專利名稱：一種磨削晶體材料的磨頭裝置的制作方法
一種磨削晶體材料的磨頭裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種晶體材料的加工設(shè)備，具體涉及一種磨削晶體材料的磨頭裝置。背景技術(shù)：
在使用西門子法生產(chǎn)多晶硅的過程中，硅芯搭接技術(shù)是非常重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，它主要應(yīng)用于多晶硅生產(chǎn)的還原反應(yīng)過程。這個(gè)環(huán)節(jié)的還原反應(yīng)過程的原理是所述還原反應(yīng)是在一個(gè)密閉的還原爐中進(jìn)行的，在裝爐前先在還原爐內(nèi)用硅芯搭接成若干個(gè)閉合回路，也就是行話中的“搭橋”;每個(gè)閉合回路都由兩根豎硅芯和一根橫硅芯組成；每一個(gè)閉合回路的兩個(gè)豎硅芯分別接在爐底上的兩個(gè)電極上，兩個(gè)電極分別連接直流電源的正負(fù)極， 向密閉的還原爐內(nèi)通入氫氣和三氯氫硅，然后對(duì)硅芯進(jìn)行加熱，加熱中一組搭接好的硅芯相當(dāng)于一個(gè)大電阻，進(jìn)行還原反應(yīng)；這樣，所需的多晶硅就會(huì)在硅芯表面生成。實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)時(shí)，通過搭橋技術(shù)使一根橫硅芯和兩根豎硅芯進(jìn)行聯(lián)通，本發(fā)明人在先申請(qǐng)的兩項(xiàng)中國專利公開了一種可有效提高接觸面積和減小電阻的孔式硅芯搭接方法和一種可提高接觸面積和減小電阻的插接式硅芯搭接結(jié)構(gòu)及方法，其中的一個(gè)專利提出了一種圓球形硅芯的搭接方法，它是通過在橫硅芯兩端分別設(shè)置硅芯圓球體，并在兩個(gè)硅芯圓球體的下部分別設(shè)置插孔，由豎硅芯上端的插柱與插孔吻配連接，形成提高接觸面積和減少電阻的連接方式，在加工豎硅芯上部的插柱時(shí)，為了橫硅芯和豎硅芯的接觸面積更大，往往會(huì)在橫硅芯兩端的圓球體中部鉆一錐孔，相應(yīng)的在豎硅芯上端磨削出一上小下大的外圓錐體，在磨削豎硅芯上部的外圓錐體時(shí)，現(xiàn)有加工方式是通過手工扶持硅芯在磨體上對(duì)硅芯進(jìn)行磨削，這種方式受到人為干擾的因素非常大；例如，技工師傅的熟練程度、所用設(shè)備的加工狀況以及設(shè)備的新舊程度等，都可能使所磨削的豎硅芯上部的外圓錐體很不規(guī)范，使得后期搭接工藝中接觸面得不到保證，也就是點(diǎn)接觸或線接觸，從而影響硅芯的加工品質(zhì)。在另一個(gè)專利中為了克服上述專利在拉制橫硅芯兩端的圓球體時(shí)容易導(dǎo)致設(shè)備損壞等目的，提出了一種避免在橫硅芯的兩端拉制圓球體，可以直接在橫、豎硅芯上直接加工“U”形槽或雙面開槽形成的搭接面，在該種搭接方法中，為了增加兩根豎硅芯在與電極連接時(shí)的接觸面積，減少在裝爐通電后，由于瞬間通入電流，使硅芯發(fā)生倒伏的現(xiàn)象，在兩根豎硅芯的下端設(shè)置外圓錐體，與電極的連接孔緊配，目前的做法也是通過人工扶持對(duì)豎硅芯下端的外圓錐體進(jìn)行加工。參考文獻(xiàn)中國專利；專利名稱、可有效提高接觸面積和減小電阻的孔式硅芯搭接方法，公開號(hào)、CN101570890A，
公開日、2009 年 11 月 4 日。中國專利；專利名稱、可提高接觸面積和減小電阻的插接式硅芯搭接結(jié)構(gòu)及方法， 申請(qǐng)日、2011年6月2日，專利號(hào)為201110153461.9。

發(fā)明內(nèi)容
為克服背景技術(shù)中的不足，本發(fā)明提供一種磨削晶體材料的磨頭裝置，本發(fā)明所述的磨削晶體材料的磨頭裝置通過將晶棒夾持在夾緊機(jī)構(gòu)內(nèi)，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)固定位，由磨頭裝置的磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)對(duì)晶棒較為準(zhǔn)確的磨削，確保了后期使用時(shí)的提高接觸面積，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，工藝穩(wěn)定性遠(yuǎn)高于手工作業(yè)。