750～850torr、源蒸汽流量為300～400sccm的情況下，將源瓶的載氣進(jìn)口、出口上手閥關(guān)掉；步驟2將源瓶的載氣進(jìn)口、出口反向?qū)樱磳⒃雌康某隹谂c載氣出口相連通，將源瓶的載氣進(jìn)口作為出口與管道相連通，即將正常的低進(jìn)高出換成高進(jìn)低出；利用底部載氣管所在局部范圍內(nèi)飽和蒸汽壓穩(wěn)定；該方法具有操作簡單、不影響外延層的性能、適用范圍廣和固態(tài)源使用率高的特點。
文檔編號C23C16/448GK102296282SQ201110260529
公開日2011年12月28日 申請日期2011年9月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月5日
發(fā)明者劉波波, 孟錫俊, 李培咸, 王旭明, 王曉波, 白俊春, 郭遲 申請人:西安中為光電科技有限公司