專利名稱：Pecvd設(shè)備新型開關(guān)爐門的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門。
背景技術(shù)：
對于PECVD (等離子增強型化學(xué)氣相沉積)設(shè)備開關(guān)爐門，應(yīng)該具有便于結(jié)構(gòu)緊湊， 位置調(diào)整和密封可靠的特點。目前PECVD設(shè)備的開關(guān)爐門主要有兩種方式第一種是普通 旋轉(zhuǎn)式，如圖1所示，旋轉(zhuǎn)氣缸1通過旋臂桿5與爐門3中心的關(guān)節(jié)軸承4連接，旋轉(zhuǎn)氣缸1 將爐門3旋轉(zhuǎn)至爐體2的爐口處，然后將爐門3與爐口壓緊，中心的關(guān)節(jié)軸承4起到自動找 正的作用，它的缺點是氣缸負載較大，且不便于位置的調(diào)節(jié)；第二種方式是間接旋轉(zhuǎn)方式， 如圖2所示，與爐門3上的關(guān)節(jié)軸承4連接的旋臂桿5固定在支座7上，通過氣缸6的伸縮 來帶動爐門3的旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)到爐口處再將爐門夾緊，它的缺陷在于占用空間大，不方便調(diào)節(jié) 位置。
發(fā)明內(nèi)容為了克服上述缺點，本實用新型提供了一種氣缸負載小、運動平穩(wěn)、結(jié)構(gòu)緊湊、占 地面積小、方便位置調(diào)整、密封性效果好的PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門。本實用新型所述的PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門包括導(dǎo)軌、無桿氣缸、無桿氣缸滑塊、 支撐板、導(dǎo)軌滑塊、爐體、爐門、運動臂、至少兩個關(guān)節(jié)軸承；其中，導(dǎo)軌、無桿氣缸及爐體均 被固定在機架上，導(dǎo)軌滑塊與導(dǎo)軌可滑動的配合，無桿氣缸滑塊與無桿氣缸外殼可滑動的 配合，無桿氣缸滑塊與導(dǎo)軌滑塊都固定在支撐板上，支撐板與運動臂固定連接，運動臂通過 兩個關(guān)節(jié)軸承與爐門連接，關(guān)節(jié)軸承的連線與導(dǎo)軌垂直。本實用新型所述的PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門為直線運動機構(gòu)，采用無桿氣缸驅(qū) 動，無桿氣缸滑塊設(shè)置在無桿氣缸上，通過無桿氣缸推動無桿氣缸滑塊沿著無桿氣缸的表 面自由滑動；當(dāng)無桿氣缸工作時，驅(qū)動爐門沿著導(dǎo)軌向爐口處移動，使爐門穩(wěn)定地到達與爐 口同心的位置，然后將爐門推向爐口并夾緊。當(dāng)爐門沿著導(dǎo)軌運動至爐口，只要保證在關(guān)節(jié) 軸承的兩點處，爐門能夠大體對準爐口，由于兩關(guān)節(jié)軸承的連線與爐門運動方向垂直，此時 爐門可以在豎直方向小角度內(nèi)轉(zhuǎn)動，便于它與爐體6的爐口自動找正，實現(xiàn)爐門與爐口的 緊密貼合。而調(diào)整關(guān)節(jié)軸承兩點處的位置，只需上下調(diào)節(jié)爐頭爐尾的位置便可以輕易實現(xiàn)。本實用新型所述的PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門，導(dǎo)軌、滑塊等組成為直線運動機構(gòu)， 兩個關(guān)節(jié)軸承之間連線與導(dǎo)軌垂直。因此，可以最大程度的實現(xiàn)爐門與爐口的自動找正功 能，同時該爐門節(jié)省空間，使氣缸負載小、運動平穩(wěn)，爐門機構(gòu)緊湊，密封性能也得到了保 障，并且方便設(shè)備的安裝和維護。而間接旋轉(zhuǎn)方式爐門，由于關(guān)節(jié)軸承連線是傾斜的，爐體 將很難調(diào)整位置。為了獲得更好的效果，本實用新型所述的PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門可以采用以下 措施1、本實用新型所述的PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門，所述的導(dǎo)軌為兩根，與其分別配合的導(dǎo)軌滑塊也為兩個。其優(yōu)點在于，在無桿氣缸進行驅(qū)動時，爐門可以較平穩(wěn)的向爐口運動。2、本實用新型所述的PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門，所述的兩根導(dǎo)軌分為位于無桿氣 缸的上方和下方。其優(yōu)點在于，可以使爐門更加平穩(wěn)的在無桿氣缸的驅(qū)動下向爐口運動。3、本實用新型所述的PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門，所述的無桿氣缸為機械耦合型或 磁性耦合型。