為了實(shí)現(xiàn)所述發(fā)明目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案一種磨削晶體材料的磨頭裝置，其中晶棒夾持在夾緊機(jī)構(gòu)內(nèi)；所述磨頭裝置包括用于磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)；所述磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)，晶棒一側(cè)固定在夾緊機(jī)構(gòu)內(nèi)，晶棒的一端對(duì)應(yīng)兩個(gè)磨輪之間的間隙，兩個(gè)磨輪通過旋轉(zhuǎn)軸座內(nèi)的磨輪固定軸做同向旋轉(zhuǎn)，磨輪固定軸由外部的旋轉(zhuǎn)軸座帶動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)軸座由外接電機(jī)帶動(dòng)形成所述磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)；磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)與夾緊機(jī)構(gòu)做軸向運(yùn)動(dòng)形成晶棒的進(jìn)給。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，所述用于磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、磨輪、 旋轉(zhuǎn)軸座、小齒輪、大齒輪、磨輪固定軸，旋轉(zhuǎn)軸座設(shè)置在安裝座內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)軸座內(nèi)部設(shè)置有至少兩根磨輪固定軸，在每一磨輪固定軸的一端固定有小齒輪，另一端分別固定有磨輪， 旋轉(zhuǎn)軸座由電機(jī)帶動(dòng)做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，在所述小齒輪之間設(shè)置有大齒輪，所述大齒輪為固定設(shè)置且承擔(dān)所述小齒輪之間的動(dòng)力過渡，使磨輪固定軸另一端的所述磨輪同步同向旋轉(zhuǎn)，由所述磨輪與磨輪之間的間隙形成晶棒端部的磨削。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，所述磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)與夾緊機(jī)構(gòu)做軸向運(yùn)動(dòng)形成晶棒的進(jìn)給為，磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)由大底板下面設(shè)置的滑塊與導(dǎo)軌滑動(dòng)配合，夾緊機(jī)構(gòu)固定設(shè)置在大底板上，磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)由絲杠控制給進(jìn)，其中用于磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)和夾緊機(jī)構(gòu)為聯(lián)動(dòng)，進(jìn)給機(jī)構(gòu)包括機(jī)架、導(dǎo)軌、導(dǎo)軌支撐、大底板、減速機(jī)、減速機(jī)軸、聯(lián)軸器、絲杠固定座、絲杠、絲母和滑塊，絲杠的兩端分別通過絲杠固定座固定在機(jī)架的上部面，絲杠的外端通過聯(lián)軸器與減速機(jī)軸連接，所述減速機(jī)軸固定在減速機(jī)的內(nèi)孔中，所述減速機(jī)的另一轉(zhuǎn)動(dòng)軸與電機(jī)連接，絲杠與固定在大底板下部面的絲母絲接配合，所述大底板的下部面設(shè)置有至少兩個(gè)滑塊，至少兩個(gè)滑塊分別與固定在導(dǎo)軌支撐上部面的導(dǎo)軌滑動(dòng)配合，所述導(dǎo)軌支撐固定在機(jī)架的上部面上形成用于磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)和夾緊機(jī)構(gòu)同步的進(jìn)給或所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)在不使用減速機(jī)、減速機(jī)軸、聯(lián)軸器和電機(jī)的情況下，通過使用手輪實(shí)現(xiàn)手動(dòng)調(diào)節(jié)進(jìn)給；其中用于磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)與夾緊機(jī)構(gòu)為一動(dòng)一靜，。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，所述用于磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)，電機(jī)通過電機(jī)座固定在壓蓋的上部面，在電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸端部固定有小動(dòng)力輪，所述小動(dòng)力輪連接設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸座一側(cè)外部的大動(dòng)力輪，在旋轉(zhuǎn)軸座的內(nèi)壁上設(shè)有至少兩個(gè)圓柱，所述圓柱的軸孔內(nèi)插接磨輪固定軸，所述旋轉(zhuǎn)軸座的外緣通過軸承A固定在安裝座內(nèi)，所述軸承A通過軸承壓蓋B緊固在安裝座的內(nèi)壁與旋轉(zhuǎn)軸座之間，所述安裝座通過壓蓋固定在固定座的內(nèi)孔中，所述固定座固定在小托板的上部面上，磨輪固定軸的兩端分別通過軸承B與旋轉(zhuǎn)軸座的軸孔內(nèi)壁連接，磨輪通過磨輪過渡套固定在磨輪固定軸的一端。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，所述大齒輪通過固定軸固定在旋轉(zhuǎn)軸座壓蓋的內(nèi)孔中。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，所述旋轉(zhuǎn)軸座的外圓上設(shè)置有使軸承A間隔的凸起圓，在旋轉(zhuǎn)軸座的一端設(shè)置有縮頸的定位臺(tái)階，所述定位臺(tái)階為大動(dòng)力輪限位臺(tái)階；在旋轉(zhuǎn)軸座圓柱的軸孔內(nèi)設(shè)置有軸筒，所述磨輪固定軸的兩端通過所述軸承B設(shè)置在軸筒內(nèi)。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，所述小動(dòng)力輪與大動(dòng)力輪為皮帶傳動(dòng)連接或鏈條傳動(dòng)連接；在安裝座的一端設(shè)置有豁口，所述小動(dòng)力輪與大動(dòng)力輪的皮帶傳動(dòng)連接或鏈傳動(dòng)連接途徑所述豁口 ；在安裝座的內(nèi)孔中設(shè)置有軸承A的定位臺(tái)。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，在磨輪的外部設(shè)置有冷卻介質(zhì)罩，所述冷卻介質(zhì)罩的一端固定在壓蓋或固定座或安裝座的一側(cè)，冷卻介質(zhì)罩的另一端設(shè)有冷卻介質(zhì)罩蓋板，所述冷卻介質(zhì)罩蓋板的中部設(shè)置有晶棒穿入孔，在冷卻介質(zhì)罩的上部設(shè)置有冷卻介質(zhì)噴口，在冷卻介質(zhì)罩的下部設(shè)置有冷卻介質(zhì)流出口，所述冷卻介質(zhì)流出口的下面設(shè)置有容器。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，所述冷卻介質(zhì)噴口與冷卻介質(zhì)輸送管的一端連接，所述冷卻介質(zhì)輸送管通過冷卻介質(zhì)輸送管固定座固定在大底板上，在冷卻介質(zhì)輸送管上設(shè)置有閥門，冷卻介質(zhì)輸送管的另一端與冷卻介質(zhì)儲(chǔ)存循環(huán)容器連接。由于采用上述技術(shù)方案，本發(fā)明具有如下有益效果本發(fā)明所述的磨削晶體材料的磨頭裝置通過將晶棒夾持在夾緊機(jī)構(gòu)內(nèi)，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)固定位，由磨頭裝置的兩個(gè)磨輪對(duì)晶棒的端部磨削作業(yè)，其中磨輪設(shè)置為對(duì)應(yīng)晶棒一側(cè)直徑較小，保證了晶棒端部的磨削錐度，實(shí)現(xiàn)了對(duì)晶棒較為準(zhǔn)確的磨削，確保了后期使用時(shí)的提高接觸面積，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，工藝穩(wěn)定性遠(yuǎn)高于手工作業(yè)，有效地提高了晶棒加工的機(jī)械化程度，克服了現(xiàn)有技術(shù)必須拉制硅芯圓球體的弊端。