圖1為普通旋轉(zhuǎn)式PECVD設(shè)備開關(guān)爐門的示意圖。圖2為間接旋轉(zhuǎn)方式PECVD設(shè)備開關(guān)爐門的示意圖。圖3為本實用新型所述PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門的示意圖。1-旋轉(zhuǎn)氣缸；2-爐體；3-爐門；4-關(guān)節(jié)軸承；5-旋臂桿；6_活塞式氣缸；7_支座； 8-運動臂；9-導(dǎo)軌；10-無桿氣缸；11-無桿氣缸滑塊；12-支撐板；13-導(dǎo)軌滑塊。
具體實施方式
圖3為本實用新型所述PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門的實施例。本實用新型所述的PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門包括爐體2、爐門3、兩個關(guān)節(jié)軸承4、 運動臂8、兩根導(dǎo)軌9、無桿氣缸10、無桿氣缸滑塊11、支撐板12、兩個導(dǎo)軌滑塊13。兩根導(dǎo)軌9、無桿氣缸10及爐體2均被固定在機架上，其中兩根導(dǎo)軌9分別固定在 無桿氣缸10的上方和下方；導(dǎo)軌滑塊13設(shè)置在導(dǎo)軌9上，并可沿著導(dǎo)軌9上左右自由滑動；無桿氣缸滑塊11設(shè)置在無桿氣缸10上，并可以沿著無桿氣缸10的表面自由滑 動，無桿氣缸滑塊11滑動的動力來源于無桿氣缸10內(nèi)部，其動力是通過機械耦合或磁性耦 合實現(xiàn)的；無桿氣缸滑塊11與兩個導(dǎo)軌滑塊13都固定在支撐板12上，兩個導(dǎo)軌滑塊13分 別固定在無桿氣缸滑塊11的上方和下方；支撐板12與運動臂8固定連接；運動臂8通過兩個關(guān)節(jié)軸承4與爐門3連接，兩個關(guān)節(jié)軸承4的連線與導(dǎo)軌9垂直。
權(quán)利要求1.一種PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門，其特征在于它包括導(dǎo)軌、無桿氣缸、無桿氣缸滑塊、 支撐板、導(dǎo)軌滑塊、爐體、爐門、運動臂、至少兩個關(guān)節(jié)軸承；其中，導(dǎo)軌、無桿氣缸及爐體均 被固定在機架上，導(dǎo)軌滑塊與導(dǎo)軌可滑動的配合，無桿氣缸滑塊與無桿氣缸外殼可滑動的 配合，無桿氣缸滑塊與導(dǎo)軌滑塊都固定在支撐板上，支撐板與運動臂固定連接，運動臂通過 兩個關(guān)節(jié)軸承與爐門連接，關(guān)節(jié)軸承的連線與導(dǎo)軌垂直。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門，其特征在于所述的導(dǎo)軌為兩根，與 其分別配合的導(dǎo)軌滑塊也為兩個。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門，其特征在于所述的兩根導(dǎo)軌分為 位于無桿氣缸的上方和下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項所述的PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門，其特征在于所述的無 桿氣缸為機械耦合型或磁性耦合型。
專利摘要本實用新型所述PECVD設(shè)備新型開關(guān)爐門包括導(dǎo)軌、無桿氣缸、無桿氣缸滑塊、支撐板、導(dǎo)軌滑塊、爐體、爐門、運動臂、至少兩個關(guān)節(jié)軸承；其中，導(dǎo)軌、無桿氣缸及爐體均被固定在機架上，導(dǎo)軌滑塊與導(dǎo)軌可滑動的配合，無桿氣缸滑塊與無桿氣缸可滑動的配合，無桿氣缸滑塊與導(dǎo)軌滑塊都固定在支撐板上，支撐板與運動臂固定連接，運動臂通過兩個關(guān)節(jié)軸承與爐門連接，關(guān)節(jié)軸承的連線與導(dǎo)軌垂直；其優(yōu)點在于氣缸負載小、運動平穩(wěn)、結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小、方便位置調(diào)整、密封性效果好。
文檔編號C23C16/44GK201873750SQ20102062982
公開日2011年6月22日 申請日期2010年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月29日
發(fā)明者崔慧敏, 王鵬 申請人:青島賽瑞達電子科技有限公司