圖1是本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明的磨削機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)軸座結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本發(fā)明的安裝座結(jié)構(gòu)示意圖；圖中1、小動(dòng)力輪；2、電機(jī)；3、電機(jī)座；4、壓蓋；5、冷卻介質(zhì)罩；6、固定座；7、冷卻介質(zhì)輸送管固定座；8、閥門；9、機(jī)架；10、冷卻介質(zhì)輸送管；11、容器；12、擋板；13、導(dǎo)軌； 14、導(dǎo)軌支撐；15、控制系統(tǒng)；16、磨輪；17、夾緊機(jī)構(gòu)；18、支撐機(jī)構(gòu)；19、大底板；20、晶棒； 21、皮帶；22、安裝座；23、軸承A ；24、大動(dòng)力輪；25、旋轉(zhuǎn)軸座；26、軸筒；27、軸承壓蓋A ；28、 小齒輪；29、大齒輪固定軸；30、大齒輪；31、減速機(jī)；32、減速機(jī)軸；33、聯(lián)軸器；34、絲杠固定座；35、絲杠；36、絲母；37、軸承B ;38、磨輪固定軸；39、冷卻介質(zhì)噴口 ；40、冷卻介質(zhì)罩蓋板；41、磨輪過渡套；42、螺釘A ;43、磨輪間隙；44、大齒輪擋套；45、旋轉(zhuǎn)軸座壓蓋；46、冷卻介質(zhì)流出口 ；47、小托板；48、滑塊；49、軸承壓蓋B ;50、晶棒穿入孔；51、凸起圓；52、定位臺(tái)階；53、豁口 ；54、圓柱；55、軸孔；56、定位孔；57定位臺(tái)。
具體實(shí)施方式
參考下面實(shí)施例，可以更詳細(xì)的解釋本發(fā)明，但是本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例的組合方式。結(jié)合附圖1 5中所述一種磨削晶體材料的磨頭裝置，其中晶棒20夾持在夾緊機(jī)構(gòu)17內(nèi)；所述磨頭裝置包括用于磨削晶棒20的磨削機(jī)構(gòu)；所述磨削晶棒20的磨削機(jī)構(gòu)，晶棒20 —側(cè)固定在夾緊機(jī)構(gòu)17內(nèi)，為了防止晶棒20折斷使用支撐機(jī)構(gòu)18對(duì)晶棒20進(jìn)行托扶，晶棒20的一端對(duì)應(yīng)兩個(gè)磨輪16之間的間隙，兩個(gè)磨輪16通過旋轉(zhuǎn)軸座25內(nèi)的磨輪固定軸38做同向旋轉(zhuǎn)，磨輪固定軸38由外部的旋轉(zhuǎn)軸座25帶動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)軸座25由外接電機(jī)2帶動(dòng)形成所述磨削晶棒20的磨削機(jī)構(gòu)；磨削晶棒20的磨削機(jī)構(gòu)與夾緊機(jī)構(gòu)17做軸向運(yùn)動(dòng)形成晶棒20的進(jìn)給。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，所述用于磨削晶棒20的磨削機(jī)構(gòu)包括電機(jī)2、 磨輪16、旋轉(zhuǎn)軸座25、小齒輪28、大齒輪30、磨輪固定軸38，旋轉(zhuǎn)軸座25設(shè)置在安裝座22 內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)軸座25內(nèi)部設(shè)置有至少兩根磨輪固定軸38，在每一磨輪固定軸38的一端固定有小齒輪28，另一端分別固定有磨輪16，所述磨輪16通過螺釘A42固定在磨輪固定軸38 的一端，旋轉(zhuǎn)軸座25由電機(jī)2帶動(dòng)做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，在所述小齒輪28之間設(shè)置有大齒輪30，所述大齒輪30為固定設(shè)置且承擔(dān)所述小齒輪28之間的動(dòng)力過渡，使磨輪固定軸38另一端的所述磨輪16同步同向旋轉(zhuǎn)，由所述磨輪16與磨輪16之間的間隙43形成晶棒20端部的磨削。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，所述磨削晶棒20的磨削機(jī)構(gòu)與夾緊機(jī)構(gòu)17做軸向運(yùn)動(dòng)形成晶棒20的進(jìn)給為磨削晶棒20的磨削機(jī)構(gòu)由大底板19下面設(shè)置的滑塊48 與導(dǎo)軌13滑動(dòng)配合，夾緊機(jī)構(gòu)17固定設(shè)置在大底板19上，磨削晶棒20的磨削機(jī)構(gòu)由絲杠35控制給進(jìn)，所述絲杠35通過設(shè)置在小托板47下部的絲母36絲接配合，絲杠35兩端通過絲杠固定座34固定在大底板19上部，在絲杠35的一端通過聯(lián)軸器33連接有減速機(jī)軸32，所述減速機(jī)軸32的另一端通過螺母固定在減速機(jī)31的動(dòng)力輸出孔內(nèi)，所述減速機(jī) 31的動(dòng)力輸入軸的一端連接有電機(jī)，在減速機(jī)31的另一端設(shè)置有手輪進(jìn)行手動(dòng)調(diào)節(jié)進(jìn)給， 其中用于磨削晶棒20的磨削機(jī)構(gòu)和夾緊機(jī)構(gòu)17為聯(lián)動(dòng)，進(jìn)給機(jī)構(gòu)A包括機(jī)架9、導(dǎo)軌13、 導(dǎo)軌支撐14、大底板19、減速機(jī)、減速機(jī)軸、聯(lián)軸器、絲杠固定座、絲杠、絲母和滑塊48，絲杠的兩端分別通過絲杠固定座固定在機(jī)架9的上部面，絲杠的外端通過聯(lián)軸器與減速機(jī)軸連接，所述減速機(jī)軸固定在減速機(jī)的內(nèi)孔中，所述減速機(jī)的另一轉(zhuǎn)動(dòng)軸與電機(jī)連接，絲杠與固定在大底板19下部面的絲母絲接配合，所述大底板19的下部面設(shè)置有至少兩個(gè)滑塊48，至少兩個(gè)滑塊48分別與固定在導(dǎo)軌支撐14上部面的導(dǎo)軌13滑動(dòng)配合，所述導(dǎo)軌支撐14固定在機(jī)架9的上部面上形成用于磨削晶棒20的磨削機(jī)構(gòu)和夾緊機(jī)構(gòu)17同步的進(jìn)給或所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)在不使用減速機(jī)、減速機(jī)軸、聯(lián)軸器和電機(jī)的情況下，通過使用手輪實(shí)現(xiàn)手動(dòng)調(diào)節(jié)進(jìn)給；其中用于磨削晶棒20的磨削機(jī)構(gòu)與夾緊機(jī)構(gòu)17為一動(dòng)一靜。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，所述用于磨削晶棒20的磨削機(jī)構(gòu)，電機(jī)2通過電機(jī)座3固定在壓蓋4的上部面，在電機(jī)2的轉(zhuǎn)動(dòng)軸端部固定有小動(dòng)力輪1，所述小動(dòng)力輪1 連接設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸座25 —側(cè)外部的大動(dòng)力輪24，在旋轉(zhuǎn)軸座25的內(nèi)壁上設(shè)有至少兩個(gè)圓柱54，所述圓柱54的軸孔55內(nèi)插接磨輪固定軸38，所述旋轉(zhuǎn)軸座25的外緣通過軸承A23 固定在安裝座22內(nèi)，所述軸承A23通過軸承壓蓋B49緊固在安裝座22的內(nèi)壁與旋轉(zhuǎn)軸座 25之間，所述安裝座22通過壓蓋4固定在固定座6的內(nèi)孔中，所述固定座6固定在小托板 47的上部面上，磨輪固定軸38的兩端分別通過軸承B37與旋轉(zhuǎn)軸座25的軸孔55內(nèi)壁連接，磨輪16通過磨輪過渡套41固定在磨輪固定軸38的一端。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，所述大齒輪30通過固定軸29固定在旋轉(zhuǎn)軸座壓蓋45的內(nèi)孔中，為了調(diào)整大齒輪30與小齒輪28之間的配合狀況，在大齒輪30與固定軸 29設(shè)置有大齒輪擋套44。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，所述旋轉(zhuǎn)軸座25的外圓上設(shè)置有使軸承A23間隔的凸起圓51，在旋轉(zhuǎn)軸座25的一端設(shè)置有縮頸的定位臺(tái)階52，所述定位臺(tái)階52為大動(dòng)力輪24限位臺(tái)階；在旋轉(zhuǎn)軸座25圓柱54的軸孔55內(nèi)設(shè)置有軸筒26，所述軸筒26通過設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸座25外緣上的定位孔56緊固在旋轉(zhuǎn)軸座25圓柱54的軸孔55內(nèi)，所述磨輪固定軸38的兩端通過所述軸承B37設(shè)置在軸筒26內(nèi)，所述軸承B37通過軸承壓蓋A27固定在軸筒26內(nèi)。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，所述小動(dòng)力輪1與大動(dòng)力輪24為皮帶21傳動(dòng)連接或鏈條傳動(dòng)連接；在安裝座22的一端設(shè)置有豁口 53，所述小動(dòng)力輪1與大動(dòng)力輪24的皮帶21傳動(dòng)連接或鏈傳動(dòng)連接途徑所述豁口 53 ；在安裝座22的內(nèi)孔中設(shè)置有軸承A23的定位臺(tái)57。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，在磨輪16的外部設(shè)置有冷卻介質(zhì)罩5，所述冷卻介質(zhì)罩5的一端固定在壓蓋4或固定座6或安裝座22的一側(cè)，冷卻介質(zhì)罩5的另一端設(shè)有冷卻介質(zhì)罩蓋板40，所述冷卻介質(zhì)罩蓋板40的中部設(shè)置有晶棒穿入孔50，在冷卻介質(zhì)罩 5的上部設(shè)置有冷卻介質(zhì)噴口 39，在冷卻介質(zhì)罩5的下部設(shè)置有冷卻介質(zhì)流出口 46，所述冷卻介質(zhì)流出口 46的下面設(shè)置有容器11。所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，所述冷卻介質(zhì)噴口 39與冷卻介質(zhì)輸送管10的一端連接，所述冷卻介質(zhì)輸送管10通過冷卻介質(zhì)輸送管固定座7固定在大底板19上，在大底板19的上部固定有控制系統(tǒng)15，用來控制整個(gè)磨頭裝置的運(yùn)動(dòng)，在大底板19的側(cè)邊固定有擋板12，在冷卻介質(zhì)輸送管10上設(shè)置有閥門8，冷卻介質(zhì)輸送管10的另一端與冷卻介質(zhì)儲(chǔ)存循環(huán)容器連接。本發(fā)明未詳述部分為現(xiàn)有技術(shù)。為了公開本發(fā)明的目的而在本文中選用的實(shí)施例，當(dāng)前認(rèn)為是適宜的，但是應(yīng)了解的是，本發(fā)明旨在包括一切屬于本構(gòu)思和本發(fā)明范圍內(nèi)的實(shí)施例的所有變化和改進(jìn)。
權(quán)利要求
1.一種磨削晶體材料的磨頭裝置，其中晶棒(20)夾持在夾緊機(jī)構(gòu)(17)內(nèi)，其特征是 所述磨頭裝置包括用于磨削晶棒(20)的磨削機(jī)構(gòu)；所述磨削晶棒(20)的磨削機(jī)構(gòu)，晶棒 (20) 一側(cè)固定在夾緊機(jī)構(gòu)(17)內(nèi)，晶棒(20)的一端對(duì)應(yīng)兩個(gè)磨輪(16)之間的間隙，兩個(gè)磨輪(16)通過旋轉(zhuǎn)軸座(25)內(nèi)的磨輪固定軸(38)做同向旋轉(zhuǎn)，磨輪固定軸(38)由外部的旋轉(zhuǎn)軸座(25)帶動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)軸座(25)由外接電機(jī)(2)帶動(dòng)形成所述磨削晶棒(20)的磨削機(jī)構(gòu)；磨削晶棒(20)的磨削機(jī)構(gòu)與夾緊機(jī)構(gòu)(17)做軸向運(yùn)動(dòng)形成晶棒(20)的進(jìn)給。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，其特征是所述用于磨削晶棒 (20)的磨削機(jī)構(gòu)包括電機(jī)(2)、磨輪(16)、旋轉(zhuǎn)軸座(25)、小齒輪(28)、大齒輪(30)、磨輪固定軸(38)，旋轉(zhuǎn)軸座(25)設(shè)置在安裝座(22)內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)軸座(25)內(nèi)部設(shè)置有至少兩根磨輪固定軸(38)，在每一磨輪固定軸(38)的一端固定有小齒輪(28)，另一端分別固定有磨輪(16)，旋轉(zhuǎn)軸座(25)由電機(jī)(2)帶動(dòng)做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，在所述小齒輪(28)之間設(shè)置有大齒輪(30)，所述大齒輪(30)為固定設(shè)置且承擔(dān)所述小齒輪(28)之間的動(dòng)力過渡，使磨輪固定軸(38)另一端的所述磨輪(16)同步同向旋轉(zhuǎn)，由所述磨輪(16)與磨輪(16)之間的間隙 (43)形成晶棒(20)端部的磨削。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，其特征是所述磨削晶棒(20)的磨削機(jī)構(gòu)與夾緊機(jī)構(gòu)(17)做軸向運(yùn)動(dòng)形成晶棒(20)的進(jìn)給為，磨削晶棒(20)的磨削機(jī)構(gòu)由大底板(19)下面設(shè)置的滑塊(48)與導(dǎo)軌(13)滑動(dòng)配合，夾緊機(jī)構(gòu)(17)固定設(shè)置在大底板(19)上，磨削晶棒(20)的磨削機(jī)構(gòu)由絲杠(35)控制給進(jìn)，其中用于磨削晶棒(20)的磨削機(jī)構(gòu)和夾緊機(jī)構(gòu)(17)為聯(lián)動(dòng)，進(jìn)給機(jī)構(gòu)包括機(jī)架(9)、導(dǎo)軌(13)、導(dǎo)軌支撐(14)、大底板 (19)、減速機(jī)、減速機(jī)軸、聯(lián)軸器、絲杠固定座、絲杠、絲母和滑塊(48)，絲杠的兩端分別通過絲杠固定座固定在機(jī)架(9)的上部面，絲杠的外端通過聯(lián)軸器與減速機(jī)軸連接，所述減速機(jī)軸固定在減速機(jī)的內(nèi)孔中，所述減速機(jī)的另一轉(zhuǎn)動(dòng)軸與電機(jī)連接，絲杠與固定在大底板 (19)下部面的絲母絲接配合，所述大底板(19)的下部面設(shè)置有至少兩個(gè)滑塊(48)，至少兩個(gè)滑塊(48)分別與固定在導(dǎo)軌支撐(14)上部面的導(dǎo)軌(13)滑動(dòng)配合，所述導(dǎo)軌支撐(14) 固定在機(jī)架(9)的上部面上形成用于磨削晶棒(20)的磨削機(jī)構(gòu)和夾緊機(jī)構(gòu)(17)同步的進(jìn)給或所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)在不使用減速機(jī)、減速機(jī)軸、聯(lián)軸器和電機(jī)的情況下，通過使用手輪實(shí)現(xiàn)手動(dòng)調(diào)節(jié)進(jìn)給；其中用于磨削晶棒(20)的磨削機(jī)構(gòu)與夾緊機(jī)構(gòu)(17)為一動(dòng)一靜。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，其特征是所述用于磨削晶棒(20)的磨削機(jī)構(gòu)，電機(jī)(2)通過電機(jī)座(3)固定在壓蓋(4)的上部面，在電機(jī)(2)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸端部固定有小動(dòng)力輪(1)，所述小動(dòng)力輪(1)連接設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸座(25) —側(cè)外部的大動(dòng)力輪(24)，在旋轉(zhuǎn)軸座(25)的內(nèi)壁上設(shè)有至少兩個(gè)圓柱(54)，所述圓柱(54)的軸孔(55) 內(nèi)插接磨輪固定軸(38)，所述旋轉(zhuǎn)軸座(25)的外緣通過軸承A(23)固定在安裝座(22)內(nèi)， 所述軸承A(23)通過軸承壓蓋B(49)緊固在安裝座(22)的內(nèi)壁與旋轉(zhuǎn)軸座(25)之間，所述安裝座(22)通過壓蓋(4)固定在固定座(6)的內(nèi)孔中，所述固定座(6)固定在小托板(47) 的上部面上，磨輪固定軸(38)的兩端分別通過軸承B (37)與旋轉(zhuǎn)軸座(25)的軸孔(55)內(nèi)壁連接，磨輪(16)通過磨輪過渡套(41)固定在磨輪固定軸(38)的一端。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，其特征是所述大齒輪(30)通過固定軸(29)固定在旋轉(zhuǎn)軸座壓蓋(45)的內(nèi)孔中。
6.根據(jù)權(quán)利要求1、2或4所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，其特征是所述旋轉(zhuǎn)軸座(25)的外圓上設(shè)置有使軸承A(23)間隔的凸起圓(51)，在旋轉(zhuǎn)軸座(25)的一端設(shè)置有縮頸的定位臺(tái)階(52)，所述定位臺(tái)階(52)為大動(dòng)力輪(24)限位臺(tái)階；在旋轉(zhuǎn)軸座(25)圓柱 (54)的軸孔(55)內(nèi)設(shè)置有軸筒(26)，所述磨輪固定軸(38)的兩端通過所述軸承B (37)設(shè)置在軸筒(26)內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，其特征是所述小動(dòng)力輪(1)與大動(dòng)力輪(24)為皮帶(21)傳動(dòng)連接或鏈條傳動(dòng)連接；在安裝座(22)的一端設(shè)置有豁口 (53)，所述小動(dòng)力輪(1)與大動(dòng)力輪(24)的皮帶(21)傳動(dòng)連接或鏈傳動(dòng)連接途徑所述豁口 (53)；在安裝座(22)的內(nèi)孔中設(shè)置有軸承A(23)的定位臺(tái)(57)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，其特征是在磨輪(16)的外部設(shè)置有冷卻介質(zhì)罩(5)，所述冷卻介質(zhì)罩(5)的一端固定在壓蓋(4)或固定座(6)或安裝座(22)的一側(cè)，冷卻介質(zhì)罩(5)的另一端設(shè)有冷卻介質(zhì)罩蓋板(40)，所述冷卻介質(zhì)罩蓋板 (40)的中部設(shè)置有晶棒穿入孔(50)，在冷卻介質(zhì)罩(5)的上部設(shè)置有冷卻介質(zhì)噴口(39)， 在冷卻介質(zhì)罩(5)的下部設(shè)置有冷卻介質(zhì)流出口(46)，所述冷卻介質(zhì)流出口(46)的下面設(shè)置有容器(11)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磨削晶體材料的磨頭裝置，其特征是所述冷卻介質(zhì)噴口 (39)與冷卻介質(zhì)輸送管(10)的一端連接，所述冷卻介質(zhì)輸送管(10)通過冷卻介質(zhì)輸送管固定座(7)固定在大底板(19)上，在冷卻介質(zhì)輸送管(10)上設(shè)置有閥門(8)，冷卻介質(zhì)輸送管(10)的另一端與冷卻介質(zhì)儲(chǔ)存循環(huán)容器連接。
全文摘要
一種磨削晶體材料的磨頭裝置，涉及一種晶體材料的加工設(shè)備，其中晶棒(20)夾持在夾緊機(jī)構(gòu)(17)內(nèi)，晶棒(20)一側(cè)固定在夾緊機(jī)構(gòu)(17)內(nèi)，晶棒(20)的一端對(duì)應(yīng)兩個(gè)磨輪(16)之間的間隙，兩個(gè)磨輪(16)通過旋轉(zhuǎn)軸座(25)內(nèi)的磨輪固定軸(38)做同向旋轉(zhuǎn)，磨輪固定軸(38)由外部的旋轉(zhuǎn)軸座帶動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)軸座由外接電機(jī)(2)帶動(dòng)形成所述磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)；磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)與夾緊機(jī)構(gòu)做軸向運(yùn)動(dòng)形成晶棒的進(jìn)給；本發(fā)明通過將晶棒夾持在夾緊機(jī)構(gòu)內(nèi)，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)固定位，由磨頭裝置的磨削晶棒的磨削機(jī)構(gòu)對(duì)晶棒較為準(zhǔn)確的磨削，確保了后期使用時(shí)的提高接觸面積，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，工藝穩(wěn)定性遠(yuǎn)高于手工作業(yè)。
文檔編號(hào)B24B41/04GK102259304SQ201110221610
公開日2011年11月30日 申請(qǐng)日期2011年8月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月30日
發(fā)明者劉朝軒, 王晨光 申請(qǐng)人:洛陽金諾機(jī)械工程有限公司